JP2007060465A5 - - Google Patents
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- 基板、前記基板に形成された圧電体膜、及び前記圧電体膜上に形成された弾性表面波を励振させる前記励振電極を有する、複数の弾性表面波素子と、
前記複数の弾性表面波素子の前記励振電極を対向させ且つ空隙を介して密閉状態に固定する接合部と、を有し、
前記複数の弾性表面波素子のうち少なくとも一つの弾性表面波素子は、前記圧電体膜が形成された面とは異なる面に接続電極が形成されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項１に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記接合部は、少なくとも前記励振電極の外周に周状に形成されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項１または請求項２に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記接合部は、前記複数の弾性表面波素子間の電気的接続を行なう導電部を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の弾性表面波素子のうち、少なくとも一つの弾性表面波素子は、前記圧電体膜が形成された一面と反対側の前記基板の表層部に、少なくとも前記弾性表面波を励振させる回路部が形成されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の弾性表面波素子は、異なる機能を有していることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の弾性表面波素子のうち、前記接続電極が形成されている前記弾性表面波素子は、他の前記弾性表面波素子と比べ、共振周波数精度が広く許容される機能を有していることを特徴とする弾性表面波デバイス。
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