JP2023036260A - センサ及び電子装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特性を向上できるセンサ及び電子装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、基体、第１支持部及び第１可動部を含む。第１支持部は、基体に固定される。第１可動部は、第１支持部に支持され基体から離れる。第１可動部は、第１可動基部、第２可動基部、接続基部、第１可動梁、第２可動梁、第１可動導電部及び第２可動導電部を含む。第１可動導電部は、第１延在導電部と、第１他延在導電部と、を含む。第２可動導電部は、第２延在導電部と、第２他延在導電部と、を含む。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。

例えば、ＭＥＭＳ構造を利用したセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。

特開平４－１１５１６５号公報

実施形態は、特性を向上できるセンサ及び電子装置を提供する。

実施形態によれば、センサは、基体、第１支持部及び第１可動部を含む。前記第１支持部は、前記基体に固定される。前記第１可動部は、前記第１支持部に支持され前記基体から離れる。前記第１可動部は、第１可動基部、第２可動基部、接続基部、第１可動梁、第２可動梁、第１可動導電部及び第２可動導電部を含む。前記第１可動基部は、前記第１支持部に支持される。前記第１可動基部から前記第２可動基部への第２方向は、前記基体から前記第１可動部への第１方向と交差する。前記接続基部は、前記第１可動基部と前記第２可動基部との間に設けられ、前記第２可動基部を前記第１可動基部と接続する。前記第１可動梁は、第１梁端部、第１梁他端部及び第１梁中間部を含む。前記第１梁端部は前記第１可動基部と接続される。前記第１梁他端部は前記第２可動基部と接続される。前記第１梁中間部は、前記第１梁端部と前記第１梁他端部との間にある。前記第２可動梁は、第２梁端部、第２梁他端部及び第２梁中間部を含む。前記第２梁端部は前記第１可動基部と接続される。前記第２梁他端部は前記第２可動基部と接続される。前記第２梁中間部は、前記第２梁端部と前記第２梁他端部との間にある。前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記接続基部は、前記第１梁中間部と前記第２梁中間部との間にある。前記第１可動導電部は、前記第１梁中間部と接続される。前記第１梁中間部は、前記第３方向において前記第１可動導電部と前記接続基部との間にある。前記第１可動導電部は、前記第１梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第１交差導電部と、前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１延在導電部と、前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１他延在導電部と、を含む。前記第１他延在導電部は、前記第３方向において前記第１延在導電部と前記第１梁中間部との間にある。前記第２可動導電部は、前記第２梁中間部と接続される。前記第２梁中間部は、前記第３方向において前記接続基部と前記第２可動導電部との間にある。前記第２可動導電部は、前記第２梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第２交差導電部と、前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２延在導電部と、前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２他延在導電部と、を含む。前記第２他延在導電部は、前記第３方向において前記第２梁中間部と前記第２延在導電部との間にある。

図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図７は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図９は、第４実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。 図１０（ａ）～図１０（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。 図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第５実施形態に係るセンサを例示する模式図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）及び図３は、平面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、図２（ａ）の一部を拡大して例示している。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＸ１－Ｘ２線断面図である。

図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、基体５０Ｓ、第１支持部５０Ａ及び第１可動部１０を含む。例えば、第１支持部５０Ａ及び第１可動部１０は、第１検出素子１０Ｕに含まれて良い。第１検出素子１０Ｕは、基体５０Ｓを含んでも良い。

第１支持部５０Ａは、基体５０Ｓに固定される。第１支持部５０Ａは、基体５０Ｓの第１面５０Ｓｆに設けられる。第１可動部１０は、第１支持部５０Ａに支持される。第１可動部１０は、基体５０Ｓから離れる。

基体５０Ｓから第１可動部１０への第１方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。

第１可動部１０は、第１可動基部１０Ａ、第２可動基部１０Ｂ、接続基部１０Ｐ、第１可動梁１１、第２可動梁１２、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を含む。第１可動基部１０Ａは、第１支持部５０Ａに支持される。第１可動基部１０Ａから第２可動基部１０Ｂへの第２方向は、基体５０Ｓから第１可動部１０への第１方向（Ｚ軸方向）と交差する。第２方向は、例えば、Ｘ軸方向である。

接続基部１０Ｐは、第１可動基部１０Ａと第２可動基部１０Ｂとの間に設けられる。接続基部１０Ｐは、第２可動基部１０Ｂを第１可動基部１０Ａと接続する。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１可動梁１１は、第１梁端部１１ｅ、第１梁他端部１１ｆ及び第１梁中間部１１ｃを含む。第１梁端部１１ｅは第１可動基部１０Ａと接続される。第１梁他端部１１ｆは第２可動基部１０Ｂと接続される。第１梁中間部１１ｃは、第１梁端部１１ｅと第１梁他端部１１ｆとの間にある。第１可動梁１１は、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。

第２可動梁１２は、第２梁端部１２ｅ、第２梁他端部１２ｆ及び第２梁中間部１２ｃを含む。第２梁端部１２ｅは第１可動基部１０Ａと接続される。第２梁他端部１２ｆは第２可動基部１０Ｂと接続される。第２梁中間部１２ｃは、第２梁端部１２ｅと第２梁他端部１２ｆとの間にある。第２可動梁１２は、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。第１方向及び第２方向を含む平面と交差する第３方向において、接続基部１０Ｐは、第１梁中間部１１ｃと第２梁中間部１２ｃとの間にある。第３方向は、例えばＹ軸方向である。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１可動導電部２１は、第１梁中間部１１ｃと接続される。第１梁中間部１１ｃは、第３方向（Ｙ軸方向）において、第１可動導電部２１と接続基部１０Ｐとの間にある。

第１可動導電部２１は、第１交差導電部２１ｙ、第１延在導電部２１ａ、及び、第１他延在導電部２１ｂを含む。第１交差導電部２１ｙは、第１梁中間部１１ｃと接続され、第３方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる。第１延在導電部２１ａは、第１交差導電部２１ｙと接続され、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。例えば、第１延在導電部２１ａの中央部が、第１交差導電部２１ｙと接続される。

