RU2009144800A - Датчик скорости вращения - Google Patents
Датчик скорости вращения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009144800A RU2009144800A RU2009144800/28A RU2009144800A RU2009144800A RU 2009144800 A RU2009144800 A RU 2009144800A RU 2009144800/28 A RU2009144800/28 A RU 2009144800/28A RU 2009144800 A RU2009144800 A RU 2009144800A RU 2009144800 A RU2009144800 A RU 2009144800A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- axis
- elements
- speed sensor
- elastic
- structures
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
1. Датчик скорости вращения, включающий ! подложку и две многоэлементные отдельные структуры (300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y) и соединенные между собой с формированием связанной структуры, имеющей ! - первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х) на рабочей плоскости (х-y) в качестве моды возбуждения и ! - вторую моду колебаний в качестве моды детектирования, которая может быть возбуждена ускорениями Кориолиса при возбуждении первой моды колебаний и при вращении вокруг оси (z) чувствительности, расположенной под прямым углом на рабочей плоскости датчика скорости вращения, ! отличающийся тем, что ! в нем предусмотрен вращающийся упругий элемент (4), который является податливым при кручении относительно оси (10) симметрии, параллельной оси (z) чувствительности, и жестким при всех других нагрузках и соединяет указанные две отдельные структуры (300, 400, 500, 600) между собой таким образом, что части отдельных структур совершают общие крутильные колебания вокруг оси (10) симметрии, причем мода детектирования содержит передаваемые от крутильных колебаний линейные колебания в противофазе частей указанных двух отдельных структур (300, 400, 500, 600) вдоль второго направления (y), расположенного под прямым углом к первому направлению (х). ! 2. Датчик скорости вращения по п.1, отличающийся тем, что ! вращающийся упругий элемент (4) содержит упругие стержни (5) и крепление (6) на подложке и сформирован симметрично относительно оси (10) симметрии. ! 3. Датчик скорости вращения по п.1, отличающийся тем, что ! указанные отдельные структуры
Claims (13)
1. Датчик скорости вращения, включающий
подложку и две многоэлементные отдельные структуры (300, 400, 500, 600), выполненные с возможностью перемещения относительно подложки на рабочей плоскости (х-y) и соединенные между собой с формированием связанной структуры, имеющей
- первую моду колебаний с отклонениями в противофазе подвижных структур в первом направлении (х) на рабочей плоскости (х-y) в качестве моды возбуждения и
- вторую моду колебаний в качестве моды детектирования, которая может быть возбуждена ускорениями Кориолиса при возбуждении первой моды колебаний и при вращении вокруг оси (z) чувствительности, расположенной под прямым углом на рабочей плоскости датчика скорости вращения,
отличающийся тем, что
в нем предусмотрен вращающийся упругий элемент (4), который является податливым при кручении относительно оси (10) симметрии, параллельной оси (z) чувствительности, и жестким при всех других нагрузках и соединяет указанные две отдельные структуры (300, 400, 500, 600) между собой таким образом, что части отдельных структур совершают общие крутильные колебания вокруг оси (10) симметрии, причем мода детектирования содержит передаваемые от крутильных колебаний линейные колебания в противофазе частей указанных двух отдельных структур (300, 400, 500, 600) вдоль второго направления (y), расположенного под прямым углом к первому направлению (х).
2. Датчик скорости вращения по п.1, отличающийся тем, что
вращающийся упругий элемент (4) содержит упругие стержни (5) и крепление (6) на подложке и сформирован симметрично относительно оси (10) симметрии.
3. Датчик скорости вращения по п.1, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (300, 400) содержат модули (310, 410) возбуждения и эталонные массы (330, 430), причем модули (310, 410) возбуждения выполнены с возможностью перемещения только в первом направлении (х), соединены между собой посредством соединительных упругих структур (3) и соединены с эталонными массами (330, 430) посредством упругих относительно у элементов (331, 431),
причем упругие относительно y элементы (331, 431) являются жесткими в первом направлении (х) и параллельны оси (z) чувствительности, а также являются податливым во втором направлении (y), а
эталонные массы (330, 430) соединены посредством упругих вращающихся относительно х элементов (7) с вращающимся упругим элементом (4),
при этом упругие вращающиеся относительно х элементы (7) имеют ось (11) симметрии, которая параллельна оси (z) чувствительности, расположены в каждом случае между отдельными структурами (300, 400) и вращающимся упругим элементом (4) и являются податливыми в направлении х и при кручении относительно своей оси (11) симметрии и жесткими при всех других нагрузках.
