JP2007218608A - 半導体力学量センサ - Google Patents

Abstract

【課題】検出電極間の静電容量の変化から力学量を演算する半導体力学量センサにおいて、検出振動とは異なる振動によって、検出電極間の距離が不均一となることに起因する検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】基部と、基部に連結された検出梁と、検出梁に連結され第一方向に延設される検出錘を有し、第一方向に振動可能な検出部と、検出部に連結された駆動梁と、駆動梁に連結され、第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部と、検出錘に設けられた検出電極と、検出電極に対向して基部上に配置された固定電極とを備え、検出電極が、駆動部の移動に伴って、第二方向へ変位することを抑制する抑制手段を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、加速度センサや角速度センサ等の半導体よりなる振動子を用いた半導体力学量センサに関する。

車両、飛行機、ロボット等の運動体の運動状態を測定するのに用いられる、加速度センサや角速度センサ等の半導体よりなる振動子を用いた半導体力学量センサがある。この種の半導体力学量センサは、シリコン基板等の半導体基板をエッチング等のマイクロマシン加工技術を用いて加工することにより形成され、基部と、所定方向に振動する振動子と、該振動子及び該基部を連結する複数個の梁部とを備え、該振動子の振動に基づいて力学量（角速度、加速度等）を検出するようにしている。また、振動子に備えられる第一電極（検出部電極）と、基部に備えられ第一電極に対向する第二電極（基部電極）とからなる検出電極部の静電容量の変化によって、力学量が検出される。

例えば、特許文献１の角速度センサでは、振動子を所定方向に直交する方向に駆動振動させ、角速度が印加されたとき、コリオリ力によって発生する駆動振動の方向及び角速度の回転軸に直交する方向へ振動（検出振動）が発生する。そして、この検出振動により変化する検出電極部の静電容量に基づいて角速度を検出する。
特開２００１−９１２６５号公報

特許文献１をはじめとする対向する検出電極部間の静電容量の変化から力学量を演算する技術において、検出振動とは異なる振動によって、第一電極と第二電極との距離が均一でなくなった場合、力学量の検出精度が低下する虞がある。図８（ａ）から（ｃ）は、出願人が試作した力学量センサの一例である。図８（ａ）では、櫛歯状の第一電極１４ｂが備えられた部材１４の２箇所に局所的な振動力が作用したために、この部材１４が図面上方向へ引っ張られて変形し、第一電極１４ｂと第二電極１１ｂとの距離が不均一となっている。図８（ｂ）では、図８（ａ）と同一形状の第一電極１４ｂが備えられた部材１４の２箇所に局所的な振動力が作用したために、この部材１４が図面下方向へ押されて変形し、第一電極１４ｂと第二電極１１ｂとの距離が不均一となっている。図８（ｃ）では、板状の第一電極１４ｂを備える部材１４の一端に局所的な振動力が作用したために、この部材１４が傾き、第一電極１４ｂと第二電極１１ｂとの距離が不均一となっている（部材端部側の第一電極端部と、部材中央側の第一電極端部とでは、第二電極１１ｂとの距離が異なる）。特に、角速度センサ１０において、第一電極１４ｂが備えられた部材１４の両端部が固定されている場合（図８（ａ）（ｂ））には、電極間の距離の不均一が顕著となる。

そこで、本発明は上記事情に鑑み、半導体力学量センサにおいて、部材１４に作用する検出振動とは異なる振動によって、第一電極と第二電極との距離が不均一となることに起因する検出精度の低下を抑制することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、基部（１１）と、前記基部（１１）に連結された検出梁（１６）と、前記検出梁（１６）に連結され、第一方向に延設される検出錘（１４ａ）を有し、該第一方向に振動可能な検出部（１４）と、前記検出部（１４）に連結された駆動梁（１５）と、前記駆動梁（１５）に連結され、前記第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部（１３）と、前記検出錘（１４ａ）に設けられた検出電極（１４ｂ）と、前記検出電極（１４ｂ）に対向して前記基部上に配置された固定電極（１１ｂ）とを備え、前記検出電極（１４ｂ）が、前記駆動部（１３）の移動に伴って、前記第二方向へ変位することを抑制する抑制手段（１７）を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、検出電極（１４ｂ）は駆動部（１３）の移動に伴い第二方向へ変位しようとするが、抑制手段（１７）がこの変位を抑制する。これにより、検出電極（１４ｂ）と固定電極（１１ｂ）との関係が、駆動部（１３）の移動の影響を受けることを抑制でき、力学量の検出精度を向上することができる。

