JP2016176892A5 - - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N Lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N Lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNQQEOHHHGGZCY-UHFFFAOYSA-N lithium;oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [Li+].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5] JNQQEOHHHGGZCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
振動基板２を構成する圧電体材料としては、例えば、水晶、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）等の各種圧電体材料を用いることができる。
第６実施形態は、振動基板の材料が異なることと、それに伴って駆動部および検出部の構成が異なること以外は、前述した第３実施形態と同様である。なお、図２２ないし図２５では、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
そのため、駆動信号端子５１および駆動接地端子５２を介して、駆動信号電極７１と駆動接地電極７２の間に所定周波数の交番電圧を印加すると、ジャイロ素子１は、図２４（ａ）に示す駆動振動モードで振動する。具体的には、振動腕２２、２３がＸ軸同相モードで振動し、振動腕２４、２５がＸ軸同相モードでかつ振動腕２２、２３とはＸ軸逆相モードで振動する。また、このようなＸ軸方向の振動に結合して、振動腕２２、２５がＺ軸同相モードで振動し、振動腕２３、２４がＺ軸同相モードでかつ振動腕２２、２５とはＺ軸逆相モードで振動する。さらに、振動腕２２、２３、２４、２５の振動につられて、振動腕２６、２７、２８、２９が振動腕２２、２３、２４、２５とは逆相でＸ軸方向およびＺ軸方向に振動する。このような駆動振動モードでは、Ｘ軸方向の振動がキャンセルされる。また、図２５（ａ）に示すように、振動腕２６、２８からの電荷Ｑ２６、Ｑ２８と、振動腕２７、２９からの電荷Ｑ２７、Ｑ２９と、が逆相で発生するため、これらの電荷Ｑ２６、Ｑ２７、Ｑ２８、Ｑ２９が相殺されて、検出信号ＳＳがほぼ０となる。
５．移動体
次いで、図１に示すジャイロ素子１を適用した移動体について、図３１に基づき、詳細に説明する。
図３１は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
ユニット３３００に表示される。
次いで、図１に示すジャイロ素子１を適用した移動体について、図３１に基づき、詳細に説明する。
図３１は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
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Claims (9)
- 基部と、
前記基部に接続された少なくとも２つの振動腕と、
前記２つの振動腕に設けられ、前記基部の面内方向に同相であり、かつ、前記基部の厚さ方向に逆相である駆動振動モードで前記２つの振動腕を屈曲振動させる駆動部と、
検出軸まわりの角速度を検出する検出部と、を有し、
前記２つの振動腕を前記駆動振動モードで屈曲振動させている場合は、前記２つの検出部に逆相の信号が発生し、
前記２つの振動腕を前記駆動振動モードで屈曲振動させているときに検出軸まわりの角速度が加わった場合は、前記２つの検出部に同相の信号が発生するように構成されていることを特徴とする角速度検出素子。 - 前記２つの振動腕は、先端側に向かうに連れて離間するように傾斜している請求項１に記載の角速度検出素子。
- 前記２つの振動腕を有する第１振動系および第２振動系を有し、
前記駆動振動モードでは、前記第１振動系の前記２つの振動腕と、前記第２振動系の前記２つの振動腕とが前記面内方向に逆相で屈曲振動する請求項１または２に記載の角速度検出素子。 - 前記第１振動系の前記第２振動系側の前記振動腕と、前記第２振動系の前記第１振動系側の前記振動腕は、前記駆動振動モードにおいて前記基部の厚さ方向に逆相で屈曲振動する請求項３に記載の角速度検出素子。
- 前記駆動部は、前記振動腕に配置された圧電素子である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の角速度検出素子。
- 前記検出部は、前記振動腕に配置された圧電素子である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の角速度検出素子。
- 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の角速度検出素子と、
前記角速度検出素子を収容するパッケージと、を備えることを特徴とする角速度検出デバイス。 - 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の角速度検出素子を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の角速度検出素子を備えることを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015059147A JP6477101B2 (ja) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| US15/071,689 US10088314B2 (en) | 2015-03-23 | 2016-03-16 | Angular velocity detection element, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object |
| CN201610161168.XA CN105987688B (zh) | 2015-03-23 | 2016-03-21 | 角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015059147A JP6477101B2 (ja) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016176892A JP2016176892A (ja) | 2016-10-06 |
| JP2016176892A5 true JP2016176892A5 (ja) | 2018-04-12 |
| JP6477101B2 JP6477101B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=56975165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015059147A Active JP6477101B2 (ja) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10088314B2 (ja) |
| JP (1) | JP6477101B2 (ja) |
| CN (1) | CN105987688B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6477100B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6477101B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6582501B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2019-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
| DE112018004640T5 (de) * | 2017-08-29 | 2020-06-10 | Kyocera Corporation | Sensorelement und winkelgeschwindigkeitssensor |
| JP7281142B1 (ja) | 2021-11-11 | 2023-05-25 | 株式会社芝浦電子 | サーミスタ焼結体およびサーミスタ焼結体の製造方法 |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08128833A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-21 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
| JP2000002541A (ja) * | 1998-04-16 | 2000-01-07 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP2001208545A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Nec Corp | 圧電振動ジャイロスコープ |
| JP2001255152A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-21 | Nec Corp | 圧電振動ジャイロスコープおよびその周波数調整方法 |
| JP2002243451A (ja) | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその特性調整方法 |
| CN100480630C (zh) * | 2003-03-06 | 2009-04-22 | 日本电气株式会社 | 六脚型压电振动陀螺仪 |
| JP4415382B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ |
| JP2008096138A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサの製造方法および角速度センサ |
| JP2008157748A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
| CN101636634B (zh) * | 2007-03-20 | 2013-07-17 | 西铁城控股株式会社 | 压电振动器以及振动陀螺仪 |
| JP5786303B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器 |
| JP5652155B2 (ja) | 2010-11-24 | 2015-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法 |
| JP2013024721A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Seiko Epson Corp | 振動ジャイロ素子、ジャイロセンサー及び電子機器 |
| JP2013178179A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Seiko Epson Corp | センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器 |
| JP2013192013A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動デバイスおよび電子機器 |
| JP6078968B2 (ja) | 2012-03-29 | 2017-02-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法 |
| JP2014021038A (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-03 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動片の製造方法、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
| JP6074967B2 (ja) * | 2012-09-20 | 2017-02-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
| JP6171475B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法 |
| JP2015087262A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
| JP6399283B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2018-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
| JP2015184157A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
| JP2016086383A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP2016085192A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP2016085190A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
| JP2016090254A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
| JP6477101B2 (ja) * | 2015-03-23 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6582501B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2019-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子機器および移動体 |
| US20170059393A1 (en) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | Seiko Epson Corporation | Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object |
-
2015
- 2015-03-23 JP JP2015059147A patent/JP6477101B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-16 US US15/071,689 patent/US10088314B2/en active Active
- 2016-03-21 CN CN201610161168.XA patent/CN105987688B/zh active Active
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