JP2012088120A - 物理量センサー素子、物理量センサーおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】高感度化を図ることができる物理量センサー素子および物理量センサー、および、この物理量センサーを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の物理量センサー素子１は、支持基板３と、支持基板３上に互いに離間して設けられた第１固定電極４１および第２固定電極４２と、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向するとともに、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する可動電極２２と、支持基板３に対して固定的に設けられた固定部２１と、固定部２１に対して可動電極２２を回動可能に連結する連結部２３、２４とを有し、可動電極２２には、可動電極２２の回動に際し第１間隙および第２間隙のうちの少なくとも一方の間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路が形成されている。
【選択図】図２
【解決手段】本発明の物理量センサー素子１は、支持基板３と、支持基板３上に互いに離間して設けられた第１固定電極４１および第２固定電極４２と、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向するとともに、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する可動電極２２と、支持基板３に対して固定的に設けられた固定部２１と、固定部２１に対して可動電極２２を回動可能に連結する連結部２３、２４とを有し、可動電極２２には、可動電極２２の回動に際し第１間隙および第２間隙のうちの少なくとも一方の間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路が形成されている。
【選択図】図２
Description
本発明は、物理量センサー素子、物理量センサーおよび電子機器に関するものである。
物理量センサーとしては、固定配置された固定電極と、固定電極に対して間隔を隔てて対向するとともに変位可能に設けられた可動電極とを有し、固定電極と可動電極との間の静電容量に基づいて、加速度、角速度等の物理量を検出するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の物理量センサーは、１対の捻りバネにより回動可能に支持された板状の可動電極と、可動電極の一方の板面に対して間隔を隔てて対向する１対の固定電極とを有する。
例えば、特許文献１に記載の物理量センサーは、１対の捻りバネにより回動可能に支持された板状の可動電極と、可動電極の一方の板面に対して間隔を隔てて対向する１対の固定電極とを有する。
また、特許文献１に記載の物理量センサーでは、可動電極の質量が可動電極の回動中心軸に対して一方側と他方側とで異なっている。これにより、可動電極をその厚さ方向での加速度に応じて回動させることができる。そのため、可動電極の厚さ方向での加速度に応じて、可動電極と各固定電極との間の隙間の大きさが変化する。したがって、可動電極と各固定電極との間の静電容量に基づいて、可動電極の厚さ方向での加速度を検出することができる。
ところで、このような物理量センサーでは、可動電極と各固定電極との間の静電容量がこれらの電極間距離の２乗に反比例するため、検出感度を高めるためには、これらの電極間距離を小さくする必要がある。
しかし、特許文献１に係る物理量センサーでは、可動電極と各固定電極との間の距離を小さくすると、これらの電極間に存在する空気によるダンピング（流動抵抗）の影響で、可動電極の加速度に応じた所望の変位が得られず、検出感度が低下するという問題があった。
しかし、特許文献１に係る物理量センサーでは、可動電極と各固定電極との間の距離を小さくすると、これらの電極間に存在する空気によるダンピング（流動抵抗）の影響で、可動電極の加速度に応じた所望の変位が得られず、検出感度が低下するという問題があった。
本発明の目的は、高感度化を図ることができる物理量センサー素子および物理量センサー、および、この物理量センサーを備える電子機器を提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の物理量センサー素子は、基体と、
前記基体に設けられた固定電極と、
前記基体に対して間隙を介して配置された可動錘と、
前記固定電極に対向して前記可動錘に設けられた可動電極と、
前記基体に設けられた固定部と、
前記固定部に対して前記可動錘を第１軸回りに揺動可能に連結する連結部と、を有し、
前記可動錘は、平面視で前記第１軸によって第１部分と第２部分とに区分けされ、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方には貫通孔が設けられたことを特徴とする。
本発明の物理量センサー素子は、基体と、
前記基体に設けられた固定電極と、
前記基体に対して間隙を介して配置された可動錘と、
前記固定電極に対向して前記可動錘に設けられた可動電極と、
前記基体に設けられた固定部と、
前記固定部に対して前記可動錘を第１軸回りに揺動可能に連結する連結部と、を有し、
前記可動錘は、平面視で前記第１軸によって第１部分と第２部分とに区分けされ、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方には貫通孔が設けられたことを特徴とする。
このような本発明の物理量センサー素子によれば、可動電極と固定電極との間の距離を小さく設定しても、可動電極を物理量に応じた所望量で変位（回動）させることができる。そのため、本発明の物理量センサー素子は、高感度化を図ることができる。
また、いわゆる差動容量検出により、高精度に物理量を検出することができる。
また、いわゆる差動容量検出により、高精度に物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記固定電極は、前記第１部分に対向して設けられた第１固定電極と、前記第２部分に対向して設けられた第２固定電極と、を有することが好ましい。
これにより、可動電極と第１固定電極との間の静電容量と、可動電極と第２固定電極との間の静電容量との差に基づいて（差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
これにより、可動電極と第１固定電極との間の静電容量と、可動電極と第２固定電極との間の静電容量との差に基づいて（差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記可動電極は、前記第１部分に設けられた第１可動電極と、前記第２部分に設けられた第２可動電極と、を有することが好ましい。
これにより、第１可動電極と固定電極との間の静電容量と、第２可動電極と固定電極との間の静電容量との差に基づいて（差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
これにより、第１可動電極と固定電極との間の静電容量と、第２可動電極と固定電極との間の静電容量との差に基づいて（差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記貫通孔は、複数設けられ、
平面視でそれぞれ帯状をなし、互いに幅方向に並んで設けられていることが好ましい。
これにより、可動電極の電極として機能する部分の面積を比較的大きく確保しながら、各貫通孔の内部空間を大きくすることができる。そのため、物理量センサー素子の検出精度を向上させることができる。
平面視でそれぞれ帯状をなし、互いに幅方向に並んで設けられていることが好ましい。
これにより、可動電極の電極として機能する部分の面積を比較的大きく確保しながら、各貫通孔の内部空間を大きくすることができる。そのため、物理量センサー素子の検出精度を向上させることができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記貫通孔の各々は、平面視で前記第１軸に対して平行な方向に延びていることが好ましい。
これにより、可動電極の回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔を通じて効率的に逃すことができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記貫通孔の各々は、平面視で前記第１軸に対して垂直な方向に延びていることが好ましい。
これにより、可動電極の回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔を通じて効率的に逃すことができる。
これにより、可動電極の回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔を通じて効率的に逃すことができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記貫通孔の各々は、平面視で前記第１軸に対して垂直な方向に延びていることが好ましい。
これにより、可動電極の回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔を通じて効率的に逃すことができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記貫通孔は、前記第１部分の前記固定電極に対向する面積と、前記第２部分の前記固定電極に対向する面積とが互いに等しくなるように形成されていることが好ましい。
これにより、可動電極と第１固定電極との間の静電容量と、可動電極と第２固定電極との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、簡単かつ高精度に物理量を検出することができる。
