KR20100023045A - 회전 속도 센서 - Google Patents
회전 속도 센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20100023045A KR20100023045A KR1020107001447A KR20107001447A KR20100023045A KR 20100023045 A KR20100023045 A KR 20100023045A KR 1020107001447 A KR1020107001447 A KR 1020107001447A KR 20107001447 A KR20107001447 A KR 20107001447A KR 20100023045 A KR20100023045 A KR 20100023045A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- spring element
- axis
- sensing
- mode
- speed sensor
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
도 2는 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 제2 실시예의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 제3 실시예의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 4는 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 제4 실시예의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 5는 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 제5 실시예의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 6은 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 제6 실시예의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 7은 종래 기술에 따른 회전 속도 센서의 개략적인 단면도를 나타낸다.
도 8은 종래 기술에 따른 또 다른 회전 속도 센서의 개략적인 단면도를 나타 낸다.
Claims (20)
- 기판과 설계 평면(x-y)에서 기판에 상대적으로 움직일 수 있는 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)를 가지는 회전 속도 센서에 있어서,
두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)는 다음과 같이 결합된 구조체를 형성하기 위하여 결합되며,
-결합된 구조체는 가진 모드로서 설계 평면(x-y)상에 제1 방향(x)에서 움직이는 구성의 반대위상으로 편향하는 제1 진동 모드와,
-결합된 구조체는 제1 진동 모드가 가진 될 때와, 설계 평면(x-y)에 직각인 민감축(z)에 대하여 회전하는 동안에, 코리올리 가속도에 의하여 가진 되며, 감지 공진 주파수를 가지는 회전 속도 센서의 감지 모드로서 제2 진동 모드를 가지며,
결합된 구조체는, 이상화된 전제 조건하에서, 설계 평면(x-y) 축에서 제2 방향(y)에 평행한 방향에서 회전 속도 센서의 선형 가속도에 의하여 가진 될 수 있는 진동 모드가 없이 설계되며, 제2 방향(y)은 제1 방향(x)과 민감축(z)에 직각인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
- 제1항에 있어서,
회전 스프링 요소(4)는 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)를 서로 결합하도록 제공되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제2항에 있어서,
회전 스프링 요소(4)는 벤딩빔(5)과 고정지(6)를 기판상에 포함하며, 민감축(z)에 평행한 대칭축(10)에 대하여 대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제2항 또는 제3항에 있어서,
회전 스프링 요소(4)는 대칭축에 대한 비틀림을 위해 유연하고, 다른 모든 하중에 대하여 견고하게 설계된 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 또는 제4항에 있어서,
감지 모드는 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600) 또는 적어도 그 일부의 민감축(z)에 대한 회전 진동인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제5항에 있어서,
개별적인 구조체(100, 200)는 진동체(110, 210)를 포함하며, 진동체(110, 210)는 회전 스프링 요소(4)를 통해, 커플링 스프링 구조(3)을 통해 그리고 x 스프링 요소 또는 x 회전 스프링 요소(7)를 통해 결합되며,
커플링 스프링 구조(3)는 제1 방향(x)으로는 유연하고, 민감축(z)의 방향으로는 견고하며 그리고 제2 방향(y)으로는 가능한 견고하며, 그리고 x 스프링 요소 또는 x회전 스프링 요소(7)는 회전 스프링 요소(4)와 진동체(110, 210) 사이에 배열되며, 제1 방향(x)으로 유연하게 설계되거나, 또는 x 회전 스프링 요소는 추가로 민감축(z)에 평행하게 배열되는 대칭축(110)에 대한 비틀림을 위해 유연하고, 모든 다른 하중에 견고하게 설계된 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
감지 모드는 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600) 또는 적어도 그 일부의 제2 방향(y)을 따른 반대위상의 선형적 진동이며, 제2 방향(y)은 제1 방향(x) 및 축(z)에 수직인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제7항에 있어서,
x 회전 스프링 요소(7)는, 민감축(z)에 평행한 대칭축(11)을 가지며, 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)과 회전 스프링 요소(4)사이에서 각각의 경우에 제공되며, x 회전 스프링 요소(7)는 x 축 방향 및 대칭축(11)에 대한 비틀림을 위해 유연하고, 다른 모든 하중에 대해서 견고하게 설계된 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제8항에 있어서,
개별적인 구조체(300, 400)는 가진 유닛(310, 410)과 표본 질량(330, 430)을 가지며, 가진 유닛(310, 410)은 제1 방향(x)에서만 움직일 수 있고, 커플링 스프링 구조(3)를 통해 결합되며, 표본 질량(330, 430)은 y 스프링 요소(331, 431)를 통해 가진 유닛(310, 410)에 결합되며,
y 스프링 요소(331, 431)는 제1 방향(x)으로는 견고하며, 민감축(z)에 평행하고, 제2 방향(y)으로 유연하며,
표본 질량(330, 430)은 x 회전 스프링 요소(7)를 통해 회전 스프링 요소(4)에 연결되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제8항에 있어서,
