JP2006270177A5 - - Google Patents

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  1. 圧電材料により形成された基部と、
    前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と、
    前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
    前記長溝の内面に配置された内面電極、および前記振動腕の前記内面電極に対向する側面に配置された側面電極により形成された励振電極と
    を備えており、
    前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根の箇所で、基部側に向かって拡幅する拡幅部を有し、この拡幅部の側面および主面に前記側面電極が引き回されており、前記拡幅部は、基部側に向かって拡幅の度合いを段階的に変えながら拡幅していることを特徴とする圧電振動片。
  2. パッケージまたはケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
    前記圧電振動片が、
    圧電材料により形成された基部と、
    前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と、
    前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、
    前記長溝の内面に配置された内面電極、および前記振動腕の前記内面電極に対向する側面に配置された側面電極により形成された励振電極と
    を備えており、
    前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根の箇所で、基部側に向かって拡幅する拡幅部を有し、この拡幅部の側面および主面に前記側面電極が引き回されており、
    前記拡幅部は、基部側に向かって拡幅の度合いを段階的に変えながら拡幅していることを特徴とする圧電デバイス。
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