これにより、可動電極と第１固定電極との間の静電容量と、可動電極と第２固定電極との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、簡単かつ高精度に物理量を検出することができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記可動錘は、前記第１部分の質量と前記第２部分の質量とが異なることが好ましい。
これにより、可動電極の板面に垂直な方向の加速度に応じて可動電極を効率的に回動させることができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記第１部分および前記第２部分のいずれか一方には、前記基体とは反対側の面に、凹部が設けられていることが好ましい。
これにより、可動電極の第１固定電極と対向する面積と、可動電極の第２固定電極と対向する面積とを等しくしつつ、可動電極の第１部分の質量と第２部分の質量とを異ならせることができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記可動錘は、前記第１軸に対して前記第１部分の外形と前記第２部分の外形とが互いに対称な形状をなしていることが好ましい。
これにより、可動電極の第１固定電極と対向する面積と、可動電極の第２固定電極と対向する面積とを大きくかつ等しくすることができる。
これにより、可動電極の板面に垂直な方向の加速度に応じて可動電極を効率的に回動させることができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記第１部分および前記第２部分のいずれか一方には、前記基体とは反対側の面に、凹部が設けられていることが好ましい。
これにより、可動電極の第１固定電極と対向する面積と、可動電極の第２固定電極と対向する面積とを等しくしつつ、可動電極の第１部分の質量と第２部分の質量とを異ならせることができる。
本発明の物理量センサー素子では、前記可動錘は、前記第１軸に対して前記第１部分の外形と前記第２部分の外形とが互いに対称な形状をなしていることが好ましい。
これにより、可動電極の第１固定電極と対向する面積と、可動電極の第２固定電極と対向する面積とを大きくかつ等しくすることができる。
本発明の物理量センサーは、本発明の物理量センサー素子を備えることを特徴とする。
このような本発明の物理量センサーによれば、感度に優れた物理量センサー素子を備えるので、信頼性に優れる。
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような本発明の電子機器によれば、感度に優れた物理量センサー素子を備えるので、信頼性に優れる。
このような本発明の物理量センサーによれば、感度に優れた物理量センサー素子を備えるので、信頼性に優れる。
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような本発明の電子機器によれば、感度に優れた物理量センサー素子を備えるので、信頼性に優れる。
以下、本発明の物理量センサー素子、物理量センサー素子の製造方法、物理量センサーおよび電子機器の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図１、２では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向（左右方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（上下方向）を「Ｚ軸方向」と言う。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図１、２では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向（左右方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（上下方向）を「Ｚ軸方向」と言う。
（物理量センサー素子）
図１に示す物理量センサー素子１は、支持基板３と、この支持基板３に接合・支持された素子片（基体）２と、素子片２に対して間隔を隔てて対向するように支持基板３上に設けられた第１固定電極４１および第２固定電極４２とを有する。
以下、物理量センサー素子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
図１に示す物理量センサー素子１は、支持基板３と、この支持基板３に接合・支持された素子片（基体）２と、素子片２に対して間隔を隔てて対向するように支持基板３上に設けられた第１固定電極４１および第２固定電極４２とを有する。
以下、物理量センサー素子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
（支持基板）
支持基板（基体）３は、素子片２、第１固定電極４１および第２固定電極４２を支持する機能を有する。
この支持基板３は、板状をなし、その上面（一方の面）には、凹部３１が設けられている。この凹部３１は、支持基板３を平面視したときに、後述する素子片２の可動電極２２および連結部２３、２４を包含するように形成されている。このような凹部３１は、素子片２の可動電極２２および連結部２３、２４が支持基板３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。これにより、素子片２の可動電極２２の変位（回動）を許容することができる。
この凹部３１の底面は、平坦面となっている。この凹部３１の底面上には、後に詳述する第１固定電極４１および第２固定電極４２が設けられている。
支持基板（基体）３は、素子片２、第１固定電極４１および第２固定電極４２を支持する機能を有する。
この支持基板３は、板状をなし、その上面（一方の面）には、凹部３１が設けられている。この凹部３１は、支持基板３を平面視したときに、後述する素子片２の可動電極２２および連結部２３、２４を包含するように形成されている。このような凹部３１は、素子片２の可動電極２２および連結部２３、２４が支持基板３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。これにより、素子片２の可動電極２２の変位（回動）を許容することができる。
この凹部３１の底面は、平坦面となっている。この凹部３１の底面上には、後に詳述する第１固定電極４１および第２固定電極４２が設けられている。
本実施形態では、凹部３１は、下側から上側に向けて幅が拡がる形状をなしている。すなわち、Ｚ軸方向からみたとき（平面視したとき）、凹部３１の開口面の外周縁が凹部３１の底面の外周縁よりも外側に位置し、開口面と底面との間に傾斜した側面が形成されている。これにより、可動電極２２の回動に際し、可動電極２２と支持基板３との間の気体を凹部３１の側面と可動電極２２との間の隙間を通じて円滑に逃すことができる。
また、凹部３１の平面視形状は、後述する素子片２の可動電極２２の外形と相似形状をなしている。本実施形態では、凹部３１の平面視形状は、四角形（具体的には長方形）をなしている。
また、凹部３１の平面視形状は、後述する素子片２の可動電極２２の外形と相似形状をなしている。本実施形態では、凹部３１の平面視形状は、四角形（具体的には長方形）をなしている。
なお、支持基板３と素子片２とをスペーサを介して間接的に接合した場合、前述した凹部３１を省略してもよい。また、この場合、支持基板３およびスペーサが基体を構成する。
このような支持基板３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン材料、ガラス材料、金属材料、樹脂材料等を用いることができるが、絶縁性を有するとともに比較的硬質な材料を用いるのが好ましく、具体的には、シリコン材料、ガラス材料を用いるのが好ましく、特に、素子片２がシリコン材料を主材料として構成されている場合、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、素子片２がシリコンを主材料として構成されている場合、支持基板３と素子片２とを陽極接合することができる。
このような支持基板３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、シリコン材料、ガラス材料、金属材料、樹脂材料等を用いることができるが、絶縁性を有するとともに比較的硬質な材料を用いるのが好ましく、具体的には、シリコン材料、ガラス材料を用いるのが好ましく、特に、素子片２がシリコン材料を主材料として構成されている場合、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）を用いるのが好ましい。これにより、素子片２がシリコンを主材料として構成されている場合、支持基板３と素子片２とを陽極接合することができる。
なお、支持基板３が導電性を有する材料で構成されている場合、支持基板３と第１固定電極４１および第２固定電極４２との間に二酸化珪素、樹脂材料等で構成された絶縁膜を設ければよい。
このような支持基板３は、１つの基板をエッチングすることより形成することができる。これにより、支持基板３の寸法精度を優れたものとすることができる。
このような支持基板３は、１つの基板をエッチングすることより形成することができる。これにより、支持基板３の寸法精度を優れたものとすることができる。
かかるエッチング方法としては、特に限定されないが、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、上述したようなエッチングに際しては、例えば、フォトリソグラフィー法により形成されたマスクを好適に用いることができる。
（第１固定電極、第２固定電極）
第１固定電極４１および第２固定電極４２は、固定電極を構成し、それぞれ、前述した支持基板３上に設けられている。より具体的には、第１固定電極４１は、前述した支持基板の凹部３１の底面の左側の部分上に設けられ、第２固定電極４２は、前述した支持基板３の凹部３１の底面の右側の部分上に設けられている。
