CN102066873A - 用于形成安装有惯性传感器的电子组件的方法和系统 - Google Patents

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Abstract

提供用于形成电子组件的系统和方法。将具有第一传感轴线的第一惯性传感器附接到支架。将具有第二传感轴线的第二惯性传感器附接到所述支架，使得所述第二传感轴线大致正交于所述第一传感轴线。将所述支架附接到电路板，至少一个微电子设备安装到所述电路板。

Description

用于形成安装有惯性传感器的电子组件的方法和系统
技术领域
本发明大致涉及电子组件，例如惯性测量单元(IMU)，更具体地，涉及一种用于形成安装有多个惯性传感器的电子组件的方法和系统。
背景技术
诸如微机电系统(MEMS)设备这样的惯性传感器被用于在许多种现代机器(包括各种类型的陆地交通工具、飞机和船只)中检测运动。这种交通工具常常包括已知为“惯性测量单元”(IMU)的子系统，所述惯性测量单元包含惯性传感器本身，以及常安装于电路板的各种电子部件，用于分析由惯性传感器产生的信号并与交通工具中的其它电系统联接。
通常，IMU包括设置为检测交通工具相对于三个互相正交的轴线(即，x、y、z轴线)的运动的MEMS惯性传感器。这样，为了适当工作，MEMS设备通常布置成使得每个的“传感轴线”(即，相对于其而对运动进行检测的轴线)正交于其它类似MEMS设备的传感轴线。
除了在一般意义上，在IMU中安装MEMS通常涉及在几乎不考虑MEMS设备传感轴线的精确布置的情况下将MEMS设备直接安装于电路板。在已组装IMU之后，MEMS设备的安装经常需要实质性的调整(例如，通常通过采用软件和精密速率转台)以确保传感轴线的正交布置。这些调整会非常耗时并显著增加IMU的总制造成本。
因此，需要提供一种用于在IMU中安装惯性传感器的方法和系统，其有助于适当安装惯性传感器从而适当布置传感轴线。进一步地，联系本发明的附图及背景技术，本发明的其它值得期待的特征和特性会从以下本发明的详细说明和所附权利要求变得明显。
发明内容
提供了一种形成电子组件的方法。将具有第一传感轴线的第一惯性传感器附接到支架。将具有第二传感轴线的第二惯性传感器附接到所述支架，使得所述第二传感轴线大致正交于所述第一传感轴线。将所述支架附接到电路板，至少一个微电子设备安装到所述电路板。
提供了一种构造惯性测量单元的方法。首先，将分别具有第一、第二和第三传感轴线的第一、第二和第三微机电系统(MEMS)惯性传感器附接到支架，使得所述第一、第二和第三传感轴线大致正交。将分别具有第四、第五和第六传感轴线的第四、第五和第六MEMS惯性传感器附接到所述支架，使得所述第四、第五和第六传感轴线分别大致平行于第一、第二和第三传感轴线。将所述支架附接到电路板，至少一个集成电路安装到所述电路板，使得所述第一、第二、第三、第四、第五和第六MEMS惯性传感器与所述至少一个集成电路可操作地联通(或通信)。
提供了一种惯性测量单元。所述惯性测量单元包括电路板、在所述电路板上形成的多个导电迹线、安装到所述电路板并电连接到所述导电迹线的集成电路、以及传感器组件。所述传感器组件包括连接到所述电路板的支架。第一MEMS惯性传感器连接到所述支架并具有第一传感轴线。第二MEMS惯性传感器连接到所述支架并具有第二传感轴线。所述第二传感轴线大致正交于所述第一传感轴线。多个导电引线电连接到所述第一和第二MEMS惯性传感器和所述导电迹线，使得所述第一和第二MEMS惯性传感器通过所述导电迹线与集成电路可操作地联通(或通信)。
附图说明
以下将联系附图说明本发明，其中相同的附图标记表示相同的元件，并且：
图1和图2是根据本发明一个实施例的惯性传感器组件的等距视图；
图3是包括图1和图2的惯性传感器组件的惯性测量单元印刷线路板(PWB)的等距视图；
图4和图5是根据本发明另一个实施例的惯性传感器组件的等距视图；
图6和图7是图4和图5的惯性传感器组件内的支架的等距视图；
图8是包括图4和图5的惯性传感器组件的惯性测量单元PWB的等距视图；