請求項２に記載の発明は、基部（１１）と、前記基部（１１）に連結された検出梁（１６）と、前記検出梁（１６）に連結され、第一方向に延設される検出錘（１４ａ）を有し、該第一方向に移動可能な検出部（１４）と、前記検出部（１４）に連結された駆動梁（１５）と、前記駆動梁（１５）に連結され、前記第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部（１３）と、前記検出錘（１４ａ）に設けられた検出電極（１４ｂ）と、前記検出電極（１４ｂ）に対向して前記基部上に配置された固定電極（１１ｂ）とを備え、前記駆動部（１３）の移動に伴う前記検出錘（１４ａ）の第二方向への変形を抑制する抑制手段（１７）を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、検出錘（１４ａ）は駆動部（１３）の移動に伴い第二方向へ変形しようとするが、抑制手段（１７）がこの変形を抑制する。これにより、検出電極（１４ｂ）と固定電極（１１ｂ）との関係が、駆動部（１３）の移動の影響を受けることを抑制でき、力学量の検出精度を向上することができる。

請求項３に記載の発明は、前記抑制手段（１７）は、前記検出錘（１４ａ）と前記基部（１１）との間に挟設されるとともに、前記第二方向へは剛性を備え、前記第一方向へは弾性を備える補剛材（１７）であることを特徴とする。

この抑制手段（１７）は、検出錘（１４ａ）と基部（１１）との間に挟設される補剛材（１７）である。さらに、この補剛材（１７）は、第二方向へは剛性を備え、第一方向へは弾性を備える。これにより、検出錘（１４ａ）が第一方向へ移動することを阻害することなく、検出錘（１４ａ）と基部（１１）との間の距離で、第二方向への成分を略一定に保つことができる。

請求項４に記載の発明は、前記抑制手段（１７）は、前記検出錘（１４ａ）が、該検出錘（１４ａ）と前記駆動梁（１５）との連結部を節とする波形状に変形した場合において、該波形の腹の部分に設置されることを特徴とする。

検出錘（１４ａ）の変形が波形状である場合、抑制手段（１７）を波形の腹の部分に設置する。このように検出錘（１４ａ）の変形が最も著しい腹の部分の変形を抑制することにより、力学量の検出精度を向上することができる。

請求項５に記載の発明は、前記検出錘（１４ａ）は、複数の前記駆動梁（１５）により前記駆動部（１３）と連結されるものであり、前記抑制手段（１７）は、少なくとも、前記検出錘（１４ａ）の前記駆動梁（１５）との連結部間の中央、または、前記検出錘（１４ａ）の両端のいずれかに設置されることを特徴とする。

駆動梁（１５）が２点である場合、検出錘（１４ａ）の中央、またはおよび、検出錘（１４ａ）の両端の変位が大きいため、この変位が大きい箇所に抑制手段（１７）を設置する。これにより、検出錘（１４ａ）のうち、第二方向への変位が著しい箇所の振動を抑制することができる。

請求項６に記載の発明は、前記駆動部（１３）に設置された励振用電極（１３ｃ）と、前記基部（１１）に設置され、前記励振用電極（１３ｃ）と対向する励振用基部電極（１１ａ）とを備え、前記励振用電極（１３ｃ）には直流電圧と、前記励振用基部電極（１１ａ）には、交流電圧が印加され、前記駆動部（１３）は、前記励振用電極（１３ｃ）と前記励振用基部電極（１１ａ）との間に発生した静電気力によって励振されることを特徴とする。

