JP4685910B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
以下、図面に基づいて本発明について詳しく説明する。図1は、本発明の第一圧電振動子100の構造を示す斜視図である。図1に示したように、本実施例に係る第一圧電振動子100は、リッド基板10と、チップ基板20と、ベース基板30とを順番に接合することにより形成される。この接合方式として、シロキサン結合方式(Si−O−Si)又は陽極接合方式を利用することもできる。
図3(a)は、第一圧電振動子100の第一変形例に係るチップ基板201の上面図で、図3(b)は、第一圧電振動子100の第二変形例に係るチップ基板202の上面図である。
以下、第二圧電振動子について説明する。第一圧電振動子100と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
以下、第三圧電振動子について説明する。第一圧電振動子100と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
11 … リッド用凹部
20 … チップ基板
21 … 外枠フレーム
30 … ベース基板
30 … ベース用凹部
40 … 圧電振動片
41 … 基部
42 … 振動腕
44 … 支持腕
45 … 接続部
46 … 基部突起物
47 … 支持腕突起物
48 … 振動腕突起物
90 … 従来技術に係る圧電デバイス
100 … 第一圧電振動子
Claims (11)
- リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲み第1方向に伸びた第1辺及び前記第1方向に直交する第2方向に伸びた第2辺から構成された矩形の外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端から前記第1方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕と、前記振動腕の前記第2方向の外側で前記基部から前記第1方向に伸び且つ前記第2方向に伸びて前記第1辺に接続する一対の支持腕とを備え、
前記基部に対向する前記第1辺の内側面には、前記第2方向に高さを有する基部緩衝部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記基部緩衝部は、前記基部の最先端と衝突しないように、前記基部の最先端を避けた位置に形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記基部緩衝部は前記基部の側面に対向し前記第1方向に対して傾いた平面を有しており、その基部緩衝部の前記傾いた平面は、前記支持腕と前記外枠フレームとの接続点から離れるに従い前記第2方向の高さが低くなるように形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電デバイス。
- リッド基板と、音叉型圧電振動片と前記音叉型圧電振動片を囲み第1方向に伸びた第1辺及び前記第1方向に直交する第2方向に伸びた第2辺から構成された矩形の外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板とを接合してなり、
前記音叉型圧電振動片は、基部と、前記基部の一端から前記第1方向に従って伸びた少なくとも一対の振動腕と、前記振動腕の前記第2方向の外側で前記基部から前記第1方向に伸び且つ前記第2方向に伸びて前記第1辺に接続する一対の支持腕とを備え、
前記外枠フレーム側の前記第1方向の前記基部の側面には、前記第2方向に高さを有する基部緩衝部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記支持腕に対応する第1方向の前記外枠フレームの内側面には、前記第2方向に高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記外枠フレーム側の前記支持腕の側面には、前記第2方向に高さを有する支持腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記支持腕緩衝部は前記支持腕の側面に対向し前記第1方向に対して傾いた平面を有しており、その支持腕緩衝部の前記傾いた平面は、前記支持腕と前記外枠フレームとの接続点から離れるに従い前記第2方向の高さが低くなるように形成されることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の圧電デバイス。
- 前記支持腕緩衝部の前記第2方向における高さは前記基部緩衝部の前記第2方向における高さより高いことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の圧電デバイス。
- 前記振動腕に対向する前記第1方向の前記外枠フレームの内側面には、前記第2方向に高さを有する振動腕緩衝部が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項8の何れか一項に記載の圧電デバイス。
- 前記振動腕緩衝部は、前記振動腕の最先端と衝突しないように、前記振動腕の最先端を避けた位置に形成されている請求項9に記載の圧電デバイス。
- 前記基部緩衝部は、前記第1方向と前記第2方向とに直交する方向から見て台形又は円形であることを特徴とする請求項1又は請求項4に記載の圧電デバイス。
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