JP2008209389A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008209389A5 JP2008209389A5 JP2007159832A JP2007159832A JP2008209389A5 JP 2008209389 A5 JP2008209389 A5 JP 2008209389A5 JP 2007159832 A JP2007159832 A JP 2007159832A JP 2007159832 A JP2007159832 A JP 2007159832A JP 2008209389 A5 JP2008209389 A5 JP 2008209389A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating arm
- acceleration sensor
- hole
- vibrating
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
Claims (3)
- 基部と、前記基部から第１方向に延出された第１振動腕および第２振動腕と、を備えた振動体であって、
前記第１振動腕および前記第２振動腕の各々は、貫通孔によって複数の振動腕部に分割された部分を有し、
前記第１振動腕および前記第２振動腕の先端部は連結部により連結され、
各々の前記振動腕部の側面には励振電極が形成されたことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項１に記載の加速度センサにおいて、
前記貫通孔は、前記第１振動腕および前記第２振動腕の前記基部側の端部または前記連結部側の端部から前記第１振動腕および前記第２振動腕の前記第１方向の中央付近まで形成されたことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項１に記載の加速度センサにおいて、
前記貫通孔は、前記基部側に形成された第１貫通孔と、前記第１方向の中央付近に形成された第２貫通孔と、前記連結部側に形成された第３貫通孔と、を備えたことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007159832A JP2008209389A (ja) | 2006-10-13 | 2007-06-18 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006279508 | 2006-10-13 | ||
| JP2007017439 | 2007-01-29 | ||
| JP2007159832A JP2008209389A (ja) | 2006-10-13 | 2007-06-18 | 加速度センサ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008253520A Division JP2009042240A (ja) | 2006-10-13 | 2008-09-30 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008209389A JP2008209389A (ja) | 2008-09-11 |
| JP2008209389A5 true JP2008209389A5 (ja) | 2010-07-22 |
Family
ID=39785793
Family Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007159832A Withdrawn JP2008209389A (ja) | 2006-10-13 | 2007-06-18 | 加速度センサ |
| JP2007159831A Withdrawn JP2008209388A (ja) | 2006-10-13 | 2007-06-18 | 加速度センサ |
| JP2008253519A Withdrawn JP2009042239A (ja) | 2006-10-13 | 2008-09-30 | 加速度センサ |
| JP2008253520A Withdrawn JP2009042240A (ja) | 2006-10-13 | 2008-09-30 | 加速度センサ |
Family Applications After (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007159831A Withdrawn JP2008209388A (ja) | 2006-10-13 | 2007-06-18 | 加速度センサ |
| JP2008253519A Withdrawn JP2009042239A (ja) | 2006-10-13 | 2008-09-30 | 加速度センサ |
| JP2008253520A Withdrawn JP2009042240A (ja) | 2006-10-13 | 2008-09-30 | 加速度センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (4) | JP2008209389A (ja) |
| CN (1) | CN101162237B (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5446187B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動型センサ |
| JP5375624B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2013-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 加速度センサー、及び加速度検出装置 |
| JP5703731B2 (ja) * | 2010-12-14 | 2015-04-22 | セイコーエプソン株式会社 | 電子機器 |
| JP5560805B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-07-30 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器 |
| JP5341807B2 (ja) | 2010-03-26 | 2013-11-13 | 株式会社東芝 | 加速度センサ |
| DE102010030878B4 (de) * | 2010-07-02 | 2023-08-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Sensorvorrichtung zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks und dergleichen |
| US9759739B2 (en) | 2011-02-02 | 2017-09-12 | Honeywell International Inc. | MEMS vibrating-beam accelerometer with piezoelectric drive |
| JP2014052263A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 外力検出装置及び外力検出センサー |
| CN103197101A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-07-10 | 厦门乃尔电子有限公司 | 非等截面悬臂梁压电式加速度传感器 |
| JP2015179933A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、ジャイロセンサー素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP6044607B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2016-12-14 | 横河電機株式会社 | 振動式センサ装置 |
