JP2008256578A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】他軸角速度、角加速度、及び温度依存性の影響を受けることの少ない高精度の角速度センサを提供する。
【解決手段】静電容量型の角速度センサであって、第1及び第2回転フレーム21、22は、第1及び第2ねじれ軸を中心に回転可能なように基板1に支持されている。検出フレームは第1及び第2回転フレーム21、22内に配置され、検出梁にて接続されている。検出フレーム内には検出電極4a、4bが交互に配置されている。駆動フレーム2は、第1及び第2リンク梁31、32にて第1及び第2回転フレーム21、22の各々に連結されている。
【選択図】図1
【解決手段】静電容量型の角速度センサであって、第1及び第2回転フレーム21、22は、第1及び第2ねじれ軸を中心に回転可能なように基板1に支持されている。検出フレームは第1及び第2回転フレーム21、22内に配置され、検出梁にて接続されている。検出フレーム内には検出電極4a、4bが交互に配置されている。駆動フレーム2は、第1及び第2リンク梁31、32にて第1及び第2回転フレーム21、22の各々に連結されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、角速度センサに関し、特に、静電容量型の角速度センサに関する。
従来の静電容量型の角速度センサとして、例えば、特許文献1に開示されるような角速度センサが知られている。該角速度センサは、主な構成部分として、駆動ジンバルと、検出ジンバルと、錘と、下部電極と、上部ブリッジ電極とを有する。
このような従来の角速度センサは、以下のような構成及び作用を有する。
上記駆動ジンバルは、駆動梁にて支持部としてのシリコンフレームに接続されており、X軸を中心として一定範囲で回転可能である。このような駆動ジンバルの内側には、上記検出ジンバルが検出梁にて接続されており、Y軸を中心として一定範囲で回転可能である。又、検出ジンバルには、質量を稼ぐため錘が設置されている。ここで大きな錘を設けるため、シリコンフレームのシリコン塊には、ピットとしての溝が形成されている。
上記駆動ジンバルは、駆動梁にて支持部としてのシリコンフレームに接続されており、X軸を中心として一定範囲で回転可能である。このような駆動ジンバルの内側には、上記検出ジンバルが検出梁にて接続されており、Y軸を中心として一定範囲で回転可能である。又、検出ジンバルには、質量を稼ぐため錘が設置されている。ここで大きな錘を設けるため、シリコンフレームのシリコン塊には、ピットとしての溝が形成されている。
このような角速度センサの構成において、検出ジンバルは、ジャイロ検出素子として機能する。駆動ジンバルは、第1下部電極に交流電圧を印加することで、X軸を中心として一定振動数で、かつ一定角度振幅で振動され、被駆動部として機能する。第2下部電極は、駆動ジンバルの振動の角振幅を検知する。
このように構成された角速度センサは、X軸及びY軸に直角で、錘を通過するZ軸を中心とする構造物の回転を検知し得る。つまり、上記Z軸方向に角速度が加えられると、錘にコリオリ力が発生し、検出ジンバルが回転振動する。その振動変位を、上部ブリッジ電極にて検出、サーボを行なうことで、角速度を測定する。
上述したような従来の角速度センサでは、以下のような問題がある。
即ち、下部電極にて駆動ジンバルを駆動する場合、静電力と剛性との釣り合いから駆動変位は、電極間のギャップ寸法の約1/3と制限されてしまう。
即ち、下部電極にて駆動ジンバルを駆動する場合、静電力と剛性との釣り合いから駆動変位は、電極間のギャップ寸法の約1/3と制限されてしまう。
また、上述の角速度センサに対して、駆動梁、あるいは検出梁の周りに角加速度が加えられた場合、慣性力により、駆動ジンバル、又は検出ジンバルが回転してしまう。また、他軸方向の角速度が加えられた場合も、遠心力の影響により、駆動ジンバル、又は検出ジンバルが回転する可能性がある。このように、従来の角速度センサでは、他軸角速度や角加速度に起因する検出ジンバルの回転振動にて検出される角速度と、本来の検出対象である角速度とが区別できない場合がある。このため、角速度の検出誤差が発生するという問題がある。
また、錘を大きくするために、上記シリコン塊に溝を形成する等の複雑な構造及び製造プロセスを採る必要があった。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、他軸角速度及び角加速度の影響を受けることの少ない高精度の角速度センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の第1態様における角速度センサは、互いに直交する第1、第2、及び第3の軸の内、少なくとも第2の軸周りの角速度を検出する静電容量型の角速度センサである。このような角速度センサは、基板と、上記基板の上方にて、上記第2の軸方向に互いに独立して配置される一対の第1測定対象検出用回転フレームと、それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレーム内にて、上記第2の軸方向にてそれぞれ一対ずつ配置され上記第1の軸方向へ変位可能な第1測定対象検出用検出フレームと、それぞれの上記第1測定対象検出用検出フレーム内に配置され、当該角速度センサに作用する角速度による上記第1測定対象検出用検出フレームの上記第1の軸方向への変位に応じて変化する静電容量を検出する第1測定対象検出用検出電極と、上記基板の上方にて、それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームに第1測定対象検出用リンク梁を介して支持される駆動フレームと、を備える。それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームは、上記基板に支持される第1測定対象検出用ねじれ梁にて上記第1の軸周りに回転可能にして上記基板に支持される。上記第1測定対象検出用リンク梁は、上記駆動フレームに対して各第1測定対象検出用回転フレームを上記第1の軸周りに回転可能に支持し、かつ、上記第1測定対象検出用ねじれ梁に対して上記第2の軸方向にずれた位置に配置される。
即ち、本発明の第1態様における角速度センサは、互いに直交する第1、第2、及び第3の軸の内、少なくとも第2の軸周りの角速度を検出する静電容量型の角速度センサである。このような角速度センサは、基板と、上記基板の上方にて、上記第2の軸方向に互いに独立して配置される一対の第1測定対象検出用回転フレームと、それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレーム内にて、上記第2の軸方向にてそれぞれ一対ずつ配置され上記第1の軸方向へ変位可能な第1測定対象検出用検出フレームと、それぞれの上記第1測定対象検出用検出フレーム内に配置され、当該角速度センサに作用する角速度による上記第1測定対象検出用検出フレームの上記第1の軸方向への変位に応じて変化する静電容量を検出する第1測定対象検出用検出電極と、上記基板の上方にて、それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームに第1測定対象検出用リンク梁を介して支持される駆動フレームと、を備える。それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームは、上記基板に支持される第1測定対象検出用ねじれ梁にて上記第1の軸周りに回転可能にして上記基板に支持される。上記第1測定対象検出用リンク梁は、上記駆動フレームに対して各第1測定対象検出用回転フレームを上記第1の軸周りに回転可能に支持し、かつ、上記第1測定対象検出用ねじれ梁に対して上記第2の軸方向にずれた位置に配置される。
本発明の第1態様における角速度センサによれば、第1測定対象検出用リンク梁と、第1測定対象検出用ねじれ梁とは、第2の軸方向にずれて配置される。よって、駆動フレームが第3の軸方向に変位し、当該角速度センサに角速度が作用しないときには、各第1測定対象検出用回転フレームは、互いに逆向きに回転変位する。一方、駆動フレームが傾斜したり、他軸角速度や角加速度が作用した場合は、第1測定対象検出用回転フレームは、同一の向きに回転変位する。よって、第1測定対象検出用回転フレームが互いに逆向きの回転変位した場合にのみ、第1測定対象検出用検出フレームの感度が高くなるように、第1測定対象検出用検出電極を設けることにより、検出対象でない方向の角速度に対する感度(他軸感度)を抑制し、かつ角加速度の影響を受けにくくすることができる。
本発明の実施形態である角速度センサについて、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同一又は同様の構成部分については同じ符号を付している。
実施の形態1.