第１他延在導電部２１ｂは、第１交差導電部２１ｙと接続され、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。例えば、第１他延在導電部２１ｂの中央部が、第１交差導電部２１ｙと接続される。第１他延在導電部２１ｂは、第３方向（Ｙ軸方向）において、第１延在導電部２１ａと第１梁中間部１１ｃとの間にある。

図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第２可動導電部２２は、第２梁中間部１２ｃと接続される。第２梁中間部１２ｃは、第３方向（Ｙ軸方向）において、接続基部１０Ｐと第２可動導電部２２との間にある。

第２可動導電部２２は、第２交差導電部２２ｙ、第２延在導電部２２ａ、及び、第２他延在導電部２２ｂを含む。第２交差導電部２２ｙは、第２梁中間部１２ｃと接続され、第３方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる。第２延在導電部２２ａは、第２交差導電部２２ｙと接続され、第２方向（Ｚ軸方向）に沿って延びる。例えば、第２延在導電部２２ａの中央部が、第２交差導電部２２ｙと接続される。

第２他延在導電部２２ｂは、第２交差導電部２１ｙと接続され、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。例えば、第２他延在導電部２２ｂの中央部が、第２交差導電部２２ｙと接続される。第２他延在導電部２２ｂは、第３方向（Ｙ軸方向）において、第２梁中間部１２ｃと第２延在導電部２２ａとの間にある。

例えば、センサ１１０に加速度が加わると、第１可動梁１１に圧縮応力及び引張応力の一方が生じる。一方、第２可動梁１２に圧縮応力及び引張応力の他方が生じる。これにより、第１可動梁１１の共振周波数と、第２可動梁１２の共振周波数と、の間に差が生じる。例えば、共振周波数の差（及びその変化）を検出することで、加速度を検出できる。

図３に示すように、例えば、センサ１１０は、第１対向導電部５１及び第２対向導電部５２を含む。第１対向導電部５１は、第１可動導電部２１の少なくとも一部と、第３方向（例えばＹ軸方向）において、対向する。第２対向導電部５２は、第２可動導電部２２の少なくとも一部と、第３方向（例えばＹ軸方向）において、対向する。例えば、第１対向導電部５１と第１可動導電部２１との間の距離の変化（変位）に伴って静電容量が変化する。この静電容量の変化を検出することで、第１可動導電部２１（及び第１可動梁１１）の振動状態が検出できる。例えば、第２対向導電部５２と第２可動導電部２２との間の距離の変化（変位）に伴って静電容量が変化する。この静電容量の変化を検出することで、第２可動導電部２２（及び第２可動梁１２）の振動状態が検出できる。

実施形態においては、第１可動導電部２１は、第１延在導電部２１ａ及び第１他延在導電部２１ｂを含む。第１延在導電部２１ａ及び第１他延在導電部２１ｂが、第１対向導電部５１と対向する。これにより、第１可動導電部２１が１つの延在導電部を含む場合に比べて、第１可動導電部２１と第１対向導電部５１とが対向する領域の面積が増加する。これにより、変位に対する静電容量の変化を大きくできる。実施形態によれば、高い感度が得られる。特性を向上できるセンサを提供できる。

同様に、第２延在導電部２２ａ及び第２他延在導電部２２ｂが、第２対向導電部５２と対向する。これにより、第２可動導電部２２が１つの延在導電部を含む場合に比べて、第２可動導電部２２と第２対向導電部５２とが対向する領域の面積が増加する。これにより、変位に対する静電容量の変化を大きくできる。実施形態によれば、高い感度が得られる。特性を向上できるセンサを提供できる。

図３に示すように、センサ１１０は、第１対向電極６１及び第２対向電極６２を含んでも良い。第１対向電極６１は、第１可動導電部２１の少なくとも一部と、第３方向（例えばＹ軸方向）において、対向する。第２対向電極６２は、第２可動導電部２２の少なくとも一部と、第３方向（例えばＹ軸方向）において、対応する。

例えば、第１対向電極６１に電気信号（例えば交流信号）が供給される。これにより、第１可動導電部２１が変位し、第１可動梁１１が振動する。第２対向電極６２に電気信号（例えば交流信号）が供給される。これにより、第２可動導電部２２が変位し、第２可動梁１２が振動する。可動梁に応力が加わらない場合、これらの可動梁は、設計された共振周波数で振動可能である。

対向電極に供給される交流信号に基づいて、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を介して、第１可動梁１１及び第２可動梁１２が振動する。上記のように、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を介して、第１可動梁１１及び第２可動梁１２の振動状態が検出できる。振動状態から、第１可動梁１１及び第２可動梁１２における共振周波数の差（または変化）に対応する値が得られる。

図２に示すように、第１可動部１０は、可動部材１０Ｘをさらに含んでも良い。第２方向（Ｘ軸方向）において、第１可動基部１０Ａと可動部材１０Ｘとの間に第２可動基部１０Ｂが設けられる。可動部材１０Ｘの第３方向（Ｙ軸方向）に沿う長さＬ１０Ｘは、第２可動基部１０Ｂの第３方向に沿う長さＬ１０Ｂよりも長い。可動部材１０Ｘの質量は、第２可動基部１０Ｂの質量よりも大きい。

このような構成において、加速度が第１可動部１０に加わった場合、可動部材１０Ｘが大きく変位する。これに伴い、第２可動基部１０Ｂが大きく変位する。例えば、第２可動基部１０Ｂは、接続基部１０Ｐを中心にして、Ｚ軸方向を軸とした周方向に変位する。これにより、第１可動梁１１及び第２可動梁１２に、より大きな応力が印加できる。

図１（ｂ）に示すように、１つの例において、第１他延在導電部２１ｂの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２１ｂは、第１延在導電部２１ａの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２１ａよりも長い。第２他延在導電部２２ｂの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２２ｂは、第２延在導電部２２ａの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２２ａよりも長い。

このように、第１梁中間部１１ｃから遠い延在導電部の長さは、第１梁中間部１１ｃに近い延在導電部の長さよりも短い。第２梁中間部１２ｃから遠い延在導電部の長さは、第２梁中間部１２ｃに近い延在導電部の長さよりも短い。延在導電部の上記のような長さにより、例えば、延在導電部と対向導電部との間の距離を、より適切に制御しやすい。例えば、延在導電部が対向導電部などと接触することがより効果的に抑制できる。