图9是可用在图1、图2、图4和图5的惯性传感器组件中的示例性微机电系统(MEMS)陀螺仪的平面图；以及
图10是可用在图1、图2、图4和图5的惯性传感器组件中的示例性MEMS加速度计的平面图。
具体实施方式
以下具体实施方式在本质上是示例性的，并不意图着限制本发明或本发明的应用和使用。此外，也不意图由之前技术领域、背景技术和发明内容以及以下具体实施方式中任何明确表达的或隐含的理论所限制。应理解，在这里所示和所述的具体实施方式是对本发明的说明及其最佳模式，并不意图以任何方式限制本发明的范围。应理解图1-8只是示意性的而可能不是按比例绘制。进一步地，在几个附图中，根据不同的实施例，示出包括x、y、z轴线和/或方向的笛卡尔坐标系以阐明部件的相对取向。但是，这种坐标系只是为了帮助理解本发明的各方面，而不应解释为限制性的。
图1到图8示出用于形成如惯性测量单元(IMU)这样的电子组件的方法和系统。具有第一传感轴线的第一惯性传感器附接到支架。具有第二传感轴线的第二惯性传感器附接到该支架，使得第二传感轴线大致正交于第一传感轴线。该支架附接到电路板，至少一个微电子设备安装于所述电路板。
具有第三传感轴线的第三惯性传感器也可附接到该支架，使得第三传感轴线大致正交于第一和第二传感轴线。第一、第二和第三惯性传感器的附接可发生在支架附接到电路板之前。第一、第二和第三惯性传感器可为微机电系统(MEMS)设备，例如MEMS陀螺仪或MEMS加速度计。
在第一、第二和第三惯性传感器是MEMS陀螺仪的实施例中，诸如MEMS加速度计这样的第四、第五和第六惯性传感器可附接到支架，使得它们的传感轴线相互正交。
图1和图2示出了根据本发明一个实施例的惯性传感器组件20。惯性传感器组件20包括直角支架22和三个传感器子组件24。支架22基本上是“三面直角”形，并包括底板(或侧)26以及两个侧板28和30。每个板(或侧)26、28和30是大致方形，其侧边长32是例如大约2英寸(但也可使用更小的板)。侧28和30与底侧26一起形成直角支座，其中底板26和侧板28和30大致正交。各侧26、28和30包括多个附接构造34，例如开口和突起。在一个实施例中，支架22是塑料、聚合树脂、陶瓷或复合材料的模塑件。
每个传感器子组件24包括第一惯性传感器36、第二惯性传感器38、柔性带部(或件)40，以及安装夹42。如图所示，每个传感器子组件24安装到支架22的相应一个板26、28和30，子组件24中的一个安放于底板26的上侧上，而其它子组件24安装到侧板28和30的外侧。在每个子组件24内，夹42与支架22上的附接构造34匹配以将惯性传感器36和38以及柔性带部40固定于支架22。
尽管在图1和图2中没有具体示出，但第一惯性传感器36分别位于板26、28或30与第二惯性传感器38之间。柔性带部40位于各自第一和第二惯性传感器36之间并与其相邻。第一惯性传感器36每个均具有第一传感轴线44，第二传感器38每个均具有第二传感轴线46。在一个实施例中，第一惯性传感器36是MEMS陀螺仪，第二惯性传感器38是MEMS加速度计。尽管未具体示出，但第一和第二传感器36可如公知的那样被装入密封封装中。
如图1和图2所示，惯性传感器36和38被布置成使得第一传感轴线44互相正交并且第二传感轴线46互相正交。更具体地，连接到底板26的第一惯性传感器36的传感轴线44大致平行于x轴线。类似地，连接到侧板30的第一惯性传感器36的传感轴线44大致平行于y轴线，并且连接到侧板28的第一惯性传感器36的传感轴线44大致平行于z轴线。
类似地，连接到底板26的第二惯性传感器38的第二传感轴线46大致平行于z轴线。连接到侧板30的第二惯性传感器48的传感轴线46大致平行于x轴线，并且连接到侧板28的第二惯性传感器的第二传感轴线46大致平行于y轴线。
尽管未具体示出，但柔性带40的每部分的宽度类似于第一惯性传感器36的宽度，并且如公知的那样包括嵌入在其内的多个导电引线或迹线48。柔性带部40内的导电迹线48电连接到各自传感器子组件24内的第一和第二惯性传感器36和38两者。柔性带部40可大致由柔性的绝缘材料，例如聚酰胺组成。在一个实施例中，传感器子组件24在安装到电路板上之前连接到如图1和图2所示的支架22，如下所述。