最初に、本実施の形態の角速度センサの主要な構成について説明する。
図1は、本発明の実施の形態1における角速度センサ501の構成を概略的に示す上面図である。また図2は、図1のA−A線、図3は、図1のB−B線に沿う概略的な断面図である。又、説明の便宜のため、互いに直交する座標軸X軸、Y軸、Z軸が導入され、X軸が第1軸に、Y軸が第2軸に、Z軸が第3軸にそれぞれ対応する。また、図1において、X軸は図示の横方向に沿う右方向を正の向きとした軸であり、Y軸は図示の縦方向に沿う上方向を正の向きとした軸であり、Z軸は紙面に垂直で紙面の上方を正の向きとした軸である。尚、Y軸の方向は、本実施の形態における角速度センサ501が測定対象とする角速度方向に一致する。又、Y軸方向に沿う角速度方向を第1測定対象の方向とする。
最初に、本実施の形態の角速度センサの主要な構成について説明する。
図1は、本発明の実施の形態1における角速度センサ501の構成を概略的に示す上面図である。また図2は、図1のA−A線、図3は、図1のB−B線に沿う概略的な断面図である。又、説明の便宜のため、互いに直交する座標軸X軸、Y軸、Z軸が導入され、X軸が第1軸に、Y軸が第2軸に、Z軸が第3軸にそれぞれ対応する。また、図1において、X軸は図示の横方向に沿う右方向を正の向きとした軸であり、Y軸は図示の縦方向に沿う上方向を正の向きとした軸であり、Z軸は紙面に垂直で紙面の上方を正の向きとした軸である。尚、Y軸の方向は、本実施の形態における角速度センサ501が測定対象とする角速度方向に一致する。又、Y軸方向に沿う角速度方向を第1測定対象の方向とする。
図1、図2及び図3において、本実施の形態の角速度センサ501は、基本的構成として、基板1と、駆動フレーム2と、第1及び第2ねじれ梁11、12と、第1及び第2回転フレーム21、22と、検出フレーム8と、複数の検出電極4と、第1及び第2リンク梁31、32とを備え、さらに、駆動電極5と、調整電極6と、検出梁7と、モニター電極100とを有する。
尚、第1及び第2回転フレーム21、22が第1測定対象検出用回転フレームに相当し、Y軸方向に互いに独立して配置される。検出フレーム8は、以下に説明するように、検出フレーム8a〜8dを有し、第1測定対象検出用検出フレームに相当する。検出電極4は、以下に説明するように検出電極4a,4bを有し、第1測定対象検出用検出電極に相当する。第1及び第2ねじれ梁11、12が第1測定対象検出用ねじれ梁に相当する。第1及び第2リンク梁31、32が第1測定対象検出用リンク梁に相当する。
基板1として、シリコン基板を用いることができる。また、駆動フレーム2と、第1及び第2ねじれ梁11、12と、第1及び第2回転フレーム21、22と、複数の検出電極4(4a、4b)と、第1及び第2リンク梁31、32と、駆動電極5と、調整電極6と、検出梁7(7a〜7d)と、検出フレーム8と、モニター電極100(100a〜100d)との材質は、ポリシリコン膜を用いることができる。このポリシリコン膜は、低応力であり、かつ厚さ方向に応力分布がないことが望ましい。
第1ねじれ梁11は、基板1に立設されたアンカー91にて支持され、アンカー91を中心としてX軸方向に延び、かつX軸に沿った第1ねじれ軸T1の軸周りにねじれることができる。
第1回転フレーム21は、枠体形状にてなり、第1ねじれ梁11及びアンカー91を介して基板1に支持されて、第1ねじれ軸T1を中心として第1ねじれ梁11の軸周りに回転可能である。また、第1回転フレーム21は、少なくともその一部が導電性を有している。
第1回転フレーム21は、枠体形状にてなり、第1ねじれ梁11及びアンカー91を介して基板1に支持されて、第1ねじれ軸T1を中心として第1ねじれ梁11の軸周りに回転可能である。また、第1回転フレーム21は、少なくともその一部が導電性を有している。
第2ねじれ梁12は、基板1に立設されたアンカー92にて支持され、アンカー92を中心としてX軸方向に延び、かつX軸に沿った第2ねじれ軸T2の軸周りにねじれることができる。
第2回転フレーム22は、第1回転フレーム21と同一の枠体形状にてなり、第2ねじれ梁12及びアンカー92を介して基板1に支持されて、第2ねじれ軸T2を中心として第2ねじれ梁12の軸周りに回転可能である。また、第2回転フレーム22は、少なくともその一部が導電性を有している。
第2回転フレーム22は、第1回転フレーム21と同一の枠体形状にてなり、第2ねじれ梁12及びアンカー92を介して基板1に支持されて、第2ねじれ軸T2を中心として第2ねじれ梁12の軸周りに回転可能である。また、第2回転フレーム22は、少なくともその一部が導電性を有している。
検出フレーム8a、8bは、共に同一形状の枠体であり、第1回転フレーム21において、第1ねじれ軸T1を対称軸としてY軸方向に一対が配置される。検出フレーム8a、8bは、X軸方向における両端部分を、それぞれ検出梁7a、7bにて、第1回転フレーム21に連結されている。検出梁7a、7bは、X軸方向に変位しやすい構造となっており、よって、角速度センサ501に作用する角速度等により、検出フレーム8a、8bは、X軸方向に変位可能である。
検出フレーム8c、8dは、検出フレーム8a、8bと同一形状にてなる枠体であり、第2回転フレーム22において、第2ねじれ軸T2を対称軸としてY軸方向に一対が配置される。検出フレーム8c、8dは、X軸方向における両端部分を、それぞれ検出梁7c、7dにて、第2回転フレーム22に連結されている。検出梁7c、7dは、X軸方向に変位しやすい構造となっており、よって、角速度センサ501に作用する角速度等により、検出フレーム8c、8dは、X軸方向に変位可能である。
検出電極4は、基板1に立設して、検出フレーム8a、8b、8c、8dの内側にそれぞれ配置され、検出電極4aと検出電極4bとで構成されている。検出電極4aと、検出電極4bは、図3に示すように、X軸方向に沿って交互に配置されている。又、検出フレーム8aと検出フレーム8bとでは、検出電極4a、4bの配置順序は逆になっており、検出フレーム8cと検出フレーム8dとでは、検出電極4a、4bの配置順序は逆になっている。例えば、図1に示すように、検出フレーム8dの各空隙内では、X軸方向において左側が検出電極4a、右側が検出電極4bと配置したときには、検出フレーム8cの各空隙内では左側に検出電極4bを、右側に検出電極4aを配置している。また、検出フレーム8aと検出フレーム8dとにおける検出電極4は、同配置順序であり、検出フレーム8bと検出フレーム8cとにおける検出電極4は、同配置順序となっている。
