JP2010087575A - 圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】小型化されても、落下による破損又は周波数の変動を十分に防止することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】リッド基板と、基部４１と振動腕とを備える音叉型圧電振動片４０と外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、音叉型圧電振動片４０は、支持腕４４を介して外枠フレームと接続され、基部４１と対応する長手方向の外枠フレームの内側面又は外枠フレーム側の長手方向の基部４１の側面には、短手方向で一定である高さを有する基部緩衝部が形成され、基部緩衝部の短手方向における高さは、基部緩衝部から音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。
【選択図】図５

Description

本発明は、落下に対する破損を防止できる特性が優れる圧電デバイスに関する。

ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、或いはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話等の移動体通信機器などにおいて、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。

従来の圧電デバイスとして、特許文献１は図６に示す圧電デバイス９０を提案した。図６に示したように、圧電デバイス９０は、振動腕９１と基部９２からなる圧電振動片をパッケージに搭載した後、蓋体を被せて封止される。図６において、圧電振動片は外枠フレーム９３により囲まれている。

落下などにより水晶振動片に衝撃力Ｆが印加された場合、圧電振動片は接合点である基部９２を支点として矢印に従って変形して、圧電振動片の振動腕９１の最先端が外枠フレーム９３と衝突する。この衝突により、圧電振動片の破損又は変形などが起こり、ＣＩ値、発振周波数等の変動等が生じる。

特許文献１は、この衝撃による圧電振動片の破損又は変形を防止する対策として、振動腕９１の先端寄りに支持部９４が形成されている。落下などにより圧電振動片が振れる時、振動腕９１は支持部９４に当接される。これにより振動腕９１の破損又は変形を防止する。
特開２００１―７６７８号公報

しかしながら、支点である基部９２から遠く離れている振動腕９１の最先端部の加速度が最大であるので、実際に欠けやすい振動腕９１の最先端がまず衝突される可能性が大きい。なお、製品の小型化に従って、それらに設置される圧電デバイスもさらに小型化されるように要求されている。

従って、更に小型化するために、圧電振動片の振動腕９１の両側で支持腕を設けることが提案されている。従って、このような小型化の要求に満たす、且つ支持腕が設けられている圧電デバイスに対して、落下による衝撃に対抗することができる圧電デバイスが必要である。

本発明は、小型化されても落下による破損又は変形を十分に且つ確実に防止することができる圧電デバイスを提供することにその目的がある。

第一観点に係る圧電デバイスは、リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなる。音叉型圧電振動片は、基部と、基部の一端から所定方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、振動腕の外側に形成されている支持腕を介して外枠フレームと接続される。基部と対応する長手方向の前記外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する基部緩衝部が形成されている。基部緩衝部の短手方向における高さは、基部緩衝部から音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。

第一観点によれば、基部緩衝部が形成されているので、落下などにより衝撃力が加えられた場合、接続点を支点に振れる圧電振動片の振動腕と基部とが、外枠フレームと衝突することを防止することができる。特に、欠けやすい先端部が緩衝部と衝突することを避けたので、圧電振動片の破損を確実に防止することができる。

第二観点において、基部緩衝部は、基部の最先端と衝突しないように、基部の最先端を避けた位置に形成されている。欠けやすい基部の最先端と直接に衝突しないように保護したので、圧電振動片の破損と変形を確実に防止することができる。

第三観点に係る圧電デバイスは、リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなる。音叉型圧電振動片は、基部と、基部の一端から所定方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、振動腕の外側に形成されている支持腕を介して外枠フレームと接続される。外枠フレーム側の長手方向の基部の側面には、短手方向で一定である高さを有する基部緩衝部が形成されている。基部緩衝部の短手方向における高さは、基部緩衝部から音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。

第三観点において、長手方向の基部の側面に基部緩衝部が形成されているので、基部の重量が重くなる。これにより、圧電デバイスの外部へ振動漏れとして伝えづらくさせ、また外部の衝撃の影響を受けづらくさせる。