4. Датчик скорости вращения по п.2, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (500, 600) содержат модули (510, 610) возбуждения, элементы (520, 620), основанные на эффекте Кориолиса, и модули (530, 630) регистрации, причем модули (510, 610) возбуждения соединены посредством соединительной упругой структуры (3), модули (530, 630) регистрации соединены посредством вращающегося упругого элемента (4) и упругих вращающихся относительно х элементов (7), элементы (520, 620), основанные на эффекте Кориолиса, соединены посредством упругих относительно у элементов (521, 621) с модулями (510, 610) возбуждения, а модули (530, 630) регистрации соединены посредством упругих относительно х элементов (531b, 631b) с элементами (520, 620), основанными на эффекте Кориолиса,
при этом отдельные структуры (500, 600) снабжены дополнительными упругими относительно y элементами (532, 632), посредством которых модули (530, 630) регистрации закреплены на подложке, и которые выполненными таким образом, что они являются податливыми в направлении второй оси (y) и жесткими при всех других нагрузках, а упругие вращающиеся относительно х элементы (7) имеют ось (11) симметрии, которая параллельна оси (z) чувствительности, расположены в каждом случае между отдельными структурами (500, 600) и вращающимся упругим элементом (4) и являются податливыми в направлении х и при кручении вокруг своей оси (11) симметрии и жесткими при всех других нагрузках.
5. Датчик скорости вращения по п.1 или 2, отличающийся тем, что
мода детектирования представляет собой смешанный тип из линейных колебаний в противофазе частей двух отдельных структур (300, 400, 500, 600) вдоль второго направления (y) и крутильных колебаний других частей двух отдельных структур (300, 400, 500, 600) относительно оси (z) чувствительности.
6. Датчик скорости вращения по п.5, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (500, 600) содержат модули (510, 610) возбуждения, элементы (520, 620), основанные на эффекте Кориолиса, и модули (530, 630) регистрации, причем элементы (520, 620), основанные на эффекте Кориолиса, соединены посредством упругих относительно у элементов (521, 621) с модулями (510, 610) возбуждения, которые соединены между собой посредством соединительных упругих структур (3), а модули (530, 630) регистрации соединены посредством вращающегося упругого элемента (4),
при этом упругие вращающиеся относительно х элементы (531, 631), которые имеют ось (11) симметрии, параллельную оси (z) чувствительности, расположены в каждом случае между элементами (520, 620), основанными на эффекте Кориолиса, и модулями (530, 630) регистрации и являются податливыми в направлении х и при кручении вокруг своей оси (11) симметрии и жесткими при всех других нагрузках.
7. Датчик скорости вращения по любому из пп.1-4, 6, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (300, 400, 500, 600) снабжены датчиками (314, 414, 514, 614) силы для возбуждения моды возбуждения.
8. Датчик скорости вращения по любому из пп.1-4, 6, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (300, 400, 500, 600) снабжены ответвителями для моды возбуждения.
9. Датчик скорости вращения по любому из пп.1-4, 6, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (300, 400, 500, 600) снабжены ответвителями (334, 434, 534, 634) для регистрации моды детектирования.
10. Датчик скорости вращения по п.9, отличающийся тем, что
указанные ответвители (334, 434, 534, 634) для регистрации моды детектирования представляют собой пластинчато-конденсаторные конструкции.
11. Датчик скорости вращения по п.9, отличающийся тем, что
указанные ответвители (534, 634) для регистрации моды детектирования представляют собой электростатические двигатели.
12. Датчик скорости вращения по любому из пп.1-4, 6, 10 и 11, отличающийся тем, что
указанные отдельные структуры (300, 400, 500, 600) снабжены датчиками силы для восстановления моды детектирования.