例えば、第１他延在導電部２１ｂの第２方向に沿う長さＬ２１ｂは、第１延在導電部２１ａの第２方向に沿う長さＬ２１ａの１．２倍以上である。第２他延在導電部２２ｂの第２方向に沿う長さＬ２２ｂは、第２延在導電部２２ａの第２方向に沿う長さＬ２２ａの１．２倍以上である。

図３に示すように、第１対向導電部５１の少なくとも一部は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１他延在導電部２１ｂと第１延在導電部２１ａとの間にある。第２対向導電部５２の少なくとも一部は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第２他延在導電部２２ｂと第２延在導電部２２ａとの間にある。第１対向導電部５１と第１可動導電部２１とが対向する領域の面積を大きくできる。第２対向導電部５２と第２可動導電部２２とが対向する領域の面積を大きくできる。

図１（ｂ）に示すように、第１他延在導電部２１ｂの第３方向（Ｙ軸方向）に沿う長さを長さＷ２１ｂとする。第１他延在導電部２１ｂの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２１ｂは、長さＷ２１ｂよりも長い。第２他延在導電部２２ｂの第３方向に沿う長さを長さＷ２２ｂとする。第２他延在導電部２２ｂの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２２ｂは、長さＷ２２ｂよりも長い。

第１交差導電部２１ｙの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さを長さＬ２１ｙとする。第１延在導電部２１ａの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２１ａは、長さＬ２１ｙよりも長い。第２交差導電部２２ｙの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さを長さＬ２２ｙとする。第２延在導電部２２ａの第２方向（Ｘ軸方向）に沿う長さＬ２２ａは、長さＬ２２ｙよりも長い。

図１（ｂ）に示すように、第１可動基部１０Ａの第３方向（Ｙ軸方向）に沿う長さＬ１０Ａは、接続基部１０Ｐの第３方向に沿う長さＬ１０Ｐよりも長い。第２可動基部１０Ｂの第３方向に沿う長さＬ１０Ｂは、接続基部１０Ｐの第３方向に沿う長さＬ１０Ｐよりも長い。小さい接続基部１０Ｐにより、例えば、第２可動基部１０Ｂが、より変位しやすい。より高い感度が得やすい。

図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、第１可動部１０の周りに構造体５９が設けられても良い。

図２（ｂ）に示すように、基体５０Ｓの上に第１支持部５０Ａが設けられる。第１支持部５０Ａにより第１可動基部１０Ａが支持される。第１可動基部１０Ａの上に電極１０Ｅが設けられる。

図３に示すように、センサ１１０は、第１構造体６５及び第２構造体６６を含んでも良い。この例では、別の第１構造体６５Ａ、及び、別の第２構造体６６Ａが設けられている。これらの構造体は、基体５０Ｓ（図１（ｂ）参照）に固定される。図３に示すように、第１構造体６５（及び別の第１構造体６５Ａ）の少なくとも一部は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１可動導電部２１の少なくとも一部と対向する。第２構造体６６（及び別の第２構造体６６Ａ）の少なくとも一部は、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第２可動導電部２２の少なくとも一部と対向する。これらの構造体は、例えば、ストッパとして機能して良い。これらの構造体により、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２が過度に大きく変位することが抑制できる。例えば、第１可動部１０の損傷が抑制できる。

図４（ａ）～図４（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図４（ａ）は、図３のＡ１－Ａ２線断面図である。図４（ｂ）は、図３のＢ１－Ｂ２線断面図である。図４（ｃ）は、図３のＣ１－Ｃ２線断面図である。

図４（ａ）～図４（ｃ）に示すように、基体５０Ｓと第１可動部１０との間に、間隙１０Ｚが設けられる。

図４（ｃ）に示すように、基体５０Ｓに設けられた支持部５１Ｓの上に第１対向導電部５１が設けられる。第１対向導電部５１の上に電極５１Ｅが設けられる。基体５０Ｓに設けられた支持部５２Ｓの上に第２対向導電部５２が設けられる。第２対向導電部５２の上に電極５２Ｅが設けられる。例えば、電極５１Ｅと電極１０Ｅ（図２（ｂ）参照）との間の電気的特性（例えば静電容量の変化など）が検出される。例えば、電極５２Ｅと電極１０Ｅとの間の電気的特性（例えば静電容量の変化など）が検出される。

図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図５に示すように、センサ１１０は、制御部７０を含んでも良い。制御部７０は、第１可動部１０、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１対向電極６１及び第２対向電極６２と電気的に接続される。制御部７０は、例えば、第１可動部１０と対向電極との間に交流信号（例えば駆動信号）を印加する。制御部７０は、例えば、第１可動部１０と対向導電部との間の電気的特性を検出する。

図５に示すように、センサ１１０は、第１対向電極６１及び別の第１対向電極６１Ａを含んでも良い。センサ１１０は、第２対向電極６２及び別の第１対向電極６２Ａを含んでも良い。

図１（ｂ）、図３、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、センサ１１０において、第１可動導電部２１は、１または複数の第１孔２１ｈを含んでも良い。第１交差導電部２１ｙ、第１延在導電部２１ａ、及び、第１他延在導電部２１ｂの少なくともいずれかは、１または複数の第１孔２１ｈを含んでも良い。第２可動導電部２２は、１または複数の第２孔２２ｈを含んでも良い。第２交差導電部２２ｙ、第２延在導電部２２ａ、及び、第２他延在導電部２２ｂの少なくともいずれかは、１または複数の第２孔２１ｈを含んでも良い。孔により、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２の質量が調整されて良い。

図３に示すように、第１可動基部１０Ａ及び第２可動基部１０Ｂは、孔１０ｈを含んでも良い。図４（ａ）及び図４（ｂ）においては、第１可動基部１０Ａ及び第２可動基部１０Ｂの孔１０ｈが省略されている。可動部材１０Ｘが孔１０ｈを含んでも良い。