개별적인 구조체(500, 600)는 가진 유닛(510, 610), 코리올리 요소(520, 620) 및 감지 유닛(530, 630)을 포함하며, 가진 유닛(510, 610)은 커플링 스프링 구조(3)를 통해 결합되고, 감지 유닛(530, 630)은 회전 스프링 요소(4) 및 x 회전 스프링 요소(7)를 통해 결합되며, 코리올리 요소(520, 620)는 y 스프링 요소(521, 621)를 통해 가진 유닛(510, 610)에 연결되며, 감지 유닛(530, 630)은 x 스프링 요소(531b, 631b)를 통해 코리올리 요소(520, 620)에 연결되며,
개별적인 구조체(500, 600)는, 감지 유닛(530, 630)을 기판에 고정시키는 것에 의하여 또 다른 y 스프링 요소(532, 632)를 가지며, 또 다른 y 스프링 요소(532, 632)는 제2 축(y) 방향으로는 유연하고, 다른 모든 하중에 대하여는 견고하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
감지 모드는 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600) 또는 적어도 그 일부의 제1 방향(x)과 축(z)에 직각인 제2 방향(y)을 따르는 반대 위상의 선형적인 진동을 구성하는 복합된 형태이거나, 두개의 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600) 또는 적어도 그 일부의 민감축(z)에 대한 회전 진동인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제11항에 있어서,
개별적인 구조체(500, 600)는 가진 유닛(510, 610), 코리올리 요소(520, 620) 및 감지 모드(530, 630)를 구성하며, 코리올리 요소(520, 620)는 y 스프링 요소(521, 621)를 통해 가진 유닛(510, 610)에 연결되며, 가진 유닛(510, 610)은 커플링 스프링 구조(3)에 의해 결합되고, 감지 유닛(530, 630)은 회전 스프링 요소(4)를 통해 결합되며,
축(z)에 평행한 대칭축(11)을 가지는 x회전 스프링 요소(531, 631)는 각각 코리올리 요소(520, 620)와 감지 유닛(530, 630) 사이에 제공되며, x 회전 스프링 요소(531, 631)는 x 방향과 대칭축(11)에 대한 비틀림(torsion)을 위하여 부드럽고, 다른 모든 하중에 대하여 견고하게 설계되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)는 가진 모드의 가진용 힘 발신기(114, 214, 314, 414, 514, 614)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)는 가진 모드 용 탭을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)는 감지 모드의 감지 용 탭(134, 234, 334, 434, 534, 634)을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제15항에 있어서,
감지 모드의 감지용 탭(134, 234, 334, 434, 534, 634)은 평판 축전기 배열인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제15항에 있어서,
감지 모드의 감지용 탭(534, 634)은 콤 드라이브인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)는 감지 모드의 재설정을 위한 힘 발신기인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
튜닝 전극(tuning electrode)(524, 624)은 개별적인 구조체(100, 200, 300, 400, 500, 600)의 공진 주파수를 조절하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서. - 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
또 다른 힘 발신기 및 탭(524, 624)은 코리올리 요소에 대한 힘의 적용과 그들의 편향의 측정을 위해 제공되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007030120.2 | 2007-06-29 | ||
DE102007030120A DE102007030120B4 (de) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Drehratensensor |
PCT/EP2008/002504 WO2009003543A1 (de) | 2007-06-29 | 2008-03-28 | Drehratensensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100023045A true KR20100023045A (ko) | 2010-03-03 |
KR101110462B1 KR101110462B1 (ko) | 2012-02-24 |
Family
ID=39493737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020107001447A KR101110462B1 (ko) | 2007-06-29 | 2008-03-28 | 회전 속도 센서 |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8365595B2 (ko) |
EP (1) | EP2160566B1 (ko) |
JP (1) | JP4928634B2 (ko) |
KR (1) | KR101110462B1 (ko) |
CN (1) | CN101688775B (ko) |
AT (1) | ATE537427T1 (ko) |
AU (1) | AU2008271666B2 (ko) |
CA (1) | CA2690454C (ko) |
DE (1) | DE102007030120B4 (ko) |
RU (1) | RU2436041C2 (ko) |
WO (1) | WO2009003543A1 (ko) |
ZA (1) | ZA200908840B (ko) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI20095201A0 (fi) * | 2009-03-02 | 2009-03-02 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
DE102009026511A1 (de) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um mindestens eine von drei senkrecht aufeinanderstehenden Raumachsen |
JP4968298B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2012-07-04 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
DE102009045431A1 (de) * | 2009-10-07 | 2011-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur |
DE102009046506B4 (de) | 2009-11-06 | 2024-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE102010006584B4 (de) | 2010-02-02 | 2012-09-27 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Corioliskreisel mit Korrektureinheiten und Verfahren zur Reduktion des Quadraturbias |
DE102010029630A1 (de) * | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE102010038461B4 (de) * | 2010-07-27 | 2018-05-30 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zur Herstellung eines Masseelements |
FI124020B (fi) * | 2011-03-04 | 2014-02-14 | Murata Electronics Oy | Jousirakenne, resonaattori, resonaattorimatriisi ja anturi |
FR2983574B1 (fr) * | 2011-12-06 | 2014-01-10 | Sagem Defense Securite | Capteur angulaire inertiel de type mems equilibre et procede d'equilibrage d'un tel capteur |
DE102012210144A1 (de) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betrieb und/oder zur Vermessung einer mikromechanischen Vorrichtung und mikromechanische Vorrichtung |
EP2746724B1 (en) | 2012-12-20 | 2017-02-22 | Tronics Microsystems S.A. | Micromechanical gyroscope |
JP6195051B2 (ja) | 2013-03-04 | 2017-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体 |
US9506756B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-11-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis rate sensor |
DE102013007593B4 (de) | 2013-05-02 | 2022-12-29 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungssensor sowie verfahren zur herstellung eines beschleunigungssensors |
EP3019442A4 (en) | 2013-07-08 | 2017-01-25 | Motion Engine Inc. | Mems device and method of manufacturing |
US10273147B2 (en) | 2013-07-08 | 2019-04-30 | Motion Engine Inc. | MEMS components and method of wafer-level manufacturing thereof |
WO2015013828A1 (en) | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Motion Engine Inc. | Mems motion sensor and method of manufacturing |
FI125695B (en) * | 2013-09-11 | 2016-01-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope construction and gyroscope |
EP2887013B1 (en) | 2013-12-18 | 2016-08-10 | Tronic's Microsystems | MEMS sensor for measuring z-axis angular rate |
JP6590812B2 (ja) | 2014-01-09 | 2019-10-16 | モーション・エンジン・インコーポレーテッド | 集積memsシステム |
US9958271B2 (en) * | 2014-01-21 | 2018-05-01 | Invensense, Inc. | Configuration to reduce non-linear motion |
JP2015184009A (ja) | 2014-03-20 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子機器、および移動体 |
US20170030788A1 (en) | 2014-04-10 | 2017-02-02 | Motion Engine Inc. | Mems pressure sensor |
US11674803B2 (en) | 2014-06-02 | 2023-06-13 | Motion Engine, Inc. | Multi-mass MEMS motion sensor |
JP6575129B2 (ja) | 2014-06-12 | 2019-09-18 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
FR3022996B1 (fr) * | 2014-06-27 | 2017-12-01 | Thales Sa | Capteur inertiel angulaire mems fonctionnant en mode diapason |
EP2963387B1 (en) | 2014-06-30 | 2019-07-31 | STMicroelectronics Srl | Micro-electro-mechanical device with compensation of errors due to disturbance forces, such as quadrature components |
US11287486B2 (en) | 2014-12-09 | 2022-03-29 | Motion Engine, Inc. | 3D MEMS magnetometer and associated methods |
DE102014225844A1 (de) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Testen der Funktionalität eines Drehratensensors |
US10407299B2 (en) | 2015-01-15 | 2019-09-10 | Motion Engine Inc. | 3D MEMS device with hermetic cavity |
DE102015213450A1 (de) | 2015-07-17 | 2017-01-19 | Robert Bosch Gmbh | MEMS Drehratensensor mit kombiniertem Antrieb und Detektion |
