JP2023004705A - 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
【課題】銅または銀のマイグレーションを抑制する弾性波デバイスを提供する。【解決手段】弾性波デバイスは、第1面の少なくとも一部が圧電層である第1基板10と、圧電層の第1面に設けられた弾性波素子12と、弾性波素子12と空隙28を介し設けられた第2基板20と、第1面に設けられ、弾性波素子12と導通可能に接続された第1金属層14と、第2基板20の第1基板10側の第2面に設けられた第2金属層24と、第1金属層14と第2金属層24とを接続し、第1金属層14および第2金属層24より厚く銅または銀を主成分とする第3金属層30と、第3金属層30の側面と、第1金属層14に第3金属層30が接合する領域51を囲む領域50における第1金属層14の第2基板20側の第3面と、覆い、第1金属層14より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする第1導電層とを備える。【選択図】図1
Description
本発明は、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサに関する。
基板上に弾性波素子が設けられ、弾性波素子上に蓋等の別の基板を配置し、基板と別の基板とを金属層を用い接続する弾性波デバイスが知られている(例えば特許文献1~4)。アンダーバンプメタル層において、金属層の側面および上面を覆うように別の金属層を設けることが知られている(例えば特許文献5、6)
圧電基板は帯電しやすく、基板と別の基板とを接続する金属層が銅または銀を主成分とする場合、銅または銀が弾性波素子にマイグレーションすることがある。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、銅または銀のマイグレーションを抑制することを目的とする。
本発明は、第1面の少なくとも一部が圧電層である第1基板と、前記圧電層の前記第1面に設けられた弾性波素子と、前記弾性波素子と空隙を介し設けられた第2基板と、前記第1面に設けられ、前記弾性波素子と導通可能に接続された第1金属層と、前記第2基板の前記第1基板側の第2面に設けられた第2金属層と、前記第1金属層と前記第2金属層とを接続し、前記第1金属層および前記第2金属層より厚く銅または銀を主成分とする第3金属層と、前記第3金属層の側面と、前記第1金属層に前記第3金属層が接合する領域を囲む領域における前記第1金属層の前記第2基板側の第3面と、を覆い、前記第3金属層より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする第1導電層と、を備える弾性波デバイスである。
上記構成において、前記第3面を覆う前記第1導電層は、前記第3金属層の側面を覆う前記第1導電層より厚い構成とすることができる。
上記構成において、前記第1導電層は、前記第3金属層の前記第2基板側の面をさらに覆い、前記第2金属層と直接接合する構成とすることができる。
上記構成において、前記第1導電層は、前記第2金属層と直接接合する第2導電層と、前記第2金属層と前記第3金属層との間に設けられた第3導電層と、を備える構成とすることができる。
上記構成において、前記第2金属層における前記第2導電層と接合する領域は前記第2導電層の主成分と同じ主成分を有する構成とすることができる。
上記構成において、前記第2導電層は、金またはアルミニウムを主成分とする構成とすることができる。
上記構成において、前記第3導電層は、チタン、クロム、タンタル、ニッケル、タングステンおよびルテニウムの少なくとも1つの元素、前記少なくとも1つの元素の窒化物を主成分とする構成とすることができる。
上記構成において、前記第3金属層を含む金属柱を備える構成とすることができる。
上記構成において、前記第1基板は、支持基板と、前記支持基板上に設けられた前記圧電層と、を備える構成とすることができる。
上記構成において、前記第2基板の前記第1基板側の面に設けられた素子を含む構成とすることができる。
上記構成において、前記第2基板の前記第2面の少なくとも一部は別の圧電層であり、前記弾性波デバイスは、前記別の圧電層に設けられた別の弾性波素子と、前記第2金属層と前記第3金属層とを接続し、前記第1金属層および前記第2金属層より厚く銅または銀を主成分とする第4金属層と、前記第4金属層の側面と、前記第2金属層に前記第4金属層が接合する領域を囲む領域における前記第2金属層の前記第1基板側の第4面と、を覆い、前記第4金属層より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする第4導電層と、を備える構成とすることができる。
本発明は、上記弾性波デバイスを含むフィルタである。
本発明は、上記フィルタを含むマルチプレクサである。
本発明によれば、銅または銀のマイグレーションを抑制することができる。
以下、図面を参照し本発明の実施例について説明する。
