JP2008096420A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 検出軸方向の物理量の大きさを検出する検出素子と、
   前記検出素子の略中央を支持する可撓性を有する複数の支持部材と、
   前記検出素子及び前記支持部材を収納するパッケージ用基板と、を備え、
   前記複数の支持部材の延長方向をＸ軸、前記検出素子の平面内において直交する軸をＹ軸、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに直交する軸をＺ軸としたときに、
   前記支持部材に加わる前記検出素子のＹ軸方向の荷重成分が前記複数の支持部材において略同一であり、且つ、前記Ｚ軸方向の荷重成分が前記複数の支持部材間において略同一であることを特徴とする慣性センサ。
2. 前記検出素子は、角速度を検出する検出軸が前記Ｚ軸方向で、且つ、前記Ｚ軸と鉛直方向との成す角がθであり、
   前記Ｙ軸方向の荷重成分と前記Ｚ軸方向の荷重成分とを合成した荷重成分が少なくとも重力加速度に基づく荷重成分であることを特徴とする請求項１に記載の慣性センサ。
3. 当該慣性センサの短辺方向を傾斜させることにより前記Ｚ軸と前記鉛直方向とのなす角がθとなるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の慣性センサ。
4. 請求項１乃至３に記載の慣性センサと、
   該慣性センサと電気的に接続される複数リード端子と、
   前記慣性センサを収納するモールドパッケージと、
   を備えたことを特徴とする慣性センサ装置。
5. 前記モールドパッケージが、該モールドパッケージの一部分から前記モールドパッケージの底面方向に向かって伸びるリード端子と、前記一部分と対向する前記モールドパッケージの一部分から前記リード端子より長いリード端子を前記モールドパッケージの底面方向に向かって伸びる構成を有し、前記長いリード端子は前記モールドパッケージ側に向けて複数の屈折部を有するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の慣性センサ装置。
6. 検出軸方向の物理量の大きさを検出する検出素子と、
   前記検出素子を収納するパッケージ用基板と、を備え、
   前記パッケージ用基板の外底面が平坦であると共に、該外底面の形状が短辺と長辺とを有する矩形であり、且つ、前記外底面には実装接続する為の電極端子を有し、
   パッケージ用基板は、前記外底面の短辺方向が傾斜した状態で前記電極端子を実装接続されるものであることを特徴とする慣性センサ。