JP3780086B2 - 姿勢角度検出装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動体やヘッドマウントディスプレイ等の姿勢を検出する姿勢角度検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
バーチャルリアリティーにおいて、頭の動きを検出する方法として、ヘッドマウントディスプレイ(以下、HMDという)が使われる。従来のHMDの一つの方式は、交流磁場発生源による微弱交流磁場を、センサ部で検出し、制御演算部で頭の動きを演算して検出する方式である。また、超音波を利用するHMDもあり、超音波発生源からの超音波信号をセンサ部で検出し、制御演算部で同様に処理する方式である。
【0003】
しかしながら、交流磁場を利用した方式では、信号発生源が微弱交流磁場のため、ノイズを除去するために多くのフィルタの使用が必然であった。このため、応答性が低下し、頭の動きに比べて、HMDの映像の動きが遅くなり、気分を悪くしたり酔いを発生した。
【0004】
また、超音波を利用した方式では、他の様々な超音波信号の影響を受け、それを原因とする誤動作があった。また、超音波を利用した方式では、信号発生源とセンサとの間の遮蔽物により信号を検出できなくなる可能性があり、センサの前に腕や髪の毛があるだけで受信不能になり誤動作してしまうなどの問題があった。
【0005】
最近、ジャイロスコープ、磁気センサ、および加速度センサ等を用い、バーチャルリアリティーや、移動体の姿勢角度を検出する方式が検討されている。ジャイロスコープ、磁気センサ、加速度センサ等によって、それぞれ角速度、方位、傾斜を検出し、その情報を演算処理して姿勢角度が検出される。
【0006】
交流磁場や超音波を利用する前述の方式に比較して、ジャイロスコープ等を用いて姿勢角度を検出する方式は、信頼性、応答性等において長所がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ジャイロスコープ、磁気センサ、加速度センサ等を用いた姿勢角度検出装置の場合、検出対象の姿勢角度が三次元的であれば、一般には、それぞれ3個のセンサを必要とする。これらのセンサを、当然に、3次元的に実装する必要があり、小型の姿勢角度検出装置の製作が困難となる。
【0008】
とくに、3個のジャイロスコープを用いた姿勢角度検出装置の場合には、小型化を実現するために各振動子を相互に近接して実装すると、各振動子の振動が相互に干渉し、ノイズを発生する原因ともなっていた。
【0009】
本発明の目的は、3個のジャイロスコープを用いても、構成が単純にして小型、製作が容易で、かつノイズを低減し高精度に検出する姿勢角度検出装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、互いに直交する3軸の回りの角速度を検出する3個のジャイロスコープを有する移動角検出手段と、互いに直交する少なくとも2軸の、加速度および方位をそれぞれ検出する加速度センサおよび磁気センサを有する静止角検出手段、および移動角検出手段と前記静止角検出手段の各出力から姿勢角度を演算する姿勢角度演算装置を備えた姿勢角度検出装置において、3個のジャイロスコープの振動子は、同一のフレキシブル基板に実装され、各振動子が相互に垂直になるように、フレキシブル基板は折り曲げられて回路基板に取り付けられている姿勢角度検出装置である。
【0011】
本発明の姿勢角度検出装置は、ジャイロスコープの振動子は、圧電セラミック材料、圧電単結晶、およびシリコンのいずれかからなることを特徴とする。
【0012】
本発明によれば、フレキシブル基板に、各振動子の間にスリットを形成することによって、ノイズを低減した姿勢角度検出装置が得られる。
【0013】
本発明による姿勢角度検出装置は、また、各振動子の相互の固有共振周波数の差分が、各ジャイロスコープによって測定される被測定周波数帯域よりも高く設定されていることを特徴とする。
【0014】
また、本発明による姿勢角度検出装置は、姿勢角度検出装置は、各ジャイロスコープの出力から、各振動子によって測定される被測定周波数帯域以上の周波数を除去するように、ローパスフィルタを具備していることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0016】
(実施の形態1)
図1は、3個のジャイロスコープを用いた姿勢角度検出装置の製作過程の一部を示す図である。図1(a)は、3個のジャイロスコープの振動子が平板状のフレキシブル基板に実装された状態を示す図である。図1(b)は、各振動子が相互に垂直になるように、フレキシブル基板は折り曲げられて回路基板に装着される状態を示す図である。
【0017】
図1(a)に示すように、まず、平面の状態のフレキシブル基板10に、3個の振動子21、22、23が実装される。つぎに、これらの振動子21、22、23は、3次元の角速度を検出できるように、図1(b)に示すように、フレキシブル基板10を折り曲げて処理回路基板(図示せず)に装着した状態で、互いに垂直になるように配置される。フレキシブル基板10は、回路が印刷された可撓性がある基板である。
【0018】
平面上では、3個の振動子21、22、23が、互いに近接した状態でも、容易に実装することができる。そして、3個の振動子21、22、23が実装されたフレキシブル基板10を処理回路基板に装着する際にも、何らの困難は伴わない。本実施の形態は、製作が容易で、かつ構成が単純にして小型の姿勢角度検出装置を可能にした。
【0019】
また、図1において、フレキシブル基板10には、各振動子21、22、23の間に、厚さ方向に貫通したスリット14、15が形成されている。スリット14、15の存在によって、3個の振動子21、22、23を同一のフレキシブル基板10上に近接して実装しても、振動の伝搬を遮断もしくは低減し、相互の干渉によるノイズ発生が抑制される。
【0020】
本発明では、図1に示されるように、スリット14、15は、振動の伝搬方向に垂直に、フレキシブル基板10の厚さ方向に貫通して形成されている。しかし、振動の伝搬を遮断もしくは低減する限りは、スリットの数、スリットが形成される方向、スリットがフレキシブル基板を貫通しているか否か等、フレキシブル基板10に形成されるスリットの形態は問わない。本実施の形態によって、製作が容易で、構成が単純にして小型、なおかつノイズを低減し高精度に検出する姿勢角度検出装置が可能となった。