13. Датчик скорости вращения по любому из пп.1-4, 6, 10 и 11, отличающийся тем, что
в нем предусмотрены настроечные электроды (524, 624) для обеспечения настройки резонансной частоты отдельных структур (300, 400, 500, 600).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007030120.2 | 2007-06-29 | ||
DE102007030120A DE102007030120B4 (de) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | Drehratensensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2009144800A true RU2009144800A (ru) | 2011-08-10 |
RU2436041C2 RU2436041C2 (ru) | 2011-12-10 |
Family
ID=39493737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009144800/28A RU2436041C2 (ru) | 2007-06-29 | 2008-03-28 | Датчик скорости вращения |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8365595B2 (ru) |
EP (1) | EP2160566B1 (ru) |
JP (1) | JP4928634B2 (ru) |
KR (1) | KR101110462B1 (ru) |
CN (1) | CN101688775B (ru) |
AT (1) | ATE537427T1 (ru) |
AU (1) | AU2008271666B2 (ru) |
CA (1) | CA2690454C (ru) |
DE (1) | DE102007030120B4 (ru) |
RU (1) | RU2436041C2 (ru) |
WO (1) | WO2009003543A1 (ru) |
ZA (1) | ZA200908840B (ru) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI20095201A0 (fi) * | 2009-03-02 | 2009-03-02 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
DE102009026511A1 (de) | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um mindestens eine von drei senkrecht aufeinanderstehenden Raumachsen |
JP4968298B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2012-07-04 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
DE102009045431A1 (de) * | 2009-10-07 | 2011-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur |
DE102009046506B4 (de) | 2009-11-06 | 2024-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE102010006584B4 (de) | 2010-02-02 | 2012-09-27 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Corioliskreisel mit Korrektureinheiten und Verfahren zur Reduktion des Quadraturbias |
DE102010029630A1 (de) * | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE102010038461B4 (de) * | 2010-07-27 | 2018-05-30 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zur Herstellung eines Masseelements |
FI124020B (fi) * | 2011-03-04 | 2014-02-14 | Murata Electronics Oy | Jousirakenne, resonaattori, resonaattorimatriisi ja anturi |
FR2983574B1 (fr) * | 2011-12-06 | 2014-01-10 | Sagem Defense Securite | Capteur angulaire inertiel de type mems equilibre et procede d'equilibrage d'un tel capteur |
DE102012210144A1 (de) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betrieb und/oder zur Vermessung einer mikromechanischen Vorrichtung und mikromechanische Vorrichtung |
EP2746724B1 (en) | 2012-12-20 | 2017-02-22 | Tronics Microsystems S.A. | Micromechanical gyroscope |
JP6195051B2 (ja) | 2013-03-04 | 2017-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体 |
US9506756B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-11-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis rate sensor |
DE102013007593B4 (de) | 2013-05-02 | 2022-12-29 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Beschleunigungssensor sowie verfahren zur herstellung eines beschleunigungssensors |
US10273147B2 (en) | 2013-07-08 | 2019-04-30 | Motion Engine Inc. | MEMS components and method of wafer-level manufacturing thereof |
EP3019442A4 (en) | 2013-07-08 | 2017-01-25 | Motion Engine Inc. | Mems device and method of manufacturing |
EP3028007A4 (en) | 2013-08-02 | 2017-07-12 | Motion Engine Inc. | Mems motion sensor and method of manufacturing |
FI125695B (en) * | 2013-09-11 | 2016-01-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope construction and gyroscope |
EP2887013B1 (en) | 2013-12-18 | 2016-08-10 | Tronic's Microsystems | MEMS sensor for measuring z-axis angular rate |
WO2015103688A1 (en) | 2014-01-09 | 2015-07-16 | Motion Engine Inc. | Integrated mems system |
US9958271B2 (en) * | 2014-01-21 | 2018-05-01 | Invensense, Inc. | Configuration to reduce non-linear motion |
JP2015184009A (ja) | 2014-03-20 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子機器、および移動体 |