图3示出了根据本发明一个实施例的惯性测量单元(或系统)(IMU)50。IMU 50包括电路板(或印刷线路板(PWB))52以及安装于电路板52的传感器组件20。如公知的，电路板52大致由绝缘材料(例如塑料、聚合树脂、陶瓷或复合材料)的平板组成。在一个实施例中，该平板由与支架22相同的材料制成，这使得支架22和电路板52具有相匹配的热膨胀系数(CTE)。电路板52是大致方形并也包括导电迹线54、电子部件56(包括微处理器58)和紧固件60。导电迹线54形成在电路板52上或嵌入在电路板52内，并在电子部件56与传感器组件20之间延伸。尽管未示出，IMU还可包括外壳和电连接器。
电子部件56使用例如焊球附接到电路板52，焊球将微处理器58和其它部件56电连接到导电迹线54的第一部分或端部。微处理器58可包括响应于程序指令而操作的许多已知通用微处理器(或专用处理器)的任意一个以及存储器，其可被包括在电子部件56内。该存储器可包括在其上(或在其它计算机可读媒介上)存有指令的随机访问存储器(RAM)和/或只读存储器(ROM)，用于执行以下所述过程和方法。应理解，除了可编程处理器外，还可用各种其它电路来实现微处理器58。例如，也可采用数字逻辑电路和模拟信号处理电路。
尽管未在图3中详细示出，但导电迹线54在电路板52上延伸到柔性带部40，并与柔性带部40中的迹线48电接触。如此，图1和图2中所示的第一和第二惯性传感器36和38就处于与微处理器58和其它电子部件56的可操作联通(或通信)中。
操作过程中，IMU 50安装在例如交通工具中，如汽车或飞行器。如本领域技术人员将理解的，第一和第二惯性传感器36和38产生信号，该信号代表了IMU 50、传感器组件20、和/或交通工具相对于各种惯性传感器36和38的第一和第二传感轴线44和46的各种运动。微处理器58通过迹线54接收信号，并且例如由从所有惯性传感器36和38接收到的信息计算IMU 50的总的运动。
图4和图5示出了根据本发明另一实施例的传感器组件62。传感器组件62包括支架64和三个传感器子组件66。
图6和图7示出移除了传感器子组件66的支架64。通常，支架64的形状类似于图1-3所示支架22，并包括相互正交的底板68以及侧板70和72。在底板68的顶表面上以及在侧板70、72的外表面上形成对准凹部74。多个传感器接触构造76(例如焊球)位于对准凹部74(或形成在对准凹部74内)，并位于板68、70和72的相对侧的中间部。具体参照图6，多个电路板接触构造78位于底板68的底表面的外部。仍参照图6，板68、70和72包括多个导电迹线(或引线)80，其将每个传感器接触构造76与底板68底表面上的电路板接触构造78中相应的一个电互联。
再次参照图4和图5，传感器子组件66各自包括类似于图1和图2所示和以上所述的第一惯性传感器82和第二惯性传感器84。联合参照图4、图5、图6和图7，第一惯性传感器82定位于底板68的顶表面上以及侧板70、72的外表面上的对准凹部74内。第二惯性传感器84分别连接到侧板70和72的内表面上以及底板68的底表面上的传感器接触构造76。如公知的，第一和第二惯性传感器82和84可通过部分软熔接触构造76而附接到支架64，如公知的那样。
以与以上所述类似的方式，第一惯性传感器82具有第一传感轴线86，第二惯性传感器84具有第二传感轴线88。与图1和图2所示实施例一样，惯性传感器82和84布置成使得第一传感轴线86互相正交，第二传感轴线88也一样。更具体地，底板68上的第一惯性传感器82的传感轴线86大致平行于x轴线。侧板70上的第一惯性传感器82的传感轴线86大致平行于z轴线。侧板72上的第一惯性传感器82的传感轴线86大致平行于y轴线。
类似地，底板68上的第二惯性传感器84的传感轴线88大致平行于z轴线。侧板70上的第二惯性传感器84的传感轴线88大致平行于y轴线。侧板72上的第二惯性传感器84的传感轴线88大致平行于x轴线。