第１固定電極４１および第２固定電極４２は、固定電極を構成し、それぞれ、前述した支持基板３上に設けられている。より具体的には、第１固定電極４１は、前述した支持基板の凹部３１の底面の左側の部分上に設けられ、第２固定電極４２は、前述した支持基板３の凹部３１の底面の右側の部分上に設けられている。
また、第１固定電極４１および第２固定電極４２は、互いに離間している。また、第１固定電極４１および第２固定電極４２は、支持基板３上において、互いに電気的に絶縁されている。
このような第１固定電極４１および第２固定電極４２は、それぞれ、後述する素子片２の可動電極２２に対して間隔を隔てて対向する。より具体的には、第１固定電極４１は、後述する素子片２の可動電極２２の左側の部分（第１部分）Ａ１に対して第１間隙Ｓ１を介して対向し、第２固定電極４２は、可動電極２２の右側の部分（第２部分）Ａ２に対して第２間隙Ｓ２を介して対向している。
このような第１固定電極４１および第２固定電極４２は、それぞれ、後述する素子片２の可動電極２２に対して間隔を隔てて対向する。より具体的には、第１固定電極４１は、後述する素子片２の可動電極２２の左側の部分（第１部分）Ａ１に対して第１間隙Ｓ１を介して対向し、第２固定電極４２は、可動電極２２の右側の部分（第２部分）Ａ２に対して第２間隙Ｓ２を介して対向している。
また、本実施形態では、第１固定電極４１および第２固定電極４２の平面視形状（Ｚ軸方向からみた形状）は、それぞれ、四角形をなしている。より具体的には、第１固定電極４１および第２固定電極４２の平面視形状は、それぞれ、Ｙ軸方向に長い長方形をなしている。
また、第１固定電極４１および第２固定電極４２は、互いに面積が等しくなっている。
また、第１固定電極４１および第２固定電極４２は、互いに面積が等しくなっている。
このような第１固定電極４１および第２固定電極４２の構成材料としては、導電性を有するものであれば、特に限定されず、各種電極材料を用いることができるが、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物（透明電極材料）、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
このような第１固定電極４１および第２固定電極４２の形成方法（成膜方法）としては、特に限定されないが、例えば、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、薄膜の接合等が挙げられる。
このような第１固定電極４１および第２固定電極４２の形成方法（成膜方法）としては、特に限定されないが、例えば、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、薄膜の接合等が挙げられる。
（素子片）
素子片２は、固定部２１、可動電極（可動錘）２２と、連結部２３、２４とで構成されている。
この固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４は、一体的に形成されている。
固定部２１は、前述した支持基板３の上面に接合されている。具体的には、固定部２１は、支持基板３の上面の凹部３１に対して外側の部分に接合されている。これにより、固定部２１は、支持基板３に対して固定的に設けられている。
素子片２は、固定部２１、可動電極（可動錘）２２と、連結部２３、２４とで構成されている。
この固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４は、一体的に形成されている。
固定部２１は、前述した支持基板３の上面に接合されている。具体的には、固定部２１は、支持基板３の上面の凹部３１に対して外側の部分に接合されている。これにより、固定部２１は、支持基板３に対して固定的に設けられている。
本実施形態では、固定部２１は、枠状（より具体的には四角環状）をなしている。
なお、固定部２１の位置および形状等は、可動電極２２や連結部２３、２４等の位置および形状等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。例えば、固定部２１は、連結部２３側の部分と、連結部２４側の部分との二分されていてもよい。
このような固定部２１の内側には、板状をなす可動電極２２が設けられている。本実施形態では、可動電極２２は、Ｘ軸方向に延びる長手形状（長方形）をなしている。なお、可動電極２２の形状は、素子片２を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
なお、固定部２１の位置および形状等は、可動電極２２や連結部２３、２４等の位置および形状等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。例えば、固定部２１は、連結部２３側の部分と、連結部２４側の部分との二分されていてもよい。
このような固定部２１の内側には、板状をなす可動電極２２が設けられている。本実施形態では、可動電極２２は、Ｘ軸方向に延びる長手形状（長方形）をなしている。なお、可動電極２２の形状は、素子片２を構成する各部の形状、大きさ等に応じて決められるものであり、上述したものに限定されない。
このような可動電極２２は、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して連結されている。より具体的には、可動電極２２の一方（＋Ｙ方向側）の長辺が連結部２３を介して固定部２１に連結されるとともに、可動電極２２の他方（−Ｙ方向側）の長辺が連結部２４を介して固定部２１に連結されている。
この連結部２３、２４は、可動電極２２を固定部２１に対して回動可能または揺動可能に連結している。本実施形態では、連結部２３、２４は、Ｙ軸方向に延びる軸線ａ（第１軸）まわりに可動電極２２を回動し得るように構成されている。
この連結部２３、２４は、可動電極２２を固定部２１に対して回動可能または揺動可能に連結している。本実施形態では、連結部２３、２４は、Ｙ軸方向に延びる軸線ａ（第１軸）まわりに可動電極２２を回動し得るように構成されている。
具体的に説明すると、連結部２３、２４は、それぞれ、Ｙ軸方向に延びる１つの梁で構成されている。また、連結部２３および連結部２４は、同一線上に沿って設けられている。このような各連結部２３、２４は、それぞれ、Ｙ軸方向に延びる軸線ａまわりに弾性的に捩れ変形し得る。なお、各連結部２３、２４は、可動電極２２を軸線ａまわりに回動可能とするものであれば、これに限定されず、例えば、２本の梁で構成されていてもよいし、折れ曲がった形状をなす梁で構成されていてもよい。
このように支持基板３に対して回動可能に支持された可動電極２２は、Ｚ軸方向からみたとき（すなわち可動電極２２の板面に垂直な方向からみたとき）、軸線ａ（可動電極２２の回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１と他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２とで構成されている。
そして、可動電極２２の第１部分Ａ１の下面Ａ１１は、前述した第１固定電極４１に対して第１間隙Ｓ１を介して対向する第１電極面（第１可動電極）を構成する。また、可動電極２２の第２部分Ａ２の下面Ａ２１は、前述した第２固定電極４２に対して第２間隙Ｓ２を介して対向する第２電極面（第２可動電極）を構成する。
そして、可動電極２２の第１部分Ａ１の下面Ａ１１は、前述した第１固定電極４１に対して第１間隙Ｓ１を介して対向する第１電極面（第１可動電極）を構成する。また、可動電極２２の第２部分Ａ２の下面Ａ２１は、前述した第２固定電極４２に対して第２間隙Ｓ２を介して対向する第２電極面（第２可動電極）を構成する。
特に、可動電極２２には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３が形成されている。具体的には、前述した第１部分Ａ１に複数の貫通孔２２２が形成され、第２部分Ａ２に複数の貫通孔２２３が形成されている。
複数の貫通孔２２２の内部空間は、それぞれ、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１に存在する気体（例えば空気）を下側から上側へ向けて流通させる流路となる。また、複数の貫通孔２２３の内部空間は、それぞれ、可動電極２２の回動に際し、第２間隙Ｓ２に存在する気体（例えば空気）を下側から上側へ向けて流通させる流路となる。
複数の貫通孔２２２の内部空間は、それぞれ、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１に存在する気体（例えば空気）を下側から上側へ向けて流通させる流路となる。また、複数の貫通孔２２３の内部空間は、それぞれ、可動電極２２の回動に際し、第２間隙Ｓ２に存在する気体（例えば空気）を下側から上側へ向けて流通させる流路となる。
このようにして、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１に存在する気体を複数の貫通孔２２２を通じて逃すとともに、第２間隙Ｓ２に存在する気体を複数の貫通孔２２３を通じて逃すことができる。そのため、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２に存在する気体の流動抵抗を低減することができる。
これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の距離および可動電極２２と第２固定電極４２との間の距離をそれぞれ小さく設定しても、可動電極２２を物理量に応じた所望量で変位（回動）させることができる。そのため、物理量センサー素子１は、高感度化を図ることができる。
これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の距離および可動電極２２と第２固定電極４２との間の距離をそれぞれ小さく設定しても、可動電極２２を物理量に応じた所望量で変位（回動）させることができる。そのため、物理量センサー素子１は、高感度化を図ることができる。