図1(a)は、実施例1に係る弾性波デバイスの断面図、図1(b)は、図1(a)の金属柱付近の拡大図である。基板10の厚さ方向をZ方向、基板10の平面方向をX方向およびY方向とする。
図1(a)に示すように、基板10は、支持基板10bと支持基板10b上に設けられた圧電基板10aを備えている。支持基板10bと圧電基板10aとの間には酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等の1層または複数の絶縁膜が設けられていてもよい。圧電基板10a上に弾性波素子12および金属層14が設けられている。弾性波素子12は例えば弾性表面波素子である。金属層14は、弾性波素子12に電気的に接続された配線およびパッドとして機能する。基板10の周縁部の圧電基板10aは除去されており、基板10の周縁部における支持基板10b上に、弾性波素子12を囲むように金属層15が設けられている。基板10を貫通するビア配線16が設けられている。基板10の下面に端子18が設けられている。端子18は、入力端子Tin、出力端子(不図示)およびグランド端子Tgndとして機能する。ビア配線16は金属層14と端子18とを電気的に接続する。基板10の上方に基板20が設けられている。金属層14上に金属柱36(ピラー)が設けられている。金属層15上に弾性波素子12を囲むように環状金属層38が設けられている。
圧電基板10aは、例えば単結晶タンタル酸リチウム基板、単結晶ニオブ酸リチウム基板または単結晶水晶基板等の圧電基板である。単結晶タンタル酸リチウム基板、単結晶ニオブ酸リチウム基板は、例えば回転YカットX伝搬基板である。支持基板10bは、例えばサファイア基板、アルミナ基板、石英基板、水晶基板、スピネル基板、SiC基板またはシリコン基板である。金属層14、金属層15、ビア配線16および端子18は、例えば銅層、金層、銀層、チタン層、ニッケル層、タングステン層等の金属層の単層またはこれらの層の積層である。
基板10の上方に空隙28を介し基板20が設けられている。基板20の下面に素子21および金属層24が設けられている。素子21は例えばインダクタまたはキャパシタ等の受動素子である。金属柱36は金属層14と金属層24とを接続する。環状金属層38は金属層15と24とを接続する。環状金属層38と基板10および20とにより、弾性波素子12および素子21が空隙28に封止される。金属柱36および環状金属層38は、金属層30と金属層30を覆う金属層33とを備えている。基板20は、例えばサファイア基板、アルミナ基板、石英基板、水晶基板、スピネル基板、SiC基板またはシリコン基板である。金属層24は、例えば銅層、金層、銀層、チタン層、ニッケル層、タングステン層等の金属層の単層またはこれらの層の積層である。
図1(b)に示すように、金属層33は、金属層14の表面の領域50、金属層30の上面および側面を覆う。領域50は金属層30が金属層14に接合する接合領域51を囲む領域である。金属層33は、領域50のうち少なくとも金属層30と弾性波素子12との間の領域に設けられていればよい。金属層33は、領域50、金属層30の上面および側面に接触する金属層32と、金属層32を覆い金属層32に接触する金属層34を備えている。金属層30は、銅または銀を主成分とする。金属層34は、例えば金またはアルミニウムを主成分とする。金属層32は銅または銀のマイグレーションを抑制するバリア層であり、例えばチタン、クロム、タンタル、ニッケル、タングステンおよびルテニウムの少なくとも1つの元素、前記少なくとも1つの元素の窒化物を主成分とする。
金属層24は、金属層24a~24cを備えている。金属層24aは素子21に電気的に接続されている。金属層24cは金属層34と直接接合する。金属層24bは金属層24aと24cとの間に設けられている。金属層24cは金属層34と直接接合するため、例えば金属層24cと34の主成分は同じである。金属層24cは、例えば金またはアルミニウムを主成分とする。金属層24bは、金属層24aと24cとの間の拡散防止のバリア層であり、例えばチタン、クロム、タンタル、ニッケル、タングステンおよびルテニウムの少なくとも1つの元素、前記少なくとも1つの元素の窒化物を主成分とする。
金属層14、24および30の厚さをそれぞれT1~T3とする。金属層30の上面および側面を覆う金属層32の厚さをそれぞれT4cおよびT4aとし、金属層32の上面および側面を覆う金属層34の厚さをそれぞれT5cおよびT5aとする。領域50を覆う金属層32の厚さをT4bとする。領域50を覆う金属層34を覆う厚さをT5bとする。
金属層14および24の厚さT1およびT2は例えば0.1μm~5μmである。金属層30の厚さT3は例えば10μm~100μmである。金属層14および24は、平面方向に延伸する配線として機能するため厚さT1およびT2は比較的薄い。金属層30は、基板10と20とを接続し、かつ空隙28のZ方向の幅を大きくするため厚さT3は比較的厚い。厚さT3は、例えば厚さT1+T2の2倍以上であり、5倍以上である。金属層30の厚さT3は、例えば基板10と20との間のZ方向の高さH1の1/2以上であり、4/5以上である。金属層30の幅W1は例えば20μm~200μmである。幅W1が大きくなるとチップ平面面積が大きくなる。このため、アスペクト比T3/W1は0.4以上であり、好ましくは0.6以上、より好ましくは1.0以上である。厚さT4a~T4cおよびT5a~T5cは各々20nm~200nmである。厚さT4aおよびT4cに比べ厚さT4bは小さく、厚さT5aおよびT5cに比べ厚さT5bは小さい。例えばT4a:T4b=T5a:T5b=2:5である。金属層33を金属層30の側面に被覆させるため、金属層30の断面形状は例えば台形状であり、側面のテーパー角は例えば70°以上かつ90°未満である。