半導体力学量センサの駆動部（１３）には励振用電極（１３ｃ）が設置される。また、基部（１１）には、励振用電極（１３ｃ）と対向する励振用基部電極（１１ａ）が設置される。この励振用電極（１３ｃ）には直流電圧と、励振用基部電極（１１ａ）には、交流電圧が印加される。このため、励振用電極（１３ｃ）と励振用基部電極（１１ａ）との間には静電気力が発生し、駆動部（１３）が励振する。この駆動部（１３）が励振している状態において、第一方向および第二方向に直交する方向に力が作用した場合、第一方向にコリオリ力が発生する。

請求項７に記載の発明は、前記検出電極（１４ｂ）と前記固定電極（１１ｂ）との間の静電容量の変化に基づき、回転角速度が検出されることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、前記検出電極（１４ｂ）と前記固定電極（１１ｂ）との間の静電容量の変化に基づき、第二方向への加速度を演算することを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、前記検出電極（１４ｂ）および前記固定電極（１１ｂ）は、櫛歯状であることを特徴とする。

検出電極（１４ｂ）および固定電極（１１ｂ）を櫛歯状とすることで、検出電極（１４ｂ）および固定電極（１１ｂ）が板状である場合に比べて、検出精度を向上することができる。

請求項１０に記載の発明は、前記励振用電極（１３ｃ）および前記励振用基部電極（１１ａ）は、櫛歯状であることを特徴とする。

励振用電極（１３ｃ）および励振用基部電極（１１ａ）を櫛歯状とすることで、励振用電極（１３ｃ）および励振用基部電極（１１ａ）が板状である場合に比べて、検出精度を向上することができる。

以下、実施例１から実施例６を用いて、本発明を実施するための最良の形態を述べる。

〔実施例１〕
本実施例では、図１および図２を用いて説明を行う。

図１は、本発明の半導体力学量センサとしての角速度センサ１０の一実施形態を示す平面図である。角速度センサ１０は、シリコン基板等の半導体基板にエッチング加工を施すことにより溝を形成し、当該基板を矩形枠状の基部１１と、この基部１１における枠内に位置して可動する可動部１２とに区画している。

角速度センサ１０は、概念的には、不動状態の基部１１と、励振する駆動部１３と、駆動部１３に駆動梁１５を介して連結された検出部１４と、検出部１４を基部１１に連結する検出梁１６とからなり、検出部１４に備えられた検出部電極１４ｂと基部１１に備えられた基部電極１１ｂとの間の静電容量の変化から角速度を演算するものである。

可動部１２は、図１に示す様に、駆動部１３と検出部１４とからなる。さらに、駆動部１３は、幹部１３ａと、幹部１３ａの延設方向（以下、ｘ方向）に直交する方向に延設される複数の枝部１３ｂと、枝部１３ｂより複数突出する櫛歯状の駆動部電極１３ｃとを備える。

なお、駆動部１３は、上下左右に対称な構造である。すなわち、図１のＡ−Ａ’線およびＢ−Ｂ’線において、対称である。また、基部１１には、櫛歯状の各駆動部電極１３ｃと相対向する櫛歯状の振動用電極１１ａが形成される。

一方、検出部１４は、ｘ方向に直交する方向（以下、ｙ方向）に延設する検出錘１４ａと、この検出錘１４ａより複数突出する櫛歯状の検出部電極１４ｂとを備える。なお、検出部１４は、図１のＡ−Ａ’線において、対称である。また、基部１１には、櫛歯状の各検出部電極１４ｂと相対向する櫛歯状の基部電極１１ｂが形成される。ここで、部材の延設方向とは、部材の形状が延設方向に長いことを意味する。すなわち、ｘ方向に延設される幹部１３ａは、長辺がｘ方向に延びている部材であり、ｙ方向に延設される検出錘１４ａは、長辺がｙ方向に延びている部材である。

検出部１４と駆動部１３とは、駆動梁１５を介して連結されている。この駆動梁１５は、ｘ方向に延設され、ｘ方向に弾性を有する。また、検出部１４と基部１１とは、検出梁１６および補剛材１７を介して連結されている。この検出梁１６は、基部１１のｘ方向成分に対して、ｙ方向に延設され、ｙ方向に弾性を有する。