ここで、複数の貫通孔２２２の内部空間は、可動電極２２の回動に際し第１間隙Ｓ１に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。また、複数の貫通孔２２３の内部空間は、可動電極２２の回動に際し第２間隙Ｓ２に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。このような複数の流路により、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２にそれぞれ存在する気体の流動抵抗を効果的に低減することができる。また、このような各貫通孔２２２、２２３は、例えばエッチングにより簡単かつ高精度に形成することができる。
また、複数の貫通孔２２２は、可動電極２２の板面に垂直な方向（すなわちＹ軸方向）からみたときに、それぞれ帯状をなし、互いに幅方向に並んで設けられている。同様に、複数の貫通孔２２３は、可動電極２２の板面に垂直な方向（すなわちＹ軸方向）からみたときに、それぞれ帯状をなし、互いに幅方向に並んで設けられている。これにより、可動電極２２の電極として機能する部分の面積を比較的大きく確保しながら、各貫通孔２２２、２２３の内部空間を大きくすることができる。そのため、物理量センサー素子１の検出精度を向上させることができる。
本実施形態では、各貫通孔２２２は、可動電極２２の板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２の回動中心軸（軸線ａ）に対して平行な方向に延びている。同様に、各貫通孔２２３は、可動電極２２の板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２の回動中心軸（軸線ａ）に対して平行な方向に延びている。これにより、可動電極２２の回動に際して第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２にそれぞれ存在する気体を各貫通孔２２２、２２３を通じて効率的に逃すことができる。
また、各貫通孔２２２、２２３は、その幅（Ｘ軸方向での長さ）がＺ軸方向に亘って一定となっている。なお、各貫通孔２２２、２２３は、幅の異なる部分を有してもよい。
また、複数の貫通孔２２２の幅は互いに等しく、また、複数の貫通孔２２２のＹ軸方向での長さも互いに等しくなっている。同様に、複数の貫通孔２２３の幅は互いに等しく、また、複数の貫通孔２２３のＹ軸方向での長さも互いに等しくなっている。なお、複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３は、それぞれ、互いに幅や長さが異なるものを有していてもよい。
また、複数の貫通孔２２２の幅は互いに等しく、また、複数の貫通孔２２２のＹ軸方向での長さも互いに等しくなっている。同様に、複数の貫通孔２２３の幅は互いに等しく、また、複数の貫通孔２２３のＹ軸方向での長さも互いに等しくなっている。なお、複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３は、それぞれ、互いに幅や長さが異なるものを有していてもよい。
また、複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３は、Ｚ軸方向からみたときに、軸線ａを介して対称となるように形成されている。
また、複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３の内部空間（流路）は、第１部分Ａ１の第１固定電極４１と対向する面積と、第２部分Ａ２の第２固定電極４２と対向する面積とが互いに等しくなるように形成されている。本実施形態では、可動電極２２の下面Ａ１１および下面Ａ２１は、互いに面積が等しくなっている。具体的には、複数の貫通孔２２２の下側（すなわち第１固定電極４１側）の開口面積の合計面積と複数の貫通孔２２３の下側（すなわち第２固定電極４２側）の開口面積の合計面積とを等しくすることにより、第１部分Ａ１の実効的な電極の面積と、第２部分Ａ２の実効的な電極の面積とが互いに等しくなっている。これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の静電容量と、可動電極２２と第２固定電極４２との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、簡単かつ高精度に物理量を検出することができる。
また、複数の貫通孔２２２および複数の貫通孔２２３の内部空間（流路）は、第１部分Ａ１の第１固定電極４１と対向する面積と、第２部分Ａ２の第２固定電極４２と対向する面積とが互いに等しくなるように形成されている。本実施形態では、可動電極２２の下面Ａ１１および下面Ａ２１は、互いに面積が等しくなっている。具体的には、複数の貫通孔２２２の下側（すなわち第１固定電極４１側）の開口面積の合計面積と複数の貫通孔２２３の下側（すなわち第２固定電極４２側）の開口面積の合計面積とを等しくすることにより、第１部分Ａ１の実効的な電極の面積と、第２部分Ａ２の実効的な電極の面積とが互いに等しくなっている。これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の静電容量と、可動電極２２と第２固定電極４２との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、簡単かつ高精度に物理量を検出することができる。
ここで、Ｚ軸方向からみたときに、可動電極２２の第１部分Ａ１の外周縁は第１固定電極４１の外周縁よりも外側に位置し、可動電極２２の第２部分Ａ２の外周縁は第２固定電極４２の外周縁よりも外側に位置している。そのため、可動電極２２の第１固定電極４１と対向する面積は、第１固定電極４１の面積から複数の貫通孔２２２の下端の開口面積の合計面積を差し引いたものに略等しく、また、可動電極２２の第２固定電極４２と対向する面積は、第２固定電極４２の面積から複数の貫通孔２２３の下端の開口面積の合計面積を差し引いたものに略等しくなる。
また、可動電極２２は、第１部分Ａ１の質量と第２部分Ａ２の質量とが異なる。本実施形態では、第１部分Ａ１の質量が第２部分Ａ２の質量よりも大きい。これにより、可動電極２２の板面に垂直な方向（すなわちＺ軸方向）の加速度に応じて可動電極２２を効率的に回動させることができる。
具体的には、第２部分Ａ２の上面に凹部２２１が設けられている。一方、第１部分Ａ１の上面には、このような凹部は設けられていない。これにより、第２部分Ａ２は、第１部分Ａ１よりも薄肉化されている。
具体的には、第２部分Ａ２の上面に凹部２２１が設けられている。一方、第１部分Ａ１の上面には、このような凹部は設けられていない。これにより、第２部分Ａ２は、第１部分Ａ１よりも薄肉化されている。
このような凹部２２１を第２部分Ａ２に設けることにより、前述したように可動電極２２の第１部分Ａ１の質量と第２部分Ａ２の質量とを異ならせることができる。また、この凹部２２１は可動電極２２の上面（すなわち第１固定電極４１および第２固定電極４２とは反対側の面）に設けられているので、可動電極２２の第１固定電極４１と対向する面積（実効的な電極の面積）と、可動電極２２の第２固定電極４２と対向する面積（実効的な電極の面積）とを等しくすることができる。
ここで、Ｚ軸方向からみたときに、凹部２２１の外周縁の内側に複数の貫通孔２２３が位置している。言い換えると、凹部２２１は、Ｚ軸方向から見たときに、複数の貫通孔２２３を包含するように設けられている。これにより、第２部分Ａ２の質量を効果的に減ずることができる。
なお、このような凹部２２１は、第２部分Ａ２に形成せずに、第１部分Ａ１に形成してもよい。この場合、第１部分Ａ１の質量が第２部分Ａ２の質量よりも小さくなる。
なお、このような凹部２２１は、第２部分Ａ２に形成せずに、第１部分Ａ１に形成してもよい。この場合、第１部分Ａ１の質量が第２部分Ａ２の質量よりも小さくなる。
また、可動電極２２は、Ｚ軸方向から見たときに、その回動中心軸（軸線ａ）に対して第１部分Ａ１の外形と第２部分Ａ２の外形とが互いに対称な形状をなしている。これにより、可動電極２２の第１固定電極４１と対向する面積と、可動電極２２の第２固定電極４２と対向する面積とを大きくかつ等しくすることができる。
このような素子片２は、加速度、角速度等の物理量の変化に応じて、可動電極２２が、連結部２３、２４を弾性変形させながら、Ｙ軸に平行な軸線ａまわりに回動する。
このような素子片２は、加速度、角速度等の物理量の変化に応じて、可動電極２２が、連結部２３、２４を弾性変形させながら、Ｙ軸に平行な軸線ａまわりに回動する。
このような可動電極２２の回動に伴って、第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２のうちの一方の隙間が大きくなるとともに他方の隙間が小さくなる。すなわち、第１部分Ａ１と第１固定電極４１との間の距離Ｇ１、および、第２部分Ａ２と第２固定電極４２との間の距離Ｇ２のうちの一方の距離が大きくなるとともに他方の距離が小さくなる。そのため、可動電極２２が回動すると、可動電極２２の第１部分Ａ１と第１固定電極４１との間の静電容量、および、可動電極２２の第２部分Ａ２と第２固定電極４２との間の静電容量のうちの一方の静電容量が大きくなるとともに他方の静電容量が小さくなる。
したがって、上記一方の静電容量と上記他方の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出方式により）、加速度、角速度等の物理量を検出することができる。
このような素子片２（すなわち、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４）は、１つの基板をエッチングすることより形成されたものである。これにより、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４の寸法精度を優れたものとすることができる。
このような素子片２（すなわち、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４）は、１つの基板をエッチングすることより形成されたものである。これにより、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４の寸法精度を優れたものとすることができる。
