JP2012023428A - 振動片、振動子及び発振器 - Google Patents

Abstract

【課題】耐衝撃特性が向上した振動片、この振動片を備えた、振動子及び発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、基部１０から延び、可撓性を有する第１保持部１２と、を備え、第１保持部１２は、振動腕１１ａの一方側に沿って振動腕１１ａの先端側に延びる第１腕部１２ａと、第１腕部１２ａから振動腕１１ａの延びる方向に対して交差する方向に沿って振動腕１１ａ，１１ｂの先端越しに延びる第２腕部１２ｂと、第２腕部１２ｂから振動腕１１ｂの他方側に沿って振動腕１１ｂの根元側に延びる第３腕部１２ｃと、を有し、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、平面視において、振動腕１１ａ，１１ｂが所定の変位量を超えた変位時に、振動腕１１ａ，１１ｂと接触するように、振動腕１１ａ，１１ｂとの間隔Ｗ２が設定されていることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器に関する。

特許文献１には、リッド基板と、音叉型圧電振動片と音叉型圧電振動片を囲む外枠フレームとを有するチップ基板と、ベース基板と、を接合してなる圧電デバイスが開示されている。
上記音叉型圧電振動片（以下、振動片という）は、基部と、基部の一端から所定方向に従って延びた少なくとも一対の振動腕とを備え、振動腕の外側に形成されている支持腕を介して外枠フレームと接続されている。
そして、外枠フレームの、基部と対応する内側面には、基部側に突出した基部緩衝部が形成されている。

特開２０１０−８７５７５号公報

特許文献１によれば、振動片は、落下などで衝撃力が加えられた場合に、衝撃力によって基部が変位して、外枠フレームの基部緩衝部と衝突することでストッパーとなり、衝撃力に起因する振動腕の先端部と外枠フレームとの衝突を回避できるとされている（特許文献１の図２参照）。
しかしながら、上記構成では、外枠フレーム（チップ基板）がリッド基板とベース基板とに接合されていることによって、外枠フレームの基部緩衝部が剛体となっている。
このことから、上記振動片は、基部が外枠フレームの基部緩衝部と衝突（接触）する際に、衝撃力の緩衝（緩和）が不十分となり、基部を含む基部近傍部分が損傷する虞がある。
これにより、上記振動片は、振動片全体として捉えた場合に、耐衝撃特性に関して更に向上させる必要がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部から延びる少なくとも１本の振動腕と、前記基部から延び、可撓性を有する保持部と、を備え、前記保持部は、前記振動腕の一方側に沿って前記振動腕の先端側に延びる第１腕部と、前記第１腕部から前記振動腕の延びる方向に対して交差する方向に沿って前記振動腕の前記先端越しに延びる第２腕部と、前記第２腕部から前記振動腕の他方側に沿って前記振動腕の根元側に延びる第３腕部と、を有し、前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方は、平面視において、前記振動腕が所定の変位量を超えた変位時に、前記振動腕と接触するように前記振動腕との間隔が設定されていることを特徴とする。

これによれば、振動片は、可撓性を有する保持部が、振動腕の先端側に延びる第１腕部と、第１腕部から振動腕の先端越しに延びる第２腕部と、第２腕部から振動腕の根元側に延びる第３腕部と、を有している。そして、第１腕部及び第３腕部の少なくとも一方は、振動腕が所定の変位量を超えた変位時に、振動腕と接触するように振動腕との間隔が設定されている。
このことから、振動片は、例えば、落下などにより衝撃力が加えられ、振動腕が所定の変位量（例えば、屈曲振動時の最大振幅）を超えて変位したときに、第１腕部及び第３腕部の少なくとも一方が振動腕に接触（衝突）する。
このとき、振動片は、保持部の可撓性（弾性）により、各腕部が振動腕と一緒に撓む（変位する）ことによって、振動腕に加わる衝撃力が緩衝（緩和）される。
この結果、振動片は、耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕などの損傷を低減することが可能となる。

［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方は、前記振動腕との間隔が、前記振動腕の先端に向かうに連れて広くなるように設定されていることが好ましい。

これによれば、振動片は、第１腕部及び第３腕部の少なくとも一方が、振動腕との間隔が、振動腕の先端に向かうに連れて広くなるように設定されている。
このことから、振動片は、第１腕部及び第３腕部の少なくとも一方が、振動腕と面接触することが可能となり、例えば、落下などにより衝撃力が加えられた場合に、衝撃力を分散させることができる。
この結果、振動片は、耐衝撃特性がより向上し、衝撃時における振動腕などの損傷をより低減することが可能となる。