图8示出根据本发明另一实施例的IMU 90。IMU 90包括电路板(或印刷线路板)92以及安装到电路板92的图4和图5的传感器组件62。电路板92可类似于图3中所示的电路板，并也包括导电迹线94、电子部件96(包括微处理器98)和紧固件100。导电迹线94形成在电路板92上或嵌入在电路板92内，并在电子部件96与传感器组件62之间延伸。电子部件96使用例如焊球而附接到电路板92，焊球将电子部件56电连接到导电迹线54的第一部分或端部。尽管未详细示出，但导电迹线94在电路板92上延伸到传感器组件62，并与图6中所示电路板接触构造78电接触。这样，图4和图5中所示第一和第二惯性传感器82和84处于与电子部件96的可操作联通中。
操作过程中，IMU 90安装在例如交通工具中，如汽车或飞行器。如本领域技术人员将理解，第一和第二惯性传感器82和84产生信号，该信号代表了传感器组件62(或交通工具)相对于各种惯性传感器82和84的第一和第二传感轴线86和88的各种运动。微处理器58通过迹线94接收信号，并且例如由从所有惯性传感器82和84接收到的信息计算IMU 90的总的运动。
上述方法和系统的一个优势是有利于惯性传感器的传感轴线的适当对准。更具体地，由于支架的形状，在安装到IMU中(或附接到电路板)之前惯性传感器的传感轴线大致正交。结果，在安装到IMU中之后，对惯性传感器的相对取向所做的调整被最小化。如此，完成IMU所需的时间减少，IMU的总制造成本也减少。另一个优势是至少一个实施例中的传感器组件利用陀螺仪和加速度计，这两者都安装于支架。如此，该传感器组件能准确检测相对于传感轴线的旋转和加速度两者。
而且，由于支架的形状简单(即，由板制成)，其尺寸和重量被最小化，因此制造成本也被最小化。采用密封的惯性传感器使得能够在使用支架的同时仍保护MEMS设备不受环境影响。图4-8中所示实施例的另一个优势是，由于接触构造位于支架上，所以可如公知的那样用标准化的自动“取放”机器将惯性传感器安放到支架上，并且将支架安放到电路板上，这进一步减少了制造成本和时间。
图9示出了根据本发明一个实施例的图1和图2中的第一惯性传感器36(和/或图4和图5中的第一惯性传感器82)。在一个实施例中，第一惯性传感器36是微机电系统(MEMS)陀螺仪。尽管图8示出MEMS陀螺仪为音叉陀螺仪，但也可采用利用科里奥利加速度检测旋转的其它MEMS振动陀螺仪，例如角速率传感陀螺仪。第一惯性传感器36可形成在基底102上，并可包括检测质量(proof mass)104和106、多个(例如8个)支撑梁108、横梁110和112、电机驱动梳114和116、电机拾取梳(motor pickoff comb)118和120、传感板122和124以及锚126和128。
检测质量104和106可为适用于MEMS陀螺仪系统的任何物质。在优选的实施例中，检测质量104和106是硅板。也可采用与显微机械加工技术兼容的其它材料。尽管图8示出两个检测质量，但也可采用其它数量的检测质量。检测质量104和106分别大致位于电机驱动梳114和116与电机拾取梳118和120之间。检测质量104和106包括朝电机驱动梳114和116以及电机拾取梳118和120延伸的多个(例如10个)梳状电极。在一个实施例中，检测质量104和106被支撑梁108支撑在传感板122和124上方。
支撑梁108可由硅晶片显微机械加工而成，并可起到允许检测质量104和106在驱动平面(例如，x轴线)和传感平面(例如z轴线)内移动的弹簧的作用。支撑梁108连接到横梁110和112。横梁110和112连接到锚126和128，锚126和128进而连接到基底102，从而为MEMS陀螺仪提供支撑。
电机驱动梳114和116包括朝检测质量104和106延伸的多个梳状电极。电机驱动梳114和116上的电极数量可由检测质量104和106上的电极数量确定。电机驱动梳114和116以及检测质量104和106的梳状电极可共同形成电容器。电机驱动梳114和116可连接到驱动电子器件(未示出)，驱动电子器件通过利用由电极形成的电容器使得检测质量104和106沿驱动平面振荡。
电机拾取梳118和120包括朝检测质量104和106延伸的多个梳状电极。电机拾取梳118和120上的电极数量可由检测质量104和106上的电极数量确定。电机驱动梳114和116以及检测质量104和106的梳状电极可共同形成电容器，该电容器使得MEMS陀螺仪能感测驱动平面中的运动。