さらに、検出錘１４ａの中央部と基部１１との間は、補剛材１７によって連結されている。この補剛材１７は、基部１１のｙ方向成分に対して、ｘ方向に延設され、ｙ方向に弾性を有し、その厚みは、駆動梁１５や検出梁１６と同様であって、１０〜５０μｍである。また、補剛材１７のｘ方向の長さは数１００μｍ、ｙ方向の幅はｘ方向の長さの１００分の１程度である。なお、補剛材１７の素材によって、補剛材１７の厚みや長さ、幅は異なるが、厚みが剛性に依存するなら、補剛材はｘ方向に長くｙ方向に短い形状となる。

以上により駆動部１３は、駆動梁１５および検出梁１６および補剛材１７によって、ｘ方向およびｙ方向の両方向に振動可能となる。また、検出部１４は、検出梁１６および補剛材１７によってｙ方向に振動可能となる。

以上のように構成された角速度センサ１０の動作について述べる。駆動部１３の駆動部電極１３ｃに直流電圧および基部１１の振動用電極１１ａに交流電圧を印加して、静電気力によりｘ方向に枝部１３ｂを振動（励振）させる。そして枝部１３ｂへの振動が、幹部１３ａおよびｘ方向に弾性を有する駆動梁１５に伝達し、駆動部１３全体がｘ方向へ振動する。一方、駆動梁１５に連結された検出錘１４ａにも、ｘ方向への振動が伝達するが、基部１１と検出錘１４ａを連結する補剛材１７がｘ方向への弾性を備えないため、検出錘１４がｘ方向へ振動することを抑制できる。

ここで図２に示すように、駆動部１３がｘ方向へ励振している状態で、図１の紙面に直交する方向（以下、ｚ方向）に回転角速度（ヨーレイト）が加わると、もとの振動（ｘ方向）に対し直角方向、即ち、ｙ方向にコリオリ力が発生する。検出部１４はｙ方向に振動可能であるので、このコリオリ力によって、ｙ方向に検出振動する。検出振動に伴う検出部１４の位置変位量は、ほぼコリオリ力に比例するため、検出部電極１４ｂと基部電極１１ｂとの間の静電容量の変化量から角速度（ヨーレイト）が検出される。

上述した通り、ｘ方向の長さが数１００μｍ、ｙ方向の幅がｘ方向の長さの１００分の１程度の形状である補剛材１７を、基部１１のｙ方向成分に対して、検出錘１４ａからｘ方向に延設することで、この補剛材１７がｙ方向に弾性を備える。そして、このｙ方向に弾性を有する補剛材１７を設けることで、検出部電極１４ｂを備えた検出錘１４ａはコリオリ力の発生方向（ｙ方向）にのみ振動する。これにより、ｘ方向における検出部電極１４ｂと基部電極１１ｂとの距離変化を抑制することができる。

特に望ましい補剛材１７の設置場所は、波形状に変形する検出錘１４ａの腹の部分である。なぜならば、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、検出錘１４ａの中央部および両端部は、検出錘１４ａと駆動梁１５との両接続部に駆動部１３の振動に伴い応力が集中する。このため、検出錘１４ａは、検出錘１４ａの中央部および両端部を腹とし、検出錘１４ａと駆動梁１５との両接続部を節とした波形状に変形しやすい。そこで、補剛材１７を、検出錘１４ａの波状変形時に腹となる中央部に設けることで、検出錘１４ａの中央部がｘ方向に変形することを効果的に抑制することができる。

〔実施例２〕
図３を用いて実施例２について説明する。この実施例２は、補剛材１７の配置場所が検出錘１４ａの両端部付近であり、前述の実施例１では補剛材１７の配置場所が検出錘１４ａの中央部であった点と異なる。なお、前述の実施例１と同等の構成については、実施例１と同様の符号を付し、本実施例２における説明を省略する。

図３は、本実施例２の角速度センサ１０を示す平面図である。この図３に示すように、補剛材１７は、検出錘１４ａの検出部電極１４ｂとは反対側の両端部付近と基部１１とを連結している。そして、補剛材１７は、ｙ方向に弾性を有する。

このように補剛材１７を設置することによって、実施例１と同様の作用効果を奏することができる。さらに、補剛材１７の設置場所を検出部電極１４ｂと反対側にすることで、検出部電極１４ｂの数を減らすことなく、検出錘１４ａの変形を抑制することができる。

