JPH1172332A - 角速度センサの調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動モード及び又は検出モードの共振周波
数調整の容易な角速度センサを提供する。 【解決手段】少なくとも、板状の振動体と、励振電極、
検出電極及び帰還電極が形成され該振動体の片面または
両面に貼付される圧電素子と、該圧電素子の貼付された
振動体の振動ノード部を支持する支持部材とで構成され
る角速度センサ部を駆動する発振回路を有する駆動回路
で角速度センサの駆動モード及び又は検出モードの共振
周波数を調整する角速度センサの調整方法において、前
記励振電極と駆動回路の基準電圧との間に負荷容量を接
続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は角速度センサの駆動
モードおよびまたは検出モードの共振周波数の調整方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】姿勢制御、位置制御が可能な角速度セン
サは、ビデオカメラの手ぶれ防止や、自動車のナビゲー
ションに使うことを目的に小型化、高性能化の開発が行
われている。角速度センサにもいろいろあるが、サイズ
やコストの面では圧電振動型の角速度センサが有利であ
り、音叉型、音片型（四角柱）、円柱型、三角柱型等が
製品化されている。

【０００３】図１は音片型圧電振動角速度センサを説明
するための構造図である。圧電振動型角速度センサの原
理は、振動している振動子の中心軸（Ｚ軸）回りに、回
転角速度（Ω0）が加わると、もとの振動方向（Ｘ軸）
に対し、直角方向（Ｙ軸）に回転角速度に比例したコリ
オリ力（Ｆc）が生じる力学現象を利用したもので、駆
動用圧電セラミックスを用いてＸ軸に振動を与え、Ｙ軸
に設けた検出用圧電セラミックスによってコリオリ力を
電圧として検出するものである。コリオリ力は一般に次
式により求められる。 Ｆc＝２ｍ×ｖ×Ω0 ｍは質
量、ｖは速度 、Ω0は角速度である。

【０００４】振動周波数が同じであればＸ軸の振幅が大
きいほどＹ軸変位は大きく、検出電圧（感度）を高める
にはＸ軸の振幅が大きく、Ｙ軸の検出効率を高めた共振
型振動角速度センサが有利である。音片型振動角速度セ
ンサは共振型であり、感度は高くできるが、駆動辺と検
出辺の振動姿勢を崩さず、共振周波数を正確に調整する
ことが難しく、しかも駆動辺と検出辺の共振特性の不一
致やズレによる顕著な特性変化や高機械的品質係数（Ｑ
ｍ）がゆえに応答速度が遅いなど問題も多い。

【０００５】一つの角速度センサで２軸の角速度を検出
できるものが望まれていたが、この要望に応えるものと
して、振動体の表面に圧電素子を貼付して角速度により
圧電素子が変形することで変化する電荷の量を測定して
角速度を検出するセンサが開発された。図２はその角速
度センサを斜め上から見た分解斜視図である。図３は同
じ角速度センサを斜め下から見た分解斜視図である。振
動体１の上面には、下面に電極６を設け上面に４つの励
振電極を兼ねる検出電極５を設けた圧電素子２が貼付さ
れている。振動体１の下面には、上面に電極７を設け下
面に帰還電極８を設けた圧電素子３が貼付されている。
帰還電極８の下面には重錘体９が貼付され角速度センサ
部が構成されている。角速度センサ部は円筒状支持部材
１０によりベンディング振動のノード部４を固定されて
いる。

【０００６】電極６と振動体１は電気的に接続されて接
着されているので、振動体１と励振電極を兼ねる検出電
極５に交流をかけると、圧電素子２が振動し、振動体１
も一緒に振動する。円筒状支持部材１０で支持しており
４つの励振電極を兼ねる検出電極５は円筒状支持部材１
０の内径より内側に設けてある。円筒状支持部材１０は
図の如く２ヵ所をワイヤー１１で固定し、ワイヤー１１
の他端を基板に固定するものである。

【０００７】角速度センサに角速度が作用するとコリオ
リ力により重錘体９が移動することで角速度センサ部が
変形し検出電極に電荷が発生する。４つの励振電極を兼
ねる検出電極５に発生する電荷の量により角速度の方向
と強さが検出できる。