図１（ｂ）に示すように、第１可動導電部２１は、第１中間延在導電部２１ｃをさらに含んでも良い。第１中間延在導電部２１ｃは、第１交差導電部２１ｙと接続され、第２方向（例えばＸ軸方向）に沿って延びる。第１中間延在導電部２１ｃは、第３方向（例えばＹ軸方向）において第１延在導電部２１ａと第１他延在導電部２１ｂとの間にある。第１中間延在導電部２１ｃの第２方向に沿う長さは、第１延在導電部２１ａの第２方向に沿う長さＬ２１ａと、第１他延在導電部２１ｂの第２方向に沿う長さＬ２１ｂと、の間である。例えば、第１中間延在導電部２１ｃの中央部が、第１交差導電部２１ｙと接続される。

図１（ｂ）に示すように、第２可動導電部２２は、第２中間延在導電部２２ｃをさらに含んでも良い。第２中間延在導電部２２ｃは、第２交差導電部２２ｙと接続され、第２方向（例えばＸ軸方向）に沿って延びる。第２中間延在導電部２２ｃは、第３方向（例えばＹ軸方向）において第２他延在導電部２２ｂと第２延在導電部２２ａとの間にある。第２中間延在導電部２２ｃの第２方向に沿う長さは、第２他延在導電部２２ｂの第２方向に沿う長さＬ２２ｂと、第２延在導電部２２ａの第２方向に沿う長さＬ２２ａと、の間である。例えば、第２中間延在導電部２２ｃの中央部が、第２交差導電部２２ｙと接続される。

図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図６に示すように、実施形態に係るセンサ１１１は、第１可動部１０を含む。第１可動部１０は、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を含む。センサ１１１においては、第２可動導電部２２の構成が第１可動導電部２１の構成と異なる。センサ１１１におけるこれ以外の構成は、センサ１１０の構成と同様で良い。例えば、第１可動導電部２１は、第１可動梁１１と接続されている。第２可動導電部２２は、第２可動梁１２と接続されている。

この例では、センサ１１１において、第１可動導電部２１は、複数の第１孔２１ｈを含む。第２可動導電部２２は、複数の第２孔２２ｈを含む。複数の第２孔２２ｈの数は、複数の第１孔２１ｈの数と異なる。例えば、第２可動導電部２２の質量は、第１可動導電部２１の質量とは異なる。例えば、第２可動導電部２２は、第１可動導電部２１に対して非対称である。

これにより、これらの可動導電部の質量が同じ場合に比べて、第１可動梁１１及び第２可動梁１２における共振周波数の差を大きくできる。共振周波数の差が大きいことで、加速度の検出範囲（ダイナミックレンジ）が拡大できる。例えば、高い精度を維持しつつ、広いダイナミックレンジが得られる。特性を向上できるセンサが提供できる。

実施形態係る１つの例において、第１可動導電部２１は、第１孔２１ｈを含み、第２可動導電部２２は、孔２２ｈを含まなくても良い。

別の例において、第１可動導電部２１は第１孔２１ｈを含み、第２可動導電部２２は第２孔２２ｈを含む。第２方向及び第３方向を含む平面（Ｘ－Ｙ平面）における第２孔２２ｈの面積は、上記の平面（Ｘ－Ｙ平面）における第１孔２１ｈの面積と異なっても良い。

例えば、第１可動導電部２１は、複数の第１孔２１ｈを含み、第２可動導電部２２は、複数の第２孔２２ｈを含む。第２方向及び第３方向を含む平面（Ｘ－Ｙ平面）における複数の第２孔２２ｈの面積の和は、上記の平面（Ｘ－Ｙ平面）における複数の第１孔２１ｈの面積の和と異なっても良い。

上記のように、孔の違いにより質量の違いが得られる。例えば、第２可動導電部２２のＸ－Ｙ平面における外形は、第１可動導電部２１のＸ－Ｙ平面における外形と実質的に同じである。これにより、これらの可動導電部２１における温度特性が実質的に同じになる。外形が実質的に同じで、孔に違いが設けられることで、温度特性への悪影響を抑制しつつ、質量の違いが得られる。例えば、周波数の温度係数を実質的に一定としつつ、広いダイナミックレンジが得られる。

（第２実施形態）
図７は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図７に示すように、実施形態に係るセンサ１１２は、第１可動部１０を含む。第１可動部１０は、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を含む。センサ１１２においては、第２可動導電部２２の構成が第１可動導電部２１の構成と異なる。センサ１１２におけるこれ以外の構成は、センサ１１０の構成と同様で良い。

例えば、センサ１１２は、基体５０Ｓ及び第１支持部５０Ａを含む（図２（ｂ）などを参照）。センサ１１２も、第１可動部１０は、第１可動基部１０Ａ、第２可動基部１０Ｂ、接続基部１０Ｐ、第１可動梁１１、第２可動梁１２、第１可動導電部２１及び第２可動導電部２２を含む。センサ１１２における、第１可動基部１０Ａ、第２可動基部１０Ｂ、接続基部１０Ｐ、第１可動梁１１及び第２可動梁１２の構成は、センサ１１０におけるそれらの構成と同様で良い。

センサ１１２において、第１可動梁１１の第１梁中間部１１ｃは、第３方向（Ｙ軸方向）において、接続基部１０Ｐと第１可動導電部２１との間にある。第１可動導電部２１は、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる第１延在導電部２１ａを含む。第１延在導電部２１ａは、例えば、第３方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる第１交差導電部２１ｙにより、第１梁中間部１１ｃと接続される。

センサ１１２において、第２可動梁１２の第２梁中間部１２ｃは、第３方向（Ｙ軸方向）において、接続基部１０Ｐと第２可動導電部２２との間にある。第２可動導電部２２は、第２方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる第２延在導電部２２ａを含む。第２延在導電部２２ａは、例えば、第３方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる第２交差導電部２２ｙにより、第２梁中間部１２ｃと接続される。