図2は、実施例1における弾性波素子の平面図である。図2に示すように、弾性波素子12は弾性表面波共振器またはLamb波共振器である。圧電基板10a上にIDT(Interdigital Transducer)40と反射器42が形成されている。IDT40は、互いに対向する1対の櫛型電極40aを有する。櫛型電極40aは、複数の電極指40bと複数の電極指40bを接続するバスバー40cとを有する。反射器42は、IDT40の両側に設けられている。IDT40が圧電基板である基板10に弾性表面波を励振する。弾性波の波長は一対の櫛型電極40aの一方の櫛型電極40aの電極指40bのピッチにほぼ等しい。すなわち、弾性波の波長は一対の櫛型電極40aの電極指40bのピッチの2倍にほぼ等しい。IDT40および反射器42は例えばアルミニウム膜、銅膜またはモリブデン膜により形成される。圧電基板10a上にIDT40および反射器42を覆うように保護膜または温度補償膜が設けられていてもよい。弾性波素子12は、弾性波を励振する電極を含む。このため、弾性波を制限しないように、弾性波素子12は空隙28に覆われている。
図3(a)および図3(b)は、実施例1に係る弾性波デバイスの平面図である。図3(a)は基板10の上面の平面図であり、図3(b)は基板10の下面を上方から透視した平面図である。図3(a)に示すように、基板10の周縁部の圧電基板10aが除去され、環状金属層38は基板10の周縁部に設けられている。環状金属層38はビア配線16を介し基板10の下面に設けられたグランド端子に接続される。圧電基板10a上に弾性波素子12および金属層14が設けられている。弾性波素子12は、弾性波共振器であり、IDT40と反射器42を備えている。金属層14は弾性波素子12を接続する配線およびビア配線16が接続されるパッドとして機能する。弾性波素子12は直列共振器S1およびS2と並列共振器P1を含む。金属層14は入力パッドIn、出力パッドOutおよびグランドパッドGndとして機能する。入力パッドIn、出力パッドOutおよびグランドパッドGndは、基板10の下面に設けられた入力端子、出力端子およびグランド端子に、ビア配線16を介し電気的に接続される。入力パッドIn上に金属柱36が設けられている。直列共振器S1およびS2は、入力パッドInと出力パッドOutのとの間に直列に接続され、並列共振器P1は入力パッドInと出力パッドOutのとの間に直列に接続される。
図3(b)に示すように、基板20の周縁部に環状金属層38が設けられている。金属層24により素子21としてインダクタが形成されている。素子21の一端は金属柱36を介し図3(a)の入力パッドInに電気的に接続される。素子21の他端は金属層24により環状金属層38に接続され、図3(a)のビア配線16を介しグランド端子に接続されている。これにより、インダクタが入力端子Tinとグランド端子Tgndとの間に接続される。
図4(a)から図5(b)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図4(a)に示すように、支持基板10bの上面に圧電基板10aが接合された基板10の周縁部の圧電基板10aを除去する。基板10に穴を形成し穴内にビア配線16を形成する。ビア配線16は基板10を貫通していない。基板10上に弾性波素子12、金属層14および15を形成する。
図4(b)に示すように、金属層14および15上に金属層30を形成する。金属層30の形成にはめっき法を用いる。めっきのマスクとなるフォトレジストの開口の側面を逆テーパー状(開口の上部の幅が開口の下部の幅より小さい)とすることで、金属層30の側面はテーパー状(金属層30の上部の幅が金属層30の下部の幅より小さい)となる。圧電基板10a上に設けられた金属層30と、圧電基板10aが除去された支持基板10b上に設けられた金属層30と、では、支持基板10bから金属層30の上面までの距離が異なる。
図4(c)に示すように、金属層30の上面を研削する。これにより、支持基板10bから金属層30の上面までの距離が互いに同じとなる。金属層30の上面を例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用い平坦化する。これにより、金属層30の上面の算術平均粗さを例えば1nm以下とする。