第四観点において、支持腕と対応する長手方向の外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する支持腕緩衝部が形成されている。圧電振動片の周波数とＣＩ値に影響を及ばない支持腕と対応する位置に緩衝部を形成したので、長い間当接することにより支持腕又は支持腕緩衝部が少しずつ欠けたとしても、圧電振動片の周波数とＣＩ値とを維持することができる。なお、支持腕は、圧電振動片が衝撃により振れる支点と隣接しているので、衝撃による振れの加速度が小さい。これにより衝撃による破損の程度が最も低くなり、圧電振動片の使用寿命が長くなる。

第五観点において、外枠フレーム側の支持腕の側面には、短手方向で一定である高さを有する支持腕緩衝部が形成されている。圧電振動片の周波数とＣＩ値に影響を及ばない支持腕に緩衝部を形成したので、長い間当接することにより支持腕又は支持腕緩衝部が少しずつ欠けたとしても、圧電振動片の周波数とＣＩ値とを維持することができる。なお、支持腕は、圧電振動片が衝撃により振れる支点と隣接しているので、衝撃による振れの加速度が小さい。これにより衝撃による破損の程度が最も低くなり、圧電振動片の使用寿命が長くなる。

第六観点において、支持腕緩衝部の短手方向における高さは、支持腕緩衝部から音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。これによれば、支持腕緩衝部から接続点までの距離に比例するように、支持腕緩衝部の高さを設計したので、圧電振動片の破損を有効に防止することができる。

第七観点において、振動腕と対応する長手方向の外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する振動腕緩衝部が形成されている。振動腕緩衝部が形成されているので、圧電振動片の周波数等に最も重要である振動腕の最先端を保護することができる。

第八観点において、振動腕緩衝部の短手方向における高さは、振動腕緩衝部から音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。これによれば、振動腕緩衝部から接続点までの距離に比例して、振動腕緩衝部の高さを設計したので、圧電振動片の破損を有効に防止することができる。

第九観点において、振動腕緩衝部は、振動腕の最先端と衝突しないように、振動腕の最先端を避けた位置に形成されている。欠けやすい振動腕の最先端と直接に衝突しないように振動腕の最先端を確実に保護したので、圧電振動片の破損と変形を確実に防止することができる。

第十観点において、上記各緩衝部は、台形又は円形であることが好ましい。特に台形の上表面が斜面であるのが好ましい。台形の上表面が斜面になるので、基部の振れることによる傾斜度と一致するようにして、当接する面積が大きくなり、点又は線で当接することより緩衝部の破損程度が低くなる。なお、円形である時、衝撃力が大きくて角と当接することより、緩衝部の破損程度が低くなる。

本発明によれば、圧電振動片に衝撃力が加えられても、圧電振動片の両端の先端部が外枠フレームと衝突して、破損し又は変形されることを有効に防止することができる。したがって、周波数の変動などを防止することができる。さらに小型化されても、各緩衝部は、空間の限定を受けらずに設けられるので衝突を有効に防止することができる。さらに、緩衝部の破損程度を下がることができる。

＜第一圧電振動子１００＞
以下、図面に基づいて本発明について詳しく説明する。図１は、本発明の第一圧電振動子１００の構造を示す斜視図である。図１に示したように、本実施例に係る第一圧電振動子１００は、リッド基板１０と、チップ基板２０と、ベース基板３０とを順序的に接合することにより形成される。この接合方式として、シロキサン結合方式（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）又は陽極接合方式を利用することもできる。

図１に示したように、リッド基板１０は、チップ基板２０側の片面に、エッチングにより形成されたリッド用凹部１１を有している。チップ基板２０には、その中央に圧電振動片４０が形成され、且つ、当該圧電振動片４０を囲むように外枠フレーム２１が形成されている。本実施例において、当該圧電振動片４０は、例えば、３２．７６８ｋＨｚで信号を発振する極めて小型の音叉型水晶振動片である。

