JP2008098909A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. パッケージ内に圧電振動片を収容して、蓋体により気密に封止する構成の圧電デバイスであって、
   前記圧電振動片が、
   圧電材料により形成された基部と、
   前記基部の一端から延びる複数の振動腕と、
   前記基部は、前記基部の他端において両幅方向に延長された幅方向延長部を有し、
   前記幅方向延長部を基端として、前記振動腕の両外側において、該振動腕と同じ方向に延びる一対の支持用アームと
   を有しており、
   前記各支持用アームは、導電性接着剤または金属バンプを介してパッケージに接合される構成とされており、
   かつ、前記各支持用アームの前記基部に近接した領域の表面に、錘用金属膜が形成されている
   ことを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記各支持アームは、それぞれ、第１の領域および前記第１の領域よりも該支持アームの先端側の第２の領域においてパッケージに接合されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
3. 前記振動腕には、駆動用の電極として励振電極が形成されているとともに、該励振電極のパターンが前記基部を通り、引出電極として前記支持用アームまで引き回されており、前記各支持用アームの前記基部に近接した領域の少なくとも一部の前記引出電極の厚みを付加することにより、前記錘用金属膜が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電デバイス。
4. 前記振動腕の前記励振電極と前記引出電極は、前記圧電材料の表面に形成される下地層と、該下地層の表面に形成される電極層の２層の金属層により形成され、
   前記厚みが付加された部分である前記錘用金属膜は、前記引出電極の表面にさらに前記下地層と同じ金属材料の金属層を形成し、その表面に前記電極層と同じ金属材料の金属層を形成してなることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。
5. 前記振動腕の励振電極と引出電極は、圧電材料に形成される下地層と、該下地層の表面に形成された電極層の２層の金属層により形成され、
   前記厚みが付加された部分である前記錘用金属膜は、前記引出電極の表面にさらに前記下地層と同じ金属材料で形成された１５０００ないし２００００オングストロームの厚みの金属層であることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。
6. 圧電材料により形成された基部と、
   前記基部の一端から延びる複数の振動腕と、
   前記基部は、前記基部の他端において両幅方向に延長された幅方向延長部を有し、
   前記幅方向延長部を基端として、前記振動腕の両外側において、該振動腕と同じ方向に延びる一対の支持用アームと
   を有しており、
   前記各支持用アームは、導電性接着剤または金属バンプを介してパッケージに接合される構成とされており、
   かつ、前記各支持用アームの前記基部に近接した領域の表面に、錘用金属膜が形成されている
   ことを特徴とする圧電振動片。