【０００８】振動体１を含む平面の中心に原点を定め、
同平面上にＸ軸、同平面上でＸ軸に直交するＹ軸、Ｘ軸
とＹ軸に直交するＺ軸を設定する。振動モードは何種類
も存在するが、角速度センサとして用いる振動モード
は、図４、図５に示すように重錘体９が縦方向に振れる
Ｚ軸方向（縦方向）の振動モードと、図６、図７に示す
ように重錘体９が横方向に振れるＸ、Ｙ軸方向（横方
向）の振動モードを用いる。

【０００９】図４はＺ軸方向の振動モードを示した断面
図でＺ軸プラス方向に振れている状態を示している。図
５はＺ軸方向の振動モードを示した断面図でＺ軸マイナ
ス方向に振れている状態を示している。Ｚ軸方向の振動
モードにおける共振周波数をＺ軸方向の共振周波数と言
う。Ｚ軸方向の振動モードは駆動（励振）モードとして
用いられる。

【００１０】図６はＸ軸方向の振動モードを示した断面
図でＸ軸プラス方向に振れている状態を示している。図
７はＸ軸方向の振動モードを示した断面図でＸ軸マイナ
ス方向に振れている状態を示している。Ｙ軸に関しても
同様であるのでＸ軸方向のみを図示した。Ｘ、Ｙ軸方向
の振動モードにおける共振周波数を重錘体の共振周波数
と言う。Ｘ、Ｙ軸方向の振動モードは検出モードとして
用いられる。一般的に、共振型角速度センサでは駆動モ
ードと検出モードの共振周波数が近いと検出感度が高く
なる。Ｚ軸方向の共振周波数と重錘体の共振周波数とが
離れていて、かつ、Ｚ軸方向の共振周波数が重錘体の共
振周波数より大きい場合、重錘体の端面をレーザ光線を
照射してトリミング（質量の除去）することにより両者
の共振周波数を近づけることが出来る。

【００１１】図８は従来例で角速度センサの駆動、検出
回路図である。ここで、励振電極を兼ねる検出電極５は
同方向に分極されている。振動体１に貼付された圧電素
子２に形成されている４つの励振電極を兼ねる検出電極
５ａ〜５ｄに抵抗１２ａ〜１２ｄがそれぞれ接続され
る。ここで励振電極を兼ねる検出電極５ａと５ｃ、励振
電極を兼ねる検出電極５ｂと５ｄは原点２１に対して対
向してている。抵抗１２ａ〜１２ｄは、発振回路１３に
接続されている。また、励振電極を兼ねる検出電極５ａ
〜５ｄは、それぞれインピーダンス変換回路１４ａ〜１
４ｄに接続されている。インピーダンス変換回路１４
ａ、１４ｃは差動増幅回路１５ａｃの入力端子に、イン
ピーダンス変換回路１４ｂ、１４ｄは差動増幅回路１５
ｂｄの入力端子に接続されている。差動増幅回路１５ａ
ｃ、１５ｂｄの出力信号を同期検波回路１６ａｃ、１６
ｂｄに与える。発振回路１３より励振信号を抵抗１２ａ
〜１２ｄを介して励振電極を兼ねる検出電極５ａ〜５ｄ
に印加する。これにより励振電圧の周期で重錘体９がＺ
軸方向に振動する。この振動は帰還電極８の出力信号と
してモニタされ、発振回路１３にフィードバックされ
る。発振回路１３はこのフィードバック信号に基づいて
出力する励振電圧の周波数と位相を決定する。従来例で
はフィードバック信号の位相を９０゜シフトした交流電
圧を励振電圧として出力している。また帰還電極８より
出力される信号はコンパレータ１７にも与えられる。コ
ンパレータ１７は入力した信号を所定のしきい値と比較
し、二値信号（矩形波信号）を生成し、この二値信号の
位相を９０゜シフトした信号を出力する機能を有し、こ
のコンパレータ１７が出力した二値信号は同期検波回路
１６ａｃ、１６ｂｄに与えられる。同期検波回路１６ａ
ｃ、１６ｂｄは、この二値信号を参照して差動増幅回路
１５ａｃ、１５ｂｄの出力信号を全波整流する。この全
波整流信号は、低周波成分を通過させる低域フィルタ回
路１８ａｃ、１８ｂｄを通して平滑化され、直流信号に
変換される。この直流信号は直流増幅回路１９ａｃ、１
９ｂｄによって増幅され、最終的に出力端子２０ａｃ、
２０ｂｄに出力される。Ｘ軸回りの角速度（Ｙ軸方向の
コリオリ力）は、出力端子２０ｂｄより、Ｙ軸回りの角
速度（Ｘ軸方向のコリオリ力）は、出力端子２０ａｃよ
り出力される。