駆動フレーム2は、第1及び第2回転フレーム21、22のそれぞれからX軸方向に延びる第1及び第2リンク梁31、32によって、換言すると第1及び第2回転フレーム21、22によって、基板1上で基板1の厚み方向であるZ軸方向に変位可能に支持されている。
第1リンク梁31は、X軸方向に沿う軸L1上の位置にて、第1回転フレーム21に設けられている。ここで、軸L1は、第1ねじれ軸T1を、第1ねじれ軸T1と交差する方向に沿って、つまり本実施形態ではY軸方向に沿って、第1回転フレーム21の一方端部側へオフセットe1にて平行移動した軸である。即ち、オフセットe1の絶対値は、第1ねじれ軸T1と第1リンク梁31との間の寸法であり、その向きは第1ねじれ軸T1と交差して第1ねじれ軸T1から軸L1へ向かう方向である。
第2リンク梁32は、X軸方向に沿う軸L2上の位置にて、第2回転フレーム22に設けられている。ここで、軸L2は、第2ねじれ軸T2を、第1ねじれ軸T1の移動方向とは反対方向、つまりオフセットe1と反対方向のオフセットe2にて平行移動した軸である。即ち、オフセットe2の絶対値は、第2ねじれ軸T2と第2リンク梁32との間の寸法であり、その向きはオフセットe1と反対方向である。
好ましくは、第1及び第2ねじれ梁11、12と、第1及び第2リンク梁31、32とは、オフセットe1とe2とが逆向きに等量となるように配置されている。さらに好ましくは、角速度センサの構造が軸対称になるようになっている。
駆動電極5は、駆動フレーム2を静電力でZ軸方向に駆動できるように、駆動フレーム2に対向して基板1に絶縁膜3を介して形成されている。
調整電極6は、調整電極6a、6b、6c、6dを有し、駆動フレーム2がZ軸方向に平行に振動するように駆動フレーム2を静電力で調整する電極であり、駆動フレーム2と対向するように基板1に絶縁膜3を介して形成されている。
モニター電極100は、駆動フレーム2の変位が検知できるように、駆動フレーム2に対向して基板1に絶縁膜3を介して形成されている。
尚、絶縁膜3としては、低応力の窒化シリコン膜とシリコン酸化膜との複合膜や窒化シリコン膜単体が好適である。
調整電極6は、調整電極6a、6b、6c、6dを有し、駆動フレーム2がZ軸方向に平行に振動するように駆動フレーム2を静電力で調整する電極であり、駆動フレーム2と対向するように基板1に絶縁膜3を介して形成されている。
モニター電極100は、駆動フレーム2の変位が検知できるように、駆動フレーム2に対向して基板1に絶縁膜3を介して形成されている。
尚、絶縁膜3としては、低応力の窒化シリコン膜とシリコン酸化膜との複合膜や窒化シリコン膜単体が好適である。
次に、本実施の形態の角速度センサ501の角速度の測定原理について説明する。
図4は、角速度センサ501において、角速度が印加される前の定常状態の動作の様子を概略的に示す断面図である。尚、図4の断面位置は図2の場合と同一である。
図4は、角速度センサ501において、角速度が印加される前の定常状態の動作の様子を概略的に示す断面図である。尚、図4の断面位置は図2の場合と同一である。
図4を参照して、駆動フレーム2と駆動電極5の間に、特定の周波数で直流電圧Vdc及び交流電圧Vacが印加されると、駆動フレーム2は、静電力により、基板の膜厚方向つまりZ軸方向に沿って振動する。駆動フレーム2に連結されている第1及び第2リンク梁31、32も、駆動フレーム2と一体となってZ軸方向に振動する。
第1リンク梁31の変位により、第1リンク梁31にて接続されている第1回転フレーム21は、軸L1の部分でZ軸方向への力を受ける。この軸L1は、第1ねじれ軸Tlからオフセットe1だけ平行移動された位置にあるため、第1回転フレーム21にはトルクが作用する。この結果、第1回転フレーム21は、第1ねじれ軸T1を中心として第1ねじれ梁11の軸周りに回転変位する。
また、第2リンク梁32の変位により、第2リンク梁32にて接続されている第2回転フレーム22は、軸L2の部分でZ軸方向への力を受ける。この軸L2は、第2ねじれ軸T2からオフセットe2だけ平行移動された位置にあるため、第2回転フレーム22にはトルクが作用する。この結果、第2検出フレーム22は、第2ねじれ軸T2を中心として第2ねじれ梁12の軸周りに回転変位する。
ここで、オフセットe1とオフセットe2とは相互に反対向きであるため、第1回転フレーム21と第2回転フレーム22とは逆向きに回転する。
このとき、第1回転フレーム21内の検出梁7a、7b、及び検出フレーム8a,8bも第1回転フレーム21と同様に振動し、第2回転フレーム22内の検出梁7c、7d、及び検出フレーム8c,8dも第2回転フレーム22と同様に振動する。
ここで、オフセットe1とオフセットe2とは相互に反対向きであるため、第1回転フレーム21と第2回転フレーム22とは逆向きに回転する。
このとき、第1回転フレーム21内の検出梁7a、7b、及び検出フレーム8a,8bも第1回転フレーム21と同様に振動し、第2回転フレーム22内の検出梁7c、7d、及び検出フレーム8c,8dも第2回転フレーム22と同様に振動する。
この状態が、角速度が印加される前の定常状態である。振動は正弦的な動作が好ましい。
回転フレーム21、22が等量回転するためには、駆動フレーム2がZ軸方向に平行に振動することが理想であるが、実際は完全に平行振動することは困難である。そこで、調整電極6a、6b、6c、6dに適量の電圧を印加することで、駆動フレーム2をZ軸方向に平行振動させることができる。
回転フレーム21、22が等量回転するためには、駆動フレーム2がZ軸方向に平行に振動することが理想であるが、実際は完全に平行振動することは困難である。そこで、調整電極6a、6b、6c、6dに適量の電圧を印加することで、駆動フレーム2をZ軸方向に平行振動させることができる。
駆動フレーム2の振動量や位相は,モニター電極100で測定する。本実施形態では,モニター電極100は駆動フレーム2に対向して配置しているが、回転フレーム21、22や検出フレーム8に対向して配置しても良い。