図4(d)に示すように、金属層30を覆うように金属層33を形成する。金属層33の形成には例えばスパッタリング法およびリフトオフ法を用いる。金属層30の側面はテーパー状でなくてもよいが、テーパー状とすると、金属層33の被覆性が向上する。また、金属層33の成膜条件により、金属層14上における金属層33の厚さ(図1(b)のT4bおよびT5b)を、金属層30の側面における金属層33の厚さ(図1(b)のT4aおよびT5a)より厚くできる。
図5(a)に示すように、図4(d)から上下を逆にし、基板20上に基板10を配置する。金属層33の上面(すなわち金属層32の上面)および金属層24cの下面にアルゴン等の不活性ガスのビームを照射することにより、金属層33の上面および金属層24cの下面を活性化する。このとき、金属層33の上面および金属層24cの下面の算術平均粗さRaは1nm以下である。その後、図5(b)に示すように、金属層30の上の金属層33と金属層24c(図1(b)参照)とを加圧することで接合する。このような表面活性化法は常温(例えば0℃以上100℃以下)にて行う。金属層33の上部と金属層24cとの主成分を同じとすることで、金属層33と24cとの表面活性化法による常温での接合が容易となる。その後、支持基板10bの下面をビア配線16が露出するまで研磨する。支持基板10bの下面に端子18を形成する。以上により実施例1に係る弾性波デバイスが製造される。
[比較例1]
図6は、比較例1における金属柱付近の拡大図である。比較例1では、金属柱36bと金属層24とははんだ37により接合されている。金属層24は、金属層24aとはんだ37との間に金属層24dを備えている。金属層24dははんだ濡れ性のよい層であり例えばニッケル層である。圧電基板10aは、温度および応力により帯電する。これにより、金属柱36bに電界が加わる。電界が加わった状態で水分が供給されると金属柱36の金属が移動するイオンマイグレーションが生じる。銅および銀はイオンマイグレーションが生じやすい元素である。同様に、はんだ37内の錫はイオンマイグレーションが生じやすい元素である。矢印52aのように銅または銀、矢印52bのように錫のイオンが弾性波素子12に移動すると、弾性波素子12が劣化する。例えば弾性波素子12の電極指間が短絡する。弾性波デバイスを製造するとき、または弾性波デバイスを用いるときに温度が変化したり、応力が加わると、銅または銀のイオンマイグレーションが発生し、弾性波素子12が劣化する。
図6は、比較例1における金属柱付近の拡大図である。比較例1では、金属柱36bと金属層24とははんだ37により接合されている。金属層24は、金属層24aとはんだ37との間に金属層24dを備えている。金属層24dははんだ濡れ性のよい層であり例えばニッケル層である。圧電基板10aは、温度および応力により帯電する。これにより、金属柱36bに電界が加わる。電界が加わった状態で水分が供給されると金属柱36の金属が移動するイオンマイグレーションが生じる。銅および銀はイオンマイグレーションが生じやすい元素である。同様に、はんだ37内の錫はイオンマイグレーションが生じやすい元素である。矢印52aのように銅または銀、矢印52bのように錫のイオンが弾性波素子12に移動すると、弾性波素子12が劣化する。例えば弾性波素子12の電極指間が短絡する。弾性波デバイスを製造するとき、または弾性波デバイスを用いるときに温度が変化したり、応力が加わると、銅または銀のイオンマイグレーションが発生し、弾性波素子12が劣化する。
実施例1によれば、図1(b)のように、基板10(第1基板)の上面(第1面)の少なくとも一部は圧電基板10a(圧電層)であり、圧電基板10a上に弾性波素子12が設けられている。基板20(第2基板)は、弾性波素子12と空隙28を介し設けられている。金属層14(第1金属層)は、基板10の上面(基板20側の第1面)に設けられ、弾性波素子12と導通可能に接続されている。金属層24(第2金属層)は基板20の下面(基板10側の第2面)に設けられている。金属層30(第3金属層)は金属層14と24とを接続する。
このような構造において、金属柱36を低抵抗化するため、金属層14および24より厚い金属層30が銅または銀を主成分とする。金属層14が帯電しやすい圧電基板10a上に設けられた弾性波素子12に導通可能であると、金属層30に電界が加わる。これにより、比較例1のようにイオンマイグレーションにより金属層30の銅または銀が弾性波素子12に移動し、弾性波素子12が劣化することが考えられる。
そこで、金属層30の側面と、金属層14に金属層30が接合する接合領域51を囲む領域50における金属層30の上面(第3面)と、を覆うように、金属層30より薄く銅、銀および錫以外を主成分とする(すなわち銅、銀および錫を主成分としない)金属層33(第1導電層)を設ける。これにより、金属層33が図6の矢印52aのような銅または銀のマイグレーションのバリアとなる。よって、銅または銀が弾性波素子12に移動するマイグレーションを抑制できる。なお、金属層30は銅を主成分とすることが好ましい。これにより、金属層30が銀を主成分とする場合に比べ金属層30をめっき法により簡単に形成できる。
領域50を覆う金属層33の厚さT4b+T5bは、金属層30の側面を覆う金属層33の厚さT4a+T5aより厚い。これにより、領域50における金属層33が金属層30から弾性波素子12への銅または銀のマイグレーションをより抑制する。
