JP2010147953A - 圧電フレーム及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電フレーム(20)は、基部(23)の一端側から第1方向(Y方向)に伸びる第1幅(W1)の一対の振動腕(24)を有しこの一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動部(21)と、基部の一端側から且つ振動腕(24)の両外側において第1方向に伸びる第2幅(W2)の一対の支持腕(25)と、一対の支持腕から第1方向と交差する第2方向に伸びる一対の接続腕(26)と、接続腕と接続され第1方向に伸びる第3幅(W3)の辺(22Y)と第2方向に伸びる第4幅(W4)の辺(22X)とを有する外枠部(22)と、を備え、支持腕の第2幅(W2)は振動腕の第1幅(W1)の1.4倍より小さい。
【選択図】 図2
Description
支持腕の第2幅は振動腕の第1幅の1.4倍より小さくすることで、周波数変動率Δf/fを下げ、安定した圧電振動を得ることができる。
外枠部の第1方向に伸びる辺の第3幅は第2方向に伸びる第4幅の1.1倍より大きくすることで、周波数変動率Δf/fが小さくて安定した振動を得ることができる。
水晶フレーム20を封入するためには、外枠部の第4幅は振動腕の第1幅以上の幅であることが好ましい。
第5の観点の圧電フレームは、支持腕の第2幅は振動腕の第1幅の1.4倍より小さい。
周波数変動率Δf/fが少なく安定した振動を得ることができる。
第8の観点の圧電デバイスは、蓋部の材質及びベースの材質は圧電材料であり、圧電フレームと蓋部及びベースとはシロキサン結合される。
水晶フレーム20は、同じ厚さで一体に形成されている水晶基板である。水晶フレーム20は図2に示すように音叉型圧電振動部21とフレーム部22と支持腕25とから構成されている。音叉型圧電振動部21は基部23及び振動腕24からなり、振動腕24には溝部27が形成されている。フレーム部22は長辺(Y軸方向)のY軸フレーム22Yと、短辺(X軸方向)のX軸フレーム22Xから構成されている。支持腕25は音叉型圧電振動部21の基部23からY軸方向に伸びている。音叉型圧電振動部21は支持腕25の端部でX軸方向に伸びる接続部26とで接続されている。なお、図2の水晶フレーム20には、図面を理解しやすいように励振電極及び基部電極を図示していない。電極については後述する。
W2≦1.4×W1 ・・・数式01
W3≧1.1×W4 ・・・数式02
W4≧1.0×W1 ・・・数式03
W3≧1.1×W1 ・・・数式04
G11≦W1 ・・・数式05
G12≒W1 ・・・数式06
図6は水晶フレーム20の電極の構成図である。水晶フレーム20はフレーム部22と基部23と支持腕25と接続部26との表面に第1基部電極41と第2基部電極42とが形成され、裏面にも同様に第1基部電極41と第2基部電極42とが形成されている。
水晶フレーム20を用い、リッド10とベース30とがガラスで形成された第1圧電デバイス100について、図面を参照して説明する。図7は第1圧電デバイス100の概略図である。
図7(b)は水晶フレーム20であり、フレーム部22の表面及び裏面に接続金属膜45を備える。接続金属膜45は、スパッタリング若しくは真空蒸着などの手法により形成する。接続金属膜45はアルミニュウム(Al)層から構成され、アルミニュウム層の厚みは1000Å〜1500Å程度とする。
水晶フレーム20を用い、リッド10とベース30とが水晶基板で形成された第2圧電デバイス110について、図面を参照して説明する。図8は第2圧電デバイス110の概略図を示している。
20 … 水晶フレーム
21 … 音叉型圧電振動部
22 … フレーム部、22X … X軸フレーム、22Y … Y軸フレーム
23 … 基部
24 … 振動腕、25 … 支持腕、26 … 接続部、27 … 溝部
30 … ベース、31 … 第1ベース、32 … ベース凹部
33 … 第1スルーホール、34 … 第2スルーホール
35 … 接着剤、40 … 錘金属膜
41 … 第1基部電極、42 … 第2基部電極
43 … 第1励振電極、44 … 第2励振電極
45 … 接続金属膜45
46 … 第1接続電極、47 … 第2接続電極
48 … 第1外部電極、49 … 第2外部電極
90 … 圧電デバイス
100 … 第1圧電デバイス、110 … 第2圧電デバイス
111 … 第2リッド、131 … 第2ベース
f … 設計周波数
G … 間隙
W … 幅
Δf … 周波数変動、Δf/f … 周波数変動率
Claims (8)
- 基部の一端側から第1方向に伸びる第1幅の一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動部と、
前記基部の前記一端側から且つ前記振動腕の両外側において前記第1方向に伸びる第2幅の一対の支持腕と、
前記一対の支持腕から前記第1方向と交差する第2方向に伸びる一対の接続腕と、
前記接続腕と接続され前記第1方向に伸びる第3幅の辺と前記第2方向に伸びる第4幅の辺とを有する外枠部と、を備え、
前記支持腕の第2幅は前記振動腕の第1幅の1.4倍より小さいことを特徴とする圧電フレーム。 - 前記外枠部の第1方向に伸びる辺の第3幅は前記振動腕の第1幅の1.1倍より大きいことを特徴とする請求項1に記載の圧電フレーム。
- 基部の一端側から第1方向に伸びる第1幅の一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動部と、
前記基部の前記一端側から且つ前記振動腕の両外側において前記第1方向に伸びる第2幅の一対の第1支持腕と、
前記一対の支持腕から前記第1方向と交差する第2方向に伸びる第2支持腕と、
前記音叉型圧電振動子を囲み、前記第1方向に伸びる第3幅の辺と前記第2方向に伸びる第4幅の辺とを有する外枠部と、を備え、
前記外枠部の第1方向に伸びる辺の第3幅は前記第2方向に伸びる第4幅の1.1倍より大きいことを特徴とする圧電フレーム。 - 前記外枠部の第2方向に伸びる第4幅は、前記振動腕の第1幅以上の幅であることを特徴とする請求項3に記載の圧電フレーム。
- 前記支持腕の第2幅は前記振動腕の第1幅の1.4倍より小さいことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の圧電フレーム。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の圧電フレームと、
この圧電フレームを覆う蓋部と、
前記圧電フレームを支えるとベースと、
を備えることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記蓋部の材質及び前記ベースの材質は金属イオンを含むガラスであり、
前記圧電フレームの外枠部はその周囲に金属膜が形成されており、
前記外枠部の金属膜と前記蓋部及び前記ベースとは陽極接合されることを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイス。 - 前記蓋部の材質及び前記ベースの材質は圧電材料であり、
前記圧電フレームと前記蓋部及び前記ベースとはシロキサン結合されることを特徴とする請求項6に記載の圧電デバイス。
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