次に角速度が印加された場合における角速度センサ501の動作について説明する。
図5の(a)は、角速度センサ501において、角速度が印加された後の動作の様子を概略的に示す上面図である。図5の(b)は、検出フレーム8cの動作を示す図であり、図5の(c)は、検出フレーム8dの動作を示す図である。
図5の(a)は、角速度センサ501において、角速度が印加された後の動作の様子を概略的に示す上面図である。図5の(b)は、検出フレーム8cの動作を示す図であり、図5の(c)は、検出フレーム8dの動作を示す図である。
Y軸周りに角速度Ωが印加されると、検出フレーム8はZ軸方向に振動しているため、検出フレーム8にコリオリ力Fcが発生する。コリオリ力Fcは、検出フレーム8の質量をM、Z軸方向の速度をvとすると次式のように示される。
Fc=2Mv×Ω (1)
Fc=2Mv×Ω (1)
又、コリオリ力は、振動方向の軸及び角速度の軸の共に直交する方向に発生するので、検出フレーム8におけるコリオリ力Fcは、X軸方向に発生する。そのコリオリ力により、検出フレーム8はX軸方向に振動する。
この振動変位にともない、検出フレーム8と検出電極4a、4bの間の静電容量が変化する。例えば、図5の(b)に示すように、検出フレーム8cがX軸の負(図左)方向に移動すると、検出フレーム8cと検出電極4aで形成される静電容量C1は増加し、検出フレーム8cと検出電極4bで形成される静電容量C2は減少する。又、検出フレーム8cがX軸の負(図左)方向に移動したとき、図5の(c)に示すように、検出フレーム8dはX軸の正(図右)方向に移動する。検出フレーム8dでは、検出電極4aと4bの配置が検出フレーム8cとは反対になっていることから、検出フレーム8dにおいても、検出フレーム8cと同様に、検出フレーム8dと検出電極4aで形成される静電容量C1は増加し、検出フレーム8dと検出電極4bで形成される静電容量C2は減少する。
これらの静電容量変化をC−V変換器で電圧に変換し、モニター電極100から得られる出力で同期検波することで、出力電圧を得て、角速度を測定することが出来る。
尚、本実施形態の角速度センサ501に、上記C−V変換器、及びモニター電極100に接続される同期検波器を備えることで、角速度検出器を形成することができる。
尚、本実施形態の角速度センサ501に、上記C−V変換器、及びモニター電極100に接続される同期検波器を備えることで、角速度検出器を形成することができる。
次に、本実施の形態の角速度センサ501に対して、Y軸方向の角速度以外の運動が加わった場合の例について説明する。
図6は角速度センサ501に対して、X軸方向に角加速度が加えられた状態を概略的に示す断面図である。この場合、回転フレーム21、22は、角加速度とは逆向きに回転する。図6においては、角加速度がX軸方向の負に印加された場合、検出フレーム8a、8cはZ軸方向の正に、検出フレーム8b、8dはZ軸方向の負に変位する。
図6は角速度センサ501に対して、X軸方向に角加速度が加えられた状態を概略的に示す断面図である。この場合、回転フレーム21、22は、角加速度とは逆向きに回転する。図6においては、角加速度がX軸方向の負に印加された場合、検出フレーム8a、8cはZ軸方向の正に、検出フレーム8b、8dはZ軸方向の負に変位する。
出力は同期検波して得るため、角加速度が駆動周波数以外で入力された場合は問題ない。駆動周波数と同周波数で角加速度が印加された場合においても、検出フレーム8aと8c、8bと8d内の検出電極4a、4bの配置が逆に配置されているため、相殺される。このため、この角加速度が出力に対して及ぼす影響は抑制される。
これは、図6にようにY軸に対して角度θ傾いた角速度が印加された場合も同様である。この角速度の場合、遠心力によって、回転フレーム21、22が回転する。
これは、図6にようにY軸に対して角度θ傾いた角速度が印加された場合も同様である。この角速度の場合、遠心力によって、回転フレーム21、22が回転する。
次に、本実施の形態の角速度センサの製造方法について説明する。図7〜図11は、本発明の実施の形態1における角速度センサ501の製造方法の第1〜第5工程を順に示す概略的な断面図であり、その断面位置は図2の断面位置に対応する。
図7を参照して、シリコンからなる基板1上に、LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法により、絶縁膜3が堆積される。絶縁膜3としては、低応力の窒化シリコン膜やシリコン膜などが適している。この絶縁膜3の上に、LPCVD法により、例えばポリシリコンからなる導電性の膜が堆積される。続いて、この導電性の膜がパターニングされて、駆動電極5、調整電極6、及びモニター電極100が形成される。その後、基板1上全体にPSG(Phosphosilicate Glass)膜101が堆積される。
主に図8を参照して、アンカー91、92(図2)が形成される部分のPSG膜101が選択的に除去される。
図9を参照して、基板1上全体に、ポリシリコン膜102が堆積される。続いてその表面にCMP(Chemical Mechanical Polishing)処理が施される。
図10を参照して、上記CMP処理により、ポリシリコン膜102の表面が平坦化される。
図9を参照して、基板1上全体に、ポリシリコン膜102が堆積される。続いてその表面にCMP(Chemical Mechanical Polishing)処理が施される。
図10を参照して、上記CMP処理により、ポリシリコン膜102の表面が平坦化される。
図11を参照して、ポリシリコン膜102のPSG膜101の上面よりも上方の部分に対して、選択的なエッチングが行なわれる。これにより、駆動フレーム2と、第1及び第2リンク梁31、32と、第1及び第2回転フレーム21、22と、第1及び第2ねじれ梁11、12と、アンカー91、92と、検出梁7a、7b、7c、7dと、検出フレーム8a、8b、8c、8dと、検出電極4a、4bとが一括形成される。その後、PSG膜101がエッチングにより除去され、図2に示される本実施の形態の角速度センサが得られる。