金属層33は、金属層30の上面(基板20側の面)をさらに覆い、金属層24と直接接合する。金属層33は錫を主成分としないことにより、比較例1のように、はんだ37を用いなくてもよい。このため、矢印52bのように錫が弾性波素子12にマイグレーションすることを抑制できる。
金属層34(第2導電層)は、金属層24と接合し、金属層32(第3導電層)は、金属層34と30との間に設けられている。これにより、金属層34は金属層24と接合しやすい材料を用い、金属層32は銅または銀のバリアとなりやすい材料を用いることができる。
金属層24のうち金属層34と接合する領域の金属層24cは金属層34の主成分と同じ主成分を有する。これにより、金属層24cと34との間に金属間化合物が生成されることを抑制できる。よって、金属層24cと34との接合品質を向上できる。
圧電基板10aは高温になると応力等により帯電しやすくなる。また、高温になるとめっき法により形成した金属層30等から水分が空隙28に放出される。空隙28内の水分により、金属層30における銅または銀のイオンマイグレーションが生じやすくなる。金属層34と24との接合を高温で行うと、上記のように銅または銀のマイグレーションが生じやすくなる。そこで、表面活性化法を用い、金属層24と34とを常温において接合する。これにより、マイグレーションを抑制できる。
金属層34は、金またはアルミニウムを主成分とする。これにより、金属層24と30との直接接合が容易となる。金属層34は金を主成分とすることが好ましい。これにより、金属層24と30との直接接合がより容易となる。また、金およびアルミニウムは銅または銀よりイオンマイグレーションが生じにくい。
金属層32は、チタン、クロム、タンタル、ニッケル、タングステンおよびルテニウムの少なくとも1つの元素、これらの元素の窒化物を主成分とする。これにより、これらの元素または窒化物は銅または銀のイオンマイグレーションのバリアとして機能する。よって、マイグレーションをより抑制できる。
金属層30を含む金属柱36は、基板10と20とを接続する。このように、金属柱36は基板10と20とを電気的に接続するため銅または銀を主成分とすることが好ましい。よって、マイグレーションを抑制する金属層33を設けることが好ましい。なお、環状金属層38の金属層30から銅または銀が弾性波素子12に移動する可能性もある。よって、環状金属層38に金属層33を設けることが好ましい。
基板10は、支持基板10bと、支持基板10b上に設けられた圧電基板10aと、を備える。支持基板10bの熱膨張係数を圧電基板10aの弾性波の伝搬方向の熱膨張係数より小さくする。これにより、弾性波素子12の温度変化を抑制できる。しかし、圧電基板10aに熱応力が加わるため、圧電基板10aが帯電しやすくなる。よって、金属層30における電界が大きくなりイオンマイグレーションが生じやすくなる。よって、マイグレーションを抑制する金属層33を設けることが好ましい。
圧電基板10a上に金属層30が設けられている場合、金属層30から圧電基板10aに加わる応力により圧電基板10aが帯電し、金属層30の加わる電界が大きくなりやすい。これにより、金属層30の銅または銀のマイグレーションが生じやすくなる。よって、金属層33を設けることが好ましい。
基板20には、素子が設けられておらず、単なるリッドでもよい。しかし、基板20に、受動素子等が設けられている場合、素子21と弾性波素子12を電気的に接続するため、金属層30は銅または銀を主成分とすることが好ましい。よって、マイグレーションを抑制する金属層33を設けることが好ましい。
基板10と20との間には錫を含むはんだ層は設けられていない。これにより、図6の矢印52bのように、錫のイオンマイグレーションを抑制できる。
ある金属層がある元素または化合物を主成分とするとは、ある金属層に意図せずまたは意図的に不純物が含有することを含み、例えば金属層におけるある元素または化合物濃度は50原子%以上であり、80原子%以上であり、90原子%以上である。
[実施例1の変形例1]
図7(a)は、実施例1の変形例1に係る弾性波デバイスの断面図、図7(b)は、図7(a)の金属柱付近の拡大図である。図7(a)および図7(b)に示すように、金属柱36下の圧電基板10aが除去されている。金属柱36は圧電基板10aが除去された支持基板10b上に設けられている。実施例1の変形例1のように、金属柱36は圧電基板10a上に設けられていない場合にも、弾性波素子12と金属層30とが金属層14を介し電気的に接続されていれば、圧電基板10aの帯電により金属層30に電界が加わる。よって、金属層30の銅または銀のマイグレーションが生じる可能性がある。よって、金属層33を設けることが好ましい。その他の構成は実施例1と同じ構成であり説明を省略する。