【0021】
本発明では、ジャイロスコープの振動子として、圧電セラミック材料PZT[たとえば、(株)トーキン製ネペック(商品名)]を用いた。本発明では、その他に、タンタル酸リチウムからなる圧電単結晶、およびシリコンを振動子とするジャイロスコープをそれぞれ用いた姿勢角度検出装置を同様に作製した。これらの材料からなる振動子を、スリットを形成したそれぞれのフレキシブル基板に実装し、相互に垂直になるようにフレキシブル基板は折り曲げて処理回路基板に装着する、姿勢角度検出装置の作製において、何ら不都合な問題は見出されなかった。PZT、タンタル酸リチウム、シリコンからなる振動子は、いずれも、磁界中で磁化されない、いわゆる非磁性ゆえ、磁気センサを備える姿勢角度検出装置には好適である。
【0022】
(実施の形態2)
通常、姿勢角度検出装置による被測定周波数は、約50Hz以下である。本実施の形態においては、図1のフレキシブル基板10に実装された3個のジャイロスコープの振動子21、22、23の固有共振周波数を、それぞれ20kHz、21kHz、22kHzに設定した。ここで、それぞれの振動が相互に干渉し、各固有共振周波数の差分(1kHz、2kHz)の振動が発生したとしても、その周波数の差分は、前述の約50Hz以下の被測定周波数よりも著しく高く設定してある。このため、各共振周波数の差分の振動と被測定周波数の振動が、相互に干渉することはなく、高精度な姿勢角度検出が確保される。
【0023】
(実施の形態3)
図2は、本発明による姿勢角度検出装置の構成を示す図である。図2において、姿勢角度検出装置は、移動角検出手段20、静止角検出手段40、および姿勢角度演算手段50から構成されている。
【0024】
移動角検出手段20では、3個のジャイロスコープ27、28、29によって互いに直交する3軸の回りの角速度をそれぞれ検出し、移動角演算装置30によって演算される。静止角検出手段40では、3個の加速度センサ41、42、43、および3個の磁気センサ44、45、46によって、互いに直交する3軸方向の加速度および方位を検出し、静止角を演算する。姿勢角度は、移動角検出手段20、および静止角検出手段40の出力をもって演算した結果出力される。
【0025】
本発明は、移動角検出手段20の中にローパスフィルタ31、32、33を接続したことを特徴とする。すなわち、3個のジャイロスコープ27、28、29の振動子21、22、23の出力は、それぞれ処理回路24、25、26で演算され、ローパスフィルタ31、32、33をとおって移動角演算装置30に入力される。
【0026】
本実施の形態では、各ローパスフィルタ31、32、33のカットオフ周波数を、100Hzに設定し、被測定周波数帯域以上の周波数の出力を除去した。その結果、ノイズ成分となる各振動子の固有共振周波数の差分(1〜2kHz)の振動が発生したとしても、ローパスフィルタ31、32、33によって除去され、ノイズの発生を回避し、高精度な姿勢角度検出が確保される。
【0027】
なお、ノイズの防止をはかった姿勢角度検出装置とするために、上記実施の形態2および実施の形態3を同時に採り入れてもよい。また、本発明は、平面内での姿勢角度検出にも適用でき、ジャイロスコープが3個の場合に限定することなく、2個以上のジャイロスコープを用いた姿勢角度検出装置に有効である。加速度センサ、磁気センサについても、3個の場合に限定されない。
【0028】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、複数のジャイロスコープを用いても、構成が単純にして小型、製作が容易で、なおかつ、ノイズを低減し高精度に検出する姿勢角度検出装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】3個のジャイロスコープを用いた姿勢角度検出装置の製作過程の一部を示す図。図1(a)は3個の振動子が平板状のフレキシブル基板に実装された状態を示す図。図1(b)はフレキシブル基板が、その後、各振動子が相互に垂直になるように、フレキシブル基板を折り曲げて処理回路基板に装着される状態を示す図。
【図2】本発明による姿勢角度検出装置の構成を示す図。
【符号の説明】
10 フレキシブル基板
14、15 スリット
16 端子ピン
20 移動角検出手段
21、22、23 振動子
24、25、26 処理回路
27、28、29 ジャイロスコープ
30 移動角演算装置
31、32、33 ローパスフィルタ
40 静止角検出手段
41、42、43 加速度センサ
44、45、46 磁気センサ
47 静止角演算装置
50 姿勢角度演算装置

Claims (5)

  1. 互いに直交する3軸の回りの角速度を検出する3個のジャイロスコープを有する移動角検出手段と、互いに直交する少なくとも2軸の、加速度および方位をそれぞれ検出する加速度センサおよび磁気センサを有する静止角検出手段、および前記移動角検出手段と前記静止角検出手段の各出力から姿勢角度を演算する姿勢角度演算手段を備えた姿勢角度検出装置であって、前記3個のジャイロスコープの振動子は、同一のフレキシブル基板に実装され、前記各振動子が相互に垂直になるように、前記フレキシブル基板は折り曲げて回路基板に取り付けられていることを特徴とする姿勢角度検出装置。
  2. 前記ジャイロスコープの振動子は、圧電セラミック材料、圧電単結晶、およびシリコンのいずれかからなることを特徴とする請求項1記載の姿勢角度検出装置。
  3. 前記フレキシブル基板は、前記各振動子相互の間に、スリットが形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の姿勢角度検出装置。
  4. 前記3個のジャイロスコープの各振動子の固有共振周波数相互の差分は、前記各ジャイロスコープによって測定される被測定周波数帯域よりも高く設定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか記載の姿勢角度検出装置。