圧電振動片４０は、基部４１と、基部４１から所定方向に伸びた二つの振動腕４２と、振動腕４２の外側に形成された二つの支持腕４４とを有する。振動腕４２は、基部４１から伸びたアーム部４２１と、アーム部４２１より幅が増大されたハンマー部４２２とを有する。それに、二つの振動腕４２の表面と、裏面と側面、及び基部４１に渡って、夫々に蒸着法又はスパッタリング法により電極（図面で塗りつぶした部分）とが形成されている。

これらの電極は、１５０オングストローム〜７００オングストロームのクロム（Ｃｒ）層の上に４００オングストローム〜２０００オングストロームの金（Ａｕ）層が形成された構成である。クロム（Ｃｒ）層の代わりに、チタン（Ｔｉ）層を使用してもよく、また金（Ａｕ）層の代わりに、銀（Ａｇ）層を使用してもよい。このような二層構造の代わりに、良好な密着性、耐食性、電気伝導性、耐熱性等を得るように、銅を主成分としてアルミニウム等との合金を使用して電極を形成しても良い。

一対の支持腕４４は、基部４１の一端から振動腕４２が伸びる方向（Ｙ方向）に伸びて接続部４５と外枠フレーム２１とに接続している。一対の支持腕４４は、振動腕４２の振動を第一圧電デバイス１００の外部へ振動漏れとして伝えづらくさせ、また外部の温度変化、または衝撃の影響を受けづらくさせる効果を持つ。

ベース基板３０は、チップ基板２０側の面に、エッチングにより形成されたベース用凹部３１を有している。なお、ベース基板３０には、さらに電気的に接続するためのスルホールや、外部電極などが形成される。

図２（ａ）は、圧電振動片４０を有するチップ基板２０の上面図で、図２（ｂ）は、図２（ａ）の部分簡略した模式図である。図２（ａ）に示したように、長手方向におけるチップ基板２０の外枠フレーム２１の両内側面には、基部４１と対応する位置で其々に台形の基部突起物４６が形成されている。基部突起物４６の短手方向であるＸ方向における高さは、圧電振動片４０の正常な振動に邪魔しない範囲で設定すればよい。

圧電振動片４０は、接続部４５を通じてチップ基板２０の外枠フレーム２１に接続されている。従って、落下による衝撃力を受けた場合、圧電振動片４０は、接続線Ｇを中心に、矢印で示す左右方向に従って振れる。即ち、圧電振動片４０の振動腕４２と基部４１は、接続線Ｇを中心に点線に示したように振れる。ここで振動腕４２の左右方向の振れは省略して示していない。

この場合、圧電振動片４０の基部４１が基部突起物４６に当てられる。これにより、圧電振動片４０の基部４１が外枠フレーム２１に衝突することを防止することができる。なお、基部４１が基部突起物４６に当接することにより、基部４１の更なる振れを制御することができ、振動腕４２の左右振れも制御できる。

なお、当該基部突起物４６は、基部４１の最先端を避けた位置に設置されている。これは、欠けやすい基部４１の最先端が基部突起物４６と当接すれば、基部４１が容易に破損されるためである。従って、基部４１の最先端を除いたいずれの位置に設置すればよい。

図２（ｂ）は、基部突起物４６を詳しく説明するための図２（ａ）のＢ部拡大図である。図２（ｂ）に示したように、基部突起物４６の上平面４０６はＹ方向で水平に形成されてはなく、振れる基部４１の側面に応じて斜面に形成されている。上平面４０６が水平に形成されても本発明の効果に達することができるが、斜面に形成されたので、基部４１が下方向に振れた場合、基部４１と上平面４０６とは、広い面積に当接される。水平に形成された上平面４０６より、当接する面積が大きくなり、衝撃力が分散するとともに、長い間当接することにより基部４１又は突起物４６が破損する程度を下げることができる。特に衝撃力が大きい場合、この効果が著しい。

図２（ｂ）を参照して、基部突起物４６の高さについて説明する。基部突起物４６の高さは、これから接続線Ｇまでの距離に比例して設定すればよい。本実施例において、基部突起物４６が斜めに形成されているので、最高点の高さＨ１と最低点の高さＨ２は、其々に最高点から接続線Ｇまでの距離Ｌ１と最低点から接続線Ｇまでの距離Ｌ２に比例している。基部突起物４６の最高点から接続線Ｇまでの距離Ｌ１が最低点からの距離Ｌ２より短いので、最高点の高さＨ１は、最低点の高さＨ２により高い。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に左右方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいのである。