図7(a)は、実施例1の変形例1に係る弾性波デバイスの断面図、図7(b)は、図7(a)の金属柱付近の拡大図である。図7(a)および図7(b)に示すように、金属柱36下の圧電基板10aが除去されている。金属柱36は圧電基板10aが除去された支持基板10b上に設けられている。実施例1の変形例1のように、金属柱36は圧電基板10a上に設けられていない場合にも、弾性波素子12と金属層30とが金属層14を介し電気的に接続されていれば、圧電基板10aの帯電により金属層30に電界が加わる。よって、金属層30の銅または銀のマイグレーションが生じる可能性がある。よって、金属層33を設けることが好ましい。その他の構成は実施例1と同じ構成であり説明を省略する。
[実施例1の変形例2]
図8(a)は、実施例1の変形例2に係る弾性波デバイスの断面図である。図8(a)に示すように、基板10は圧電基板であり、金属柱36および環状金属層38は圧電基板上に設けられている。その他の構成は実施例1と同じ構成であり説明を省略する。
図8(a)は、実施例1の変形例2に係る弾性波デバイスの断面図である。図8(a)に示すように、基板10は圧電基板であり、金属柱36および環状金属層38は圧電基板上に設けられている。その他の構成は実施例1と同じ構成であり説明を省略する。
[実施例1の変形例3]
図8(b)は、実施例1の変形例3に係る弾性波デバイスの断面図である。図8(b)に示すように、基板20は、支持基板20bと支持基板20b下に設けられた圧電基板20aとを備えている。圧電基板20aの下面に弾性波素子22および金属層24が設けられている。圧電基板20a、支持基板20b、弾性波素子22および金属層24は、圧電基板10a、支持基板10b、弾性波素子12および金属層14と同じ構成であり説明を省略する。金属層24下に金属柱36aおよび環状金属層38aが設けられている。金属柱36aおよび環状金属層38aは、金属層30aおよび33aを備えている。金属層30aおよび33aは金属層30および33と同じ構成であり説明を省略する。金属柱36の上面の金属層33と金属柱36aの下面の金属層33aが直接接合され、環状金属層38の上面の金属層33と環状金属層38aの下面の金属層33aが直接接合されている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図8(b)は、実施例1の変形例3に係る弾性波デバイスの断面図である。図8(b)に示すように、基板20は、支持基板20bと支持基板20b下に設けられた圧電基板20aとを備えている。圧電基板20aの下面に弾性波素子22および金属層24が設けられている。圧電基板20a、支持基板20b、弾性波素子22および金属層24は、圧電基板10a、支持基板10b、弾性波素子12および金属層14と同じ構成であり説明を省略する。金属層24下に金属柱36aおよび環状金属層38aが設けられている。金属柱36aおよび環状金属層38aは、金属層30aおよび33aを備えている。金属層30aおよび33aは金属層30および33と同じ構成であり説明を省略する。金属柱36の上面の金属層33と金属柱36aの下面の金属層33aが直接接合され、環状金属層38の上面の金属層33と環状金属層38aの下面の金属層33aが直接接合されている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
[実施例1の変形例4]
図9は、実施例1の変形例4に係る弾性波デバイスの断面図である。図9に示すように、基板20の下に弾性波素子22として圧電薄膜共振器が設けられている。
図9は、実施例1の変形例4に係る弾性波デバイスの断面図である。図9に示すように、基板20の下に弾性波素子22として圧電薄膜共振器が設けられている。
図10は、実施例1の変形例4における弾性波素子の断面図である。図10に示すように、圧電薄膜共振器である弾性波素子22では、基板20上に圧電膜46が設けられている。圧電膜46を挟むように下部電極44および上部電極48が設けられている。下部電極44と基板10との間に空隙45が形成されている。圧電膜46の少なくとも一部を挟み下部電極44と上部電極48とが対向する領域が共振領域47である。共振領域47において、下部電極44および上部電極48は圧電膜46内に、厚み縦振動モードの弾性波を励振する。下部電極44および上部電極48は例えばルテニウム膜等の金属膜である。圧電膜46は例えば窒化アルミニウム膜である。空隙45の代わりに弾性波を反射する音響反射膜が設けられていてもよい。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。
実施例1の変形例3および4のように、基板20の下面(第2面)の少なくとも一部は圧電基板20a(別の圧電層)であり、圧電基板20aに弾性波素子22(別の弾性波素子)が設けられている。金属層30a(第4金属層)は金属層24と30とを接続し、金属層14および24より厚く銅または銀を主成分とする。金属層33a(第4導電層)は、金属層30aの側面と、金属層24に金属層30aが接合する領域を囲む領域における金属層24の下面(第4面)と、覆い、金属層24より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする。これにより、金属層30aの銅または銀が弾性波素子22にマイグレーションすることを抑制できる。環状金属層38と38aを接合しているため、強度が弱くなりやすい。よって、環状金属層38と38aの幅を実施例1の環状金属層38の幅より大きくすることが好ましい。