また、図10及び図11に示すように、駆動フレーム2と、第1及び第2リンク梁31、32と、第1及び第2回転フレーム21、22と、第1及び第2ねじれ梁11、12と、アンカー91、92と、検出梁7a、7b、7c、7dと、検出フレーム8a、8b、8c、8dと、検出電極4a、4bとが、同一材料からなる膜から一括形成される。
よって、可動部において異材料の接合部分がないため、異材料の熱膨張係数の差異により生じる歪の発生がない。このため、角速度センサ501の温度依存性を抑制することができる。
よって、可動部において異材料の接合部分がないため、異材料の熱膨張係数の差異により生じる歪の発生がない。このため、角速度センサ501の温度依存性を抑制することができる。
又、構成部分が一様な厚さを有するようにしたことから、製造プロセスを簡略化することができる。
又、アンカー91,92が内側に配置されることから、残留応力の影響を低減することができる。
又、アンカー91,92が内側に配置されることから、残留応力の影響を低減することができる。
本実施の形態1において、好ましくは、図1に示すオフセットe1とe2とは絶対値が等しくされる。又、図1に示す第1及び第2ねじれ軸T1、T2が互いに平行とされる。このため、図6に示すように、第1及び第2回転フレーム21、22のそれぞれの回転変位量は、等しくなる。よって、図5に示す静電容量変化の相殺がより精度よく行なわれる。このように角速度センサ501では、回転フレームを2つ設けたことにより、角速度の検出誤差をさらに抑制することができる。
実施の形態2.
図12は、本発明の実施の形態2における角速度センサ502の構成を概略的に示す上面図である。図12を参照して、本実施の形態の角速度センサ502は、基板1に立設されたアンカー90と、支持梁200とを有している。支持梁200の一方端部は、アンカー90により基板1上に支持されている。また、支持梁200の他方端部は、駆動フレーム2を支持している。このような支持梁200は、四角形にてなる駆動フレーム2の四隅のそれぞれに2つずつ設置される。
図12は、本発明の実施の形態2における角速度センサ502の構成を概略的に示す上面図である。図12を参照して、本実施の形態の角速度センサ502は、基板1に立設されたアンカー90と、支持梁200とを有している。支持梁200の一方端部は、アンカー90により基板1上に支持されている。また、支持梁200の他方端部は、駆動フレーム2を支持している。このような支持梁200は、四角形にてなる駆動フレーム2の四隅のそれぞれに2つずつ設置される。
支持梁200は、第1支持梁200Xと、第2支持梁200Yとを有している。第1支持梁200Xは、Z軸方向に容易に弾性変形でき、かつX軸方向に弾性変形し難い形状を有している。第2支持梁200Yは、Z軸方向に容易に弾性変形でき、かつY軸方向に弾性変形し難い形状を有している。このため支持梁200全体としては、Z軸方向に容易に弾性変形でき、かつXY面内方向には弾性変形し難い構成となっている。
尚、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態1における構成と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
尚、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態1における構成と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態2によれば、駆動フレーム2はXY面内方向に弾性変形し難い支持梁200によっても基板1上に支持されている。このような構成により、XY面内方向の加速度が角速度センサに加えられた場合の駆動フレーム2のX軸及びY軸方向への変位を抑制することができる。よって、測定対象外の加速度に対する感度を低減することができる。
実施の形態3.
図13は、本発明の実施の形態3における角速度センサ503の構成を概略的に示す上面図である。上述した実施の形態1の角速度センサ501では、第1回転フレーム21と第2回転フレーム22とは、Y軸方向に沿って一対、配置された。本実施の形態3の角速度センサ503は、第1回転フレーム21及び第2回転フレーム22を含む構成に加えて、第1回転フレーム21及び第2回転フレーム22を含む構成と同様の構成を有する、第3回転フレーム23及び第4回転フレーム24を含む構成をX軸方向に沿ってさらに配置した構成を有する。
図13は、本発明の実施の形態3における角速度センサ503の構成を概略的に示す上面図である。上述した実施の形態1の角速度センサ501では、第1回転フレーム21と第2回転フレーム22とは、Y軸方向に沿って一対、配置された。本実施の形態3の角速度センサ503は、第1回転フレーム21及び第2回転フレーム22を含む構成に加えて、第1回転フレーム21及び第2回転フレーム22を含む構成と同様の構成を有する、第3回転フレーム23及び第4回転フレーム24を含む構成をX軸方向に沿ってさらに配置した構成を有する。
より具体的に説明する。本実施の形態の角速度センサ503は、実施の形態1の角速度センサ501の構成に加えてさらに、第3及び第4ねじれ梁13、14と、第3及び第4回転フレーム23、24と、第3及び第4リンク梁33、34と、複数の検出電極4c、4dと、検出梁7e、7f、7g、7hと、検出フレーム8e、8f、8g、8hとを有している。
ここで、第3及び第4回転フレーム23、24が第2測定対象検出用回転フレームに相当する。検出フレーム8e〜8hは、第2測定対象検出用検出フレームに相当する。検出電極4c,4dは、第2測定対象検出用検出電極に相当する。第3及び第4ねじれ梁13、14が第2測定対象検出用ねじれ梁に相当する。第3及び第4リンク梁33、34が第2測定対象検出用リンク梁に相当する。又、2Aは駆動フレームであり上述の駆動フレーム2に対応する。又、X軸方向に沿う角速度方向を第2測定対象の方向とする。
第3ねじれ梁13は、基板1に立設されたアンカー93にて支持され、アンカー93を中心としてY軸方向に延び、かつY軸に沿った第3ねじれ軸T3の軸周りにねじれることができる。
第3回転フレーム23は、枠体形状にてなり、第3ねじれ梁13及びアンカー93を介して基板1に支持されて、第3ねじれ軸T3を中心として第3ねじれ梁13の軸周りに回転可能である。また、第3回転フレーム23は、少なくともその一部が導電性を有している。