［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記振動腕同士の間隔をＷ１、前記第１腕部と前記第１腕部に隣り合う前記振動腕との間隔及び前記第３腕部と前記第３腕部に隣り合う前記振動腕との間隔をＷ２としたときに、Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１であることが好ましい。

これによれば、振動片は、Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１であることから、Ｗ２が通常の振動範囲で各腕部と振動腕とが干渉するほど狭くなく、かつ必要以上に広くない。
この結果、振動片は、振動腕の通常の振動が阻害されることなく確実に耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕などの損傷を低減することが可能となる。

［適用例４］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕は、前記基部側に位置する腕部と、前記腕部より前記先端側に位置し前記腕部より幅が広い錘部と、を有し、前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方が、前記振動腕との接触時に、前記錘部と接触することが好ましい。

これによれば、振動片は、振動腕が基部側に位置する腕部と、腕部より先端側に位置し腕部より幅が広い錘部と、を有していることから、振動腕の先端側の質量が大きくなる。
換言すれば、錘部を備えた振動片は、錘部のない振動片に対して、Ｑ値（振動の状態を現す無次元数であって、この値が大きいほど振動が安定であることを意味する）に関して有利であっても耐衝撃特性に関して不利な形状となる。
しかしながら、本振動片は、第１腕部及び第３腕部の少なくとも一方が、質量の大きい錘部と接触し撓むことで、錘部に加わる衝撃力を緩衝（緩和）することが可能となる。
このことから、振動片は、振動腕が錘部を有している構成において、効果的に耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕などの損傷を低減することが可能となる。

［適用例５］本適用例にかかる振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片を備えたことから、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例６］本適用例にかかる発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片を備えたことから、耐衝撃特性を向上させることができる。

第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。 第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）、（ｃ）は（ａ）の断面図。 第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。

図１に示すように、振動片としての水晶振動片１は、水晶の原石などから所定の角度で切り出されたウエハー状の水晶基板を基材とし、外形形状がフォトリソグラフィ技術を用いたウエットエッチングなどによって形成されている。

水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から互いに沿って延びる一対の振動腕１１と、基部１０から延び、可撓性を有する保持部としての第１保持部１２と、を備えている。
基部１０には、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向（ここでは、略直交する方向）に沿って、両側から切り欠かれた一対の切り欠き部１３が形成されている。
振動腕１１は、基部１０側に位置する腕部１４と、腕部１４より先端側に位置し腕部１４より幅が広い錘部１５と、振動腕１１の延びる方向に沿って形成され、一対の振動腕１１の並ぶ方向（Ａ−Ａ線に沿った方向）に沿って切断された振動腕１１の断面形状が、略Ｈ字状となる溝部１６と、を有している。

第１保持部１２は、基部１０から振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向に突出して折れ曲がり、一対の振動腕１１の一方側（紙面左側）に沿って振動腕１１の先端側に延びる第１腕部１２ａと、第１腕部１２ａから振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向に沿って振動腕１１の先端越しに（紙面において振動腕１１の先端の上側を通過して）延びる第２腕部１２ｂと、第２腕部１２ｂから振動腕１１の他方側（紙面右側）に沿って振動腕１１の根元側に折り返して延びる第３腕部１２ｃと、を有している。

一方、一対の振動腕１１の他方側には、基部１０から振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向に突出して折れ曲がり、一対の振動腕１１の他方側に沿って振動腕１１の先端側に延びる第２保持部１７が形成されている。
なお、第２保持部１７は、水晶振動片１を収容するパッケージなどの外部部材の設計自由度を高めるなどのために、第１保持部１２の第１腕部１２ａより、かなり短く形成されている。

図１（ａ）に示すように、水晶振動片１は、一対（２本）の振動腕１１と、基部１０とを含んで音叉を構成することで、音叉型水晶振動片となっており、第１保持部１２、第２保持部１７の各保持部分１８（ここでは、３箇所）が、パッケージなどの外部部材に、導電性接着剤などを用いて固定されるようになっている。
そして、水晶振動片１は、一対の振動腕１１に形成された図示しない励振電極に、第１保持部１２、第２保持部１７に形成された図示しないマウント電極、及び基部１０に形成された図示しない引き出し電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕１１が、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で矢印Ｂ方向（一対の振動腕１１が互いに離れる方向）及び矢印Ｃ方向（一対の振動腕１１が互いに近づく方向）に交互に屈曲振動（共振）する。