[実施例1の変形例5]
図11は、実施例1の変形例5に係る弾性波デバイスの断面図である。図11に示すように、基板20における圧電基板20aは、支持基板20bの上面に設けられている。基板20の下面には金属層27aおよび27bが設けられている。金属柱36および環状金属層38はそれぞれ金属層27aおよび27bに接合されている。金属層27aはシールドとして機能する。基板20上にリッド54が設けられている。リッド54の下面には金属層55が設けられている。リッド54を貫通するビア配線56が設けられている。リッド54上に金属層58が設けられている。ビア配線56は金属層55と58とを接続する。金属柱36aおよび環状金属層38aは金属層55に接合する。リッド54および環状金属層38aは弾性波素子22を空隙28aに封止する。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例5のように、基板20上に素子が設けられていてもよい。
図11は、実施例1の変形例5に係る弾性波デバイスの断面図である。図11に示すように、基板20における圧電基板20aは、支持基板20bの上面に設けられている。基板20の下面には金属層27aおよび27bが設けられている。金属柱36および環状金属層38はそれぞれ金属層27aおよび27bに接合されている。金属層27aはシールドとして機能する。基板20上にリッド54が設けられている。リッド54の下面には金属層55が設けられている。リッド54を貫通するビア配線56が設けられている。リッド54上に金属層58が設けられている。ビア配線56は金属層55と58とを接続する。金属柱36aおよび環状金属層38aは金属層55に接合する。リッド54および環状金属層38aは弾性波素子22を空隙28aに封止する。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例5のように、基板20上に素子が設けられていてもよい。
実施例1およびその変形例では、素子21としてインダクタおよび弾性波素子22(圧電薄膜共振器または弾性表面波共振器)の例を説明したが、素子21は、インダクタまたはキャパシタ等の受動素子、トランジスタを含む能動素子、またはMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)素子でもよい。
図12(a)は、実施例2に係るフィルタの回路図である。図12(a)に示すように、入力端子Tinと出力端子Toutとの間に、1または複数の直列共振器S1からS4が直列に接続されている。入力端子Tinと出力端子Toutとの間に、1または複数の並列共振器P1からP4が並列に接続されている。実施例2のフィルタを弾性波素子12で形成してもよい。直列共振器および並列共振器の個数等は適宜設定できる。フィルタとしてラダー型フィルタを例に説明したが、フィルタは多重モード型フィルタでもよい。
図12(b)は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図12(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ60が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ62が接続されている。送信フィルタ60は、送信端子Txから入力された高周波信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ62は、共通端子Antから入力された高周波信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ60および受信フィルタ62の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
マルチプレクサとしてデュプレクサを例に説明したがトリプレクサまたはクワッドプレクサでもよい。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 基板
12、22 弾性波素子
14、15、24、24a~24c、30、32、33、33a、34、55、58 金属層
16 ビア配線
18 端子
28、28a 空隙
36、36a 金属柱
38、38a 環状金属層
60 送信フィルタ
62 受信フィルタ
12、22 弾性波素子
14、15、24、24a~24c、30、32、33、33a、34、55、58 金属層
16 ビア配線
18 端子
28、28a 空隙
36、36a 金属柱
38、38a 環状金属層
60 送信フィルタ
62 受信フィルタ
上記構成において、前記第1導電層は、前記第2金属層と直接接合する第2導電層と、前記第2導電層と前記第3金属層との間に設けられた第3導電層と、を備える構成とすることができる。
