JP2017044686A5 - - Google Patents

Description

これによれば、調整用パターンの少なくとも一部に、幅寸法の狭い狭幅部（第２パターン部分）が設けられることにより、調整用パターンの設けられている検出信号パターンのいずれかの静電容量を調整することができる。これにより、第１検出信号パターンと第２検出信号パターンとの静電容量の差を小さくして、検出精度を向上させることができる。

なお、第１表面１０１（一方の主面、図１参照）側と、第２表面１０２（他方の主面、図２参照）側との両面の同じパターン、例えば第１表面１０１側の第２検出信号パターンＳ２と、第２表面１０２（他方の主面、図２参照）側の第２検出信号パターンＳ２とに、それぞれ調整用パターンＰを配置することができる。この場合、容量調整を行うことが可能な調整領域が広くなり、容量調整量を大きくすることができる。

この駆動振動を行っている状態で、ジャイロ振動素子１にＺ軸周りの角速度ωが加わると、図５に示すような振動を行う。すなわち、駆動振動系を構成する第１〜第４駆動振動腕４０，４２，４４，４６及び第１及び第２連結腕２０，２２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、新たな振動が励起される。この矢印Ｂ方向の振動は、中心点Ｇに対して周方向の振動である。また同時に、第１及び第２検出振動腕３０，３２は、矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した圧電材料の歪みを、第１及び第２検出振動腕３０，３２に形成した検出信号電極及び検出接地電極が検出して角速度が求められる。

ジャイロ振動素子５は、駆動信号が印加される駆動電極Ｄ１ａ，Ｄ２ａ、及び駆動電極Ｄ１ａ，Ｄ２ａに接続された駆動信号配線Ｄ１ｂ，Ｄ２ｂを含む駆動信号パターンＤ１，Ｄ２と、第１検出信号を出力する第１検出電極Ｓ１ａ、及び第１検出電極Ｓ１ａに接続された第１検出信号配線Ｓ１ｂを含み、駆動信号パターンＤ１と静電容量Ｃ１で容量結合している第１検出信号パターンＳ１と、を備えている。なお、駆動電極Ｄ２ａは、第１実施形態における駆動接地電極（１４０）と同様の機能を果たす。
更に、ジャイロ振動素子５は、第１検出信号と逆相の第２検出信号を出力する第２検出電極Ｓ２ａ、及び第２検出電極Ｓ２ａに接続された第２検出信号配線Ｓ２ｂを含み、駆動信号パターンＤ１と静電容量Ｃ２で容量結合している第２検出信号パターンＳ２を備えている。
そして、ジャイロ振動素子５は、第１検出信号パターンＳ１、第２検出信号パターンＳ２、及び駆動信号パターンＤ１のいずれか１つ（ここでは、第１検出信号パターンＳ１）が、当該信号パターン（ここでは、第１検出信号パターンＳ１）の面積を調整する調整用パターンＰを含んでいる。