WO2015154173A1 (en) | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Motion Engine Inc. | Mems pressure sensor |
WO2015184531A1 (en) | 2014-06-02 | 2015-12-10 | Motion Engine Inc. | Multi-mass mems motion sensor |
JP6575129B2 (ja) | 2014-06-12 | 2019-09-18 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
FR3022996B1 (fr) * | 2014-06-27 | 2017-12-01 | Thales Sa | Capteur inertiel angulaire mems fonctionnant en mode diapason |
EP2963387B1 (en) * | 2014-06-30 | 2019-07-31 | STMicroelectronics Srl | Micro-electro-mechanical device with compensation of errors due to disturbance forces, such as quadrature components |
CA3004760A1 (en) | 2014-12-09 | 2016-06-16 | Motion Engine Inc. | 3d mems magnetometer and associated methods |
DE102014225844A1 (de) * | 2014-12-15 | 2016-06-16 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Testen der Funktionalität eines Drehratensensors |
CA3004763A1 (en) | 2015-01-15 | 2016-07-21 | Motion Engine Inc. | 3d mems device with hermetic cavity |
DE102015213450A1 (de) | 2015-07-17 | 2017-01-19 | Robert Bosch Gmbh | MEMS Drehratensensor mit kombiniertem Antrieb und Detektion |
US10371521B2 (en) | 2016-05-26 | 2019-08-06 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a four-mass vibrating MEMS structure |
US10696541B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-06-30 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for bias suppression in a non-degenerate MEMS sensor |
US20180252526A1 (en) * | 2017-03-06 | 2018-09-06 | Nxp Usa, Inc. | Mems device with in-plane quadrature compensation |
JP6394739B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
DE102017216010A1 (de) * | 2017-09-12 | 2019-03-14 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
US11891297B2 (en) * | 2019-07-05 | 2024-02-06 | Aac Acoustic Technologies (Shenzhen) Co., Ltd. | Motion control structure and actuator |
DE102019213491A1 (de) * | 2019-09-05 | 2021-03-11 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0735577A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-02-07 | Brother Ind Ltd | 回転速度計 |
EP0765464B1 (de) * | 1994-06-16 | 2003-05-14 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
WO1996000310A1 (en) * | 1994-06-24 | 1996-01-04 | Teledyne Industries, Inc. | Nickel-based alloy and method |
DE19530007C2 (de) * | 1995-08-16 | 1998-11-26 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE19641284C1 (de) * | 1996-10-07 | 1998-05-20 | Inst Mikro Und Informationstec | Drehratensensor mit entkoppelten orthogonalen Primär- und Sekundärschwingungen |
DE19648425C1 (de) | 1996-11-22 | 1998-01-02 | Siemens Ag | Drehratensensor |
JPH10230756A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-09-02 | Komatsu Ltd | 超信地旋回機能付き多軸車両及び左右逆回転機能付き差動装置 |
JP3882972B2 (ja) * | 1998-06-18 | 2007-02-21 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
DE10040418A1 (de) * | 2000-08-18 | 2002-03-07 | Hahn Schickard Ges | Drehratensensor und Drehratensensorsystem |
US6742389B2 (en) * | 2001-01-24 | 2004-06-01 | The Regents Of The University Of Michigan | Filter-based method and system for measuring angular speed of an object |
DE10108197A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE10108198A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE10203515A1 (de) * | 2002-01-30 | 2003-08-07 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Drehratensensor |
US6860151B2 (en) * | 2003-02-07 | 2005-03-01 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures |
FR2859528B1 (fr) * | 2003-09-09 | 2006-01-06 | Thales Sa | Gyrometre micro-usine a double diapason et a detection dans le plan de la plaque usinee |
US7036372B2 (en) * | 2003-09-25 | 2006-05-02 | Kionix, Inc. | Z-axis angular rate sensor |
JP4433747B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2010-03-17 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出装置 |
DE10350037A1 (de) * | 2003-10-27 | 2005-05-25 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE10360962B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-31 | Litef Gmbh | Verfahren zur Quadraturbias-Kompensation in einem Corioliskreisel sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