〔実施例３〕
図４を用いて実施例３について説明する。この実施例３は、補剛材１７が、検出錘１４ａの延設方向に対して直交する方向ではなく斜め方向、例えば、駆動部１３の中心から検出錘１４ａの両端部に向かう方向に延設されている。なお、前述の各実施例と同等の構成については、前述の各実施例と同様の符号を付し、本実施例３における説明を省略する。

図４は、本実施例３の角速度センサ１０を示す平面図である。この図４に示すように、補剛材１７は、基部１１から、検出錘１４ａの端部方向、すなわち基部１１の中心から広がる方向（検出錘１４ａに対しては±３０から±４０度）に連結している。また、補剛材１７は、延設方向に直交する方向に対して弾性を有するため、ｘ方向およびｙ方向に弾性を有する。

このように補剛材１７を設置することによって、検出部１４をｘ方向に振動しにくくするとともに、検出梁１６による検出錘１４ａの振動を早期に収束させることができる。

さらに、検出錘１４ａ両端の補剛材１７のｙ方向への弾発力がつりあった時に検出錘１４ａが位置する場所を初期状態とすれば、角速度が殆ど発生していない状態においてヒステリシス特性を持たせることができる。

〔実施例４〕
図５を用いて実施例４について説明する。この実施例４は、駆動梁１５が、検出部１４に対して対称に備えられておらず、片持ちになっている点で、前述の各実施例と異なる。なお、前述の各実施例と同等の構成については、前述の各実施例と同様の符号を付し、本実施例４における説明を省略する。

図５は、本実施例４の角速度センサ１０を示す平面図である。この図５に示すように、駆動部１３は、幹部１３ａとは反対側の端部で、駆動梁１５を介して検出部１４に連結している。なお、駆動部１３の幹部１３ａ側は、駆動梁１５などで支持されていない。

また、検出部１４は、駆動梁１５と連結する端部とは逆側の端部に、板状の検出部電極１４ｂを備える。そして、基部１１には、この検出部電極１４ｂに平行な板状の基部電極１１ｂが備えられる。検出錘１４ａの両端部は、ｙ方向に弾性を備える検出梁１６によって、基部１１に連結される。

一方、補剛材１７は、検出錘１４ａの検出部電極１４ｂの反対側の面と、基部１１とを連結する。

このように補剛材１７を設置することによって、検出部１４をｘ方向に振動しにくくすることができる。これにより、板状の検出部電極１４ｂと、板状の基部電極１１ｂとは、図８（ｃ）のような状態にならず、平行な状態を保つことができる。

〔実施例５〕
図６を用いて実施例５について説明する。この実施例５は、実施例１と実施例２における各補剛材１７を全て備えている点で、前述の各実施例と異なる。なお、前述の各実施例と同等の構成については、前述の各実施例と同様の符号を付し、本実施例５における説明を省略する。

図６は、本実施例５の角速度センサ１０を示す平面図である。この図６に示すように、補剛材１７は、検出錘１４ａの中央部で検出部電極１４ｂ側の面と基部１１とを連結している。さらに、別の補剛材１７が、検出錘１４ａの両端で検出部電極１４ｂ側の反対側の面と基部１１とを各々連結している。

これらの補剛材１７の設置場所について説明する。駆動梁１５が２箇所存在する場合、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、検出錘１４ａは、検出錘１４ａの中央部および両端部を腹とした波形で変形する。このため、図６のように腹の部分に補剛材１７を設置することによって、実施例１および実施例２よりもさらに、検出部電極１４ｂと基部電極１１ｂとの距離変化を抑制することができる。

〔実施例６〕
図７を用いて実施例６について説明する。この実施例６は、補剛材１７が折り返し形状である点で、実施例１と異なる。なお、前述の各実施例と同等の構成については、前述の各実施例と同様の符号を付し、本実施例６における説明を省略する。

図７は、本実施例６の補剛材１７の拡大図である。この補剛材１７は、実施例１の図１と同様に、検出錘１４ａの中央部と、基部１１とを連結している。

詳細な補剛材１７の形状は以下の通りである。補剛材１７は、Ｌ字形状の第一部材１７ａと、コの字状の第二部材１７ｂと、直線形状の中央部材１７ｃと、Ｌ字形状で第一部材１７ａと同一形状の第三部材１７ｄとからなる。

