JP2007060465A - 薄膜弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の薄膜弾性表面波デバイス10は、基板11,20の一面に形成された圧電体薄膜12,21と、圧電体薄膜12,21上に形成された弾性表面波を励振させる励振電極19,22とを有する複数の薄膜弾性表面波素子5,6と、薄膜弾性表面波素子6の、圧電体薄膜12が形成された一面と異なる面の基板11の他面に形成された外部接続電極26と、を有し、薄膜弾性表面波素子5,6は、互いの励振電極19,22が空隙を有して対向し、密閉されるように形成された接合部25によって接合されている。
【選択図】 図1
Description
このため、これらの励振電極が薄膜弾性表面波素子の外側に露出することを防止することが可能となる。つまり、複数の薄膜弾性表面波素子のうちの一方の薄膜弾性表面波素子を、従来の蓋体として用いることができる。このように、従来、薄膜弾性表面波素子を密閉するために用いられていた蓋体が不要となり、従来の蓋体の厚さ寸法、及び蓋体と励振電極との空隙寸法が不要となることから厚さ寸法を小さくすることができる。
(第一実施形態)
(第二実施形態)
(第三実施形態)
薄膜弾性表面波素子107は、基板150、基板150の一面に形成された圧電体薄膜151、圧電体薄膜151の上に形成された励振電極162、内部接続電極154で構成されている。内部接続電極154は、薄膜弾性表面波素子105との接続のための電極である。
Claims (6)
- 空隙を有して対向するそれぞれの励振電極が密閉されるように形成された接合部によって接合されている複数の薄膜弾性表面波素子を有し、
前記複数の薄膜弾性表面波素子は、それぞれ、
基板と、前記基板の少なくとも一面に形成された圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜上に形成された弾性表面波を励振させる前記励振電極と、を有し、
前記複数の薄膜弾性表面波素子のうち、少なくとも一つの薄膜弾性表面波素子は、
前記圧電体薄膜が形成された一面と異なる他面に形成された接続電極、を有していることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。 - 請求項1に記載の薄膜弾性表面波デバイスにおいて、
前記接合部は、前記複数の薄膜弾性表面波素子の、少なくとも前記励振電極が内側となって密閉されるような周状に形成されていることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。 - 請求項1または請求項2に記載の薄膜弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の薄膜弾性表面波素子は、前記接合部によって電気的接合がなされていることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の薄膜弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の薄膜弾性表面波素子のうち、少なくとも一つの薄膜弾性表面波素子は、前記圧電体薄膜が形成された一面と反対側の前記基板の表層部に、少なくとも前記弾性表面波を励振させる機能を含む回路部が形成されていることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の薄膜弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の薄膜弾性表面波素子は、それぞれが異なる機能を有していることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の薄膜弾性表面波デバイスにおいて、
前記複数の薄膜弾性表面波素子のうち、前記接続電極が形成されている前記薄膜弾性表面波素子は、他の前記薄膜弾性表面波素子と比べ、共振周波数精度が広く許容される機能を有していることを特徴とする薄膜弾性表面波デバイス。
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