JP5482250B2 - 振動体および振動デバイス - Google Patents

Description

本発明は、振動体および振動デバイスに関するものである。

水晶発振器等の振動デバイスとしては、３つの振動腕を備える３脚音叉型の振動体を備
えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動体は、板状の基部と、この基部から互いに平行となる
ように延出する３つの振動腕とを有する。このような振動体においては、基部の振動腕と
は反対側の端部を固定した状態で、各振動腕を基部の板面に垂直な方向に屈曲振動（面外
屈曲振動）させる。このとき、各振動腕の屈曲振動に伴って、基部がその厚さ方向に振動
される。

特許文献１に記載の振動体では、隣り合う２つの振動腕を互いに反対方向に屈曲振動さ
せている。これにより、隣り合う２つの振動腕の間における基部の振動を相殺させること
ができる。
しかしながら、特許文献１に記載の振動体では、基部の各振動腕との接続部付近に生じ
る振動が基部の固定部分に伝わって漏れてしまうと言う問題（振動漏れ）があった。その
ため、従来では、振動体のＱ値を十分に高めることができなかった。

特開２００９−５０２２号公報

本発明の目的は、面外屈曲振動の振動体において、振動漏れを防止し、Ｑ値を高めるこ
とができる振動体および振動デバイスを提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動体は、第１の方向に延在する基部と、前記基部から前記第１の方向に直交する第２の方向に延出するとともに、前記第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈曲振動する少なくとも３つの振動腕と、前記基部に対して前記振動腕とは反対側に設けられた支持部と、前記基部と前記支持部とを連結する連結部とを有し、前記連結部の前記基部側の端部は、前記基部の前記第１の方向にて前記各振動腕が存在しない位置に対応する部位に接続されていることを特徴とする。また、他の態様では、基部と、前記基部の一端において第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向に直交する第２の方向に延出し、且つ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈曲振動する少なくとも３本の振動腕と、前記基部の一端とは反対側の他端に連結部を介して接続された支持部と、を備え、前記基部の一端は、前記振動腕が接続されている部分と、前記振動腕が接続されていない部分を備え、前記連結部の前記基部側の端部は、前記振動腕が接続されていない部分に対応する位置に接続されていることを特徴とする。これにより、各振動腕の屈曲振動（面外屈曲振動）に伴う基部の振動（漏れ振動）が支持部に伝わるのを防止または抑制することができる。その結果、振動漏れを防止し、Ｑ値を高めることができる。

［適用例２］
本発明の振動体では、前記振動腕は、隣り合う前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動することが好ましい。
これにより、基部の第１の方向にて各振動腕が存在しない位置に対応する部位の漏れ振動を低減することができる。

［適用例３］
本発明の振動体では、前記基部と前記支持部と間には、前記振動腕が接続されている部分に対応して、貫通孔、凹部、および切り欠きの少なくとも１つが設けられていることが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が支持部に伝わるのを阻止することができる。

［適用例４］
本発明の振動体では、複数の連結梁を備えることが好ましい。
これにより、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例５］
本発明の振動体では、前記連結部の前記基部側の端部の前記第１の方向の幅をＷ１とし、前記基部の前記振動腕が接続されていない部分の第１の方向の距離をＬ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ１≦０．８の関係を満たすことが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が支持部に伝わるのをより確実に防止または抑制することができる。

［適用例６］
本発明の振動体では、前記連結部の前記第３の方向の厚さをＤ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例７］
本発明の振動体では、前記連結部の前記第２の方向の長さをＬ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ２≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例８］
本発明の振動体では、前記基部の前記第２の方向の幅をＷ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｗ２≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が連結部に伝わるのを防止することができる。

［適用例９］
本発明の振動体では、前記振動腕の先端部には、基部側の端部よりも横断面積が大きい質量部が設けられていることが好ましい。
これにより、各振動腕の長尺化を防止しつつ、各振動腕の屈曲振動の低周波数化を図ることができる。また、このような質量部を各振動腕に設けた場合、各振動腕の先端側が重くなるので、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が大きくなる。そのため、本発明を適用することによる効果が顕著となる。

［適用例１０］
本発明の振動体では、前記振動腕は、圧電体材料で構成されていることが好ましい。
これにより、各振動腕上に１対の励振電極を設けると言う比較的簡単な構成で、振動腕を振動（励振）させることができる。特に、圧電体材料として水晶を用いることにより、振動体の振動特性を優れたものとすることができる。

［適用例１１］
本発明の振動体では、前記振動腕上には、１対の電極層と、該１対の電極層間に配置された圧電体層と、を備える圧電素子が設けられていることが好ましい。
これにより、各圧電素子への通電により各振動腕を振動させることができる。

本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図である。 図１に示す振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 図２中のＡ−Ａ線断面図である。 図２に示す振動体の動作を説明するための斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 図５中のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 図７中のＢ−Ｂ線断面図である。 本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 本発明の第６実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。 本発明の第７実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図である。

以下、本発明の振動体および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に
説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図、図２は、図１に示す
振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図、図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図４
は、図２に示す振動体の動作を説明するための斜視図である。なお、各図では、説明の便
宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以
下では、Ｘ軸に平行な方向（第１の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第２の方
向）をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向（第３の方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明
では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左
」と言う。
図１に示す振動デバイス１は、振動体２と、この振動体２を収納するパッケージ３とを
有する。
以下、振動デバイス１を構成する各部を順次詳細に説明する。

（振動体）
まず、振動体２について説明する。
振動体２は、図２に示すような３脚音叉型の振動体である。この振動体２は、振動基板
２１と、この振動基板２１上に設けられた圧電素子２２、２３、２４および接続電極４１
、４２とを有している。
振動基板２１は、支持部２５と、連結部２６と、基部２７と、３つの振動腕２８、２９
、３０とを有している。
振動基板２１の構成材料としては、所望の振動特性を発揮することができるものであれ
ば、特に限定されず、各種圧電体材料および各種圧電体材料を用いることができる。