第一部材１７ａの長辺は、ｘ方向に延設され、基部１１に連結している。基部１１と検出錘１４ａとの最短距離をｄとおくと、この長辺の長さｄ１は、ｄ１＝ｄ×０．５以上、ｄ１＝ｄ×１．０未満である。また、第一部材１７ａの短辺は、長辺の基部側端部とは反対方向の端部からｙ方向に延設される。この短辺の全長ｄ２は、長辺ｄ１よりも短く、ｄ２＝ｄ×０．３程度である。

コの字状の第二部材１７ｂは、ｘ方向に延設される二つのｘ方向部材と、この二つのｘ方向部材を連結するｙ方向のｙ方向部材とからなる。ｘ方向部材の片方は、第一部材の短辺に連結され、基部側方向に延設される。すなわち、このｘ方向部材は、第一部材の長辺に対向している。このｘ方向部材の全長ｄ３は、第一部材の長辺よりも大幅に短く、ｄ３＝ｄ１×０．５程度である。さらに、第一部材の長辺との連結部との反対側のｘ方向部材の端部には、ｙ方向部材が連結されている。このｙ方向部材は、第一部材の長辺とは反対側の方向に延設されている。ｙ方向部材の全長ｄ４は、ｄ２よりも長く、ｄ４＝ｄ２×１．５程度である。このｙ方向部材の両端部には、ｘ方向部材が同一方向に延設されている。

さらに、第二部材１７ｂのｙ方向部材の中央には、検出錘１４ａの中央に連結する中央部材１７ｃが連結される。この中央部材１７ｃの長さｄ５は、ｄ５＝ｄ−ｄ１＋ｄ３である。

第三部材１７ｄは、中央部材１７ｃに対して第一部材１７ａと線対称な関係にある。すなわち、第一部材１７ａと連結していない第二部材１７ｂのｘ方向部材に、第三部材１７ｄの短辺が連結されている。そして、この短辺には、ｘ方向に延び、短辺と基部１１とを連結する長辺が連結されている。

このように、クランク形状のＬ字部材とコの字部材とを組み合わせた折り返し形状の補剛材１７を用いることで、実施例１と同様の作用効果を奏することができる。さらに、補剛材１７を折り返し形状とすることで、補剛材１７はごく弱いｘ方向の弾性を備える。この形状により、検出錘１４ａにｘ方向の大きな力が作用した場合に、補剛材１７が破断することを防止することができる。

〔その他の実施例〕
前述の実施例１から実施例６では、駆動部１３を励振することで、ｚ方向への作用力によって生じるｙ方向へのコリオリ力を検出し、このコリオリ力からｚ方向への角速度を検出していた。しかし、検出する力学量は角速度に限定されない。例えば、駆動部１３を励振しなかった場合、ｙ方向への加速度によって、検出部電極１４ｂと基部電極１１ｂとの間の距離が変化するため、このｙ方向への加速度を検出することができる。

また、前述の各実施例の構成を組み合わせた場合には、それぞれの実施例の作用効果を重畳して得ることが可能である。例えば、図７の形状の補剛材１７を図４のように配置することも可能である。

実施例１を示す角速度センサ１０の概要図である。 実施例１を示す角速度センサ１０の駆動部１３および検出錘１４ａが振動している図である。 実施例２を示す角速度センサ１０の概要図である。 実施例３を示す角速度センサ１０の概要図である。 実施例４を示す角速度センサ１０の概要図である。 実施例５を示す角速度センサ１０の概要図である。 実施例６を示す角速度センサ１０の概要図である。 一般的な半導体力学量センサが振動している際の図であり、図８（ａ）は検出錘１４ａが図面上方に引っ張られている際の変形の様子、図８（ｂ）は検出錘１４ａが図面上方より押されている際の変形の様子、図８（ｃ）は検出錘１４ａの一端が図面上方より押されている際の変形の様子を示す。