これらの基部突起物４６は、ウエハをエッチングする時、それらの突起物を除いてエッチングすれば簡単に形成することができる。或は、突起物を形成しようとする位置に、保護膜を形成した後で、エッチングすることにより突起物を形成することができる。この突起物の形成方法としては公知な技術を利用して簡単に形成できるので、ここでその説明を省略する。

＜第一圧電振動子１００の第一変形例と第二変形例＞
図３（ａ）は、第一圧電振動子１００の第一変形例に係るチップ基板２０１の上面図で、図３（ｂ）は、第一圧電振動子１００の第二変形例に係るチップ基板２０２の上面図である。

第一圧電振動子１００の第一変形例において、第一圧電振動子１００に比べて、チップ基板２０１の基部突起物４６１だけが異なる。図３（ａ）に示したように、チップ基板２０１の基部突起物４６１は、外枠フレーム２１側の基部４１の側面に形成されている。当該基部突起物４６１は、基部４１の最先端に形成されてもかまわない。なお、基部突起物４６１の高さは、上に説明したように基部突起物４６１から接続線Ｇまでの距離に比例して設計すればよい。本実施例で、基部突起物４６１の上平面は水平状に形成されているが、前と同じように、斜面になるように形成されてもよい。

本実施例において、基部に基部突起物４６１が形成されているので、基部４１の重さが重くなる。これにより、圧電デバイス１００の外部へ振動漏れとして伝えづらくさせ、また外部の衝撃の影響を受けづらくさせる。

第一圧電振動子１００の第二変形例において、第一圧電振動子１００に比べて、チップ基板２０２の基部突起物４６２だけが異なる。図３（ｂ）に示したように、チップ基板２０２の基部突起物４６２も、外枠フレーム２１の内側面に形成されている。しかし、この基部突起物４６２は台形ではなく円形である。基部突起物４６１の高さも、上に説明したように基部突起物４６２から接続線Ｇまでの距離に比例して設計すればよい。

本実施例において、基部突起物４６２を円形に形成することにより、衝撃力の大きさとともに方向に対しても良好に対応することができる。即ち、衝撃力によって基部４１の振れ程度も違う。従って、基部突起物４６２と基部４１とが当接する面も違う。しかし、円形に形成することにより、当接面の一致性を保障することができる。特に、衝撃力が大きく場合、基部４１が円形の基部突起物４６２に当接するので、緩衝部の破損程度が低くなる。これにより寿命が長くなる。

＜第二圧電振動子＞
以下、第二圧電振動子について説明する。第一圧電振動子１００と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。

図４（ａ）は、第二圧電振動子に係るチップ基板２０３の上面図で、図４（ｂ）は、第二圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０４の上面図である。図４（ａ）に示したように、長手方向におけるチップ基板２０３の外枠フレーム２１の両内側面には、支持腕４４と対応する位置で其々に台形の支持腕突起物４７が形成されている。本実施例において、支持腕突起物４７の上平面は平行状に形成されているが、基部突起物４６と同じように斜面に形成されてもよい。なお、支持腕突起物４７の短手方向であるＸ方向における高さは、圧電振動片４０の正常な振動に邪魔しない範囲で、これらから接続線Ｇまでの距離に比例して設定すればよい。

本実施例において、長手方向の外枠フレーム２１には、圧電振動片４０の周波数やＣＩ値に影響の少ない支持腕と対応する位置に支持腕突起物４７が形成された。従って、何度も支持腕振動物４７と支持腕４２とが当接することにより支持腕４２がすこし欠けたとしても、圧電振動片４０の周波数やＣＩ値に大きい影響を及ばない。なお、支持腕突起物４７が接続線Ｇと隣接しているので、振れによる加速度も小さい。従って、基部突起部４６に比べて、支持腕突起物４７に衝突する力が小さくなる。