この際、水晶振動片１は、振動腕１１に溝部１６が形成されていることで、屈曲振動によって発生する熱が、溝部１６によって拡散（熱伝導）し難くなるように構成されていることから、熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を抑制することが可能となっている。
また、水晶振動片１は、振動腕１１に錘部１５が形成されていることで、錘部１５の慣性質量の増加による共振周波数低減効果により、例えば、共振周波数を維持しながら振動腕を短くすることができる。
即ち、水晶振動片１は、錘部がない構造の水晶振動片と比較して、同じ共振周波数であれば、振動腕の長さを一定に保ちながら振動腕の腕幅を広げることが可能になることから、屈曲振動によって発生する熱の移動に要する時間が増大し、結果として熱弾性損失を低減すること、換言すればＱ値の向上を図ることが可能になる。
加えて、水晶振動片１は、基部１０に切り欠き部１３及び基部１０から延びる第１保持部１２、第２保持部１７を有することで、振動腕１１の屈曲振動に伴う外部への振動漏れを低減することができる。

ここで、第１保持部１２について詳述する。
なお、以降の説明で一対の振動腕１１を個々に表す必要がある場合には、一方側（紙面左側、第１腕部１２ａ側）を１１ａとし、他方側（紙面右側、第３腕部１２ｃ側）を１１ｂとする。
第１保持部１２の第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃは、振動腕１１が所定の変位量（例えば、屈曲振動時の最大振幅）を超えた変位時（例えば、振動腕１１の延びる方向に対して略直交する矢印Ｄ方向の落下衝撃時）に、振動腕１１の錘部１５と接触するように、第１腕部１２ａと振動腕１１ａの錘部１５との間隔及び第３腕部１２ｃと振動腕１１ｂの錘部１５との間隔が設定されている。
ここで、上記間隔は、振動腕１１の先端に向かうに連れて広くなるように設定されていることが好ましい。

上記間隔について詳述すると、水晶振動片１は、振動腕１１ａ，１１ｂ同士の間隔をＷ１、第１腕部１２ａと第１腕部１２ａに隣り合う一方側の振動腕１１ａとの間隔及び第３腕部１２ｃと第３腕部１２ｃに隣り合う他方側の振動腕１１ｂとの間隔をＷ２としたときに、Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１であることが好ましい。
通常、振動腕１１ａ，１１ｂ同士の間隔Ｗ１は、小型化の観点などから、互いに干渉しない範囲で、設計上可能な限り狭く設定される。しかしながら、振動腕１１ａ，１１ｂ同士の間隔Ｗ１は、加工上の制約、例えば、ウエットエッチングにおけるエッチング能力上の制約などから、上記設定より広く設定される場合がある。
水晶振動片１は、これらの要因などを勘案して、Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１が導出されている。

なお、水晶振動片１は、ウエットエッチング工程において、錘部１５の一方側と他方側とで、Ｗ１とＷ２との寸法差に起因するエッチング速度差が発生し、錘部１５の形状精度（バランス）に影響が生じる虞を回避するために、Ｗ１とＷ２との寸法差を小さくすることが好ましい。

ここで、Ｗ２は、各腕部１２ａ，１２ｃと錘部１５との間隔が、振動腕１１の先端に向かうに連れて広くなるように設定されている場合には、錘部１５の根元側における間隔（狭い方の間隔）のことをいう。
また、各腕部１２ａ，１２ｃと錘部１５との間隔が、振動腕１１の先端に向かうに連れて広くなるように設定されている場合におけるＷ２からの広がりの程度は、一例として、振動腕１１ａ，１１ｂが落下衝撃時に撓む際の、錘部１５を含む先端部分の回転中心を想定し、その回転中心に基づいて振動腕１１ａ，１１ｂをＷ２相当分回転させたときの各錘部１５の傾き具合に合わせて設定する。
さらに正確を期す場合には、有限要素法などに基づいたシミュレーションによって、落下衝撃時の各錘部１５の挙動を解析して設定してもよい。

上述したように、第１実施形態の水晶振動片１は、平面視において、振動腕１１が所定の変位量を超えた変位時に、第１保持部１２の第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、振動腕１１と接触するように振動腕１１との間隔Ｗ２が設定されている。
このことから、水晶振動片１は、例えば、落下（矢印Ｄ方向の落下）などにより衝撃力が加えられ、振動腕１１が所定の変位量（例えば、屈曲振動時の最大振幅）を超えて変位したときに、一方側（紙面左側）では、第１腕部１２ａの側面と振動腕１１ａの錘部１５の側面とが接触（衝突）し、他方側（紙面右側）では、第３腕部１２ｃの側面と振動腕１１ｂの錘部１５の側面とが接触（衝突）する。