かかるエッチング方法としては、特に限定されないが、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、上述したようなエッチングに際しては、例えば、フォトリソグラフィー法により形成されたマスクを好適に用いることができる。
また、素子片２の構成材料としては、前述したような静電容量の変化に基づく物理量の検出が可能であれば、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、ポリシリコン等のシリコン材料を用いるのが好ましい。
すなわち、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４は、それぞれ、シリコンを主材料として構成されているのが好ましい。
すなわち、固定部２１、可動電極２２および連結部２３、２４は、それぞれ、シリコンを主材料として構成されているのが好ましい。
シリコンはエッチングにより高精度に加工することができる。そのため、素子片２をシリコンを主材料として構成することにより、素子片２の寸法精度を優れたものとし、その結果、物理量センサー素子１の高感度化を図ることができる。また、シリコンは疲労が少ないため、物理量センサー素子１の耐久性を向上させることもできる。
また、素子片２を構成するシリコン材料には、リン、ボロン等の不純物がドープされているのが好ましい。これにより、素子片２の導電性を優れたものとすることができる。
また、素子片２を構成するシリコン材料には、リン、ボロン等の不純物がドープされているのが好ましい。これにより、素子片２の導電性を優れたものとすることができる。
また、素子片２は、前述したように、支持基板３の上面に固定部２１が接合されることにより、支持基板３に支持されている。
このような素子片２（具体的には、前述した固定部２１）と支持基板３との接合方法は、特に限定されず、接着剤による接合方法、陽極接合法、直接接合法等を用いることができるが、陽極接合法を用いるのが好ましい。これにより、固定部２１を支持基板３に強固に接合することができる。そのため、物理量センサー素子１の耐衝撃性を向上させることができる。また、固定部２１を支持基板３の所望の位置に高精度に接合することができる。そのため、物理量センサー素子１の高感度化を図ることができる。この場合、前述したようにシリコンを主材料として素子片２を構成し、かつ、アルカリ金属イオンを含むガラス材料で支持基板３を構成する。
このような素子片２（具体的には、前述した固定部２１）と支持基板３との接合方法は、特に限定されず、接着剤による接合方法、陽極接合法、直接接合法等を用いることができるが、陽極接合法を用いるのが好ましい。これにより、固定部２１を支持基板３に強固に接合することができる。そのため、物理量センサー素子１の耐衝撃性を向上させることができる。また、固定部２１を支持基板３の所望の位置に高精度に接合することができる。そのため、物理量センサー素子１の高感度化を図ることができる。この場合、前述したようにシリコンを主材料として素子片２を構成し、かつ、アルカリ金属イオンを含むガラス材料で支持基板３を構成する。
なお、シリコンを主材料として素子片２を構成し、かつ、シリコンを主材料として支持基板３を構成した場合、支持基板３と素子片２とを直接接合法により接合してもよい。
以上説明した第１実施形態に係る物理量センサー素子１によれば、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１に存在する気体を複数の貫通孔２２２を通じて逃すとともに、第２間隙Ｓ２に存在する気体を複数の貫通孔２２３を通じて逃すことができる。そのため、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２に存在する気体の流動抵抗を低減することができる。これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の距離および可動電極２２と第２固定電極４２との間の距離をそれぞれ小さく設定しても、可動電極２２を物理量に応じた所望量で変位（回動）させることができる。そのため、物理量センサー素子１は、高感度化を図ることができる。
また、可動電極２２と第１固定電極４１との間の静電容量と、可動電極２２と第２固定電極４２との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
以上説明した第１実施形態に係る物理量センサー素子１によれば、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１に存在する気体を複数の貫通孔２２２を通じて逃すとともに、第２間隙Ｓ２に存在する気体を複数の貫通孔２２３を通じて逃すことができる。そのため、可動電極２２の回動に際し、第１間隙Ｓ１および第２間隙Ｓ２に存在する気体の流動抵抗を低減することができる。これにより、可動電極２２と第１固定電極４１との間の距離および可動電極２２と第２固定電極４２との間の距離をそれぞれ小さく設定しても、可動電極２２を物理量に応じた所望量で変位（回動）させることができる。そのため、物理量センサー素子１は、高感度化を図ることができる。
また、可動電極２２と第１固定電極４１との間の静電容量と、可動電極２２と第２固定電極４２との間の静電容量との差に基づいて（いわゆる差動容量検出により）、高精度に物理量を検出することができる。
＜第２実施形態＞
次に、本発明の物理量センサー素子の第２実施形態について説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極に設けられた流路（貫通孔）の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー素子に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
次に、本発明の物理量センサー素子の第２実施形態について説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極に設けられた流路（貫通孔）の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー素子に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
本実施形態の物理量センサー素子１Ａは、支持基板３の上面に、素子片２Ａが接合されている。
素子片２Ａは、固定部２１、可動電極２２Ａと、連結部２３、２４とで構成されている。
可動電極２２Ａは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
素子片２Ａは、固定部２１、可動電極２２Ａと、連結部２３、２４とで構成されている。
可動電極２２Ａは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
この可動電極２２Ａは、Ｚ軸方向からみたとき、軸線ａ（可動電極２２Ａの回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１Ａと他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２Ａとで構成されている。
そして、可動電極２２Ａの第１部分Ａ１Ａの下面は、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向する第１電極面を構成する。また、可動電極２２Ａの第２部分Ａ２Ａの下面は、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する第２電極面を構成する。
そして、可動電極２２Ａには、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔２２２Ａおよび複数の貫通孔２２３Ａが形成されている。具体的には、前述した第１部分Ａ１Ａに複数の貫通孔２２２Ａが形成され、第２部分Ａ２Ａに複数の貫通孔２２３Ａが形成されている。
そして、可動電極２２Ａの第１部分Ａ１Ａの下面は、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向する第１電極面を構成する。また、可動電極２２Ａの第２部分Ａ２Ａの下面は、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する第２電極面を構成する。
そして、可動電極２２Ａには、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔２２２Ａおよび複数の貫通孔２２３Ａが形成されている。具体的には、前述した第１部分Ａ１Ａに複数の貫通孔２２２Ａが形成され、第２部分Ａ２Ａに複数の貫通孔２２３Ａが形成されている。
ここで、複数の貫通孔２２２Ａの内部空間は、可動電極２２Ａの回動に際し第１間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。また、複数の貫通孔２２３Ａの内部空間は、可動電極２２Ａの回動に際し第２間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。
特に、各貫通孔２２２Ａ、２２３Ａは、可動電極２２Ａの板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２Ａの回動中心軸（軸線ａ）に対して垂直な方向に延びている。これにより、可動電極２２Ａの回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔２２２Ａ、２２３Ａを通じて効率的に逃すことができる。
以上説明したような第２実施形態に係る物理量センサー素子１Ａによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