例えば、かかる圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動基板２１を構成する圧電
体材料としては水晶が好ましい。水晶で振動基板２１を構成すると、振動基板２１の周波
数の温度依存性に関わる振動特性を優れたものとすることができる。また、エッチングに
より高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。なお、このような圧電体材料
を用いて振動基板２１（振動腕２８、２９、３０）を構成した場合、圧電素子２２、２３
、２４に代えて、電極（励振電極）を形成すると言う比較的簡単な構成で、振動腕２８、
２９、３０を振動させることもできる。

また、かかる非圧電体材料としては、例えば、シリコン等が挙げられる。特に、振動基
板２１を構成する非圧電体材料としてはシリコンが好ましい。シリコンで振動基板２１を
構成すると、安価に振動基板２１の振動特性を優れたものとすることができる。また、エ
ッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｘ軸方向（第１の方向）に延在し、長
手形状（帯状）をなしている。

そして、基部２７の幅方向での一端には、３つの振動腕２８、２９、３０が接続されて
いる。
振動腕２８、２９は、基部２７の長手方向での両端部に接続され、振動腕３０は、基部
２７の長手方向での中央部に接続されている。
３つの振動腕２８、２９、３０は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出
して設けられている。言い換えると、３つの振動腕２８、２９、３０は、基部２７からそ
れぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。

この振動腕２８、２９、３０は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（
基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
また、振動腕２８、２９は、互いに同じ幅となるように形成され、振動腕３０は、振動
腕２８、２９の幅の２倍の幅となるように形成されている。これにより、振動腕２８、２
９をＺ軸方向に屈曲振動させるとともに、振動腕３０を振動腕２８、２９と反対方向に（
逆相で）Ｚ軸方向に屈曲振動させたとき、振動漏れを少なくすることができる。

また、振動腕２８の先端部には、基端部（振動腕２８の基部２７側の部分）よりも横断
面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）２８１が設けられている。同様に、振動腕２９の
先端部には、基端部（振動腕２９の基部２７側の部分）よりも横断面積が大きい質量部（
ハンマーヘッド）２９１が設けられている。また、振動腕３０の先端部には、基端部（振
動腕３０の基部２７側の部分）よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）３０１
が設けられている。これにより、振動体２をより小型なものとしたり、振動腕２８、２９
、３０の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができる。すなわち、振動腕２８、２
９、３０の屈曲振動の周波数は、一般的には振動腕２８、２９、３０の長手方向の長さが
短くなるほど高くなり、また振動腕２８、２９、３０の先端部の質量が大きいほど低くな
る。従って、振動腕２８、２９、３０の先端部の質量を大きくすれば、振動腕２８、２９
、３０の屈曲振動の周波数を低く設定することが可能である他、加えて振動腕２８、２９
、３０の長さを短く構成することで所望の周波数の値を保ちながら振動体２を小型化する
ことができる。

なお、この質量部２８１、２９１、３０１は、それぞれ、必要に応じて設ければよく、
省略してもよい。
このような振動腕２８上には、圧電素子２２が設けられ、また、振動腕２９上には、圧
電素子２３が設けられ、さらに、振動腕３０上には、圧電素子２４が設けられている。
圧電素子２２は、通電により振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させる機能を有する。ま
た、圧電素子２３は、通電により振動腕２９をＺ軸方向に屈曲振動させる機能を有する。
また、圧電素子２４は、通電により振動腕３０をＺ軸方向に屈曲振動させる機能を有する
。

このような圧電素子２２は、図３に示すように、振動腕２８上に、第１の電極層２２１
、圧電体層（圧電薄膜）２２２、第２の電極層２２３がこの順で積層されて構成されてい
る。
これにより、第１の電極層２２１と第２の電極層２２３との間に電圧を印加すると、圧
電体層２２２にＺ軸方向の電界が生じる。この電界により、圧電体層２２２は、Ｙ軸方向
に伸張または収縮し、振動腕２８をＺ軸方向に屈曲振動させる。
同様に、圧電素子２３は、振動腕２９上に、第１の電極層２３１、圧電体層（圧電薄膜
）２３２、第２の電極層２３３がこの順で積層されて構成されている。また、圧電素子２
４は、振動腕３０上に、第１の電極層２４１、圧電体層（圧電薄膜）２４２、第２の電極
層２４３がこの順で積層されて構成されている。

これにより、第１の電極層２３１と第２の電極層２３３との間に電圧を印加すると、圧
電体層２３２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕２９をＺ軸方向に屈曲振動させる
。また、第１の電極層２４１と第２の電極層２４３との間に電圧を印加すると、圧電体層
２４２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮し、振動腕３０をＺ軸方向に屈曲振動させる。
このような第１の電極層２２１、２３１、２４１および第２の電極層２２３、２３３、
２４３は、それぞれ、金、金合金、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、クロ
ム、クロム合金等の導電性に優れた金属材料により形成することができる。

また、これらの電極の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜
法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。
圧電体層２２２、２３２、２４２の構成材料（圧電体材料）としては、それぞれ、例え
ば、ＺｎＯ(酸化亜鉛)、ＡＩＮ(窒化アルミニウム)、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等
が挙げられる。

一方、基部２７の幅方向での他端には、連結部２６を介して支持部２５が接続されてい
る。
支持部２５は、基部２７に対して振動腕２８、２９、３０とは反対側に設けられ、前述
した基部２７および３つの振動腕２８、２９、３０を支持するためのものである。
この支持部２５の下面には、１対の接続電極４１、４２が設けられている。
接続電極４１は、図示しない配線を介して、前述した第１の電極層２２１、２３１およ
び第２の電極層２４３に電気的に接続されている。また、接続電極４２は、図示しない配
線を介して、第１の電極層２４１および第２の電極層２２３、２３３に電気的に接続され
ている。