第3回転フレーム23は、枠体形状にてなり、第3ねじれ梁13及びアンカー93を介して基板1に支持されて、第3ねじれ軸T3を中心として第3ねじれ梁13の軸周りに回転可能である。また、第3回転フレーム23は、少なくともその一部が導電性を有している。
第4ねじれ梁14は、基板1に立設されたアンカー94にて支持され、アンカー94を中心としてY軸方向に延び、かつY軸に沿った第4ねじれ軸T4の軸周りにねじれることができる。
第4回転フレーム24は、第3回転フレーム23と同一形状の枠体にてなり、第4ねじれ梁14及びアンカー94を介して基板1に支持されて、第4ねじれ軸T4を中心として第4ねじれ梁14の軸周りに回転可能である。また、第4検出フレーム24は、少なくともその一部が導電性を有している。
第4回転フレーム24は、第3回転フレーム23と同一形状の枠体にてなり、第4ねじれ梁14及びアンカー94を介して基板1に支持されて、第4ねじれ軸T4を中心として第4ねじれ梁14の軸周りに回転可能である。また、第4検出フレーム24は、少なくともその一部が導電性を有している。
検出フレーム8e、8fは、互いに同一形状の枠体形状であり、第3回転フレーム23において、第3ねじれ軸T3を対称軸としてX軸方向に一対が配置される。検出フレーム8e、8fは、Y軸方向における両端部分を、それぞれ検出梁7e、7fにて、第3回転フレーム23に連結されている。検出梁7e、7fは、Y軸方向に変位しやすい構造となっており、よって、角速度センサ503に作用する角速度等により、検出フレーム8e、8fは、Y軸方向に変位可能である。
検出フレーム8g、8hは、検出フレーム8e、8fと同一形状にてなる枠体であり、第4回転フレーム24において、第4ねじれ軸T4を対称軸としてX軸方向に一対が配置される。検出フレーム8g、8hは、Y軸方向における両端部分を、それぞれ検出梁7g、7hにて、第4回転フレーム24に連結されている。検出梁7g、7hは、Y軸方向に変位しやすい構造となっており、よって、角速度センサ503に作用する角速度等により、検出フレーム8g、8hは、Y軸方向に変位可能である。
検出電極4は、基板1に立設して、検出フレーム8e、8f、8g、8hの内側にそれぞれ配置され、検出電極4cと検出電極4dとで構成されている。検出電極4cと、検出電極4dは、図13に示すように、Y軸方向に沿って交互に配置されている。又、検出フレーム8eと検出フレーム8fとでは、検出電極4c、4dの配置順序は逆になっており、検出フレーム8gと検出フレーム8hとでは、検出電極4c、4dの配置順序は逆になっている。例えば、検出フレーム8hの各空隙内では、Y軸方向において負側が検出電極4c、正側が検出電極4dと配置したときには、検出フレーム8gの各空隙内では負側に検出電極4dを、正側に検出電極4cを配置している。また、検出フレーム8eと検出フレーム8hとにおける検出電極4は、同配置順序であり、検出フレーム8fと検出フレーム8gとにおける検出電極4は、同配置順序となっている。
駆動フレーム2Aは、第3及び第4回転フレーム23、24のそれぞれからY軸方向に延びる第3及び第4リンク梁33、34によって、基板1上で基板1の厚み方向であるZ軸方向に変位可能に支持されている。
第3リンク梁33は、Y軸方向に沿う軸L3上の位置にて、第3回転フレーム23に設けられている。ここで、軸L3は、第3ねじれ軸T3を、第3ねじれ軸T3と交差する方向に沿って、つまり本実施形態ではX軸方向に沿って、第3回転フレーム23の一方端部側へオフセットe3にて平行移動した軸である。即ち、オフセットe3の絶対値は、第3ねじれ軸T3と第3リンク梁33との間の寸法であり、その向きは第3ねじれ軸T3と交差して第3ねじれ軸T3から軸L1へ向かう方向である。
第4リンク梁34は、Y軸方向に沿う軸L4上の位置にて、第4回転フレーム24に設けられている。ここで、軸L4は、第4ねじれ軸T4を、第3ねじれ軸T3の移動方向とは反対方向、つまりオフセットe3と反対方向のオフセットe4にて平行移動した軸である。即ち、オフセットe4の絶対値は、第4ねじれ軸T4と第4リンク梁34との間の寸法であり、その向きはオフセットe3と反対方向である。
好ましくは、第3及び第4ねじれ梁13、14と、第3及び第4リンク梁33、34とは、オフセットe3とe4とが逆向きに等量となるように配置されている。さらに好ましくは、角速度センサの構造が軸対称になるようになっている。
又、本実施形態では、上述したように、第3ねじれ梁13、第3回転フレーム23、第3リンク梁33、及び複数の検出電極4c、4dは、第1ねじれ梁11、第1検出フレーム21、第1リンク梁31、及び複数の検出電極4a、4bと同一の形状であって、Z軸周りに90°回転された方位に形成されたものとしたが、これに限定するものではない。
同様に、本実施形態では上述したように、第4ねじれ梁14、第4回転フレーム24、第4リンク梁34、及び複数の検出電極4c、4dは、第2ねじれ梁12、第2検出フレーム22、第2リンク梁32、及び複数の検出電極4a、4bと同一の形状であって、Z軸周りに90°回転された方位に形成されたものとしたが、これに限定するものではない。
尚、本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態1の構成と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。又、本実施の形態の角速度センサ503において、角速度センサ501に対して付加された、第3及び第4ねじれ梁13、14と、第3及び第4回転フレーム23、24と、第3及び第4リンク梁33、34と、複数の検出電極4c、4dと、検出梁7e、7f、7g、7hと、検出フレーム8e、8f、8g、8hとに関する構成部分の機能は、角速度センサ501において説明した、対応構成部分の機能に同様である。よって、ここでの説明は省略する。
本実施の形態によれば、実施の形態1で説明したY軸方向の角速度の検出が可能であるのみならず、X軸方向の角速度が印加された場合に、実施の形態1で構成された以外の構成部分が実施の形態1と同様の動作をし、角速度を得ることが出来る。したがって、本実施の形態3の角速度センサ503によれば、X、Yの2軸に関する角速度の検出が可能となる。
実施の形態4.