第二圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０４は、図４（ｂ）に示したように、支持腕突起物４７が、支持腕４４の外枠フレーム２１側の側面に形成されている。当該支持腕突起物４７は上に説明したものと同じであるので、その説明を省略する。なお、本変形例において、支持腕突起物４７の他に、基部突起物４６３が形成されている。当該基部突起物４６３は、第一圧電振動子１００の第二変形例とほぼ同じであるが、ただ基部４１に形成されている。もちろん、第一圧電振動子１００の基部突起物４６又はその第一変形例の基部突起物４６１が形成されてもよい。

本実施例において、支持腕突起物４７の高さＨ３と基部突起物４６３の高さＨ４は、其々に支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３と基部突起物４６３から接続線Ｇまでの距離Ｌ４に比例している。支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３が基部突起物４６３から接続線Ｇまでの距離Ｌ４より短いので、支持腕突起物４７の高さＨ３は、基部突起物４６３の高さＨ４より高い。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に左右方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいのである。

＜第三圧電振動子＞
以下、第三圧電振動子について説明する。第一圧電振動子１００と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。

図５（ａ）は、第三圧電振動子に係るチップ基板２０５の上面図で、図５（ｂ）は、第三圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０６の上面図である。図５（ａ）に示したように、長手方向におけるチップ基板２０５の外枠フレーム２１の両内側面には、振動腕４２のアーム部４２１と対応する位置で其々に角形の振動腕突起物４８が形成されている。振動腕突起物４８の短手方向であるＸ方向における高さは、圧電振動片４０の正常な振動に邪魔しない範囲で、これらから接続線Ｇまでの距離に比例して設定すればよい。

本実施例において、支持腕突起物４７の高さＨ３と振動腕突起物４８の高さＨ５は、其々に支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３と振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離Ｌ５に比例している。支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３が振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離Ｌ５より長いので、支持腕突起物４７の高さＨ３は、振動腕突起物４８の高さＨ５より低い。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に左右方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいのである。

本実施例において、圧電振動片４０の周波数やＣＩ値に影響の大きく且つ欠けやすいハンマー部４２２から所定距離離れた位置に振動腕突起物４８が形成された。従って、欠けやすいハンマー部４２２が確実に保護されて破損されることを防止した。なお、当該振動腕突起物４８の形成位置が接続線Ｇと隣接しているので、振れによる加速度も小さい。従って、基部突起部４６に比べて、振動腕突起物４８に衝突する力が小さくなる。

第三圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０６は、図５（ｂ）に示したように、振動腕突起物４８の他に、第一圧電振動子１００の第二変形例と同じように基部突起物４６２が形成されている。もちろん、第一圧電振動子１００の基部突起物４６又はその第一変形例の基部突起物４６１が形成されてもよい。なお、図５（ｂ）に示したように、支持腕突起物４７も形成されている。それらの突起物は必要に応じて組み合わせて形成することができる。

振動腕突起物４８の高さは、ハンマー部４２２の正常的な振動に邪魔しない範囲で、上に説明したように振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離に比例して設計すればよい。本実施例において、振動腕突起物４８の高さＨ５と、支持腕突起物４７の高さＨ３と、基部突起物４６３の高さＨ４とは、其々に振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離Ｌ５と、支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３と、基部突起物４６３から接続線Ｇまでの距離Ｌ４とに比例している。振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離Ｌ５と、支持腕突起物４７から接続線Ｇまでの距離Ｌ３と、基部突起物４６３から接続線Ｇまでの距離Ｌ４とが順番に短くなるので、振動腕突起物４８の高さＨ５と、支持腕突起物４７の高さＨ３と、基部突起物４６３の高さＨ４とは、順番に高くなる。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に左右方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいのである。

なお、振動腕突起物４８の高さが、振動腕突起物４８から接続線Ｇまでの距離に対する比例が、支持腕突起物４７又は基部突起物４６３の高さがこれらから接続線Ｇまでの距離に対する比例より大きい。これは、振動腕４２が支持腕４４より、外枠フレーム２１と離れているからである。