このとき、水晶振動片１は、第１保持部１２の可撓性（弾性）により、各腕部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが振動腕１１（錘部１５）と一緒に撓む（変位する）ことによって、振動腕１１（錘部１５）に加わる衝撃力が緩衝（緩和）される。
この結果、水晶振動片１は、耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕１１（腕部１４、錘部１５）などの損傷を低減することが可能となる。

なお、第１保持部１２は、第１腕部１２ａの保持部分１８で外部部材に固定されていても、保持部分１８から振動腕１１ａの錘部１５が接触する部分までの距離が、片持ち梁として機能する程度に確保されていることで、第１腕部１２ａにおいて可撓性（弾性）が発揮される。
また、第３腕部１２ｃは、第１腕部１２ａの保持部分１８からの片持ち梁としての腕長さが長いことから、衝撃力に対する緩衝（緩和）能力が第１腕部１２ａより高くなり得る。

加えて、水晶振動片１は、第１腕部１２ａと振動腕１１ａの錘部１５との間隔及び第３腕部１２ｃと振動腕１１ｂの錘部１５との間隔が、振動腕１１の先端に向かうに連れて広くなるように設定されている。
このことから、水晶振動片１は、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、振動腕１１ａ，１１ｂと面接触することが可能となり、例えば、落下などにより衝撃力が加えられた場合に、衝撃力を分散させることができる。
この結果、水晶振動片１は、耐衝撃特性がより向上し、衝撃時における振動腕１１などの損傷をより低減することが可能となる。

また、水晶振動片１は、Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１であることから、各腕部１２ａ，１２ｃと振動腕１１ａ，１１ｂとの間隔Ｗ２が、通常の屈曲振動の範囲で各腕部１２ａ，１２ｃと振動腕１１ａ，１１ｂとが干渉するほど狭くなく、かつ必要以上に広くない。
この結果、水晶振動片１は、振動腕１１の通常の屈曲振動が阻害されることなく確実に耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕１１などの損傷を低減することが可能となる。

また、水晶振動片１は、振動腕１１が基部１０側に位置する腕部１４と、腕部１４より先端側に位置し腕部１４より幅が広い錘部１５と、を有していることから、振動腕１１の先端側の質量が大きくなる構成となっている。
換言すれば、錘部１５を備えた水晶振動片１は、錘部１５のない他の水晶振動片に対して、Ｑ値に関して有利であっても耐衝撃特性に関して不利な形状となっている。
しかしながら、水晶振動片１は、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、質量の大きい錘部１５と接触し一緒に撓むことによって、錘部１５に加わる衝撃力を緩衝（緩和）することが可能となる。
このことから、水晶振動片１は、振動腕１１が錘部１５を有している構成において、効果的に耐衝撃特性が向上し、衝撃時における振動腕１１（錘部１５）などの損傷を低減することが可能となる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた振動子について説明する。
図２は、第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。なお、平面図では、蓋体を省略してある。

図２に示すように、振動子としての水晶振動子５は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
パッケージ８０は、パッケージベース８１、シームリング８２、蓋体８５などから構成されている。
パッケージベース８１は、水晶振動片１を収容できるように凹部が形成され、その凹部に、水晶振動片１の各保持部分１８を含んだ範囲に形成された図示しないマウント電極と接続される接続パッド８８が設けられている。
接続パッド８８は、パッケージベース８１内の配線に接続され、パッケージベース８１の外周部に設けられた外部接続端子８３と導通可能に構成されている。

パッケージベース８１の凹部の周囲には、シームリング８２が設けられている。さらに、パッケージベース８１の凹部の、平面視において、水晶振動片１と重ならない部分には、底部から一段高い段部が形成され、段付きの貫通穴８６が設けられている。
水晶振動片１は、パッケージベース８１の接続パッド８８に導電性接着剤８４を介して接着固定されている。そして、パッケージ８０は、パッケージベース８１の凹部を覆う蓋体８５とシームリング８２とがシーム溶接されている。
パッケージベース８１の貫通穴８６には、金属材料などからなる封止材８７が充填されている。この封止材８７は、減圧雰囲気内で溶融後固化され、パッケージベース８１内が減圧状態を保持できるように、貫通穴８６を気密に封止している。
水晶振動子５は、外部接続端子８３を介した外部からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。