図14は、本発明の実施の形態4における角速度センサ504の構成を概略的に示す上面図である。
前述した実施の形態1の角速度センサ501においては、角速度センサ501の外周側に駆動フレーム2が配され、第1及び第2回転フレーム21、22がその内側に配されている。一方、本実施の形態4の角速度センサ504では、角速度センサ504の外周側に第1及び第2回転フレーム21、22が配され、駆動フレーム2Rがその内側に配されている点で実施の形態1の角速度センサと相違している。
尚、本実施の形態において、これ以外の構成は、上述した実施の形態1の構成と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
図14は、本発明の実施の形態4における角速度センサ504の構成を概略的に示す上面図である。
前述した実施の形態1の角速度センサ501においては、角速度センサ501の外周側に駆動フレーム2が配され、第1及び第2回転フレーム21、22がその内側に配されている。一方、本実施の形態4の角速度センサ504では、角速度センサ504の外周側に第1及び第2回転フレーム21、22が配され、駆動フレーム2Rがその内側に配されている点で実施の形態1の角速度センサと相違している。
尚、本実施の形態において、これ以外の構成は、上述した実施の形態1の構成と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態4によれば、検出電極4a、4bからの配線の引き回しを、駆動フレーム2Rの下方を通過させずに容易に行なうことができる。よって、検出電極4a、4bのための配線と駆動フレーム2Rとの寄生容量が形成されることを抑制することができ、より精度の高い角速度の検出が可能となる。
実施の形態5.
図15は、本発明の実施の形態5における角速度センサ505の構成を概略的に示す上面図である。
実施の形態1では、基板1上に駆動フレーム2に対向して駆動電極5と、調整電極6a、6b、6c、6dと、モニター電極100と、検出電極4a、4bとを配置している。よって、これらは、配線を引き回す必要がある。実施の形態5はこの点を改善したもので、図15に示すように、駆動電極5Sと、調整電極6S、6T、6U、6Vと、モニター電極100Sと、検出電極4S、4Tとを櫛歯構造にして配置する。実施の形態1に示す駆動フレーム2及び検出フレーム8a、8b、8c、8dに対応する、本実施の形態5における駆動フレーム2S及び検出フレーム8S、8T、8U、8Vは、櫛歯状の駆動電極5S、調整電極6S、6T、6U、6V、モニター電極100S、及び、検出電極4S、4Tに対応するように、一部櫛歯構造とする。又、これに伴い、実施の形態1における第1及び第2の回転フレーム21、22について、図15に示すように、その形状を変更し、第1及び第2の回転フレーム21S、22Sとする。
図15は、本発明の実施の形態5における角速度センサ505の構成を概略的に示す上面図である。
実施の形態1では、基板1上に駆動フレーム2に対向して駆動電極5と、調整電極6a、6b、6c、6dと、モニター電極100と、検出電極4a、4bとを配置している。よって、これらは、配線を引き回す必要がある。実施の形態5はこの点を改善したもので、図15に示すように、駆動電極5Sと、調整電極6S、6T、6U、6Vと、モニター電極100Sと、検出電極4S、4Tとを櫛歯構造にして配置する。実施の形態1に示す駆動フレーム2及び検出フレーム8a、8b、8c、8dに対応する、本実施の形態5における駆動フレーム2S及び検出フレーム8S、8T、8U、8Vは、櫛歯状の駆動電極5S、調整電極6S、6T、6U、6V、モニター電極100S、及び、検出電極4S、4Tに対応するように、一部櫛歯構造とする。又、これに伴い、実施の形態1における第1及び第2の回転フレーム21、22について、図15に示すように、その形状を変更し、第1及び第2の回転フレーム21S、22Sとする。
本実施の形態5によれば、基板1に上下部配線を使用する必要がなくなることから、寄生容量を小さくすることができる。よって、より精度の高い角速度の検出が可能となる。また、下部配線の必要がないことから、基板1をパイレックス(登録商標)ガラス、その他構成部を単結晶シリコンとするバルク構造体で形成が可能となる。
実施の形態6.
図16は、本発明の実施の形態6における角速度センサの構成を概略的に示す断面図である。図16を参照して、本実施の形態6の角速度センサ506は、上述の実施の形態1の構成に加えてさらに、キャップ300を有している。
図16は、本発明の実施の形態6における角速度センサの構成を概略的に示す断面図である。図16を参照して、本実施の形態6の角速度センサ506は、上述の実施の形態1の構成に加えてさらに、キャップ300を有している。
キャップ300は、例えばガラス製であり、基板1上にアンカー99により支持されている。キャップ300の接合方法としては、陽極接合などの強固な接合が可能な方法が望ましい。また、キャップ300を単結晶シリコンにしてフリットガラスなどで接合しても良い。
このキャップ300により、基板1上に形成された第1及び第2の回転フレーム21、22と、駆動フレーム2と、第1及び第2のねじれ梁11、12と、第1及び第2のリンク梁31、32と、検出電極4と、駆動電極5と、調整電極6と、検出梁7と、検出フレーム8と、モニター電極100とを有する、角速度センサ506の構造体部分が覆われている。
本実施の形態6によれば、図16に示すように、キャップ300により、角速度センサ506の構造体部分が覆われており、好ましくは密封されている。このため、構造体部分にゴミや水滴などの不純物が侵入することを抑制することができる。よって、角速度センサの耐環境性が向上する。
尚、上述した各実施形態における構成を任意に組み合わせて構成することもできる。
今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
1 基板、2、2R 駆動フレーム、4 検出電極、5 駆動電極、6 調整電極、
7 検出梁、8a〜8h 検出フレーム、8S〜8V 検出フレーム、
11 第1ねじれ梁、12 第2ねじれ梁、
13 第3ねじれ梁、14 第4ねじり梁、
21、21S 第1回転フレーム、22、22S 第2回転フレーム、
23 第3回転フレーム、24 第4回転フレーム、
31 第1リンク梁、32 第2リンク梁、
33 第3リンク梁、34 第4リンク梁、
91〜94 アンカー、100 モニター電極、
200 支持梁、300 キャップ。
7 検出梁、8a〜8h 検出フレーム、8S〜8V 検出フレーム、
11 第1ねじれ梁、12 第2ねじれ梁、
13 第3ねじれ梁、14 第4ねじり梁、
21、21S 第1回転フレーム、22、22S 第2回転フレーム、
