JP4760222B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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このため、これらの励振電極が薄膜弾性表面波素子の外側に露出することを防止することが可能となる。つまり、複数の薄膜弾性表面波素子のうちの一方の薄膜弾性表面波素子を、従来の蓋体として用いることができる。このように、従来、薄膜弾性表面波素子を密閉するために用いられていた蓋体が不要となり、従来の蓋体の厚さ寸法、及び蓋体と励振電極との空隙寸法が不要となることから厚さ寸法を小さくすることができる。
(第一実施形態)
(第二実施形態)
(第三実施形態)
薄膜弾性表面波素子107は、基板150、基板150の一面に形成された圧電体薄膜151、圧電体薄膜151の上に形成された励振電極162、内部接続電極154で構成されている。内部接続電極154は、薄膜弾性表面波素子105との接続のための電極である。
Claims (5)
- 基板、前記基板に形成された圧電体膜、及び前記圧電体膜上に形成された弾性表面波を励振させる励振電極を有する、複数の弾性表面波素子と、
前記複数の弾性表面波素子の前記励振電極を対向させ且つ空隙を介して密閉状態に固定する接合部と、を有し、
前記複数の弾性表面波素子のうち少なくとも一つの弾性表面波素子は、前記圧電体膜が形成された面とは異なる面に外部接続電極が形成され、
前記複数の弾性表面波素子のうち、少なくとも一つの弾性表面波素子は、前記圧電体膜が形成された一面と反対側の前記基板の表層部に、少なくとも前記弾性表面波を励振させる回路部が形成されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記接合部は、少なくとも前記励振電極の外周に周状に形成されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1または請求項2に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記接合部は、前記複数の弾性表面波素子間の電気的接続を行なう導電部を有することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の弾性表面波素子のうち少なくとも一つの弾性表面波素子は、弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項4に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の弾性表面波素子のうち、前記外部接続電極が形成されている前記弾性表面波素子を前記弾性表面波フィルタとしたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
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