  5. 前記各ジャイロスコープの出力から、前記各振動子によって測定される被測定周波数帯域以上の周波数を除去するように、ローパスフィルタを具備していることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか記載の姿勢角度検出装置。
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4845356B2 (ja) * 2004-08-09 2011-12-28 ソフトバンクモバイル株式会社 計測データ処理方法、計測データ処理装置及び移動端末装置
JP2006214898A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及び電子機器
JP4751085B2 (ja) * 2005-03-31 2011-08-17 東京計器株式会社 センサの組立方法
US7536909B2 (en) * 2006-01-20 2009-05-26 Memsic, Inc. Three-dimensional multi-chips and tri-axial sensors and methods of manufacturing the same
JP5164015B2 (ja) * 2006-08-24 2013-03-13 セイコーエプソン株式会社 多軸ジャイロセンサ
US8100010B2 (en) * 2008-04-14 2012-01-24 Honeywell International Inc. Method and system for forming an electronic assembly having inertial sensors mounted thereto
JP5682267B2 (ja) 2010-01-12 2015-03-11 ソニー株式会社 角速度センサ
CN102121829B (zh) * 2010-08-09 2013-06-12 汪滔 一种微型惯性测量系统
JP5838543B2 (ja) 2010-09-30 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、モーションセンサー、および電子機器
JP5807344B2 (ja) 2011-02-25 2015-11-10 ソニー株式会社 角速度センサ及び電子機器
JP5779946B2 (ja) 2011-04-07 2015-09-16 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイスの製造方法
JP5821290B2 (ja) * 2011-05-31 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 モジュールおよび電子機器
JP5935244B2 (ja) 2011-05-31 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 モジュールおよび電子機器
JP5821289B2 (ja) 2011-05-31 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 保持部材、モジュールおよび電子機器
JP5845669B2 (ja) 2011-07-11 2016-01-20 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイスおよび電子機器
JP5845672B2 (ja) 2011-07-13 2016-01-20 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイスおよび電子機器
JP6065417B2 (ja) 2012-06-08 2017-01-25 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット並びに電子機器および運動体
JP6179074B2 (ja) * 2012-06-13 2017-08-16 セイコーエプソン株式会社 モジュールおよび電子機器
JP2014126495A (ja) 2012-12-27 2014-07-07 Seiko Epson Corp センサー、電子機器、および移動体
JP6347091B2 (ja) 2013-03-11 2018-06-27 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、電子機器および運動体
JP6331266B2 (ja) 2013-05-24 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット並びに電子機器および運動体
JP2015094723A (ja) 2013-11-13 2015-05-18 セイコーエプソン株式会社 温度特性補正装置および温度特性補正方法並びに電子機器および制御回路
US9664516B2 (en) 2014-04-25 2017-05-30 SZ DJI Technology Co., Ltd. Inertial sensing device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01250014A (ja) * 1988-03-30 1989-10-05 Canon Inc 振動ジャイロ
JPH0518750A (ja) * 1991-07-09 1993-01-26 Takao Yamaguchi 全範囲傾斜方位測定装置
JP3234963B2 (ja) * 1994-02-24 2001-12-04 ヤマハ発動機株式会社 角速度センサ式姿勢角検出装置の姿勢角検出方法
JPH07239235A (ja) * 1994-02-28 1995-09-12 Tokin Corp 圧電振動ジャイロ用支持具とそれを用いた組立方法
JPH07306047A (ja) * 1994-05-10 1995-11-21 Murata Mfg Co Ltd 多軸検出型振動ジャイロ
JPH09292229A (ja) * 1996-04-25 1997-11-11 Tokin Corp 圧電振動ジャイロ

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