センサ１１２において、例えば、第２可動導電部２２の質量は、第１可動導電部２１の質量とは異なる。

例えば、第１可動導電部２１は、１または複数の第１孔２１ｈを含む。第２可動導電部２２は、１または複数の第２孔２２ｈを含む。第２方向及び第３方向を含む平面（Ｘ－Ｙ平面）における、上記の１または複数の第２孔２２ｈの面積の和は、上記の平面における、上記の１または複数の第１孔２１ｈの面積の和と異なる。

これにより、これらの可動導電部の質量が同じ場合に比べて、第１可動梁１１及び第２可動梁１２における共振周波数の差を大きくできる。共振周波数の差が大きいことで、加速度の検出範囲（ダイナミックレンジ）が拡大できる。例えば、高い精度を維持しつつ、広いダイナミックレンジが得られる。特性を向上できるセンサが提供できる。

例えば、第１可動導電部２１は、複数の前記第１孔２１ｈを含む。第２可動導電部２２は、複数の第２孔２２ｈを含む。複数の第２孔２２ｈの数は、複数の第１孔２１ｈの数と異なる。

センサ１１２において、例えば、第２可動導電部２２のＸ－Ｙ平面における外形は、第１可動導電部２１のＸ－Ｙ平面における外形と実質的に同じで良い。これにより、これらの可動導電部２１における温度特性が実質的に同じになる。外形が実質的に同じで、孔に違いが設けられることで、温度特性への悪影響を抑制しつつ、質量の違いが得られる。例えば、周波数の温度係数を実質的に一定としつつ、広いダイナミックレンジが得られる。

実施形態は、例えば、ＤＲＡ（Differential Resonant Accelerometer）に適用できる。センサにおいて、ダイナミックレンジの拡大が望まれる。一般に、センサにおいて、例えば、高精度と、広ダイナミックレンジと、の両立は、困難である。

実施形態の１つの例では、複数の延在導電部が設けられる。これにより、「Tree型電極」が形成される。複数の延在導電部が複数の可動梁（２つの共振梁）に接続される。これにより、高い容量感度が得られる。例えば、ＰＬＬ回路の位相ノイズの低減が容易である。例えば、高精度化(例えば低ドリフト化)が容易になる。

例えば、第２可動導電部２２の質量は、第１可動導電部２１の質量と異なる。非対称の質量により、例えば、２つの共振梁における周波数の差を大きくできる。これにより、広いダイナミックレンジが得られる。例えば、周波数の差の、スケールファクタに対する比を高くできる。この際、例えば、２つの可動導電部の間で、アンカリング位置及び形状を同様にすることが好ましい。これにより、２つの共振梁において、共振周波数の温度係数は、実質的に同じ状態が維持される。例えば、差動の処理より、高い温度安定性が得られる。

（第３実施形態）
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図８（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ１２０は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した第１検出素子１０Ｕに加えて、第２検出素子１０Ｖを含む。第２検出素子１０Ｖは、例えば、第２支持部５０Ｂ及び第２可動部１０Ｓを含む。第２支持部５０Ｂは、基体５０Ｓに固定される。第２可動部１０Ｓは、第２支持部５０Ｂに支持され、基体５０Ｓから離れている。センサ１２０は、第２可動部１０Ｓの動きに応じた信号により、センサ１２０の角度を検出可能である。例えば、第２可動部１０Ｓの少なくとも一部が、振動される。角度の変化に応じて変化する振動状態を検出することで、角度が検出できる。例えば、フーコーの振り子の原理に基づく角度の検出が行われる。第２可動部１０Ｓは、例えば、角度直接検出型ジャイロ（ＲＩＧ：Rate Integrating Gyroscope）である。センサ１２０は、例えば、慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）である。

センサ１２０において、基体５０Ｓ、第１支持部５０Ａ及び第１可動部１０などの構成は、第１実施形態または第２実施形態に関して説明した構成が適用できる。

図８（ａ）に示すように、センサ１２０において、蓋部１０Ｒが設けられても良い。蓋部１０Ｒは、基体５０Ｓと接続される。基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとの間に、第１支持部５０Ａ、第１可動部１０、第２支持部５０Ｂ及び第２可動部１０Ｓが設けられる。例えば、基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとにより囲まれた空間ＳＰは、１気圧未満である。空間ＳＰが減圧されることで、より高精度の検出が実施できる。空間ＳＰは、例えば、０．１Ｐａ以下である。

図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、第１可動部１０から得られる電気信号、及び、第２可動部１０Ｓから得られる電気信号が、処理回路７５に供給されても良い。例えば、配線７８ａにより、第１可動部１０と処理回路７５とが電気的に接続される。配線７８ｂにより、第２可動部１０Ｓと処理回路７５とが電気的に接続される。処理回路７５は、例えば、ＰＬＬ回路である。処理回路７５は、例えば、制御部７０に含まれる。処理回路７５により、第１可動部１０から得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、加速度が検出できる。処理回路７５により、第２可動部１０Ｓから得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、角度が検出できる。角速度が検出されても良い。小型のセンサが得られる。

図８（ｂ）に示すように、実施形態に係るセンサにおいて、第１検出素子１０Ｕ及び第２検出素子１０Ｖは、容器１０Ｔと蓋部１０Ｒとの間に設けられても良い。容器１０Ｔは、例えば、セラミックパッケージである。容器１０Ｔと蓋部１０Ｒとの間の空間ＳＰは、１気圧未満である。基体５０Ｓは、固定部材１９などにより容器１０Ｔに固定される。固定部材１９は、例えば、ダイボンド剤である。蓋部１０Ｒは、例えば、セラミック及びガラスの少なくともいずれかを含んで良い。

（第４実施形態）
第４実施形態は、電子装置に係る。
図９は、第４実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図９に示すように、実施形態に係る電子装置３１０は、第１～第３実施形態に係るセンサと、回路処理部１７０と、を含む。図９の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。回路処理部１７０は、センサから得られる信号Ｓ１に基づいて回路１８０を制御可能である。回路１８０は、例えば駆動装置１８５の制御回路などである。実施形態によれば、例えば、駆動装置１８５を制御するための回路１８０などを高精度で制御できる。

