JP2011176038A5 - - Google Patents
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Description
（発明５）：発明５に係るアクチュエータ構造体は、発明１乃至４のいずれか１項に記載のアクチュエータと、前記アクチュエータの前記圧電体層側に貼り合わせられた構造体と、を備え、前記構造体は、前記アクチュエータの前記圧電体層側に、当該アクチュエータの可動部が変位できる空間を形成する凹部を有していることを特徴とする。
Claims (1)
- 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記圧電体層側に貼り合わせられた構造体と、
を備え、
前記構造体は、前記アクチュエータの前記圧電体層側に、当該アクチュエータの可動部が変位できる空間を形成する凹部を有していることを特徴とするアクチュエータ構造体。
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