| CN105429607B (zh) * | 2014-09-16 | 2020-12-29 | 精工爱普生株式会社 | 振动装置、电子设备以及移动体 |
| CN105865666B (zh) * | 2016-05-03 | 2018-11-20 | 成都皆为科技有限公司 | 一种一体式双石英音叉谐振敏感元件及测力模块 |
| GB2561887B (en) * | 2017-04-27 | 2022-10-05 | Cambridge Entpr Ltd | High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with suspended sensor arrangement |
| DE102017217975A1 (de) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Federstruktur |
| JP7331881B2 (ja) * | 2021-04-20 | 2023-08-23 | 株式会社豊田中央研究所 | 加速度センサ及び加速度センサ装置 |
| CN114280329A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-04-05 | 西安交通大学 | 一种双端固支音叉石英加速度传感器 |
| CN113985067A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-01-28 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种平面挠曲式大灵敏度加速度传感器及制作方法 |
| US11959935B2 (en) | 2022-04-02 | 2024-04-16 | Emcore Corporation | Resonantly vibrating accelerometer with cross-coupling signal suppression |
| US11965907B2 (en) | 2022-04-02 | 2024-04-23 | Emcore Corporation | Resonantly vibrating accelerometer driven in multiple vibrational modes |
| US11953514B2 (en) * | 2022-04-02 | 2024-04-09 | Emcore Corporation | Self-compensating resonantly vibrating accelerometer driven in multiple vibrational modes |
| CN114814334B (zh) * | 2022-04-14 | 2023-05-16 | 南京高华科技股份有限公司 | 电流传感器 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3238789A (en) * | 1961-07-14 | 1966-03-08 | Litton Systems Inc | Vibrating bar transducer |
| JPS61165624A (ja) * | 1977-06-07 | 1986-07-26 | マイクロ・モ−シヨン・インコ−ポレ−テツド | 流量計 |
| GB8418914D0 (en) * | 1984-07-25 | 1984-08-30 | Standard Telephones Cables Ltd | Transducer |
| FR2574209B1 (fr) * | 1984-12-04 | 1987-01-30 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Resonateur a lame vibrante |
| US5331242A (en) * | 1992-11-18 | 1994-07-19 | Alliedsignal Inc. | Vibrating tine resonators and methods for torsional and normal dynamic vibrating mode |
| JP3368744B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2003-01-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 振動型加速度センサ |
| JP4806850B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2011-11-02 | パナソニック株式会社 | アクチュエータ |
| JP2003149261A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサとこれを用いた自動車 |
-
2007
- 2007-06-18 JP JP2007159832A patent/JP2008209389A/ja not_active Withdrawn
- 2007-06-18 JP JP2007159831A patent/JP2008209388A/ja not_active Withdrawn
- 2007-10-11 CN CN2007101524273A patent/CN101162237B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008253519A patent/JP2009042239A/ja not_active Withdrawn
- 2008-09-30 JP JP2008253520A patent/JP2009042240A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008209389A5 (ja) | ||
| JP2008209388A5 (ja) | ||
| JP2009042240A5 (ja) | ||
| JP2009042239A5 (ja) | ||
| JP2006148857A5 (ja) | ||
| USD597211S1 (en) | Electronic stimulus device | |
| JP2010050960A5 (ja) | ||
| USD583421S1 (en) | Tasseled toy | |
| EP1650866A3 (en) | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device | |
| EP1724919A3 (en) | Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric device | |
| USD598113S1 (en) | Measuring instrument or device, in particular for measuring muscle performance | |
| JP2008515616A5 (ja) | ||
| JP2006238001A5 (ja) | ||
| JP2013509251A5 (ja) | ||
| JP2008072705A5 (ja) | ||
| JP2007330351A5 (ja) | ||
| JP2010187197A5 (ja) | ||
| JP2012019441A5 (ja) | ||
| EP2269702A3 (en) | Rolling ball device | |
| JP2008051628A5 (ja) | ||
| JP2017203656A5 (ja) | ||
| JP2011199661A5 (ja) | ||
| USD612856S1 (en) | Connector for a peripheral device | |
| JP2007249141A5 (ja) | ||
| JP2019038369A5 (ja) |