図１０（ａ）～図１０（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
図１０（ａ）に示すように、電子装置３１０は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図１０（ｂ）に示すように、電子装置３１０は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図１０（ｃ）に示すように、電子装置３１０は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図１０（ｄ）に示すように、電子装置３１０は、ドローン（無人航空機）の少なくとも一部でも良い。図１０（ｅ）に示すように、電子装置３１０は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図１０（ｆ）に示すように、電子装置３１０は、船舶の少なくとも一部でも良い。図１０（ｇ）に示すように、電子装置３１０は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図１０（ｈ）に示すように、電子装置３１０は、自動車の少なくとも一部でも良い。電子装置３１０は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。

（第５実施形態）
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第５実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１１（ａ）に示すように、実施形態に係るセンサ４３０は、第１～第３実施形態のいずれか１つに係るセンサと、送受信部４２０と、を含む。図１１（ａ）の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。送受信部４２０は、センサ１１０から得られる信号を、例えば、無線及び有線の少なくともいずれかの方法により送信可能である。センサ４３０は、例えば、道路４００などのスロープ面４１０などに設けられる。センサ４３０は、例えば、施設（例えばインフラストラクチャ）などの状態をモニタリングできる。センサ４３０は、例えば状態モニタリング装置で良い。

例えば、センサ４３０により、道路４００のスロープ面４１０の状態の変化が高精度で検出される。スロープ面４１０の状態の変化は、例えば、傾斜角度の変化、及び、振動状態の変化の少なくともいずれかを含む。センサ１１０から得られた信号（検査結果）が、送受信部４２０により伝達される。施設（例えばインフラストラクチャ）の状態を、例えば、連続的に、監視できる。

図１１（ｂ）に示すように、センサ４３０は、例えば、橋梁４６０の一部に設けられる。橋梁４６０は、河川４７０の上に設けられる。例えば、橋梁４６０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかを含む。センサ４３０は、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかに設けられる。例えば、劣化などに起因して、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかの角度が変化する場合がある。例えば、主桁４５０及び橋脚４４０の少なくともいずれかにおいて、振動状態が変化する場合がある。センサ４３０により、これらの変化が高精度で検出される。検出結果が、送受信部４２０により、任意の場所に伝達できる。異常を効果的に検知することができる。

実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んでも良い。

（構成１）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部と、
を備え、
前記第１可動部は、
前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
第２可動基部であって、前記第１可動基部から前記第２可動基部への第２方向は、前記基体から前記第１可動部への第１方向と交差した前記第２可動基部と、
前記第１可動基部と前記第２可動基部との間に設けられ、前記第２可動基部を前記第１可動基部と接続する接続基部と、
第１可動梁であって、前記第１可動梁は、第１梁端部、第１梁他端部及び第１梁中間部を含み、前記第１梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第１梁中間部は、前記第１梁端部と前記第１梁他端部との間にある、前記第１可動梁と、
第２可動梁であって、前記第２可動梁は、第２梁端部、第２梁他端部及び第２梁中間部を含み、前記第２梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁中間部は、前記第２梁端部と前記第２梁他端部との間にあり、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記接続基部は、前記第１梁中間部と前記第２梁中間部との間にある、前記第２可動梁と、
前記第１梁中間部と接続された第１可動導電部であって、前記第１梁中間部は、前記第３方向において前記第１可動導電部と前記接続基部との間にあり、前記第１可動導電部は、
前記第１梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第１交差導電部と、
前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１延在導電部と、
前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１他延在導電部であって、前記第１他延在導電部は、前記第３方向において前記第１延在導電部と前記第１梁中間部との間にある、前記第１他延導電部と、
を含む、前記第１可動導電部と、
前記第２梁中間部と接続された第２可動導電部であって、前記第２梁中間部は、前記第３方向において前記接続基部と前記第２可動導電部との間にあり、前記第２可動導電部は、
前記第２梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第２交差導電部と、
前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２延在導電部と、
前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２他延在導電部であって、前記第２他延在導電部は、前記第３方向において前記第２梁中間部と前記第２延在導電部との間にある、前記第２他延在導電部と、
を含む、前記第２可動導電部と、
を備えた、センサ。

（構成２）
前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長く、
前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成１に記載のセンサ。

（構成３）
前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さの１．２倍以上であり、
前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さの１．２倍以上である、構成２に記載のセンサ。

（構成４）
前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第１他延在導電部の前記第３方向に沿う長さよりも長く、
前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第２他延在導電部の前記第３方向に沿う長さよりも長い、構成２または３に記載のセンサ。

（構成５）
前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第１交差導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長く、
前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さは、前記第２交差導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成２～４のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成６）
前記第１可動導電部は、第１中間延在導電部をさらに含み、
前記第１中間延在導電部は、前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延び、
前記第１中間延在導電部は、前記第３方向において前記第１延在導電部と前記第１他延在導電部との間にあり、
前記第１中間延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、の間であり、
前記第２可動導電部は、第２中間延在導電部をさらに含み、
前記第２中間延在導電部は、前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延び、
前記第２中間延在導電部は、前記第３方向において前記第２他延在導電部と前記第２延在導電部との間にあり、
前記第２中間延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、の間である、構成２～５のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成７）
前記第２可動導電部の質量は、前記第１可動導電部の質量とは異なる、構成１～６のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成８）
前記第１可動導電部は、第１孔を含み、
前記第２可動導電部は、孔を含まない、または、前記第２可動導電部は第２孔を含み、
前記第２方向及び前記第３方向を含む平面における前記第２孔の面積は、前記平面における前記第１孔の面積と異なる、構成１～７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成９）
前記第１可動導電部は、複数の第１孔を含み、
前記第２可動導電部は、複数の第２孔を含み、
前記第２方向及び前記第３方向を含む平面における前記複数の第２孔の面積の和は、前記平面における前記複数の第１孔の面積の和と異なる、構成１～７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１０）
前記第１可動導電部は、複数の第１孔を含み、
前記第２可動導電部は、複数の第２孔を含み、
前記複数の第２孔の数は、前記複数の第１孔の数と異なる、構成１～７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１１）
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部と、
を備え、
前記第１可動部は、
前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
第２可動基部であって、前記第１可動基部から前記第１可動基部への第２方向は、前記基体から前記第１可動部への第１方向と交差した前記第２可動基部と、
前記第１可動基部と前記第２可動基部との間に設けられ、前記第２可動基部を前記第１可動基部と接続する接続基部と、
第１可動梁であって、前記第１可動梁は、第１梁端部、第１梁他端部及び第１梁中間部を含み、前記第１梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第１梁中間部は、前記第１梁端部と前記第１梁他端部との間にある、前記第１可動梁と、
第２可動梁であって、前記第２可動梁は、第２梁端部、第２梁他端部及び第２梁中間部を含み、前記第２梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁中間部は、前記第２梁端部と前記第２梁他端部との間にあり、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記接続基部は、前記第１梁中間部と前記第２梁中間部との間にある、前記第２可動梁と、
前記第１梁中間部と接続された第１可動導電部であって、前記第１梁中間部は、前記第３方向において前記第１可動導電部と前記接続基部との間にあり、前記第１可動導電部は、前記第２方向に沿って延びる第１延在導電部を含む、前記第１可動導電部と、
前記第２梁中間部と接続された第２可動導電部であって、前記第２梁中間部は、前記第３方向において前記接続基部と前記第２可動導電部との間にあり、前記第２可動導電部は、前記第２方向に沿って延びる第２延在導電部を含む、前記第２可動導電部と、
を備え、
前記第１可動導電部は、１または複数の第１孔を含み、
前記第２可動導電部は、１または複数の第２孔を含み、
前記第２方向及び前記第３方向を含む平面における前記１または複数の第２孔の面積の和は、前記平面における前記１または複数の第１孔の面積の和と異なる、センサ。