23 第3回転フレーム、24 第4回転フレーム、
31 第1リンク梁、32 第2リンク梁、
33 第3リンク梁、34 第4リンク梁、
91〜94 アンカー、100 モニター電極、
200 支持梁、300 キャップ。
Claims (10)
- 互いに直交する第1、第2、及び第3の軸の内、少なくとも第2の軸周りの角速度を検出する静電容量型の角速度センサであって、
基板と、
上記基板の上方にて、上記第2の軸方向に互いに独立して配置される一対の第1測定対象検出用回転フレームと、
それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレーム内にて、上記第2の軸方向にてそれぞれ一対ずつ配置され上記第1の軸方向へ変位可能な第1測定対象検出用検出フレームと、
それぞれの上記第1測定対象検出用検出フレーム内に配置され、当該角速度センサに作用する角速度による上記第1測定対象検出用検出フレームの上記第1の軸方向への変位に応じて変化する静電容量を検出する第1測定対象検出用検出電極と、
上記基板の上方にて、それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームに第1測定対象検出用リンク梁を介して支持される駆動フレームと、を備え、
それぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームは、上記基板に支持される第1測定対象検出用ねじれ梁にて上記第1の軸周りに回転可能にして上記基板に支持され、
上記第1測定対象検出用リンク梁は、上記駆動フレームに対して各第1測定対象検出用回転フレームを上記第1の軸周りに回転可能に支持し、かつ、上記第1測定対象検出用ねじれ梁に対して上記第2の軸方向にずれた位置に配置される、
ことを特徴とする角速度センサ。 - 上記第1測定対象検出用ねじれ梁は、上記第1測定対象検出用回転フレームの中央部にて上記基板に立設されたアンカーに接続され、
上記第1測定対象検出用検出フレームは、上記第1測定対象検出用ねじれ梁を対称軸として上記第2の軸方向に互いに独立してそれぞれの上記第1測定対象検出用回転フレームに一対ずつ配置される、請求項1記載の角速度センサ。 - 上記基板に形成され、上記第1測定対象検出用回転フレームを回転させるために上記第3の軸方向に上記駆動フレームを振動させる駆動電極と、
上記基板に形成され上記駆動フレームの変位を検知するモニター電極と、をさらに備えた、請求項2記載の角速度センサ。 - それぞれの第1測定対象検出用回転フレームが有する第1測定対象検出用ねじれ梁は、上記第1の軸方向に延びかつ互いに平行に配置されている、請求項1から3のいずれかに記載の角速度センサ。
- 上記駆動フレームに接続され、上記第1の軸方向及び上記第2の軸方向への上記駆動フレームの変位を抑制する支持梁をさらに備えた、請求項1から4のいずれかに記載の角速度センサ。
- 上記基板上に設けられ、上記第1測定対象検出用回転フレーム、上記第1測定対象検出用検出フレーム、及び上記駆動フレームを有する角速度センサ構造体部分を覆うキャップをさらに備えた、請求項1から5のいずれかに記載の角速度センサ。
- 上記駆動フレームは、一対の上記第1測定対象検出用回転フレームの間に配置される、請求項1から6記載の角速度センサ。
- 上記第1測定対象検出用検出電極、上記駆動電極、及び上記モニタ電極は、櫛歯形状にて形成される、請求項3記載の角速度センサ。
- 上記基板の上方にて、上記第1の軸方向に互いに独立して配置される一対の第2測定対象検出用回転フレームと、
それぞれの上記第2測定対象検出用回転フレーム内にて、上記第1の軸方向にてそれぞれ一対ずつ配置され上記第2の軸方向へ変位可能な第2測定対象検出用検出フレームと、
それぞれの上記第2測定対象検出用検出フレーム内に配置され、当該角速度センサに作用する角速度による上記第2測定対象検出用検出フレームの上記第2の軸方向への変位に応じて変化する静電容量を検出する第2測定対象検出用検出電極と、をさらに備え、
上記駆動フレームは、さらに、それぞれの上記第2測定対象検出用回転フレームに第2測定対象検出用リンク梁を介して支持され、
それぞれの上記第2測定対象検出用回転フレームは、上記基板に支持される第2測定対象検出用ねじれ梁にて上記第2の軸周りに回転可能にして上記基板に支持され、
上記第2測定対象検出用リンク梁は、上記駆動フレームに対して各第2測定対象検出用回転フレームを上記第2の軸周りに回転可能に支持し、かつ、上記第2測定対象検出用ねじれ梁に対して上記第1の軸方向にずれた位置に配置される、
請求項1記載の角速度センサ。 - 互いに直交する第1、第2、及び第3の軸の内、少なくとも第2の軸周りの角速度を検出する静電容量型の角速度センサであって、
基板と、
上記基板に支持され、上記第1の軸方向に沿う第1ねじれ軸の周りにねじれる第1ねじれ梁と、
上記第1ねじれ軸を中心に回転可能なように、上記第1ねじれ梁を介して上記基板に支持された第1回転フレームと、
上記基板に支持され、上記第1の軸方向に沿う第2ねじれ軸の周りにねじれる第2ねじれ梁と、
上記第2ねじれ軸を中心に回転可能なように、上記第2ねじれ梁を介して上記基板に支持された第2回転フレームと、
上記第1及び第2回転フレーム内に形成されコリオリ力によって上記第1の軸方向に変位する検出フレームと、
上記第1及び第2回転フレームと上記検出フレームとを接続する検出梁と、
上記検出フレーム内に位置し検出フレームと静電容量を形成するための検出電極と、
上記第1ねじれ軸を上記第1ねじれ軸と交差する方向に沿って上記第1回転フレームの一方端部側に移動した位置において上記第1回転フレームに設けられ上記第1の軸方向に延びる第1リンク梁と、
上記第2ねじれ軸を上記移動の方向と反対方向にずらした軸上の位置において上記第2回転フレームに設けられ上記第1の軸方向に延びる第2リンク梁と、
上記第1及び第2リンク梁のそれぞれにより上記第1及び第2回転フレームの各々に連結されることにより、上記基板上で上記基板の厚み方向である上記第3の軸方向に振動可能に支持された駆動フレームと、
上記駆動フレームを静電力で駆動させるため上記基板に形成された駆動電極と、
上記駆動フレームの振動を上記第3の軸方向に平行に振動させるための調整電極と、
上記駆動フレームの振動動作を検出するため上記基板に形成されたモニター電極と、
を備えたことを特徴とする角速度センサ。
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2007
- 2007-04-06 JP JP2007100141A patent/JP2008256578A/ja active Pending
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