特に、各貫通孔２２２Ａ、２２３Ａは、可動電極２２Ａの板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２Ａの回動中心軸（軸線ａ）に対して垂直な方向に延びている。これにより、可動電極２２Ａの回動に際して第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体を各貫通孔２２２Ａ、２２３Ａを通じて効率的に逃すことができる。
以上説明したような第２実施形態に係る物理量センサー素子１Ａによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
＜第３実施形態＞
次に、本発明の物理量センサー素子の第３実施形態について説明する。
図４は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサー素子を示す断面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極の第２部分に設けられた流路（貫通孔）の構成が異なるとともに、第２部分の上面の凹部を省略した以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
次に、本発明の物理量センサー素子の第３実施形態について説明する。
図４は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサー素子を示す断面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極の第２部分に設けられた流路（貫通孔）の構成が異なるとともに、第２部分の上面の凹部を省略した以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
なお、以下の説明では、第３実施形態の物理量センサー素子に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図４では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
本実施形態の物理量センサー素子１Ｂは、支持基板３の上面に、素子片２Ｂが接合されている。
本実施形態の物理量センサー素子１Ｂは、支持基板３の上面に、素子片２Ｂが接合されている。
素子片２Ｂは、固定部２１、可動電極２２Ｂと、連結部２３、２４とで構成されている。
可動電極２２Ｂは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
この可動電極２２Ｂは、Ｚ軸方向からみたとき、軸線ａ（可動電極２２Ｂの回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１と他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２Ｂとで構成されている。
可動電極２２Ｂは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
この可動電極２２Ｂは、Ｚ軸方向からみたとき、軸線ａ（可動電極２２Ｂの回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１と他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２Ｂとで構成されている。
そして、可動電極２２Ｂの第１部分Ａ１の下面Ａ１１は、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向する第１電極面を構成する。また、可動電極２２Ｂの第２部分Ａ２Ｂの下面Ａ２１Ｂは、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する第２電極面を構成する。
そして、可動電極２２Ｂの第２部分Ａ２Ｂに複数の貫通孔２２３Ｂが形成されている。
そして、可動電極２２Ｂの第２部分Ａ２Ｂに複数の貫通孔２２３Ｂが形成されている。
ここで、複数の貫通孔２２３Ｂの内部空間は、可動電極２２Ｂの回動に際し第２間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。
各貫通孔２２３Ｂは、第１実施形態の各貫通孔２２３と同様、可動電極２２Ｂの板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２Ｂの回動中心軸（軸線ａ）に対して平行な方向に延びている。
各貫通孔２２３Ｂは、第１実施形態の各貫通孔２２３と同様、可動電極２２Ｂの板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２Ｂの回動中心軸（軸線ａ）に対して平行な方向に延びている。
特に、各貫通孔２２３Ｂは、図４に示すように、幅が下側から上側に向けて拡がっている。一方、各貫通孔２２２は、幅が一定である。そのため、前述した第１実施形態の凹部２２１のような凹部を第２部分Ａ２Ｂの上面に設けなくても、第２部分Ａ２Ｂの質量を第１部分Ａ１の質量よりも大きくすることができる。
以上説明したような第３実施形態に係る物理量センサー素子１Ｂによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
以上説明したような第３実施形態に係る物理量センサー素子１Ｂによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
＜第４実施形態＞
次に、本発明の物理量センサー素子の第４実施形態について説明する。
図５は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図、図６は、図５中のＡ−Ａ線断面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極に設けられた流路の構成、および、第１部分の質量と第２部分の質量とを異ならせるための凹部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
次に、本発明の物理量センサー素子の第４実施形態について説明する。
図５は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサー素子を示す平面図、図６は、図５中のＡ−Ａ線断面図である。
本実施形態にかかる物理量センサー素子は、可動電極に設けられた流路の構成、および、第１部分の質量と第２部分の質量とを異ならせるための凹部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる物理量センサー素子と同様である。
なお、以下の説明では、第３実施形態の物理量センサー素子に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図５、６
では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
本実施形態の物理量センサー素子１Ｃは、支持基板３の上面に、素子片２Ｃが接合されている。
では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
本実施形態の物理量センサー素子１Ｃは、支持基板３の上面に、素子片２Ｃが接合されている。
素子片２Ｃは、固定部２１、可動電極２２Ｃと、連結部２３、２４とで構成されている。
可動電極２２Ｃは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
この可動電極２２Ｃは、Ｚ軸方向からみたとき、軸線ａ（可動電極２２Ｃの回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１Ｃと他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２Ｃとで構成されている。
可動電極２２Ｃは、固定部２１に対して連結部２３、２４を介して軸線ａまわりに回動可能に支持されている。
この可動電極２２Ｃは、Ｚ軸方向からみたとき、軸線ａ（可動電極２２Ｃの回動中心軸）に対して一方側（−Ｘ方向側）に位置する第１部分Ａ１Ｃと他方側（＋Ｘ方向側）に位置する第２部分Ａ２Ｃとで構成されている。
そして、可動電極２２Ｃの第１部分Ａ１Ｃの下面Ａ１１Ｃは、第１固定電極４１に対して第１間隙を介して対向する第１電極面を構成する。また、可動電極２２Ｃの第２部分Ａ２Ｃの下面Ａ２１Ｃは、第２固定電極４２に対して第２間隙を介して対向する第２電極面を構成する。
そして、可動電極２２Ｃの第１部分Ａ１Ｃの下面Ａ１１Ｃには、複数の溝２２２Ｃが形成されている。また、可動電極２２Ｃの第２部分Ａ２Ｃの下面Ａ２１Ｃには、複数の溝２２３Ｃが形成されている。
そして、可動電極２２Ｃの第１部分Ａ１Ｃの下面Ａ１１Ｃには、複数の溝２２２Ｃが形成されている。また、可動電極２２Ｃの第２部分Ａ２Ｃの下面Ａ２１Ｃには、複数の溝２２３Ｃが形成されている。
各溝２２２Ｃ、２２３Ｃは、可動電極２２Ｃの板面に垂直な方向からみたときに、可動電極２２Ｃの回動中心軸（軸線ａ）に対して平行な方向に延びている。
そして、各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの両端は、可動電極２２Ｃの外周縁で開放されている。すなわち、各溝２２２Ｃ、２２３Ｃは、可動電極２２ＣのＹ軸方向での一端から他端までの全域に亘って形成されている。
そして、各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの両端は、可動電極２２Ｃの外周縁で開放されている。すなわち、各溝２２２Ｃ、２２３Ｃは、可動電極２２ＣのＹ軸方向での一端から他端までの全域に亘って形成されている。
ここで、複数の溝２２２Ｃの内部空間は、可動電極２２Ｃの回動に際し第１間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。また、複数の溝２２３Ｃの内部空間は、可動電極２２Ｃの回動に際し第２間隙に存在する気体の流動抵抗を低減する複数の流路を構成する。
