JP2010103805A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基部と、
   前記基部から延出する屈曲振動部と、を備え、
   前記屈曲振動部は、屈曲振動により互い違いに伸張または圧縮する第１面および第２面と、前記第１面および前記第２面を連結する第３面および第４面とを備え、且つ、前記第３面から前記第４面までを貫通する貫通孔を備え、
   前記貫通孔は、前記屈曲振動部と前記基部に跨って設けられていることを特徴とする屈曲振動片。
2. 請求項１に記載の屈曲振動片であって、
   前記貫通孔は、前記屈曲振動部の延出方向の全長の半分の位置から前記基部側に配置されていることを特徴とする屈曲振動片。
3. 請求項２に記載の屈曲振動片であって、
   前記屈曲振動部の前記第３面および前記第４面の少なくとも一方には、前記全長の半分の位置から先端側にスリット部が設けられていることを特徴とする屈曲振動片。
4. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載の屈曲振動片と、
   前記屈曲振動片を収納するパッケージと、を備えたことを特徴とする屈曲振動子。
5. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載の屈曲振動片と、
   前記屈曲振動片を駆動させるＩＣチップと、を備えたことを特徴とする圧電デバイス。