JP7231360B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
図7(a)から図8(d)は、実施例1の変形例1におけるフィルタの製造方法を示す断面図である。図7(a)に示すように、支持基板11上に圧電基板10aを例えば表面活性化法を用い接合する。図7(b)に示すように、圧電基板10aの上面を例えば研削法または研磨法を用い薄膜化する。図7(c)に示すように、圧電基板10aを選択的に除去し凹部40を例えばドライエッチング法を用い形成する。図7(d)に示すように、圧電基板10bの下面(図7(d)では上面)に例えばエッチング法を用い凹部41を形成する。
図14は、実施例1の変形例2に係るフィルタの平面図である。図14に示すように、支持基板11上に圧電基板10aおよび10bが接合されている。圧電基板10a上にIDT18と反射器19を有するDMS(Double Mode Surface Acoustic Wave)21aが設けられている。圧電基板10b上にIDT18と反射器19を有するDMS21bが設けられている。DMS21aと21bとは入力端子Tinと出力端子Toutとの間に配線22を介し縦列接続されている。配線22は圧電基板10aと10bの上面に沿って設けられている。その他の構成は実施例1およびその変形例と同じであり説明を省略する。
図15は、実施例1の変形例3に係るデュプレクサの平面図である。支持基板11上に圧電基板10aおよび10bが接合されている。圧電基板10a上に弾性波共振器20aとして直列共振器S1からS3および並列共振器P1およびP2が設けられている。圧電基板10b上に弾性波共振器20bとして共振器R1、DMS21aおよび21bが設けられている。圧電基板10aおよび10b上に配線22およびパッド24が設けられている。パッド24に貫通電極28が接続する。貫通電極28は、共通端子Ant、送信端子Tx、受信端子Rxおよびグランド端子Gndに接続する。
10a、10b 圧電基板
20a、20b 弾性波共振器
22 配線
25 絶縁層
44a、44b 側面
46 空隙
47a、47b 領域
Claims (9)
- 第1面および前記第1面と反対の第2面を有する第1圧電基板と、
前記第1面に設けられた第1弾性表面波共振器と、
前記第1面と異なる結晶面である第3面および前記第3面と反対の第4面を有する第2圧電基板と、
前記第3面に設けられた第2弾性表面波共振器と、
前記第1面および前記第3面を延伸し、前記第1弾性表面波共振器と前記第2弾性表面波共振器とを電気的に接続する配線膜と、
第5面および前記第5面と反対の第6面を有し、前記第5面に前記第2面および前記第4面が接合された支持基板と、
を備え、
前記配線膜は、前記第1面から前記第3面まで連続して延伸する弾性波デバイス。 - 第1面および前記第1面と反対の第2面を有する第1圧電基板と、
前記第1面に設けられた第1弾性表面波共振器と、
前記第1面と異なる結晶面である第3面および前記第3面と反対の第4面を有する第2圧電基板と、
前記第3面に設けられた第2弾性表面波共振器と、
前記第1面および前記第3面を延伸し、前記第1弾性表面波共振器と前記第2弾性表面波共振器とを電気的に接続する配線膜と、
前記第2面および前記第4面が接合された支持基板と、
を備え、
前記第1圧電基板と前記第2圧電基板との間の前記支持基板上に設けられた絶縁層を備え、
前記配線膜は、前記第1面、前記絶縁層の前記支持基板の反対の第5面内および前記第3面と接して設けられる弾性波デバイス。 - 前記第1面、前記第5面および前記第3面は略平坦である請求項2に記載の弾性波デバイス。
- 第1面および前記第1面と反対の第2面を有する第1圧電基板と、
前記第1面に設けられた第1弾性表面波共振器と、
前記第1面と異なる結晶面である第3面および前記第3面と反対の第4面を有する第2圧電基板と、
前記第3面に設けられた第2弾性表面波共振器と、
前記第1面および前記第3面を延伸し、前記第1弾性表面波共振器と前記第2弾性表面波共振器とを電気的に接続する配線膜と、
前記第2面および前記第4面が接合された支持基板と、
を備え、
前記第1圧電基板は前記第2圧電基板と対向する第1側面を有し、
前記第2圧電基板は前記第1圧電基板と対向する第2側面を有し、
前記第1側面および前記第2側面の少なくとも一方の側面は、前記第2面および前記第4面側が前記第1面および前記第3面側に比べ前記第1側面および前記第2側面の他方に近づくように傾斜し、
前記配線膜は、前記少なくとも一方の側面の少なくとも一部と接して設けられる弾性波デバイス。 - 第1面および前記第1面と反対の第2面を有する第1圧電基板と、
前記第1面に設けられた第1弾性表面波共振器と、
前記第1面と異なる結晶面である第3面および前記第3面と反対の第4面を有する第2圧電基板と、
前記第3面に設けられた第2弾性表面波共振器と、
前記第1面および前記第3面を延伸し、前記第1弾性表面波共振器と前記第2弾性表面波共振器とを電気的に接続する配線膜と、
前記第2面および前記第4面が接合された支持基板と、
を備え、
前記第1圧電基板は前記第2圧電基板と対向する第1側面を有し、
前記第2圧電基板は前記第1圧電基板と対向する第2側面を有し、
前記第1側面および前記第2側面の少なくとも一方の側面は、前記第1面および前記第3面側が前記第2面および前記第4面側に比べ前記第1側面および前記第2側面の他方に近づくように傾斜する弾性波デバイス。 - 前記配線膜は、前記第1面と前記第3面との間に位置する空隙を有する溝を跨ぎ設けられる請求項5に記載の弾性波デバイス。
- 第1端子と第2端子との間に直列に接続された1または複数の直列共振器と、
前記第1端子と前記第2端子との間に並列に接続された1または複数の並列共振器と、
を備え、
前記第1弾性表面波共振器は、前記1または複数の直列共振器の少なくとも1つであり、前記第2弾性表面波共振器は、前記1または複数の並列共振器の少なくとも1つである請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 共通端子と第1端子との間に接続され、前記第1弾性表面波共振器を含む第1フィルタと、
前記共通端子と第2端子との間に接続され、前記第2弾性表面波共振器を含む第2フィルタと、
を備え、
前記配線膜は、前記第1フィルタと前記第2フィルタとを接続する請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1圧電基板および前記第2圧電基板は、回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板または回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板であり、
前記第1圧電基板のYカット角と前記第2圧電基板のYカット角とは異なる請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
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