【００１２】Ｙ軸回りに回転する場合（Ｘ軸方向のコリ
オリ力が加わった場合）、励振電極を兼ねる検出電極５
ａ、５ｃはそれぞれ同方向に分極されているので、出力
する励振信号は同位相のものである。この状態で回転が
加わると回転角速度に比例したコリオリ力によって発生
した電荷が発生電圧として励振信号に重畳する。そのと
きコリオリ力による相対する検出電圧が同位相となるた
め、出力電圧に差が生じる。差動増幅回路１５ａｃによ
って減算されると励振信号は相殺されてコリオリ力によ
って発生した電圧のみを取り出すことができる。Ｘ軸回
りに回転する場合（Ｙ軸方向のコリオリ力が加わった場
合）、励振電極を兼ねる検出電極５ｂ、５ｄはそれぞれ
同方向に分極されているので、出力する励振信号は同位
相のものである。この状態で回転が加わると回転角速度
に比例したコリオリ力によって発生した電荷が発生電圧
として励振信号に重畳する。そのとき相対する検出電圧
から得られる励振信号とコリオリ力による信号が重畳し
た検出電極は、ともに同位相となるため、出力電圧に差
が生じる。差動増幅回路１５ｂｄによって減算されると
励振信号は相殺されてコリオリ力によって発生した電圧
のみを取り出すことができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】重錘体の端面にレーザ
光線を照射してトリミングする方法では、概略の調整は
し易いが微調整はレーザ光線を照射する位置や照射量を
その都度計算して求め、少しずつ共振周波数を所定の値
に合わせ込まなければならない。そのため、数Ｈｚレベ
ルでの調整ははなはだ困難であり、共振周波数調整には
時間が掛かっていた。本発明はこのような課題を解決す
るためのものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は従来の角速度セ
ンサの課題を解決するためのものであり、駆動モード及
び又は検出モードの共振周波数調整の容易な角速度セン
サを提供する。

【００１５】少なくとも、板状の振動体と、励振電極、
検出電極及び帰還電極が形成され該振動体の片面または
両面に貼付される圧電素子と、該圧電素子の貼付された
振動体の振動ノード部を支持する支持部材とで構成され
る角速度センサ部を駆動する発振回路を有する駆動回路
で角速度センサの駆動モード及び又は検出モードの共振
周波数を調整する角速度センサの調整方法において、前
記励振電極と駆動回路の基準電圧との間に負荷容量を接
続する。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き詳細に説明する。図９は本発明の第一実施例に使用す
る角速度センサ部の上面図である。図１０は本発明の第
一実施例に使用する各速度センサ部の正面断面図であ
る。図１１は本発明の第一実施例で回路図である。図
９、図１０の如くＸＹＺ三次元直交座標系を設定する。
振動体３１を含む平面の面上中心に原点３２を定め、同
平面上にＸ軸、同平面上でＸ軸に直交するＹ軸、Ｘ軸と
Ｙ軸に直交するＺ軸を設定する。振動体３１の上面に
は、円板状の圧電素子３３が、その面上中心がＺ軸を通
るように貼付されている。圧電素子３３の上面には４つ
の扇型をした励振電極を兼ねる検出電極３４（３４ａ〜
３４ｄ）と略十字型をした帰還電極３５がノード部３６
の付近から内側に設けられている。４つの励振電極を兼
ねる検出電極３４はＸ軸、Ｙ軸上に配置され、かつ、Ｘ
軸、Ｙ軸に対して線対称（原点３２に対して点対称）に
形成されている。略十字型をした帰還電極３５もＸ軸、
Ｙ軸に対して略対称に形成されている。圧電素子３３の
下面には原点３２を中心とし４つの励振電極を兼ねる検
出電極３４の外径よりやや大きい円形をした電極３７が
設けられている。