これにより、接続電極４１と接続電極４２との間に電圧を印加すると、第１の電極層２
２１、２３１および第２の電極層２４３と、第１の電極層２４１および第２の電極層２２
３、２３３とが逆極性となるようにして、前述した圧電体層２２２、２３２、２４２にそ
れぞれＺ軸方向の電圧が印加される。これにより、圧電体材料の逆圧電効果により、ある
一定の周波数（共鳴周波数）で各振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させることができる
。このとき、図４に示すように、振動腕２８、２９は、互いに同方向に屈曲振動し、振動
腕３０は、振動腕２８、２９とは反対方向に屈曲振動する。

また、各振動腕２８、２９、３０が屈曲振動すると、接続電極４１、４２間には、圧電
体材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して
、振動体２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることができる。
なお、本実施形態では、圧電体層２２２、２３２、２４２の圧電体材料の分極方向また
は結晶軸の方向が互いに同方向である場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば
、圧電体層２４２の分極方向または結晶軸の方向を圧電体層２２２、２３２と逆方向とし
、第１の電極層２２１、２３１、２４１同士（第２の電極層２２３、２３３、２４３同士
）が同極性となるように電圧を印加してもよい。

このような接続電極４１、４２および配線（図示せず）は、それぞれ、金、金合金、ア
ルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、クロム、クロム合金等の導電性に優れた金
属材料により形成することができる。
また、これらの電極等の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成
膜法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。

このような支持部２５には、連結部２６が接続されている。
連結部２６は、基部２７と支持部２５とを連結するものである。特に、連結部２６の基
部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向（第１の方向）にて各振動腕２８、２９、３０が
存在しない位置に対応する部位に接続されている。これにより、各振動腕２８、２９、３
０の屈曲振動（面外屈曲振動）に伴う基部２７の振動（以下、「漏れ振動」とも言う）が
支持部２５に伝わるのを防止または抑制することができる。その結果、振動漏れを防止し
、Ｑ値を高めることができる。

具体的には、この連結部２６は、２つの連結梁２６１、２６２を備えている。
各連結梁２６１、２６２は、その一端部が基部２７に接続されるとともに他端部が支持
部２５に接続されている。
特に、連結梁２６１の一端部は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８と振
動腕３０との間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２の一端部は、基部
２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９と振動腕３０との間に対応する部分に接続さ
れている。ここで、連結梁２６１、２６２と基部２７との接続部は、それぞれ、連結部２
６と基部２７との接続部を構成する。

本実施形態では、２つの連結梁２６１、２６２は、互いに平行となるようにＹ軸方向に
沿って設けられている。また、各連結梁２６１、２６２は、その長手方向（Ｙ軸方向）の
全域に亘って幅が一定となっている。
また、連結部２６と基部２７との各接続部のＸ軸方向での幅Ｗ１は、隣り合う２つの振
動腕２８、３０間（振動腕２９、３０間）の距離Ｌ１よりも狭くなっている。言い換える
と、各連結梁２６１、２６２の幅は、距離Ｌ１よりも狭くなっている。なお、連結部２６
と基部２７との各接続部のＸ軸方向での幅Ｗ１は、連結梁２６１、２６２の横断面形状や
長さ等によっては、隣り合う２つの振動腕２８、３０間（振動腕２９、３０間）の距離Ｌ
１と等しくてもよい。

また、２つの連結梁２６１、２６２間（支持部２５と２つの連結梁２６１、２６２と基
部２７とで囲まれる領域）には、Ｚ軸方向に貫通する孔２６３が形成されている。
また、連結梁２６１に対して孔２６３と反対側には、Ｚ軸方向に貫通する切り欠き２６
４が形成され、また、連結梁２６２に対して孔２６３と反対側には、Ｚ軸方向に貫通する
切り欠き２６５が形成されている。

孔２６３および切り欠き２６４、２６５は、基部２７の振動(漏れ振動)が支持部２５に
伝わるのを阻止する機能を有する。
なお、孔２６３および切り欠き２６４、２６５は、それぞれ、Ｚ軸方向に貫通していな
くてもよい。すなわち、孔２６３および切り欠き２６４、２６５に代えて、それぞれ、振
動基板２１の一方または両方に開口する凹部を設けてもよい。

ここで、振動体２における漏れ振動の発生とその漏れ防止のメカニズムについて詳述す
る。
前述したように、振動腕２８、２９は、互いに同方向に屈曲振動し、振動腕３０は、振
動腕２８、２９とは反対方向に屈曲振動する（図４参照）。すなわち、振動腕２８、２９
、３０は、図４中の実線矢印で示す方向に屈曲する状態と、図４中の破線矢印で示す方向
に屈曲する状態とを交互に繰り返す。

すると、振動腕２８、２９は、Ｘ軸に平行な軸線Ｘ１（基部２７の長手方向に沿った軸
線）まわりに基部２７を回動させるような第１の力Ｆ１を生じさせる。また、振動腕３０
は、第１の力Ｆ１と反対方向に軸線Ｘ１まわりに基部２７を回動させるような第２の力Ｆ
２を生じさせる。
このような第１の力Ｆ１および第２の力Ｆ２は、互いに反対方向の力であるため、基部
２７のＸ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置（振動腕２８、３０間お
よび振動腕２９、３０間）に対応する部位では、互いに相殺される。

このように、隣り合う２つの振動腕を互いに反対方向に屈曲振動させることにより、基
部２７のＸ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置に対応する部位の漏れ
振動を低減することができる。
一方、基部２７のＸ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在する位置に対応する部
位（特に、各振動腕２８、２９、３０の幅方向での中央部）では、第１の力Ｆ１と第２の
力Ｆ２とは、ほとんど相殺されずに、漏れ振動として基部２７を振動させる。