DE10360963B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-16 | Litef Gmbh | Verfahren zur Messung von Drehraten/Beschleunigungen unter Verwendung eines Drehraten-Corioliskreisels sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
KR100624331B1 (ko) | 2005-03-11 | 2006-09-19 | 한국하니웰 주식회사 | 회전속도 센서 |
US7421897B2 (en) * | 2005-04-14 | 2008-09-09 | Analog Devices, Inc. | Cross-quad and vertically coupled inertial sensors |
US7240552B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-07-10 | Bei Technologies, Inc. | Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling |
JP2007071677A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Hitachi Ltd | コンバインドセンサとその製造方法 |
JP4887034B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2012-02-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
FR2895501B1 (fr) * | 2005-12-23 | 2008-02-29 | Commissariat Energie Atomique | Microsysteme, plus particulierement microgyrometre, avec au moins deux massesm oscillantes couplees mecaniquement |
-
2007
- 2007-06-29 DE DE102007030120A patent/DE102007030120B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-03-28 AU AU2008271666A patent/AU2008271666B2/en active Active
- 2008-03-28 CN CN2008800227249A patent/CN101688775B/zh active Active
- 2008-03-28 RU RU2009144800/28A patent/RU2436041C2/ru active
- 2008-03-28 JP JP2010513680A patent/JP4928634B2/ja active Active
- 2008-03-28 CA CA2690454A patent/CA2690454C/en active Active
- 2008-03-28 KR KR1020107001447A patent/KR101110462B1/ko active IP Right Grant
- 2008-03-28 WO PCT/EP2008/002504 patent/WO2009003543A1/de active Application Filing
- 2008-03-28 EP EP08716716A patent/EP2160566B1/de active Active
- 2008-03-28 US US12/451,998 patent/US8365595B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-28 AT AT08716716T patent/ATE537427T1/de active
-
2009
- 2009-12-11 ZA ZA200908840A patent/ZA200908840B/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010531447A (ja) | 2010-09-24 |
WO2009003543A1 (de) | 2009-01-08 |
CA2690454A1 (en) | 2009-01-08 |
JP4928634B2 (ja) | 2012-05-09 |
EP2160566B1 (de) | 2011-12-14 |
EP2160566A1 (de) | 2010-03-10 |
US20100139399A1 (en) | 2010-06-10 |
CA2690454C (en) | 2014-07-15 |
KR20100023045A (ko) | 2010-03-03 |
US8365595B2 (en) | 2013-02-05 |
AU2008271666B2 (en) | 2011-07-28 |
CN101688775B (zh) | 2011-11-30 |
ZA200908840B (en) | 2010-09-29 |
AU2008271666A1 (en) | 2009-01-08 |
DE102007030120B4 (de) | 2010-04-08 |
CN101688775A (zh) | 2010-03-31 |
KR101110462B1 (ko) | 2012-02-24 |
RU2436041C2 (ru) | 2011-12-10 |
DE102007030120A1 (de) | 2009-01-02 |
ATE537427T1 (de) | 2011-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2009144800A (ru) | Датчик скорости вращения | |
RU2009145949A (ru) | Кориолисов гироскоп | |
JP5670357B2 (ja) | 角速度の振動微小機械センサ | |
FI126071B (en) | Improved gyroscope structure and gyroscope | |
US8783105B2 (en) | Yaw-rate sensor and method for operating a yaw-rate sensor | |
US9146107B2 (en) | Rotation rate sensor and method for operating a rotation rate sensor | |
US7528533B2 (en) | Vibratory gyroscope | |
US20110132087A1 (en) | Yaw rate sensor | |
JP2012519295A5 (ru) | ||
JP4719751B2 (ja) | 角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサー | |
JP5930265B2 (ja) | 回転速度センサ | |
US8997566B2 (en) | Yaw rate sensor | |
IL228048A (en) | Spring structure, resonator, resonator array and sensor | |
JP2014055946A (ja) | 角速度センサ | |
EP2607850A3 (en) | Micromechanical Coriolis Rate of Rotation Sensor | |
TW201522911A (zh) | 具三條靈敏軸的轉速感測器及製造此轉速感測器的方法 | |
JP5864679B2 (ja) | センサ用検出モジュールおよびこれを備える角速度センサ | |
JP6527235B2 (ja) | ジャイロスコープ | |
US20120024060A1 (en) | Element vibrating in two uncoupled modes, and use in vibrating rate gyroscope | |
JP2010054263A (ja) | 回転振動型ジャイロ | |
JP2012202799A5 (ru) | ||
RU161310U1 (ru) | Чувствительный элемент датчика угловых скоростей | |
RU2444703C1 (ru) | Вибрационный гироскоп | |
JP6189792B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2010096695A (ja) | 振動ジャイロ |