符号の説明

１０ 角速度センサ
１１ 基部
１１ａ 振動用電極
１１ｂ 基部電極
１２ 可動部
１３ 駆動部
１３ａ 幹部
１３ｂ 枝部
１３ｃ 駆動部電極
１４ 検出部
１４ａ 検出錘
１４ｂ 検出部電極
１５ 駆動梁
１６ 検出梁
１７ 補剛材
１７ａ 第一部材
１７ｂ 第二部材
１７ｃ 中央部材
１７ｄ 第三部材

Claims (10)

1. 基部（１１）と、
   前記基部（１１）に連結された検出梁（１６）と、
   前記検出梁（１６）に連結され、第一方向に延設される検出錘（１４ａ）を有し、該第一方向に振動可能な検出部（１４）と、
   前記検出部（１４）に連結された駆動梁（１５）と、
   前記駆動梁（１５）に連結され、前記第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部（１３）と、
   前記検出錘（１４ａ）に設けられた検出電極（１４ｂ）と、
   前記検出電極（１４ｂ）に対向して前記基部上に配置された固定電極（１１ｂ）とを備え、
   前記検出電極（１４ｂ）が、前記駆動部（１３）の移動に伴って、前記第二方向へ変位することを抑制する抑制手段（１７）を備えることを特徴とする半導体力学量センサ。
2. 基部（１１）と、
   前記基部（１１）に連結された検出梁（１６）と、
   前記検出梁（１６）に連結され、第一方向に延設される検出錘（１４ａ）を有し、該第一方向に移動可能な検出部（１４）と、
   前記検出部（１４）に連結された駆動梁（１５）と、
   前記駆動梁（１５）に連結され、前記第一方向に直交する第二方向に移動可能な駆動部（１３）と、
   前記検出錘（１４ａ）に設けられた検出電極（１４ｂ）と、
   前記検出電極（１４ｂ）に対向して前記基部上に配置された固定電極（１１ｂ）とを備え、
   前記駆動部（１３）の移動に伴う前記検出錘（１４ａ）の第二方向への変形を抑制する抑制手段（１７）を備えることを特徴とする半導体力学量センサ。
3. 前記抑制手段（１７）は、前記検出錘（１４ａ）と前記基部（１１）との間に挟設されるとともに、前記第二方向へは剛性を備え、前記第一方向へは弾性を備える補剛材（１７）であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体力学量センサ。
4. 前記抑制手段（１７）は、前記検出錘（１４ａ）が、該検出錘（１４ａ）と前記駆動梁（１５）との連結部を節とする波形状に変形した場合において、該波形の腹の部分に設置されることを特徴とする請求項３に記載の半導体力学量センサ。
5. 前記検出錘（１４ａ）は、複数の前記駆動梁（１５）により前記駆動部（１３）と連結されるものであり、
   前記抑制手段（１７）は、少なくとも、前記検出錘（１４ａ）の前記駆動梁（１５）との連結部間の中央、または、前記検出錘（１４ａ）の両端のいずれかに設置されることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の半導体力学量センサ。
6. 前記駆動部（１３）に設置された励振用電極（１３ｃ）と、
   前記基部（１１）に設置され、前記励振用電極（１３ｃ）と対向する励振用基部電極（１１ａ）とを備え、
   前記励振用電極（１３ｃ）には直流電圧と、前記励振用基部電極（１１ａ）には、交流電圧が印加され、
   前記駆動部（１３）は、前記励振用電極（１３ｃ）と前記励振用基部電極（１１ａ）との間に発生した静電気力によって励振されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体力学量センサ。
7. 前記検出電極（１４ｂ）と前記固定電極（１１ｂ）との間の静電容量の変化に基づき、回転角速度が検出されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の半導体力学量センサ。
8. 前記検出電極（１４ｂ）と前記固定電極（１１ｂ）との間の静電容量の変化に基づき、第二方向への加速度を演算することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体力学量センサ。
9. 前記検出電極（１４ｂ）および前記固定電極（１１ｂ）は、櫛歯状であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の半導体力学量センサ。
10. 前記励振用電極（１３ｃ）および前記励振用基部電極（１１ａ）は、櫛歯状であることを特徴とする請求項６に記載の半導体力学量センサ。

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