振動体２では、前述したように、連結部２６の基部２７側の端部が基部２７のＸ軸方向
にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置に対応する部位に接続されている。その
ため、前述したような漏れ振動が支持部２５に伝わるのを防止または抑制することができ
る。
特に、基部２７と支持部２５と間には、Ｘ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在
する位置に対応して切り欠き２６４、孔２６３および切り欠き２６５が形成されているの
で、漏れ振動が支持部２５に伝わるのを阻止することができる。

また、連結部２６は前述したような複数（２つ）の連結梁２６１、２６２を備えている
ので、振動漏れを防止しつつ、支持部２５が連結部２６を介して基部２７および複数の振
動腕２８、２９、３０を安定的に支持することができる。
また、連結部２６と基部２７との各接続部のＸ軸方向での幅（平均幅）をＷ１とし、隣
り合う２つの振動腕２８、３０の間の距離（振動腕２９、３０の間の距離）をＬ１とした
とき、Ｗ１／Ｌ１≦１の関係を満たせばよいが、０．５≦Ｗ１／Ｌ１≦０．８の関係を満
たすのが好ましく、０．６≦Ｗ１／Ｌ１≦０．８の関係を満たすのがより好ましい。言い
換えると、連結梁２６１と振動腕２８とのＸ軸方向での距離、連結梁２６１と振動腕３０
とのＸ軸方向での距離、連結梁２６２と振動腕２９とのＸ軸方向での距離、および、連結
梁２６２と振動腕３０とのＸ軸方向での距離は、それぞれ、距離Ｌ１の０．１〜０．２５
倍であるのが好ましく、距離Ｌ１の０．１〜０．２倍であるのがより好ましい。これによ
り、各振動腕２８、２９、３０の屈曲振動に伴う基部２７の振動が支持部２５に伝わるの
をより確実に防止または抑制することができる。

これに対し、Ｗ１／Ｌ１が前記下限値未満であると、連結部２６の形状、横断面積、Ｙ
軸方向での長さ等によっては、支持部２５が連結部２６を介して基部２７および３つの振
動腕２８、２９、３０を安定的に支持することが難しい。一方、Ｗ１／Ｌ１が前記上限値
を超えると、連結部２６の形状、横断面積、Ｙ軸方向での長さ等によっては、基部２７か
ら連結部２６を介して支持部２５に伝わる漏れ振動が大きくなる傾向を示す。

また、連結部２６のＺ軸方向（第３の方向）での厚さ（平均厚さ）をＤ１としたとき、
０．５≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係を満たすのが好ましく、０．７≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係を
満たすのがより好ましい。これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支
持部２５が連結部２６を介して基部２７および複数の振動腕２８、２９、３０を安定的に
支持することができる。

これに対し、Ｗ１／Ｄ１が前記下限値未満であると、連結部２６の形状、横断面積、Ｙ
軸方向での長さ等によっては、支持部２５が連結部２６を介して基部２７および３つの振
動腕２８、２９、３０を安定的に支持することが難しい。一方、Ｗ１／Ｄ１が前記上限値
を超えると、連結部２６の形状、横断面積、Ｙ軸方向での長さ等によっては、基部２７か
ら連結部２６を介して支持部２５に伝わる漏れ振動が大きくなる傾向を示す。

また、連結部２６のＹ軸方向（第２の方向）での長さをＬ２としたとき、０．５≦Ｗ１
／Ｌ２≦２の関係を満たすのが好ましく、０．７≦Ｗ１／Ｌ２≦２の関係を満たすのがよ
り好ましい。これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支持部２５が連
結部２６を介して基部２７および３つの振動腕２８、２９、３０を安定的に支持すること
ができる。

これに対し、Ｗ１／Ｌ２が前記範囲外となると、連結部２６の形状、横断面積、Ｙ軸方
向での長さ等によっては、支持部２５が連結部２６を介して基部２７および３つの振動腕
２８、２９、３０を安定的に支持することできなかったり、基部２７から連結部２６を介
して支持部２５に伝わる漏れ振動が大きくなったりする場合がある。
なお、本実施形態では、Ｗ１／Ｌ２＞１の関係を満たす場合を一例として図示している
。Ｗ１／Ｌ２＞１の関係を満たす場合、幅Ｗ１を小さくしても、支持部２５が連結部２６
を介して基部２７および複数の振動腕２８、２９、３０を安定的に支持することができる
。
また、基部２７のＹ軸方向（第２の方向）での幅（平均幅）をＷ２としたとき、０．５
≦Ｗ１／Ｗ２≦２の関係を満たすのが好ましく、０．６≦Ｗ１／Ｗ２≦１．５の関係を満
たすのがより好ましい。これにより、各振動腕２８、２９、３０の屈曲振動に伴う基部２
７の振動が連結部２６に伝わるのを防止することができる。

これに対し、Ｗ１／Ｗ２が前記下限値未満であると、幅Ｗ２が大きくなりすぎて、基部
２７のＸ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置に対応する部位における
漏れ振動が大きくなったり、幅Ｗ１が小さくなりすぎて、支持部２５が連結部２６を介し
て基部２７および３つの振動腕２８、２９、３０を安定的に支持することが難しくなった
りする場合がある。一方、Ｗ１／Ｗ２が前記上限値を超えると、幅Ｗ２が小さくなりすぎ
て、基部２７が各振動腕２８、２９、３０を安定的に支持することができなかったり、幅
Ｗ１が大きくなりすぎて、前述したようなＷ１／Ｌ１の関係を満たすことができなかった
りする場合がある。

（パッケージ）
次に、振動体２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、
板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下
側から上側へこの順で積層されており、ベース基板３１と枠部材３２、および、枠部材３
２と蓋部材３３は、それぞれ、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、
パッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間Ｓ
に、振動体２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動体２の他、振動体２を駆
動する電子部品等を収納することもできる。

ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく
、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミック
ス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同
様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができ
る。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた
場合、振動体２に予め金属被覆部（図示せず）を形成しておくと、振動体２をパッケージ
３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前記金属被覆部にレーザーを照射し、
前記金属被覆部を除去して振動体２の質量を減少させることにより（質量削減方式により
）、振動体２の周波数調整を行うことができる。

また、ベース基板３１の上面には、一対のマウント電極３５ａ、３５ｂが内部空間Ｓに
露出するように形成されている。このマウント電極３５ａ、３５ｂの上には、それぞれ、
導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系等の導電性接着剤３６ａ、３６ｂが塗布
されて（盛られて）おり、さらに、この導電性接着剤３６ａ、３６ｂ上に、前述した振動
体２が載置されている。これにより、振動体２（支持部２５）がマウント電極３５ａ、３
５ｂ（ベース基板３１）に確実に固定される。

なお、この固定は、導電性接着剤３６ａが振動体２の接続電極４２に接触するとともに
、導電性接着剤３６ｂが振動体２の接続電極４１に接触するように、振動体２を導電性接
着剤３６ａ、３６ｂ上に載置して行う。これにより、導電性接着剤３６ａ、３６ｂを介し
て、振動体２がベース基板３１に固定されるとともに、接続電極４２とマウント電極３５
ａが導電性接着剤３６ａを介して電気的に接続されるとともに、接続電極４１とマウント
電極３５ｂが導電性接着剤３６ｂを介して電気的に接続される。
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが
設けられている。

これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、
ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介してマ
ウント電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外
部端子３４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合
強度を高めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子
である。
このようなマウント電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、
例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成する
ことができる。

なお、マウント電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２とを例えばワイヤーボンディ
ング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）を介して電気的に接続
知ってもよい。この場合、導電性接着剤３６ａ、３６ｂに代えて、導電性を有しない接着
剤を介して、振動体２をベース基板３１に対して固定することができる。また、パッケー
ジ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要に応じて、電子部
品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動デバイスの温度補償情報）の書き
換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。

以上説明したような第１実施形態によれば、連結部２６の基部２７側の端部が基部２７
のＸ軸方向にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置に対応する部位に接続されて
いるので、各振動腕２８、２９、３０の屈曲振動（面外屈曲振動）に伴う基部２７の振動
が支持部２５に伝わるのを防止または抑制することができる。その結果、振動漏れを防止
し、Ｑ値を高めることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態について説明する。
図５は、本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図、
図６は、図５中のＢ−Ｂ線断面図である。
以下、第２実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第２実施形態の振動デバイスは、連結部および支持部の構成が異なるとともに、質量部
を省略した以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図５、６では、前述した実施
形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、図５、６では、各振動腕を振動さ
せる圧電素子の図示を省略している。
本実施形態の振動デバイスの振動体２Ａは、図５に示すように、振動基板２１Ａを有し
ている。

振動基板２１Ａは、支持部２５Ａと、連結部２６Ａと、基部２７と、３つの振動腕２８
Ａ、２９Ａ、３０Ａとを有している。
基部２７の幅方向での一端には、３つの振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａが接続されてい
る。
３つの振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａは、前述した第１実施形態において、質量部２８
１、２９１、３０１を省略した以外は、３つの質量部２８、２９、３０と同様である。な
お、振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａの各先端部には、質量部２８、２９、３０と同様、質
量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。

一方、基部２７の幅方向での他端には、連結部２６Ａを介して支持部２５Ａが接続され
ている。
支持部２５Ａは、前述した第１実施形態において、厚さが異なる以外は、支持部２５と
同様である。
この支持部２５Ａは、その厚さＤ２が連結部２６の厚さＤ１よりも厚くなっている。こ
れにより、支持部２５Ａの質量を大きくすることができる。そのため、連結部２６が多少
振動しても、その振動により支持部２５Ａが振動するのを防止することができる。その結
果、振動漏れをより効果的に防止することができる。

なお、連結部２６Ａの厚さＤ１は、基部２７および各振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａの
厚さＤ３と等しくなっている。
また、支持部２５Ａは、その連結部２６側の部分の厚さが連結部２６側に向けて漸減し
ている。なお、支持部２５Ａの厚さは、全域で一定（均一）であってもよい。
このような支持部２５Ａには、連結部２６Ａが接続されている。

この連結部２６Ａは、２つの連結梁２６１Ａ、２６２Ａを備えている。
各連結梁２６１Ａ、２６２Ａは、その一端部が基部２７に接続されるとともに他端部が
支持部２５Ａに接続されている。
特に、連結梁２６１Ａの一端部は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８Ａ
と振動腕３０Ａとの間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２Ａの一端部
は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９Ａと振動腕３０Ａとの間に対応する
部分に接続されている。ここで、連結梁２６１Ａ、２６２Ａと基部２７との接続部は、そ
れぞれ、連結部２６Ａと基部２７との接続部を構成する。
このようにして、連結部２６Ａの基部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向（第１の方
向）にて各振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａが存在しない位置に対応する部位に接続されて
いる。これにより、基部２７の漏れ振動が支持部２５Ａに伝わるのを防止または抑制する
ことができる。

本実施形態では、連結部２６Ａと基部２７との各接続部のＸ軸方向での幅（本実施形態
では連結梁２６１Ａ、２６２Ａの幅）をＷ１とし、連結部２６ＡのＹ軸方向（第２の方向
）での長さをＬ２としたとき、Ｗ１／Ｌ２＜１の関係を満たす場合を一例として図示して
いる。Ｗ１／Ｌ２＜１の関係を満たす場合、長さＬ２が長くなるので、基部２７の漏れ振
動が連結部２６Ａを介して支持部２５Ａに伝わりにくくすることができる。
以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第３実施形態について説明する。
図７は、本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図、
図８は、図７中のＢ−Ｂ線断面図である。
以下、第３実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第３実施形態の振動デバイスは、連結部および支持部の構成が異なるとともに、質量部
を省略した以外は、第１実施形態とほぼ同様である。また、第３実施形態の振動デバイス
は、連結部および支持部の構成が異なる以外は、第２実施形態とほぼ同様である。なお、
図７、８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、図７
、８では、各振動腕を振動させる圧電素子の図示を省略している。