【００１７】振動体３１の下面には重錘体３８が貼付さ
れ、重錘体３８の中心軸はＺ軸と一致している。ここで
重錘体３８は、２つの円柱を中心軸を一致させて重ね合
わせた形状に形成されている。振動体３１と重錘体３８
との固定方法は溶接等でもかまわない。振動体３１と圧
電素子３３と重錘体３８とで角速度センサ部３０が構成
される。円筒状支持部材３９は、角速度センサ部３０の
ベンディング振動のノード部３６に接着固定されてい
る。

【００１８】振動体３１は恒弾性材料としてエリンバ材
を用い、圧電素子３３はＰＺＴを用いた。振動体３１と
圧電素子３３はエポキシ系の接着剤を用いて接着した。
圧電素子３３の平面上に蒸着によりＡｇ−Ｃｒ、あるい
はＮｉ−Ｃｒ等の合金の薄膜にて電極を形成した。電極
形成は、スパッタ、スクリーン印刷などの方法を用いて
もかまわない。重錘体３８と円筒状支持部材３９はエリ
ンバ材を用いた。材質は所定の機能を満たすものであれ
ば、これに限定されるものではない。

【００１９】電極３７と振動体３１は電気的に接続され
て接着されているので、振動体３１と４つの励振電極を
兼ねる検出電極３４に交流をかけると、圧電素子３３
は、径方向に伸縮することにより振動体３１と一緒にＺ
軸方向に振動する。円筒状支持部材３９で支持してお
り、４つの励振電極を兼ねる検出電極３４は円筒状支持
部材３９の内径付近から内側に設けてある。

【００２０】角速度センサに角速度が作用するとコリオ
リ力により重錘体３８が移動することで角速度センサ部
３０が変形し４つの励振電極を兼ねる検出電極３４に電
荷が発生する。４つの励振電極を兼ねる検出電極３４に
発生する電荷の量により角速度の方向と大きさが検出で
きる。

【００２１】図１１をもとに駆動回路の説明をする。な
お図示していない部分の回路構成および信号処理方法は
従来例と同じであるため、図示していない部分について
の説明は省略する。原点３２に対して対向している励振
電極を兼ねる検出電極３４ａ、３４ｃに抵抗１２ａ、１
２ｃの端子が接続され、抵抗１２ａ、１２ｃのもう一方
の端子は発振回路１３に接続されている。原点３２に対
して対向している励振電極を兼ねる検出電極３４ｂ、３
４ｄに抵抗１２ｂ、１２ｄの端子が接続され、抵抗１２
ｂ、１２ｄのもう一方の端子は発振回路１３に接続され
ている。帰還電極３５は発振回路１３に接続される。発
振回路１３と抵抗１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄとで
駆動回路が構成される。電極３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、
３４ｄにはそれぞれ負荷容量が接続され、負荷容量の一
方の端子は駆動回路の基準電圧に接続してある。

【００２２】図１２、図１３は負荷容量によるＺ軸方向
の共振周波数Ｆｚと重錘体の共振周波数Ｆｘ、Ｆｙの変
化を示す一例のグラフである。負荷容量を並列に付加し
たデータであり、ΔＦｚ≒１．２ΔＦｘの変化量であ
る。回路の負荷容量や角速度センサ部の構造で変化する
数値であるが、負荷容量を調整することによりＺ軸方向
の共振周波数Ｆｚと重錘体の共振周波数Ｆｘ、Ｆｙの微
調整が可能であることが判る。

【００２３】共振回路におけるＱ値はＱ≒１／（２πｆ
ＣＲ）で表され、Ｃ（容量値）を変化させることでＱ値
が変化する。ＱとＣが変化することによりｆ（共振周波
数）が変化することが判る。なお、Ｒは抵抗値を表す。
Ｃを適切に選択することで共振周波数Ｆｚ、Ｆｘ、Ｆｙ
を調整することができる。

