JP2011160250A5 - - Google Patents

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動体は、第１の方向に延在する基部と、前記基部から前記第１の方向に直交する第２の方向に延出するとともに、前記第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈曲振動する少なくとも３つの振動腕と、前記基部に対して前記振動腕とは反対側に設けられた支持部と、前記基部と前記支持部とを連結する連結部とを有し、前記連結部の前記基部側の端部は、前記基部の前記第１の方向にて前記各振動腕が存在しない位置に対応する部位に接続されていることを特徴とする。また、他の態様では、基部と、前記基部の一端において第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向に直交する第２の方向に延出し、且つ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈曲振動する少なくとも３本の振動腕と、前記基部の一端とは反対側の他端に連結部を介して接続された支持部と、を備え、前記基部の一端は、前記振動腕が接続されている部分と、前記振動腕が接続されていない部分を備え、前記連結部の前記基部側の端部は、前記振動腕が接続されていない部分に対応する位置に接続されていることを特徴とする。これにより、各振動腕の屈曲振動（面外屈曲振動）に伴う基部の振動（漏れ振動）が支持部に伝わるのを防止または抑制することができる。その結果、振動漏れを防止し、Ｑ値を高めることができる。

［適用例２］
本発明の振動体では、前記振動腕は、隣り合う前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動することが好ましい。
これにより、基部の第１の方向にて各振動腕が存在しない位置に対応する部位の漏れ振動を低減することができる。

［適用例３］
本発明の振動体では、前記基部と前記支持部と間には、前記振動腕が接続されている部分に対応して、貫通孔、凹部、および切り欠きの少なくとも１つが設けられていることが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が支持部に伝わるのを阻止することができる。

［適用例４］
本発明の振動体では、複数の連結梁を備えることが好ましい。
これにより、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例５］
本発明の振動体では、前記連結部の前記基部側の端部の前記第１の方向の幅をＷ１とし、前記基部の前記振動腕が接続されていない部分の第１の方向の距離をＬ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ１≦０．８の関係を満たすことが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が支持部に伝わるのをより確実に防止または抑制することができる。

［適用例６］
本発明の振動体では、前記連結部の前記第３の方向の厚さをＤ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例７］
本発明の振動体では、前記連結部の前記第２の方向の長さをＬ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ２≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、幅Ｗ１を狭くしても、振動漏れを防止しつつ、支持部が連結部を介して複数の振動腕および基部を安定的に支持することができる。

［適用例８］
本発明の振動体では、前記基部の前記第２の方向の幅をＷ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｗ２≦２の関係を満たすことが好ましい。
これにより、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が連結部に伝わるのを防止することができる。

［適用例９］
本発明の振動体では、前記振動腕の先端部には、基部側の端部よりも横断面積が大きい質量部が設けられていることが好ましい。
これにより、各振動腕の長尺化を防止しつつ、各振動腕の屈曲振動の低周波数化を図ることができる。また、このような質量部を各振動腕に設けた場合、各振動腕の先端側が重くなるので、各振動腕の屈曲振動に伴う基部の振動が大きくなる。そのため、本発明を適用することによる効果が顕著となる。

［適用例１０］
本発明の振動体では、前記振動腕は、圧電体材料で構成されていることが好ましい。
これにより、各振動腕上に１対の励振電極を設けると言う比較的簡単な構成で、振動腕を振動（励振）させることができる。特に、圧電体材料として水晶を用いることにより、振動体の振動特性を優れたものとすることができる。

［適用例１１］
本発明の振動体では、前記振動腕上には、１対の電極層と、該１対の電極層間に配置された圧電体層と、を備える圧電素子が設けられていることが好ましい。
これにより、各圧電素子への通電により各振動腕を振動させることができる。

Claims (12)

1. 基部と、
   前記基部の一端において第１の方向に並んで設けられ、前記第１の方向に直交する第２の方向に延出し、且つ、前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向に屈曲振動する少なくとも３本の振動腕と、
   前記基部の一端とは反対側の他端に連結部を介して接続された支持部と、を備え、
   前記基部の一端は、前記振動腕が接続されている部分と、前記振動腕が接続されていない部分を備え、
   前記連結部の前記基部側の端部は、前記振動腕が接続されていない部分に対応する位置に接続されていることを特徴とする振動体。
2. 前記振動腕は、隣り合う前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動する請求項１に記載の振動体。
3. 前記基部と前記支持部と間には、前記振動腕が接続されている部分に対応して、貫通孔、凹部、および切り欠きの少なくとも１つが設けられている請求項１または２に記載の振動体。
4. 前記連結部は、複数の連結梁を備える請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動体。
5. 前記連結部の前記基部側の端部の前記第１の方向の幅をＷ１とし、前記基部の前記振動腕が接続されていない部分の第１の方向の距離をＬ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ１≦０．８の関係を満たす請求項１ないし４のいずれか一項に記載の振動体。
6. 前記連結部の前記第３の方向の厚さをＤ１としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｄ１≦２の関係を満たす請求項５に記載の振動体。
7. 前記連結部の前記第２の方向の長さをＬ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｌ２≦２の関係を満たす請求項５または６に記載の振動体。
8. 前記基部の前記第２の方向の幅をＷ２としたとき、０．５≦Ｗ１／Ｗ２≦２の関係を満たす請求項５ないし７のいずれか一項に記載の振動体。
9. 前記振動腕の先端部には、基部側の端部よりも横断面積が大きい質量部が設けられている請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動体。
10. 前記振動腕は、圧電体材料で構成されている請求項１ないし９のいずれか一項に記載の振動体。
11. 前記振動腕上には、１対の電極層と、該１対の電極層間に配置された圧電体層と、を備える圧電素子が設けられている請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の振動体。
12. 請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動体と、
    前記振動体を収納するパッケージと、を有することを特徴とする振動デバイス。