本実施形態の振動デバイスの振動体２Ｂは、図７に示すように、振動基板２１Ｂを有し
ている。
振動基板２１Ｂは、支持部２５Ｂと、連結部２６Ｂと、基部２７と、３つの振動腕２８
Ａ、２９Ａ、３０Ａとを有している。
基部２７には、連結部２６Ｂを介して支持部２５Ｂが接続されている。

支持部２５Ｂは、前述した第１実施形態において、厚さが異なる以外は、支持部２５と
同様である。また、支持部２５Ｂは、その厚さが全域で一定である以外は、前述した第２
実施形態の支持部２５Ａと同様である。
このような支持部２５Ｂには、連結部２６Ｂが接続されている。
この連結部２６Ｂは、２つの連結梁２６１Ｂ、２６２Ｂを備えている。
各連結梁２６１Ｂ、２６２Ｂは、その一端部が基部２７に接続されるとともに他端部が
支持部２５Ｂに接続されている。

特に、連結梁２６１Ｂの一端部は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８Ａ
と振動腕３０Ａとの間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２Ｂの一端部
は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９Ａと振動腕３０Ａとの間に対応する
部分に接続されている。ここで、連結梁２６１Ｂ、２６２Ｂと基部２７との接続部は、そ
れぞれ、連結部２６Ａと基部２７との接続部を構成する。

このようにして、連結部２６Ｂの基部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向（第１の方
向）にて各振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａが存在しない位置に対応する部位に接続されて
いる。これにより、基部２７の漏れ振動が支持部２５Ｂに伝わるのを防止または抑制する
ことができる。
また、各連結梁２６１Ｂ、２６２Ｂの厚さ（連結部２６Ｂの厚さ）が支持部２５Ｂ側か
ら基部２７側に向けて漸減している。これにより、連結部２６の剛性を高めつつ、基部２
７の漏れ振動が連結部２６Ｂを介して支持部２７Ｂに伝わるのを効果的に防止することが
できる。
なお、連結部２６ＢのＺ軸方向での厚さＤ１は、基部２７および各振動腕２８Ａ、２９
Ａ、３０Ａの厚さＤ３よりも大きく、かつ、支持部２５Ｂの厚さＤ２よりも小さい。

本実施形態では、連結部２６Ｂと基部２７との各接続部のＸ軸方向での幅（本実施形態
では連結梁２６１Ｂ、２６２Ｂの幅）をＷ１とし、連結部２６ＢのＹ軸方向（第２の方向
）での長さをＬ２としたとき、Ｗ１／Ｌ２＜１の関係を満たす場合を一例として図示して
いる。
以上説明したような第３実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第４実施形態について説明する。
図９は、本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図で
ある。
以下、第４実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第４実施形態の振動デバイスは、連結部および振動腕の数が異なる以外は、第１実施形
態ないし第３実施形態とほぼ同様である。なお、図９では、各振動腕を振動させる圧電素
子の図示を省略している。
本実施形態の振動デバイスの振動体２Ｃは、図９に示すように、振動基板２１Ｃを有し
ている。

振動基板２１Ｃは、支持部２５Ｃと、連結部２６Ｃと、基部２７Ｃと、４つの振動腕２
８Ｃ、２９Ｃ、１３０Ｃ、２３０Ｃとを有している。
基部２７Ｃの幅方向での一端には、４つの振動腕２８Ｃ、２９Ｃ、１３０Ｃ、２３０Ｃ
が接続されている。
４つの振動腕２８Ｃ、２９Ｃ、１３０Ｃ、２３０Ｃ上には、それぞれ、圧電素子が設け
られている。そして、各圧電素子に通電することにより、４つの振動腕２８Ｃ、２９Ｃ、
１３０Ｃ、２３０ＣをそれぞれＺ軸方向に屈曲振動させる。このとき、振動腕２８Ｃ、２
３０Ｃは、互いに同方向に屈曲振動し、振動腕２９Ｃ、１３０Ｃは、振動腕２８Ｃ、２３
０Ｃとは反対方向で互いに同方向に屈曲振動する。

一方、基部２７Ｃの幅方向での他端には、連結部２６Ｃを介して支持部２５Ｃが接続さ
れている。
支持部２５Ｃは、前述した実施形態と同様に構成することができる。
このような支持部２５Ｃには、連結部２６Ｃが接続されている。
この連結部２６Ｃは、３つの連結梁２６１Ｃ、２６２Ｃ、２６６Ｃを備えている。
各連結梁２６１Ｃ、２６２Ｃ、２６６Ｃは、その一端部が基部２７Ｃに接続されるとと
もに他端部が支持部２５Ｃに接続されている。

特に、連結梁２６１Ｃの一端部は、基部２７ＣのＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８
Ｃと振動腕１３０Ｃとの間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２Ｃの一
端部は、基部２７ＣのＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９Ｃと振動腕２３０Ｃとの間に
対応する部分に接続されている。また、連結梁２６６Ｃの一端部は、基部２７ＣのＸ軸方
向（長手方向）にて振動腕１３０Ｃと振動腕２３０Ｃとの間に対応する部分に接続されて
いる。ここで、連結梁２６１Ｃ、２６２Ｃ、２６６Ｃと基部２７との接続部は、それぞれ
、連結部２６Ａと基部２７との接続部を構成する。