（構成１２）
前記第１可動導電部は、複数の前記第１孔を含み、
前記第２可動導電部は、複数の前記第２孔を含み、
前記複数の第２孔の数は、前記複数の第１孔の数と異なる、構成１１に記載のセンサ。

（構成１３）
前記第２可動導電部の質量は、前記第１可動導電部の質量とは異なる、構成１１または１２に記載のセンサ。

（構成１４）
前記第１可動導電部の少なくとも一部と対向する第１対向導電部と、
前記第２可動導電部の少なくとも一部と対応する第２対向導電部と、
をさらに備えた、構成１～１３のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１５）
前記第１対向導電部の少なくとも一部は、前記第３方向において前記第１他延在導電部と前記第１延在導電部との間にあり、
前記第２対向導電部の少なくとも一部は、前記第３方向において前記第２他延在導電部と前記第２延在導電部との間にある、構成１４に記載のセンサ。

（構成１６）
前記第１可動導電部の少なくとも一部と対向する第１対向電極と、
前記第２可動導電部の少なくとも一部と対応する第２対向電極と、
をさらに備えた、構成１～１３のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１７）
前記基体に固定された第１構造体及び第２構造体をさらに備え、
前記第１構造体の少なくとも一部は、前記第３方向において前記第１可動導電部の少なくとも一部と対向し、
前記第２構造体の少なくとも一部は、前記第３方向において前記第２可動導電部の少なくとも一部と対向する、構成１～１３のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１８）
前記第１可動基部の前記第３方向に沿う長さは、前記接続基部の前記第３方向に沿う長さよりも長く、
前記第２可動基部の前記第３方向に沿う長さは、前記接続基部の前記第３方向に沿う前記長さよりも長い、構成１～１７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１９）
前記第１可動部は、可動部材をさらに含み、
前記第２方向において前記第１可動基部と前記可動部材との間に前記第２可動基部が設けられ、
前記可動部材の前記第３方向に沿う長さは、前記第２可動基部の前記第３方向に沿う長さよりも長い、構成１～１７のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成２０）
構成１～１９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路処理部と、
を備えた電子装置。

実施形態によれば、特性を向上できるセンサ及び電子装置が提供できる。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、支持部、可動部、対向導電部、対向電極及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述したセンサ及び電子装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサ及び電子装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０…第１可動部、 １０Ａ、１０Ｂ…第１、第２可動基部、 １０Ｅ…電極、 １０Ｐ…接続基部、 １０Ｒ…蓋部、 １０Ｓ…第２可動部、 １０Ｔ…容器、 １０Ｕ…第１検出素子、 １０Ｖ…第２検出素子、 １０Ｘ…可動部材、 １０Ｚ…間隙、 １０ｈ…孔、 １１、１２…第１、第２可動梁、 １１ｃ、１２ｃ…第１、第２梁中間部、 １１ｅ、１２ｅ…第１、第２梁端部、 １１ｆ、１２ｆ…第１、第２梁他端部、 １９…固定部材、 ２１、２２…第１、第２可動導電部、 ２１ａ、２２ａ…第１、第２延在導電部、 ２１ｂ、２２ｂ…第１、第２他延在導電部、 ２１ｃ、２２ｃ…第１、第２中間延在導電部、 ２１ｈ、２２ｈ…第１、第２孔、 ２１ｙ、２２ｙ…第１、第２交差導電部、 ５０Ａ、５０Ｂ…第１、第２支持部、 ５０Ｓ…基体、 ５０Ｓｆ…第１面、 ５１、５２…第１、第２対向導電部、 ５１Ｅ、５２Ｅ…電極、 ５１Ｓ、５２Ｓ…支持部、 ５９…構造体、 ６１、６１Ａ…第１対向電極、 ６２、６２Ａ…第２対向電極、 ６５、６５Ａ…第１構造体、 ６６、６６Ａ…第２構造体、 ７０…制御部、 ７５…処理回路、 ７８ａ、７８ｂ…配線、 １１０～１１２、１２０…センサ、 １７０…回路処理部、 １８０…回路、 １８５…駆動装置、 ３１０…電子装置、 ４１０…スロープ面、 ４２０…送受信部、 ４３０…センサ、 ４４０…橋脚、 ４５０…主桁、 ４６０…橋梁、 ４７０…河川、 Ｌ１０Ａ、Ｌ１０Ｂ、Ｌ１０Ｐ、Ｌ１０Ｘ…長さ、 Ｌ２１ａ、Ｌ２１ｂ、Ｌ２１ｙ、Ｌ２２ａ、Ｌ２２ｂ、Ｌ２２ｙ…長さ、 Ｓ１…信号、 ＳＰ…空間、 Ｗ２１ｂ、Ｗ２２ｂ…長さ

