JP6205953B2 - 電子デバイス、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
図1は第1実施形態に係る振動子を示し、(a)は平面図、(b)は図1(a)に示すA−A´部の拡大断面図である。
図7に第2実施形態に係る振動子を示し、(a)は平面図、(b)は図7(a)に示すG−G´部の断面図、(c)は図7(a)に示すH−H´部の断面図である。図7(a)に示す第2実施形態に係る振動子200は、図示するようにH型の外形上を有し、いわゆる「H型ジャイロ素子」と言われている。振動子200は、基部210から、図示する上方向となるY方向に第1振動腕231および第2振動腕232が延出している。更に基部210から、振動腕231,232とは反対方向に第1検出腕241および第2検出腕242が延出している。
図8、図9は、上述した実施形態に係る振動子100,110,120,200のいずれかを備える電子デバイスとしてのセンサーデバイスを示し、図8は蓋部を省略した平面図、図9は図8に示すJ−J´部の断面図である。なお、本実施形態では第1実施形態に係る振動子110を例示して説明する。図8、図9に示すように、パッケージ1100にICチップ1200と振動子110とを収納し、センサーデバイス1000が構成される。パッケージ1100は、凹部1110aを有するベース1110と、ベース1110の凹部1110aの開口に蓋体1120を接合し、ICチップ1200と振動子110とが収納される凹部1110aを気密封止する。
第4実施形態に係る電子機器として、第1実施形態および第2実施形態に係る振動子100,110,120,200いずれか、もしくは第3実施形態に係るセンサーデバイス1000を備えるスマートフォンおよびデジタルスチルカメラについて説明する。なお、本実施形態ではセンサーデバイス1000を例示して説明するが、振動子100,110,120、もしくは200が組み込まれた電子回路基板を備える形態のスマートフォンおよびデジタルスチルカメラであってもよい。
第1実施形態および第2実施形態に係る振動子100,110,120,200もしくは第3実施形態に係るセンサーデバイス1000を備える第5実施形態としての移動体の具体例として、自動車について説明する。図12は、第5実施形態に係る自動車4000の外観図である。図12に示すように、自動車4000にはセンサーデバイス1000が組み込まれている。センサーデバイス1000は車体4100の姿勢を検出する。センサーデバイス1000の検出信号は車体姿勢制御装置4200に供給される。車体姿勢制御装置4200は供給された信号に基づき車体4100の姿勢状態を演算し、例えば車体4100の姿勢の応じた緩衝装置(いわゆるサスペンション)の硬軟を制御したり、個々の車輪4300の制動力を制御したりすることができる。このようなセンサーデバイス1000を用いた姿勢制御は、二足歩行ロボット、航空機、あるいはラジコンヘリコプターなどの玩具に利用することができる。
Claims (8)
- 基部と、
前記基部から延出している第1振動腕および第2振動腕と、を備え、
前記第1振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第1振動腕の延出方向に配設されている第1圧電体、および前記第1圧電体に対して前記第2振動腕側に配設されている第2圧電体と、を有し、
前記第2振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第2振動腕の延出方向に配設される第3圧電体、および前記第3圧電体に対して前記第1振動腕側に配設されている第4圧電体と、を有し、
前記第1圧電体、前記第2圧電体、前記第3圧電体および前記第4圧電体は、それぞれ前記主面側から順に積層されている下部電極、圧電膜、および上部電極を備え、
前記第1圧電体に備える前記下部電極と、前記第3圧電体に備える前記下部電極と、が電気的に接続された第1接続電極と、
前記第1圧電体に備える前記上部電極と、前記第3圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第2接続電極と、
前記第2圧電体に備える前記下部電極と、前記第4圧電体に備える前記下部電極と、が
電気的に接続された第3接続電極と、
前記第2圧電体に備える前記上部電極と、前記第4圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第4接続電極と、を前記基部に備えている振動子と、
前記振動子を振動させる駆動回路と、
を備え、
前記第1接続電極と前記第4接続電極とが、電気的に接続され、
前記第2接続電極と前記第3接続電極とが、電気的に接続されている、
ことを特徴とする電子デバイス。 - 前記基部の一方から延出している前記第1振動腕および前記第2振動腕と、
前記基部の他方から延出し、コリオリ力による振動を検出する第1検出腕および第2検出腕と、
を備えている、
こと特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 - 前記基部は、
基台と、前記基台から互いに反対方向に延出されている第1連結腕および第2連結腕とを含み、
前記第1連結腕および前記第2連結腕の前記基台からの延出方向と交差する方向に、前記基台から互いに反対方向に延出し、コリオリ力による振動を検出する第1検出腕および第2検出腕とを備えている、
ことを特徴とする請求項1記載の電子デバイス。 - 基部と、
前記基部から延出している第1振動腕および第2振動腕と、を備える振動素子と、
前記振動素子と梁部により連結された固定部と、を備え
前記第1振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第1振動腕の延出方向に配設される第1圧電体、および前記第1圧電体に対して前記第2振動腕側に配設されている第2圧電体と、を有し、
前記第2振動腕の少なくとも一方の主面には、前記第2振動腕の延出方向に配設される第3圧電体、および前記第3圧電体に対して前記第1振動腕側に配設されている第4圧電体と、を有し、
前記第1圧電体、前記第2圧電体、前記第3圧電体および前記第4圧電体は、それぞれ前記主面側から順に積層される下部電極、圧電膜、および上部電極を備え、
前記第1圧電体に備える前記下部電極と、前記第3圧電体に備える前記下部電極と、が電気的に接続された第1接続電極と、
前記第1圧電体に備える前記上部電極と、前記第3圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第2接続電極と、
前記第2圧電体に備える前記下部電極と、前記第4圧電体に備える前記下部電極と、が電気的に接続された第3接続電極と、
前記第2圧電体に備える前記上部電極と、前記第4圧電体に備える前記上部電極と、が電気的に接続された第4接続電極と、を前記固定部に備えている振動子と、
前記振動子を振動させる駆動回路と、
を備え、
前記第1接続電極と前記第4接続電極とが、電気的に接続され、
前記第2接続電極と前記第3接続電極とが、電気的に接続されている、
ことを特徴とする電子デバイス。 - 前記基部の一方から延出している前記第1振動腕および前記第2振動腕と、
前記基部の他方から延出し、コリオリ力による振動を検出する第1検出腕および第2検出腕と、
を備えている、
こと特徴とする請求項4に記載の電子デバイス。 - 前記基部は、
基台と、前記基台から互いに反対方向に延出されている第1連結腕および第2連結腕とを含み、
前記第1連結腕および前記第2連結腕の前記基台からの延出方向と交差する方向に、前記基台から互いに反対方向に延出し、コリオリ力による振動を検出する第1検出腕および第2検出腕とを備えている、
ことを特徴とする請求項4に記載の電子デバイス。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えている、
ことを特徴とする電子機器。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えている、
ことを特徴とする移動体。
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