以上のような各圧電振動子によれば、圧電振動片４０の欠けやすいハンマー部４２２と基部４１の最先端部が衝突されることを確実に防止することができる。これにより、圧電振動子の破損や周波数の変動等を確実に防止できる。

以上で、本発明に係る圧電デバイスについて説明したが、これに限定されるわけではない。当業者であれば、本発明の公開に基づいてさまざまな変更を行うことができる。たとえば、本発明の実施例では、各突起物として、リッド基板とベース基板と同じ材料で一体に形成されたが、緩沖材料からなる緩衝部材を接着剤などにより接合して形成してもよい。なお、本発明の実施例で、リッド基板とベース基板を用いたが、従来のようにパッケージに圧電振動片を搭載して、蓋体を被せることもできる。この場合、パッケージの内側面に緩衝部材を設けることができる。

本発明の第一圧電振動子１００の構造を示す斜視図である。 （ａ）は、圧電振動片４０を有するチップ基板２０の上面図で、（ｂ）は、（ａ）のＢ部拡大図ある。 （ａ）は、第一圧電振動子１００の第一変形例に係るチップ基板２０１の上面図で、（ｂ）は、第一圧電振動子１００の第二変形例に係るチップ基板２０２の上面図である。 （ａ）は、第二圧電振動子に係るチップ基板２０３の上面図で、（ｂ）は、第二圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０４の上面図である。 （ａ）は、第三圧電振動子に係るチップ基板２０５の上面図で、（ｂ）は、第三圧電振動子の変形例に係るチップ基板２０６の上面図である。 従来技術に係る圧電デバイス９０の部分省略断面図である。

符号の説明

１０ … リッド基板
１１ … リッド用凹部
２０ … チップ基板
２１ … 外枠フレーム
３０ … ベース基板
３０ … ベース用凹部
４０ … 圧電振動片
４１ … 基部
４２ … 振動腕
４４ … 支持腕
４５ … 接続部
４６ … 基部突起物
４７ … 支持腕突起物
４８ … 振動腕突起物
９０ … 従来技術に係る圧電デバイス
１００ … 第一圧電デバイス

Claims (10)

1. リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
   前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端から所定方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、
   前記音叉型圧電振動片は、前記振動腕の外側に形成されている支持腕を介して前記外枠フレームと接続されており、
   前記基部と対応する長手方向の前記外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する基部緩衝部が形成され、
   前記基部緩衝部の短手方向における高さは、前記基部緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記基部緩衝部は、前記基部の最先端と衝突しないように、前記基部の最先端を避けた位置に形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電デバイス。
3. リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
   前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端から所定方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕とを備え、
   前記音叉型圧電振動片は、前記振動腕の外側に形成されている支持腕を介して前記外枠フレームと接続されており、
   前記外枠フレーム側の長手方向の前記基部の側面には、短手方向で一定である高さを有する基部緩衝部が形成され、
   前記基部緩衝部の短手方向における高さは、前記基部緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする圧電デバイス。
4. 前記支持腕と対応する長手方向の前記外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の圧電デバイス。
5. 前記外枠フレーム側の前記支持腕の側面には、短手方向で一定である高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の圧電デバイス。
6. 前記支持腕緩衝部の短手方向における高さは、前記支持腕緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の圧電デバイス。
7. 前記振動腕と対応する長手方向の前記外枠フレームの内側面には、短手方向で一定である高さを有する振動腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の圧電デバイス。
8. 前記振動腕緩衝部の短手方向における高さは、前記振動腕緩衝部から前記音叉型圧電振動片と前記外枠フレームとの接続点までの距離に比例していることを特徴とする請求項７記載の圧電デバイス。
9. 前記振動腕緩衝部は、前記振動腕の最先端と衝突しないように、前記振動腕の最先端を避けた位置に形成されている請求項７又は請求項８に記載の圧電デバイス。
10. 緩衝部は、台形又は円形であることを特徴とする請求項１から請求項９の何れか一項に記載の圧電デバイス。