Claims (10)

1. 基体と、
   前記基体に固定された第１支持部と、
   前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部と、
   を備え、
   前記第１可動部は、
   前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
   第２可動基部であって、前記第１可動基部から前記第２可動基部への第２方向は、前記基体から前記第１可動部への第１方向と交差した前記第２可動基部と、
   前記第１可動基部と前記第２可動基部との間に設けられ、前記第２可動基部を前記第１可動基部と接続する接続基部と、
   第１可動梁であって、前記第１可動梁は、第１梁端部、第１梁他端部及び第１梁中間部を含み、前記第１梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第１梁中間部は、前記第１梁端部と前記第１梁他端部との間にある、前記第１可動梁と、
   第２可動梁であって、前記第２可動梁は、第２梁端部、第２梁他端部及び第２梁中間部を含み、前記第２梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁中間部は、前記第２梁端部と前記第２梁他端部との間にあり、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記接続基部は、前記第１梁中間部と前記第２梁中間部との間にある、前記第２可動梁と、
   前記第１梁中間部と接続された第１可動導電部であって、前記第１梁中間部は、前記第３方向において前記第１可動導電部と前記接続基部との間にあり、前記第１可動導電部は、
   前記第１梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第１交差導電部と、
   前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１延在導電部と、
   前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第１他延在導電部であって、前記第１他延在導電部は、前記第３方向において前記第１延在導電部と前記第１梁中間部との間にある、前記第１他延導電部と、
   を含む、前記第１可動導電部と、
   前記第２梁中間部と接続された第２可動導電部であって、前記第２梁中間部は、前記第３方向において前記接続基部と前記第２可動導電部との間にあり、前記第２可動導電部は、
   前記第２梁中間部と接続され前記第３方向に沿って延びる第２交差導電部と、
   前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２延在導電部と、
   前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延びる第２他延在導電部であって、前記第２他延在導電部は、前記第３方向において前記第２梁中間部と前記第２延在導電部との間にある、前記第２他延在導電部と、
   を含む、前記第２可動導電部と、
   を備えた、センサ。
2. 前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長く、
   前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う長さよりも長い、請求項１に記載のセンサ。
3. 前記第１可動導電部は、第１中間延在導電部をさらに含み、
   前記第１中間延在導電部は、前記第１交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延び、
   前記第１中間延在導電部は、前記第３方向において前記第１延在導電部と前記第１他延在導電部との間にあり、
   前記第１中間延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第１延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、前記第１他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、の間であり、
   前記第２可動導電部は、第２中間延在導電部をさらに含み、
   前記第２中間延在導電部は、前記第２交差導電部と接続され前記第２方向に沿って延び、
   前記第２中間延在導電部は、前記第３方向において前記第２他延在導電部と前記第２延在導電部との間にあり、
   前記第２中間延在導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第２他延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、前記第２延在導電部の前記第２方向に沿う前記長さと、の間である、請求項２に記載のセンサ。
4. 前記第２可動導電部の質量は、前記第１可動導電部の質量とは異なる、請求項１～３のいずれか１つに記載のセンサ。
5. 前記第１可動導電部は、複数の第１孔を含み、
   前記第２可動導電部は、複数の第２孔を含み、
   前記複数の第２孔の数は、前記複数の第１孔の数と異なる、請求項１～４のいずれか１つに記載のセンサ。
6. 基体と、
   前記基体に固定された第１支持部と、
   前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部と、
   を備え、
   前記第１可動部は、
   前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
   第２可動基部であって、前記第１可動基部から前記第１可動基部への第２方向は、前記基体から前記第１可動部への第１方向と交差した前記第２可動基部と、
   前記第１可動基部と前記第２可動基部との間に設けられ、前記第２可動基部を前記第１可動基部と接続する接続基部と、
   第１可動梁であって、前記第１可動梁は、第１梁端部、第１梁他端部及び第１梁中間部を含み、前記第１梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第１梁中間部は、前記第１梁端部と前記第１梁他端部との間にある、前記第１可動梁と、
   第２可動梁であって、前記第２可動梁は、第２梁端部、第２梁他端部及び第２梁中間部を含み、前記第２梁端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２梁他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁中間部は、前記第２梁端部と前記第２梁他端部との間にあり、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記接続基部は、前記第１梁中間部と前記第２梁中間部との間にある、前記第２可動梁と、
   前記第１梁中間部と接続された第１可動導電部であって、前記第１梁中間部は、前記第３方向において前記第１可動導電部と前記接続基部との間にあり、前記第１可動導電部は、前記第２方向に沿って延びる第１延在導電部を含む、前記第１可動導電部と、
   前記第２梁中間部と接続された第２可動導電部であって、前記第２梁中間部は、前記第３方向において前記接続基部と前記第２可動導電部との間にあり、前記第２可動導電部は、前記第２方向に沿って延びる第２延在導電部を含む、前記第２可動導電部と、
   を備え、
   前記第１可動導電部は、１または複数の第１孔を含み、
   前記第２可動導電部は、１または複数の第２孔を含み、
   前記第２方向及び前記第３方向を含む平面における前記１または複数の第２孔の面積の和は、前記平面における前記１または複数の第１孔の面積の和と異なる、センサ。
7. 前記第１可動導電部は、複数の前記第１孔を含み、
   前記第２可動導電部は、複数の前記第２孔を含み、
   前記複数の第２孔の数は、前記複数の第１孔の数と異なる、請求項６に記載のセンサ。
8. 前記第１可動導電部の少なくとも一部と対向する第１対向導電部と、
   前記第２可動導電部の少なくとも一部と対応する第２対向導電部と、
   をさらに備えた、請求項１～７のいずれか１つに記載のセンサ。
9. 前記第１可動導電部の少なくとも一部と対向する第１対向電極と、
   前記第２可動導電部の少なくとも一部と対応する第２対向電極と、
   をさらに備えた、請求項１～８のいずれか１つに記載のセンサ。
10. 請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサと、
    前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路処理部と、
    を備えた電子装置。

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