このようにして、連結部２６Ｃの基部２７Ｃ側の端部は、基部２７ＣのＸ軸方向（第１
の方向）にて各振動腕２８Ｃ、２９Ｃ、１３０Ｃ、２３０Ｃが存在しない位置に対応する
部位に接続されている。これにより、基部２７Ｃの漏れ振動が支持部２５Ｃに伝わるのを
防止または抑制することができる。
以上説明したような第４実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第５実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図
である。
以下、第５実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第５実施形態の振動デバイスは、連結部の数が異なる以外は、前述した第４実施形態と
ほぼ同様である。なお、図１０では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付
してある。また、図１０では、各振動腕を振動させる圧電素子の図示を省略している。
本実施形態の振動デバイスの振動体２Ｄは、図１０に示すように、振動基板２１Ｄを有
している。

振動基板２１Ｄは、支持部２５Ｃと、連結部２６Ｄと、基部２７Ｃと、４つの振動腕２
８Ｃ、２９Ｃ、１３０Ｃ、２３０Ｃとを有している。
連結部２６Ｄは、基部２７Ｃと支持部２５Ｃを連結している。
この連結部２６Ｃは、２つの連結梁２６１Ｃ、２６２Ｃで構成されている。
以上説明したような第５実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第６実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第６実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図
である。
以下、第６実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第６実施形態の振動デバイスは、連結部の構成が異なる以外は、第２実施形態または第
３実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した実施形態と同様の構成には、
同一符号を付してある。また、図１１では、各振動腕を振動させる圧電素子の図示を省略
している。
本実施形態の振動デバイスの振動体２Ｅは、図１１に示すように、振動基板２１Ｅを有
している。

振動基板２１Ｅは、支持部２５Ｂと、連結部２６Ｅと、基部２７と、３つの振動腕２８
Ａ、２９Ａ、３０Ａとを有している。
基部２７には、連結部２６Ｅを介して支持部２５Ｂが接続されている。
この連結部２６Ｅは、２つの連結梁２６１Ｅ、２６２Ｅを備えている。
各連結梁２６１Ｅ、２６２Ｅは、その一端部が基部２７に接続されるとともに他端部が
支持部２５Ｂに接続されている。

特に、連結梁２６１Ｅの一端部は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８Ａ
と振動腕３０Ａとの間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２Ｅの一端部
は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９Ａと振動腕３０Ａとの間に対応する
部分に接続されている。ここで、連結梁２６１Ｅ、２６２Ｅと基部２７との接続部は、そ
れぞれ、連結部２６Ｅと基部２７との接続部を構成する。
このようにして、連結部２６Ｅの基部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向（第１の方
向）にて各振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａが存在しない位置に対応する部位に接続されて
いる。これにより、基部２７の漏れ振動が支持部２５Ｂに伝わるのを防止または抑制する
ことができる。

また、連結梁２６１Ｅ、２６２Ｅは、互いの間の距離が基部２７側から支持部２５Ｂ側
に向けて拡がるように設けられている。これにより、連結部２６ＥのＸ軸方向での幅が基
部２７側から支持部２５Ｂ側に向けて拡がっている。そのため、支持部２５Ｂが連結部２
６Ｅを介して基部２７および複数の振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａを安定的に支持するこ
とができる。
以上説明したような第６実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。

＜第７実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第７実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第７実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動体を示す上視図
である。
以下、第７実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説
明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第７実施形態の振動デバイスは、連結部の構成が異なる以外は、第２実施形態または第
３実施形態とほぼ同様である。なお、図１２では、前述した実施形態と同様の構成には、
同一符号を付してある。また、図１２では、各振動腕を振動させる圧電素子の図示を省略
している。
本実施形態の振動デバイスの振動体２Ｆは、図１２に示すように、振動基板２１Ｆを有
している。

振動基板２１Ｆは、支持部２５Ｂと、連結部２６Ｆと、基部２７と、３つの振動腕２８
Ａ、２９Ａ、３０Ａとを有している。
基部２７には、連結部２６Ｆを介して支持部２５Ｂが接続されている。
この連結部２６Ｆは、２つの連結梁２６１Ｆ、２６２Ｆを備えている。
各連結梁２６１Ｆ、２６２Ｆは、その一端部が基部２７に接続されるとともに他端部が
支持部２５Ｂに接続されている。

特に、連結梁２６１Ｆの一端部は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２８Ａ
と振動腕３０Ａとの間に対応する部分に接続されている。また、連結梁２６２Ｆの一端部
は、基部２７のＸ軸方向（長手方向）にて振動腕２９Ａと振動腕３０Ａとの間に対応する
部分に接続されている。ここで、連結梁２６１Ｆ、２６２Ｆと基部２７との接続部は、そ
れぞれ、連結部２６Ｆと基部２７との接続部を構成する。

このようにして、連結部２６Ｆの基部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向（第１の方
向）にて各振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａが存在しない位置に対応する部位に接続されて
いる。これにより、基部２７の漏れ振動が支持部２５Ｂに伝わるのを防止または抑制する
ことができる。
また、連結梁２６１Ｆ、２６２Ｆは、それぞれ、基部２７側から支持部２５Ｂ側に向け
て幅が拡がるように設けられている。これにより、支持部２５Ｂが連結部２６Ｆを介して
基部２７および複数の振動腕２８Ａ、２９Ａ、３０Ａを安定的に支持することができる。
特に、連結部２６ＦのＸ軸方向での幅が基部２７側から支持部２５Ｂ側に向けて拡がって
いる。そのため、支持部２５Ｂが連結部２６Ｆを介して基部２７および複数の振動腕２８
Ａ、２９Ａ、３０Ａを極めて安定的に支持することができる。
以上説明したような第７実施形態によれば、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏
することができる。
以上説明したような各実施形態の振動デバイスは、各種の電子機器に適用することがで
き、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。