図3(a)および図3(b)は、実施例1に係る弾性波デバイスの平面図である。図3(a)は基板10の上面の平面図であり、図3(b)は基板10の下面を上方から透視した平面図である。図3(a)に示すように、基板10の周縁部の圧電基板10aが除去され、環状金属層38は基板10の周縁部に設けられている。環状金属層38はビア配線16を介し基板10の下面に設けられたグランド端子に接続される。圧電基板10a上に弾性波素子12および金属層14が設けられている。弾性波素子12は、弾性波共振器であり、IDT40と反射器42を備えている。金属層14は弾性波素子12を接続する配線およびビア配線16が接続されるパッドとして機能する。弾性波素子12は直列共振器S1およびS2と並列共振器P1を含む。金属層14は入力パッドIn、出力パッドOutおよびグランドパッドGndとして機能する。入力パッドIn、出力パッドOutおよびグランドパッドGndは、基板10の下面に設けられた入力端子、出力端子およびグランド端子に、ビア配線16を介し電気的に接続される。入力パッドIn上に金属柱36が設けられている。直列共振器S1およびS2は、入力パッドInと出力パッドOutのとの間に直列に接続され、並列共振器P1は入力パッドInと出力パッドOutのとの間に並列に接続される。
Claims (13)
- 第1面の少なくとも一部が圧電層である第1基板と、
前記圧電層の前記第1面に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子と空隙を介し設けられた第2基板と、
前記第1面に設けられ、前記弾性波素子と導通可能に接続された第1金属層と、
前記第2基板の前記第1基板側の第2面に設けられた第2金属層と、
前記第1金属層と前記第2金属層とを接続し、前記第1金属層および前記第2金属層より厚く銅または銀を主成分とする第3金属層と、
前記第3金属層の側面と、前記第1金属層に前記第3金属層が接合する領域を囲む領域における前記第1金属層の前記第2基板側の第3面と、を覆い、前記第3金属層より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする第1導電層と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記第3面を覆う前記第1導電層は、前記第3金属層の側面を覆う前記第1導電層より厚い請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1導電層は、前記第3金属層の前記第2基板側の面をさらに覆い、前記第2金属層と直接接合する請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1導電層は、前記第2金属層と直接接合する第2導電層と、前記第2金属層と前記第3金属層との間に設けられた第3導電層と、を備える請求項3に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2金属層における前記第2導電層と接合する領域は前記第2導電層の主成分と同じ主成分を有する請求項4に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2導電層は、金またはアルミニウムを主成分とする請求項4または5に記載の弾性波デバイス。
- 前記第3導電層は、チタン、クロム、タンタル、ニッケル、タングステンおよびルテニウムの少なくとも1つの元素、前記少なくとも1つの元素の窒化物を主成分とする請求項4から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第3金属層を含む金属柱を備える請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1基板は、支持基板と、前記支持基板上に設けられた前記圧電層と、を備える請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2基板の前記第1基板側の面に設けられた素子を含む請求項1から9のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2基板の前記第2面の少なくとも一部は別の圧電層であり、
前記弾性波デバイスは、
前記別の圧電層に設けられた別の弾性波素子と、
前記第2金属層と前記第3金属層とを接続し、前記第1金属層および前記第2金属層より厚く銅または銀を主成分とする第4金属層と、
前記第4金属層の側面と、前記第2金属層に前記第4金属層が接合する領域を囲む領域における前記第2金属層の前記第1基板側の第4面と、を覆い、前記第4金属層より薄く、銅、銀および錫以外を主成分とする第4導電層と、
を備える請求項1または2に記載の弾性波デバイス。 - 請求項10または11に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項12に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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