US10371521B2 (en) | 2016-05-26 | 2019-08-06 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a four-mass vibrating MEMS structure |
US10696541B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-06-30 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for bias suppression in a non-degenerate MEMS sensor |
US20180252526A1 (en) * | 2017-03-06 | 2018-09-06 | Nxp Usa, Inc. | Mems device with in-plane quadrature compensation |
JP6394739B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
DE102017216010A1 (de) * | 2017-09-12 | 2019-03-14 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
US11891297B2 (en) * | 2019-07-05 | 2024-02-06 | Aac Acoustic Technologies (Shenzhen) Co., Ltd. | Motion control structure and actuator |
DE102019213491A1 (de) * | 2019-09-05 | 2021-03-11 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0735577A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-02-07 | Brother Ind Ltd | 回転速度計 |
EP0765464B1 (de) * | 1994-06-16 | 2003-05-14 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
WO1996000310A1 (en) | 1994-06-24 | 1996-01-04 | Teledyne Industries, Inc. | Nickel-based alloy and method |
DE19530007C2 (de) * | 1995-08-16 | 1998-11-26 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE19641284C1 (de) | 1996-10-07 | 1998-05-20 | Inst Mikro Und Informationstec | Drehratensensor mit entkoppelten orthogonalen Primär- und Sekundärschwingungen |
DE19648425C1 (de) | 1996-11-22 | 1998-01-02 | Siemens Ag | Drehratensensor |
JPH10230756A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-09-02 | Komatsu Ltd | 超信地旋回機能付き多軸車両及び左右逆回転機能付き差動装置 |
JP3882972B2 (ja) * | 1998-06-18 | 2007-02-21 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
DE10040418A1 (de) | 2000-08-18 | 2002-03-07 | Hahn Schickard Ges | Drehratensensor und Drehratensensorsystem |
US6742389B2 (en) * | 2001-01-24 | 2004-06-01 | The Regents Of The University Of Michigan | Filter-based method and system for measuring angular speed of an object |
DE10108198A1 (de) | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE10108197A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE10203515A1 (de) * | 2002-01-30 | 2003-08-07 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Drehratensensor |
US6860151B2 (en) * | 2003-02-07 | 2005-03-01 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures |
FR2859528B1 (fr) * | 2003-09-09 | 2006-01-06 | Thales Sa | Gyrometre micro-usine a double diapason et a detection dans le plan de la plaque usinee |
US7036372B2 (en) * | 2003-09-25 | 2006-05-02 | Kionix, Inc. | Z-axis angular rate sensor |
JP4433747B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2010-03-17 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出装置 |
DE10350037A1 (de) * | 2003-10-27 | 2005-05-25 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE10360962B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-31 | Litef Gmbh | Verfahren zur Quadraturbias-Kompensation in einem Corioliskreisel sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
DE10360963B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-16 | Litef Gmbh | Verfahren zur Messung von Drehraten/Beschleunigungen unter Verwendung eines Drehraten-Corioliskreisels sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
KR100624331B1 (ko) | 2005-03-11 | 2006-09-19 | 한국하니웰 주식회사 | 회전속도 센서 |
US7421897B2 (en) * | 2005-04-14 | 2008-09-09 | Analog Devices, Inc. | Cross-quad and vertically coupled inertial sensors |
US7240552B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-07-10 | Bei Technologies, Inc. | Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling |
JP2007071677A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Hitachi Ltd | コンバインドセンサとその製造方法 |
JP4887034B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2012-02-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
FR2895501B1 (fr) * | 2005-12-23 | 2008-02-29 | Commissariat Energie Atomique | Microsysteme, plus particulierement microgyrometre, avec au moins deux massesm oscillantes couplees mecaniquement |
-
2007
- 2007-06-29 DE DE102007030120A patent/DE102007030120B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-03-28 RU RU2009144800/28A patent/RU2436041C2/ru active
- 2008-03-28 CN CN2008800227249A patent/CN101688775B/zh active Active
- 2008-03-28 AT AT08716716T patent/ATE537427T1/de active
- 2008-03-28 JP JP2010513680A patent/JP4928634B2/ja active Active
- 2008-03-28 AU AU2008271666A patent/AU2008271666B2/en active Active
- 2008-03-28 CA CA2690454A patent/CA2690454C/en active Active
- 2008-03-28 EP EP08716716A patent/EP2160566B1/de active Active
- 2008-03-28 US US12/451,998 patent/US8365595B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-28 KR KR1020107001447A patent/KR101110462B1/ko active IP Right Grant
- 2008-03-28 WO PCT/EP2008/002504 patent/WO2009003543A1/de active Application Filing
-
2009
- 2009-12-11 ZA ZA200908840A patent/ZA200908840B/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010531447A (ja) | 2010-09-24 |
US20100139399A1 (en) | 2010-06-10 |
CA2690454C (en) | 2014-07-15 |
EP2160566A1 (de) | 2010-03-10 |
DE102007030120B4 (de) | 2010-04-08 |
US8365595B2 (en) | 2013-02-05 |
AU2008271666B2 (en) | 2011-07-28 |
CN101688775B (zh) | 2011-11-30 |
ATE537427T1 (de) | 2011-12-15 |
RU2009144800A (ru) | 2011-08-10 |
ZA200908840B (en) | 2010-09-29 |
EP2160566B1 (de) | 2011-12-14 |
JP4928634B2 (ja) | 2012-05-09 |
CN101688775A (zh) | 2010-03-31 |
KR101110462B1 (ko) | 2012-02-24 |
DE102007030120A1 (de) | 2009-01-02 |
AU2008271666A1 (en) | 2009-01-08 |
CA2690454A1 (en) | 2009-01-08 |
WO2009003543A1 (de) | 2009-01-08 |
RU2436041C2 (ru) | 2011-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101110462B1 (ko) | 회전 속도 센서 | |
KR101178692B1 (ko) | 코리올리 자이로스코프 | |
US20210116244A1 (en) | Drive and sense balanced, semi-coupled 3-axis gyroscope | |
US6349597B1 (en) | Rotation rate sensor with uncoupled mutually perpendicular primary and secondary oscillations | |
KR101823325B1 (ko) | 개선된 자이로스코프 구조체 및 자이로스코프 | |
US6230563B1 (en) | Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability | |
EP2098822B1 (en) | Vibrating gyroscope with quadrature signals reduction | |
JP5247182B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4719751B2 (ja) | 角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサー | |
US8794066B2 (en) | Micromechanical Coriolis rate of rotation sensor | |
WO2020061506A1 (en) | Drive and sense balanced, fully-coupled 3-axis gyroscope | |
JP2020091280A (ja) | 回転運動検出用微小電気機械デバイス | |
WO2001079862A1 (en) | Z-axis micro-gyro | |
FI127202B (en) | Three axis gyroscope | |
FI126557B (en) | Improved gyroscope structure and gyroscope | |
Seok et al. | Design, analysis, and experimental results of micromachined single-structure triaxis vibratory gyroscope with advanced coupling mechanism | |
KR100319920B1 (ko) | 비대칭 내부 비틀림 짐벌을 가진 측면 구동 방식의 짐벌형 자이로스코프 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150119 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160105 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161223 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171226 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181226 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191223 Year of fee payment: 9 |