このような各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの深さは、Ｙ軸方向に亘って一定であっても異なっていてもよい。各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの深さがＹ軸方向に亘って異なる場合、気体の流通を円滑に行うため、Ｙ軸方向での中央側から両端側へ深さが深くなるのが好ましい。
このような各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの深さは、Ｙ軸方向に亘って一定であっても異なっていてもよい。各溝２２２Ｃ、２２３Ｃの深さがＹ軸方向に亘って異なる場合、気体の流通を円滑に行うため、Ｙ軸方向での中央側から両端側へ深さが深くなるのが好ましい。
このような複数の流路によっても、可動電極２２Ｃの回動に際し第１間隙および第２間隙にそれぞれ存在する気体の流動抵抗を低減することができる。また、このような各溝２２２Ｃ、２２３Ｃは、例えばエッチングにより簡単かつ高精度に形成することができる。
また、可動電極２２Ｃの第２部分Ａ２Ｃの上面には、複数の凹部（溝）２２１Ｃが形成されている。このような複数の凹部２２１Ｃによっても、第２部分Ａ２Ｃの質量を減ずることができる。
また、可動電極２２Ｃの第２部分Ａ２Ｃの上面には、複数の凹部（溝）２２１Ｃが形成されている。このような複数の凹部２２１Ｃによっても、第２部分Ａ２Ｃの質量を減ずることができる。
本実施形態では、複数の凹部２２１Ｃは、それぞれＹ軸方向に延び、互いに平行となるように配置されている。
また、複数の凹部２２１Ｃの少なくとも１つの内部には、質量の小さい低質量材料２２４が充填されている。この低質量材料としては、素子片２の主たる部分を構成する材料よりも比重の小さい材料であれば特に限定されないが、例えば、樹脂材料、アルミニウムのような軽量な金属等が挙げられる。
また、複数の凹部２２１Ｃの少なくとも１つの内部には、質量の小さい低質量材料２２４が充填されている。この低質量材料としては、素子片２の主たる部分を構成する材料よりも比重の小さい材料であれば特に限定されないが、例えば、樹脂材料、アルミニウムのような軽量な金属等が挙げられる。
また、このような低質量材料２２４は、必要に応じて、例えばレーザーの照射により所望量だけ除去することにより、第２部分Ａ２Ｃの質量を調整することができる。これにより、物理量センサー素子１Ｃを所望の感度を調整することができる。
以上説明したような第４実施形態に係る物理量センサー素子１Ｃによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
以上説明したような第４実施形態に係る物理量センサー素子１Ｃによっても、前述した第１実施形態に係る物理量センサー素子１と同様、高感度化を図るとともに、耐衝撃性を優れたものとすることができる。
（物理量センサー）
次に、図７に基づいて、本発明の物理量センサーを説明する。
図７は、本発明の物理量センサーの一例を示す模式図である。
図７に示す物理量センサー２００は、前述した物理量センサー素子１と、物理量センサー素子１に電気的に接続された電子部品２０１とを有する。
次に、図７に基づいて、本発明の物理量センサーを説明する。
図７は、本発明の物理量センサーの一例を示す模式図である。
図７に示す物理量センサー２００は、前述した物理量センサー素子１と、物理量センサー素子１に電気的に接続された電子部品２０１とを有する。
電子部品２０１は、例えば集積回路素子（ＩＣ）であり、物理量センサー素子１を駆動する機能を有する。この電子部品２０１に角速度検出回路や加速度検出回路を形成することにより物理量センサー２００をジャイロセンサーや加速度センサーとして構成することができる。
なお、図７では、物理量センサー２００が１つの物理量センサー素子１を有する場合を図示しているが、物理量センサー２００が複数の物理量センサー素子１を有していてもよい。また、物理量センサー２００は、物理量センサー素子１と、物理量センサー素子１とは異なる構成の物理量センサー素子とを有していてもよい。
このような物理量センサー２００は、感度および耐衝撃性の優れた物理量センサー素子１を備えるので、優れた信頼性を有する。
なお、図７では、物理量センサー２００が１つの物理量センサー素子１を有する場合を図示しているが、物理量センサー２００が複数の物理量センサー素子１を有していてもよい。また、物理量センサー２００は、物理量センサー素子１と、物理量センサー素子１とは異なる構成の物理量センサー素子とを有していてもよい。
このような物理量センサー２００は、感度および耐衝撃性の優れた物理量センサー素子１を備えるので、優れた信頼性を有する。
（電子機器）
次に、本発明の電子機器を説明する。
図８は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
次に、本発明の電子機器を説明する。
図８は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
図９は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
図１０は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
このような電子機器は、高感および耐衝撃性に優れた物理量センサー素子１を備えるので、優れた信頼性を有する。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、物理量センサー２００が内蔵されている。
このような電子機器は、高感および耐衝撃性に優れた物理量センサー素子１を備えるので、優れた信頼性を有する。
なお、本発明の電子機器は、図８のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
以上、本発明の物理量センサー素子、物理量センサーおよび電子機器について図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
以上、本発明の物理量センサー素子、物理量センサーおよび電子機器について図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
１‥‥物理量センサー素子 １Ａ‥‥物理量センサー素子 １Ｂ‥‥物理量センサー素子 １Ｃ‥‥物理量センサー素子 ２‥‥素子片 ２Ａ‥‥素子片 ２Ｂ‥‥素子片 ２Ｃ‥‥素子片 ３‥‥支持基板 ２１‥‥固定部 ２２‥‥可動電極 ２２Ａ‥‥可動電極 ２２Ｂ‥‥可動電極 ２２Ｃ‥‥可動電極 ２３‥‥連結部 ２４‥‥連結部 ３１‥‥凹部 ４１‥‥第１固定電極 ４２‥‥第２固定電極 ２００‥‥物理量センサー ２０１‥‥電子部品 ２２１‥‥凹部 ２２１Ｃ‥‥凹部 ２２２‥‥貫通孔 ２２２Ａ‥‥貫通孔 ２２２Ｃ‥‥溝 ２２３‥‥貫通孔 ２２３Ａ‥‥貫通孔 ２２３Ｂ‥‥貫通孔 ２２３Ｃ‥‥溝 ２２４‥‥低質量材料 １１００‥‥パーソナルコンピュータ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケース １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥メモリ １３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ １４４０‥‥パーソナルコンピュータ ａ‥‥軸線（第１軸） Ａ１‥‥第１部分 Ａ１１‥‥下面 Ａ１１Ｃ‥‥下面 Ａ１Ａ‥‥第１部分 Ａ１Ｃ‥‥第１部分 Ａ２‥‥第２部分 Ａ２１‥‥下面 Ａ２１Ｂ‥‥下面 Ａ２１Ｃ‥‥下面 Ａ２Ａ‥‥第２部分 Ａ２Ｂ‥‥第２部分 Ａ２Ｃ‥‥第２部分 Ｇ１‥‥距離 Ｇ２‥‥距離 Ｓ１‥‥間隙 Ｓ２‥‥間隙
Claims (12)
- 基体と、
前記基体に設けられた固定電極と、
前記基体に対して間隙を介して配置された可動錘と、
前記固定電極に対向して前記可動錘に設けられた可動電極と、
前記基体に設けられた固定部と、
前記固定部に対して前記可動錘を第１軸回りに揺動可能に連結する連結部と、を有し、
前記可動錘は、平面視で前記第１軸によって第１部分と第２部分とに区分けされ、
前記第１部分および前記第２部分の少なくとも一方には貫通孔が設けられたことを特徴とする物理量センサー素子。 - 前記固定電極は、前記第１部分に対向して設けられた第１固定電極と、前記第２部分に対向して設けられた第２固定電極と、を有することを特徴とする請求項１に記載の物理量センサー素子。
- 前記可動電極は、前記第１部分に設けられた第１可動電極と、前記第２部分に設けられた第２可動電極と、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の物理量センサー素子。
- 前記貫通孔は、複数設けられ、
平面視でそれぞれ帯状をなし、互いに幅方向に並んで設けられている請求項１ないし３のいずれか一項に記載の物理量センサー素子。 - 前記貫通孔の各々は、平面視で前記第１軸に対して平行な方向に延びている請求項４に記載の物理量センサー素子。
- 前記貫通孔の各々は、平面視で前記第１軸に対して垂直な方向に延びている請求項４に記載の物理量センサー素子。
- 前記貫通孔は、前記第１部分の前記固定電極に対向する面積と、前記第２部分の前記固定電極に対向する面積とが互いに等しくなるように形成されている請求項１ないし６のいずれかに記載の物理量センサー素子。
- 前記可動錘は、前記第１部分の質量と前記第２部分の質量とが異なる請求項１ないし７のいずれかに記載の物理量センサー素子。
- 前記第１部分および前記第２部分のいずれか一方には、前記基体とは反対側の面に、凹部が設けられている請求項１ないし８のいずれか一項に記載の物理量センサー素子。
- 前記可動錘は、前記第１軸に対して前記第１部分の外形と前記第２部分の外形とが互いに対称な形状をなしている請求項１ないし９のいずれかに記載の物理量センサー素子。
- 請求項１ないし１０のいずれかに記載の物理量センサー素子を備えることを特徴とする物理量センサー。