本発明の振動デバイスを備える電子機器としては、特に限定されないが、例えば、パー
ソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルス
チルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトッ
プ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビ
ゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲー
ム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電
子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置
、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、
航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレータ等が挙げられる。

以上、本発明の振動体および振動デバイスを、図示の実施形態に基づいて説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成
のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていても
よい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合
わせたものであってもよい。
例えば、前述した実施形態では、振動体が３つまたは４つの振動腕を有する場合を例に
説明したが、振動腕の数は、５つ以上であってもよい。

また、前述した実施形態では、連結部が複数の連結梁で構成されている場合を例に説明
したが、これに限定されず、例えば、連結梁の途中同士を連結する梁が設けられていても
よい。また、連結部の支持部側の端部と支持部との接続部の数は、連結梁の数と同じでな
くてもよく、例えば、連結梁の支持部側の端部同士が接続されていてもよい。
また、本発明の振動デバイスは、水晶発振器（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣ
ＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発
振器の他、ジャイロセンサー、弾性表面波（ＳＡＷ）フィルター等に適用される。

１……振動デバイス ２……振動体 ２Ａ……振動体 ２Ｂ……振動体 ２Ｃ…
…振動体 ２Ｄ……振動体 ２Ｅ……振動体 ２Ｆ……振動体 ３……パッケー
ジ ２１……振動基板 ２１Ａ……振動基板 ２１Ｂ……振動基板 ２１Ｃ……
振動基板 ２１Ｄ……振動基板 ２１Ｅ……振動基板 ２１Ｆ……振動基板 ２
２……圧電素子 ２３……圧電素子 ２４……圧電素子 ２５……支持部 ２５
Ａ……支持部 ２５Ｂ……支持部 ２５Ｃ……支持部 ２６……連結部 ２６Ａ
……連結部 ２６Ｂ……連結部 ２６Ｃ……連結部 ２６Ｄ……連結部 ２６Ｅ
……連結部 ２６Ｆ……連結部 ２７……基部 ２７Ｂ……支持部 ２７Ｃ……
基部 ２８……振動腕 ２８Ａ……振動腕 ２８Ｃ……振動腕 ２９……振動腕
２９Ａ……振動腕 ２９Ｃ……振動腕 ３０……振動腕 ３０Ａ……振動腕 ３
１……ベース基板 ３２……枠部材 ３３……蓋部材 ３４ａ……外部端子 ３
４ｃ……外部端子 ３５ａ……マウント電極 ３５ｂ……マウント電極 ３６ａ…
…導電性接着剤 ３６ｂ……導電性接着剤 ４１……接続電極 ４２……接続電極
１３０Ｃ……振動腕 ２２１……電極層 ２２２……圧電体層 ２２３……電極層
２３０Ｃ……振動腕 ２３１……電極層 ２３２……圧電体層 ２３３……電極層
２４１……電極層 ２４２……圧電体層 ２４３……電極層 ２６１……連結梁
２６１Ａ……連結梁 ２６１Ｂ……連結梁 ２６１Ｂ……連結梁 ２６１Ｃ……
連結梁 ２６１Ｅ……連結梁 ２６１Ｆ……連結梁 ２６１Ｆ……連結梁 ２６
２……連結梁 ２６２Ａ……連結梁 ２６２Ｂ……連結梁 ２６２Ｃ……連結梁
２６２Ｅ……連結梁 ２６２Ｆ……連結梁 ２６３……孔 ２６６Ｃ……連結梁
２８１……質量部 Ｆ１……力 Ｆ２……力 Ｌ１……距離 Ｓ……内部空間
Ｗ１……幅 Ｗ２……幅 Ｘ１……軸線

Claims (11)

1. 基部と、
   前記基部の一端において第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向に直交する第２
   の方向に延出し、且つ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈
   曲振動する少なくとも３本の振動腕と、
   前記基部の一端とは反対側の他端に連結部を介して接続された支持部と、を備え、
   前記基部の一端は、前記振動腕が接続されている部分と、前記振動腕が接続されていな
   い部分を有し、
   前記連結部の前記基部側の端部は、前記振動腕が接続されていない部分に対応する位置
   に接続されていて、
   前記連結部の前記基部側の端部の前記第１の方向の幅をＷ１とし、前記基部の前記振動
   腕が接続されていない部分の第１の方向の距離をＬ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ１≦
   ０．８の関係を満たすことを特徴とする振動体。
2. 前記振動腕は、隣り合う前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動する請求項１に記載の
   振動体。
3. 前記基部と前記支持部と間には、前記振動腕が接続されている部分に対応して、貫通孔
   、凹部、および切り欠きの少なくとも１つが設けられている請求項１または２に記載の振
   動体。
4. 前記連結部は、複数の連結梁を備える請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動体
   。
5. 前記連結部の前記第３の方向の厚さをＤ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係
   を満たす請求項１ないし４のいずれか一項に記載の振動体。
6. 前記連結部の前記第２の方向の長さをＬ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ２≦２の関係
   を満たす請求項１ないし５のいずれか一項に記載の振動体。
7. 前記基部の前記第２の方向の幅をＷ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｗ２≦２の関係を満
   たす請求項１ないし６のいずれか一項に記載の振動体。
8. 前記振動腕の先端部には、基部側の端部よりも横断面積が大きい質量部が設けられてい
   る請求項１ないし７のいずれか一項に記載の振動体。
9. 前記振動腕は、圧電体材料で構成されている請求項１ないし８のいずれか一項に記載の
   振動体。
10. 前記振動腕上には、１対の電極層と、該１対の電極層間に配置された圧電体層と、を備
    える圧電素子が設けられている請求項１ないし９のいずれか一項に記載の振動体。
11. 請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の振動体と、
    前記振動体を収納するパッケージと、を有することを特徴とする振動デバイス。

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