【００２４】図１４は本発明に使用する角速度センサ部
の第二実施例で上面図である。図１５は本発明に使用す
る角速度センサ部の第二実施例で正面断面図である。図
１６は本発明の第二実施例で回路図である。角速度セン
サ部の第二実施例は、圧電素子を２枚用いたものであ
る。図１４、図１５の如くＸＹＺ三次元直交座標系を設
定する。振動体６１を含む平面の面上中心に原点６２を
定め、同平面上にＸ軸、同平面上でＸ軸に直交するＹ
軸、Ｘ軸とＹ軸に直交するＺ軸を設定する。振動体６１
の上面には、円板状の圧電素子６３が、その面上中心が
Ｚ軸を通るように貼付されている。圧電素子６３の上面
には４つの扇型をした励振電極を兼ねる検出電極６４
（６４ａ〜６４ｄ）がノード部６５の付近から内側に設
けられている。４つの励振電極を兼ねる検出電極６４は
Ｘ軸、Ｙ軸上に配置され、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に対して線
対称（原点６２に対して点対称）に形成されている。圧
電素子６３の下面には原点６２を中心とし４つの励振電
極を兼ねる検出電極６４の外形よりやや大きい円形をし
た電極６６が設けられている。

【００２５】振動体６１の下面には、円板状の圧電素子
６７が、その面上中心がＺ軸を通るように貼付されてい
る。圧電素子６７の下面には円形をした帰還電極６８が
設けられている。圧電素子６７の上面には円形をした電
極６９が設けられている。

【００２６】圧電素子６７の下面には重錘体７０が貼付
され、重錘体７０の中心軸はＺ軸と一致している。ここ
で重錘体７０は、２つの径の異なる円柱の中心軸を一致
させて重ね合わせた形状をしている。振動体６１と圧電
素子６３、６７と重錘体７０とで角速度センサ部６０が
構成される。円筒状支持部材７１は、角速度センサ部６
０のベンディング振動のノード部６５に接着固定されて
いる。

【００２７】振動体６１は恒弾性材料であるエリンバ材
を用い、圧電素子６３、６７はＰＺＴを用いた。振動体
６１と圧電素子６３、６７はエポキシ系の接着剤を用い
て接着した。圧電素子６３、６７の平面上に蒸着により
Ａｇ−Ｃｒ、あるいはＮｉ−Ｃｒ等の合金の薄膜にて電
極を形成した。電極形成は、スパッタ、スクリーン印刷
などの方法を用いてもかまわない。重錘体７０と円筒状
支持部材７１はエリンバ材を用いた。材質は所定の機能
を満たすものであれば、これに限定されるものではな
い。

【００２８】電極６６と振動体６１は電気的に接続され
て接着されているので、振動体６１と４つの励振電極を
兼ねる検出電極６４に交流をかけると、圧電素子６３
は、径方向に伸縮することにより振動体６１と一緒にＺ
軸方向に振動する。円筒状支持部材７１で支持してお
り、４つの励振電極を兼ねる検出電極６４は円筒状支持
部材７１の内径より内側に設けてある。

【００２９】角速度センサに角速度が作用するとコリオ
リ力により重錘体７０が移動することで角速度センサ部
６０が変形し検出電極に電荷が発生する。４つの励振電
極を兼ねる検出電極６４に発生する電荷の量により角速
度の方向と強さが検出できる。

【００３０】図１６をもとに駆動回路の説明をする。な
お図示していない部分の回路構成および信号処理方法は
従来例と同じであるため、図示していない部分について
の説明は省略する。原点６２に対して対向している励振
電極を兼ねる検出電極６４ａ、６４ｃに抵抗１２ａ、１
２ｃの端子が接続され、抵抗１２ａ、１２ｃの一方の端
子は発振回路１３に接続されている。原点６２に対して
対向している励振電極を兼ねる検出電極６４ｂ、６４ｄ
に抵抗１２ｂ、１２ｄの端子が接続され、抵抗１２ｂ、
１２ｄの一方の端子は発振回路１３に接続されている。
帰還電極６８は発振回路１３に接続されている。発振回
路１３と抵抗１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄとで駆動
回路が構成される。電極６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４
ｄにはそれぞれ負荷容量が接続され、負荷容量の一方の
端子は駆動回路の基準電圧に接続してある。

【００３１】第一実施例、第二実施例では負荷容量を用
いた例を示したが負荷容量とトリマブルコンデンサを用
いることも可能である。また、トリマブルコンデンサの
みを使用しても構わない。

【００３２】

【発明の効果】本発明は前記のような構成にすることで
次のような効果が生じる。１ 回路によりＺ軸方向の共
振周波数Ｆｚと重錘体の共振周波数Ｆｘ、Ｆｙの微調整
が出来るので、重錘体のトリミングによる各周波数調整
がラフに出来る。２ １の理由により調整時間が短縮で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】音片型圧電振動角速度センサを説明するための
構造図。