- 請求項１１に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013140148A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Maxim Integrated Products Inc | Ｍｅｍｓ加速度センサ |
| JP2014149234A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Yamaha Corp | 静電容量型センサ |
| CN104407172A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-11 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种新型的加速度计的z轴结构 |
| JP2018531158A (ja) * | 2015-09-30 | 2018-10-25 | メムズ ドライブ, インク.Mems Drive, Inc. | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| EP3351942A4 (en) * | 2015-09-15 | 2019-03-20 | Hitachi, Ltd. | ACCELEROMETER |
| CN112747740A (zh) * | 2019-10-31 | 2021-05-04 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备及移动体 |
| KR102722274B1 (ko) | 2019-03-15 | 2024-10-25 | 엘지전자 주식회사 | Mems 가속도 센서 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06308152A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-11-04 | Ford Motor Co | センサー要素 |
| JPH08220134A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-08-30 | Ford Motor Co | 捩りビーム式加速度計の検出要素 |
| US5659195A (en) * | 1995-06-08 | 1997-08-19 | The Regents Of The University Of California | CMOS integrated microsensor with a precision measurement circuit |
| JP2008544243A (ja) * | 2005-06-17 | 2008-12-04 | ヴェーテーイー テクノロジーズ オサケユキチュア | 容量性加速度センサーを製造する方法、および、容量性加速度センサー |
| JP2009109494A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Rosemount Aerospace Inc | 気体の減衰が平衡な振り子式加速度計 |
| US7578190B2 (en) * | 2007-08-03 | 2009-08-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Symmetrical differential capacitive sensor and method of making same |
| JP2009537803A (ja) * | 2006-05-16 | 2009-10-29 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 加速度センサ |
| JP2009540280A (ja) * | 2006-06-09 | 2009-11-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロメカニカル加速度センサ |
| US20100122578A1 (en) * | 2008-11-17 | 2010-05-20 | Johannes Classen | Micromechanical component |
-
2010
- 2010-10-18 JP JP2010233827A patent/JP2012088120A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06308152A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-11-04 | Ford Motor Co | センサー要素 |
| JPH08220134A (ja) * | 1994-12-19 | 1996-08-30 | Ford Motor Co | 捩りビーム式加速度計の検出要素 |
| US5659195A (en) * | 1995-06-08 | 1997-08-19 | The Regents Of The University Of California | CMOS integrated microsensor with a precision measurement circuit |
| JP2008544243A (ja) * | 2005-06-17 | 2008-12-04 | ヴェーテーイー テクノロジーズ オサケユキチュア | 容量性加速度センサーを製造する方法、および、容量性加速度センサー |
| JP2009537803A (ja) * | 2006-05-16 | 2009-10-29 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 加速度センサ |
| JP2009540280A (ja) * | 2006-06-09 | 2009-11-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロメカニカル加速度センサ |
| US7578190B2 (en) * | 2007-08-03 | 2009-08-25 | Freescale Semiconductor, Inc. | Symmetrical differential capacitive sensor and method of making same |
| JP2009109494A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Rosemount Aerospace Inc | 気体の減衰が平衡な振り子式加速度計 |
| US20100122578A1 (en) * | 2008-11-17 | 2010-05-20 | Johannes Classen | Micromechanical component |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013140148A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Maxim Integrated Products Inc | Ｍｅｍｓ加速度センサ |
| JP2014149234A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Yamaha Corp | 静電容量型センサ |
| CN104407172A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-11 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种新型的加速度计的z轴结构 |
| US10739376B2 (en) | 2015-09-15 | 2020-08-11 | Hitachi, Ltd. | Acceleration sensor |
| EP3351942A4 (en) * | 2015-09-15 | 2019-03-20 | Hitachi, Ltd. | ACCELEROMETER |
| JP2023015129A (ja) * | 2015-09-30 | 2023-01-31 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP7166917B2 (ja) | 2015-09-30 | 2022-11-08 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP2023002750A (ja) * | 2015-09-30 | 2023-01-10 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP2018531158A (ja) * | 2015-09-30 | 2018-10-25 | メムズ ドライブ, インク.Mems Drive, Inc. | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP2023017817A (ja) * | 2015-09-30 | 2023-02-07 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| JP7519420B2 (ja) | 2015-09-30 | 2024-07-19 | メムズ ドライブ，インク． | Ｍｅｍｓデバイスの構造パラメータを操作する為のｍｅｍｓグリッド |
| KR102722274B1 (ko) | 2019-03-15 | 2024-10-25 | 엘지전자 주식회사 | Mems 가속도 센서 |
| CN112747740A (zh) * | 2019-10-31 | 2021-05-04 | 精工爱普生株式会社 | 物理量传感器、电子设备及移动体 |
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