传感板122和124可与检测质量104和106形成并联电容器。如果在检测质量104和106沿x轴线振荡的同时对MEMS陀螺仪绕y轴线施加角速率输入，则并联电容器可将科里奥利力检测为z轴线上的位移或运动。MEMS陀螺仪的输出可为与电容变化成比例的信号。如果对传感板122和124施加传感偏置电压，则该信号可为电流。传感板122和124可被连接到传感电子器件，传感电子器件在检测质量104和106朝向和/或远离传感板122和124运动时检测电容中的变化。
图10示出了根据本发明一个实施例的图1和图2中的第二惯性传感器38(和/或图4和图5中的第二惯性传感器84)。在一个实施例中，第二惯性传感器84是MEMS加速度计，具体地，是构造成常规的中摆铰接的或“跷跷板”型加速度计的电容拾取传感器(capacitive pick-off sensor)。该加速度计包括一对静止基底130和132(基底132被透明地示出)和悬垂摆动的加速度传感元件134，通常被称作“摆”或“检测质量”。
基底130和132相互隔开，且每个均具有沉积在一个表面上的预定构造的多个金属电极层136和138，以形成各自的电容器电极或“板”。这是多叠层板的一个例子。电极元件中的一个电极元件用作激励电极以接收激发信号，另一个电极元件用作反馈电极，用于静电再平衡。当反馈信号叠加在激励信号上时，单一组的电极元件既用作激励电极又用作反馈电极。
悬垂摆动的加速度传感元件134被位于高位附接点142处的一个或多个可旋转屈曲部(flexure)140挠性悬挂在基底130和132之间，以便绕支点或铰链轴线h摆动旋转，以与电极元件136和138形成不同的电容器组。加速度传感元件134响应其相对于静止激励电极136和138的位置变化的运动导致了拾取电容中的变化。该拾取电容中的变化指示加速度。
在这种加速度传感器设备中，由激励电极136(或138)和可运动传感元件134形成的电容反比于电极136和138与构造在高位附接点142上时的悬垂摆动的加速度传感元件134之间的距离。
尽管在之前详细说明中展示出至少一个示范实施例，但应理解的是，存在大量的变化。应理解的是，一个或多个示范实施例只是例子，不意味着以任何方式限制本发明的范围、应用或构造。相反，前述详细说明将为本领域技术人员提供实施一个或多个示范实施例的方便路径图。应理解，在不背离本发明如所述权利要求及法律等同物所阐释的范围的情况下，可在元件的功能和布置上做出各种改变。

Claims (20)

1.一种用于形成电子组件的方法，包括：
将具有第一传感轴线的第一惯性传感器附接到支架；
将具有第二传感轴线的第二惯性传感器附接到所述支架，使得所述第二传感轴线大致正交于所述第一传感轴线；以及
将所述支架附接到电路板，至少一个微电子设备安装到所述电路板。
2.如权利要求1所述的方法，进一步包括将具有第三传感轴线的第三惯性传感器附接到所述支架，使得所述第三传感轴线大致正交于所述第一和第二传感轴线。
3.如权利要求2所述的方法，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器中的至少若干个到所述支架的所述附接发生在所述支架到所述电路板的所述附接之前。
4.如权利要求3所述的方法，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器到所述支架的所述附接发生在所述支架到所述电路板的所述附接之前。
5.如权利要求4所述的方法，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器的每一个均是微机电系统MEMS设备。
6.如权利要求5所述的方法，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器的每一个均是MEMS陀螺仪或MEMS加速度计。
7.如权利要求5所述的方法，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器是MEMS陀螺仪。