上述したように、水晶振動子５は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。

（第３実施形態）
次に、第３実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた発振器について説明する。
図３は、第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。なお、平面図では、蓋体を省略してある。

発振器としての水晶発振器６は、上記水晶振動子５の構成に回路素子をさらに備えた構成となっている。なお、水晶振動子５との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図３に示すように、水晶発振器６は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させる発振回路を有する回路素子としてのＩＣチップ９１と、水晶振動片１及びＩＣチップ９１を収容するパッケージ１８０と、を備えている。
ＩＣチップ９１は、パッケージベース１８１の底部に固着され、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー９２により他の配線と接続されている。
水晶振動片１は、パッケージベース１８１の底部から一段高いマウント部１８９に設けられた接続パッド８８に、導電性接着剤８４を介して接着固定されている。
これにより、水晶振動片１は、ＩＣチップ９１との干渉が回避されている。
水晶発振器６は、ＩＣチップ９１の発振回路からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。

上述したように、水晶発振器６は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。

なお、上記各実施形態において、水晶振動片１の第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃと錘部１５との間隔は、振動腕１１の先端に向かうに連れて広くなるように設定されていなくてもよく、例えば、一定であってもよい。
また、水晶振動片１は、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃの両方ではなく、第１腕部１２ａまたは第３腕部１２ｃが、錘部１５と接触するように構成されていてもよい。
なお、上記各実施形態において、水晶振動片１の切り欠き部１３、錘部１５、溝部１６は、なくてもよい。また、溝部１６は、各振動腕１１ａ，１１ｂの片側だけに形成されていてもよい。
また、水晶振動片１の振動腕１１の数は、２本としたが、これに限定するものではなく、１本、または３本以上でもよい。

なお、上記各実施形態では、振動片を水晶としたが、これに限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を被膜として備えたシリコンなどであってもよい。

１…振動片としての水晶振動片、５…振動子としての水晶振動子、６…発振器としての水晶発振器、１０…基部、１１…一対の振動腕、１１ａ，１１ｂ…振動腕、１２…保持部としての第１保持部、１２ａ…第１腕部、１２ｂ…第２腕部、１２ｃ…第３腕部、１３…切り欠き部、１４…腕部、１５…錘部、１６…溝部、１７…第２保持部、１８…保持部分、８０…パッケージ、８１…パッケージベース、８２…シームリング、８３…外部接続端子、８４…導電性接着剤、８５…蓋体、８６…貫通穴、８７…封止材、８８…接続パッド、９１…回路素子としてのＩＣチップ、９２…金属ワイヤー、１８０…パッケージ、１８１…パッケージベース、１８９…マウント部、Ｗ１…振動腕間の間隔、Ｗ２…第１腕部及第３腕部と振動腕との間隔。

Claims (6)

1. 基部と、
   前記基部から延びる少なくとも１本の振動腕と、
   前記基部から延び、可撓性を有する保持部と、を備え、
   前記保持部は、前記振動腕の一方側に沿って前記振動腕の先端側に延びる第１腕部と、 前記第１腕部から前記振動腕の延びる方向に対して交差する方向に沿って前記振動腕の前記先端越しに延びる第２腕部と、
   前記第２腕部から前記振動腕の他方側に沿って前記振動腕の根元側に延びる第３腕部と、を有し、
   前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方は、平面視において、前記振動腕が所定の変位量を超えた変位時に、前記振動腕と接触するように前記振動腕との間隔が設定されていることを特徴とする振動片。
2. 請求項１に記載の振動片において、前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方は、前記振動腕との間隔が、前記振動腕の先端に向かうに連れて広くなるように設定されていることを特徴とする振動片。
3. 請求項１または請求項２に記載の振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記振動腕同士の間隔をＷ１、前記第１腕部と前記第１腕部に隣り合う前記振動腕との間隔及び前記第３腕部と前記第３腕部に隣り合う前記振動腕との間隔をＷ２としたときに、
   Ｗ１／２≦Ｗ２≦Ｗ１であることを特徴とする振動片。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動片において、前記振動腕は、前記基部側に位置する腕部と、前記腕部より前記先端側に位置し前記腕部より幅が広い錘部と、を有し、
   前記第１腕部及び前記第３腕部の少なくとも一方が、前記振動腕との接触時に、前記錘部と接触することを特徴とする振動片。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
   前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
   前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、
   前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする発振器。

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