JP2010087575A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
   前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端からＹ軸方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、
   前記音叉型圧電振動片は、前記振動腕の外側に形成されている支持腕を介して前記外枠フレームと接続されており、
   前記基部に対向する前記Ｙ軸方向の前記外枠フレームの内側面には、前記Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に高さを有する基部緩衝部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記基部緩衝部は、前記基部の最先端と衝突しないように、前記基部の最先端を避けた位置に形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電デバイス。
3. 前記基部緩衝部は前記基部の側面に対向する平面を有しており、その基部緩衝部の平面までの前記Ｘ軸方向の高さは、前記基部緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
4. リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
   前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端からＹ軸方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、
   前記音叉型圧電振動片は、前記振動腕の外側に形成されている支持腕を介して前記外枠フレームと接続されており、
   前記外枠フレーム側の前記Ｙ軸方向の前記基部の側面には、前記Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に高さを有する基部緩衝部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
5. 前記支持腕に対向するＹ軸方向の前記外枠フレームの内側面には、前記Ｘ軸方向に高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の圧電デバイス。
6. 前記外枠フレーム側の前記支持腕の側面には、前記Ｘ軸方向に高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の圧電デバイス。
7. 前記支持腕緩衝部は前記支持腕の側面に対向する平面を有しており、その支持腕緩衝部の平面までの前記Ｘ軸方向における高さは、前記支持腕緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の圧電デバイス。
8. 前記支持腕緩衝部及び前記基部緩衝部の前記Ｘ軸方向における高さは、前記振動腕緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離、および前記基部緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離にそれぞれ比例していることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の圧電デバイス。
9. 前記振動腕に対向する前記Ｙ軸方向の前記外枠フレームの内側面には、前記Ｘ軸方向に高さを有する振動腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載の圧電デバイス。
10. 前記振動腕緩衝部は、前記振動腕の最先端と衝突しないように、前記振動腕の最先端を避けた位置に形成されている請求項７又は請求項８に記載の圧電デバイス。
11. 前記基部緩衝部は、台形又は円形であることを特徴とする請求項１から請求項１０の何れか一項に記載の圧電デバイス。