【図２】本発明に係る角速度センサの従来例を斜め上か
ら見た分解斜視図。

【図３】本発明に係る角速度センサを従来例を斜め下か
ら見た分解斜視図。

【図４】本発明に係る角速度センサの従来例のＺ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図５】本発明に係る角速度センサの従来例のＺ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図６】本発明に係る角速度センサの従来例のＸ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図７】本発明に係る角速度センサの従来例のＸ軸方向
の振動モードを示した断面図。

【図８】本発明に係る角速度センサの従来例で角速度セ
ンサの駆動、検出回路図。

【図９】本発明の第一実施例に使用する角速度センサ部
の上面図。

【図１０】本発明の第一実施例に使用する角速度センサ
部の正面断面図。

【図１１】本発明の第一実施例で回路図。

【図１２】本発明に係る角速度センサの負荷容量とＺ軸
方向の共振周波数Ｆｚのグラフ。

【図１３】本発明に係る角速度センサの負荷容量とＸ軸
方向の共振周波数Ｆｘのグラフ。

【図１４】本発明に使用する角速度センサ部の第二実施
例で上面図。

【図１５】本発明に使用する角速度センサ部の第二実施
例で正面断面図。

【図１６】本発明の第二実施例で回路図。

【符号の説明】

１ 振動体 ２ 圧電素子 ３ 圧電素子 ４ ノード部 ５ 励振電極を兼ねる検出電極 ５ａ 励振電極を兼ねる検出電極 ５ｂ 励振電極を兼ねる検出電極 ５ｃ 励振電極を兼ねる検出電極 ５ｄ 励振電極を兼ねる検出電極 ６ 電極 ７ 電極 ８ 帰還電極 ９ 重錘体 １０ 円筒状支持部材 １１ ワイヤー １２ａ 抵抗 １２ｂ 抵抗 １２ｃ 抵抗 １２ｄ 抵抗 １３ 発振回路 １４ａ インピーダンス変換回路 １４ｂ インピーダンス変換回路 １４ｃ インピーダンス変換回路 １４ｄ インピーダンス変換回路 １５ａｃ 差動増幅回路 １５ｂｄ 差動増幅回路 １６ａｃ 同期検波回路 １６ｂｄ 同期検波回路 １７ コンパレータ １８ａｃ 低域フィルタ回路 １８ｂｄ 低域フィルタ回路 １９ａｃ 直流増幅回路 １９ｂｄ 直流増幅回路 ２０ａｃ 出力端子 ２０ｂｄ 出力端子 ２１ 原点 ３０ 角速度センサ部 ３１ 振動体 ３２ 原点 ３３ 圧電素子 ３４ 励振電極を兼ねる検出電極 ３４ａ 励振電極を兼ねる検出電極 ３４ｂ 励振電極を兼ねる検出電極 ３４ｃ 励振電極を兼ねる検出電極 ３４ｄ 励振電極を兼ねる検出電極 ３５ 帰還電極 ３６ ノード部 ３７ 電極 ３８ 重錘体 ３９ 円筒状支持部材６０ 角速度セ
ンサ部 ６１ 振動体 ６２ 原点 ６３ 圧電素子 ６４ 励振電極を兼ねる検出電極 ６４ａ 励振電極を兼ねる検出電極 ６４ｂ 励振電極を兼ねる検出電極 ６４ｃ 励振電極を兼ねる検出電極 ６４ｄ 励振電極を兼ねる検出電極 ６５ ノード部 ６６ 電極 ６７ 圧電素子 ６８ 帰還電極 ６９ 電極 ７０ 重錘体 ７１ 円筒状支持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺尾 博明 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 市川 和豊 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 半田 正人 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内 (72)発明者 岡田 恵也 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番 地５ ミヨタ株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも、板状の振動体と、励振電極、
   検出電極及び帰還電極が形成され該振動体の片面または
   両面に貼付される圧電素子と、該圧電素子の貼付された
   振動体の振動ノード部を支持する支持部材とで構成され
   る角速度センサ部を駆動する発振回路を有する駆動回路
   で角速度センサの駆動モード及び又は検出モードの共振
   周波数を調整する角速度センサの調整方法において、前
   記励振電極と駆動回路の基準電圧との間に負荷容量を接
   続することを特徴とする角速度センサの調整方法。