8.如权利要求7所述的方法，进一步包括，在所述支架附接到所述电路板之前，将具有第四传感轴线的第四惯性传感器附接到所述支架，使得所述第四传感轴线大致平行于所述第一传感轴线并大致正交于所述第二和第三传感轴线。
9.如权利要求7所述的方法，进一步包括：
在所述支架附接到所述电路板之前，将具有第五传感轴线的第五惯性传感器附接到所述支架，使得所述第五传感轴线大致平行于所述第二传感轴线并大致正交于所述第一和第三传感轴线；以及
在所述支架附接到所述电路板之前，将具有第六传感轴线的第六惯性传感器附接到所述支架，使得所述第六传感轴线大致平行于所述第三传感轴线并大致正交于所述第一和第二传感轴线。
10.如权利要求9所述的方法，其中，所述第四、第五和第六惯性传感器是MEMS加速度计。
11.一种用于构造惯性测量单元的方法，包括：
将分别具有第一、第二和第三传感轴线的第一、第二和第三微机电系统MEMS惯性传感器附接到支架，使得所述第一、第二和第三传感轴线大致正交；
将分别具有第四、第五和第六传感轴线的第四、第五和第六MEMS惯性传感器附接到所述支架，使得所述第四、第五和第六传感轴线分别大致平行于所述第一、第二和第三传感轴线；以及
将所述支架附接到电路板，至少一个集成电路安装到所述电路板，使得所述第一、第二、第三、第四、第五和第六MEMS惯性传感器与所述至少一个集成电路可操作地联通。
12.如权利要求11所述的方法，其中，所述第一、第二和第三MEMS惯性传感器是MEMS陀螺仪，而所述第四、第五和第六MEMS惯性传感器是MEMS加速度计。
13.如权利要求12所述的方法，其中，所述第一、第二、第三、第四、第五和第六惯性传感器的所述附接发生在所述支架到所述电路板的所述附接之前。
14.一种惯性测量单元，包括：
电路板；
在所述电路板上形成的多个导电迹线；
安装到所述电路板并电连接到所述导电迹线的集成电路；以及
传感器组件，所述传感器组件包括：
连接到所述电路板的支架；
连接到所述支架的第一微机电系统MEMS惯性传感器，所述第一惯性传感器具有第一传感轴线；
连接到所述支架的第二MEMS惯性传感器，所述第二惯性传感器具有第二传感轴线，所述第二传感轴线大致正交于所述第一传感轴线；以及
电连接到所述第一和第二MEMS惯性传感器和所述导电迹线的多个导电引线，使得所述第一和第二MEMS惯性传感器通过所述导电迹线与所述集成电路可操作地联通。
15.如权利要求14所述的惯性测量单元，其中，所述导电迹线具有邻近所述集成电路的第一部分和邻近所述支架的第二部分。
16.如权利要求15所述的惯性测量单元，其中，所述传感器组件进一步包括：
柔性带的第一部分，其在所述第一MEMS惯性传感器与所述导电迹线中的至少若干个的所述第二部分之间延伸；以及
柔性带的第二部分，其在所述第二MEMS惯性传感器与所述导电迹线中的至少若干个的所述第二部分之间延伸，
其中，所述导电引线被嵌入在所述柔性带的第一和第二部分内。
17.如权利要求16所述的惯性测量单元，其中，所述导电引线被嵌入在所述支架内，所述传感器组件进一步包括将所述导电迹线的所述第二部分、所述导电引线以及所述第一和第二MEMS惯性传感器相互连接的多个焊球。
18.如权利要求17所述的惯性测量单元，其中，所述传感器组件进一步包括具有第三传感轴线的第三MEMS惯性传感器，所述第三MEMS惯性传感器连接到所述支架使得所述第三传感轴线大致正交于所述第一和第二传感轴线，并且其中，所述第一、第二和第三MEMS惯性传感器是MEMS陀螺仪或MEMS加速度计。
19.如权利要求18所述的惯性测量单元，进一步包括分别具有第四、第五和第六传感轴线的第四、第五和第六MEMS惯性传感器，所述第四、第五和第六MEMS惯性传感器连接到所述支架使得所述第四、第五和第六传感轴线正交于各自的所述第一、第二和第三传感轴线。
20.如权利要求18所述的惯性测量单元，其中，所述第一、第二和第三惯性传感器是MEMS陀螺仪，且所述第四、第五和第六惯性传感器是MEMS加速度计。
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