JP6430977B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
12 非接合領域
20、20A、20B、20a〜20c 圧電基板
30、30a〜30c 共振器
32 IDT
34 反射器
36 櫛型電極
38 電極指
40 バスバー
50 パッド
50a 入力パッド
50b 出力パッド
50c グランドパッド
50A 送信パッド
50B 受信パッド
50C アンテナパッド
50D グランドパッド
52 貫通配線
54 端子電極
56 配線
60 金属膜
62 保護膜
64 レジスト膜
66 オリエンテーションフラット
68 空間
70 送信フィルタ
72 受信フィルタ
80 共振器
82 基板
84 配線
86、88 バンプ
90 金属パターン
92 半田
94 リッド
96 封止部
98 保護膜
100〜600 弾性波デバイス
Claims (10)
- 直列共振器と並列共振器を含むラダー型フィルタである弾性波デバイスであって、
支持基板と、
前記支持基板の上面の一部に接合された1又は複数の圧電基板と、
前記1又は複数の圧電基板上に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含み、前記直列共振器及び前記並列共振器を構成し、前記1又は複数の圧電基板内では各々前記複数の電極指が同じ方向に延びている複数の共振器と、
前記1又は複数の圧電基板それぞれにおいて、前記複数の電極指が並んだ第1方向で前記支持基板の前記上面のうちの前記1又は複数の圧電基板が接合されていない非接合領域から前記1又は複数の圧電基板上に延在して前記複数の共振器に接続し、前記1又は複数の圧電基板の上面に平行な方向で前記第1方向に交差する第2方向では前記非接合領域から前記1又は複数の圧電基板上に延在していない配線と、を備える弾性波デバイス。 - 支持基板と、
前記支持基板の上面の一部に接合された圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含む共振器と、
前記複数の電極指が並んだ第1方向で前記支持基板の前記上面のうちの前記圧電基板が接合されていない非接合領域から前記圧電基板上に延在し、前記共振器に接続する配線と、を備え、
前記配線は、前記圧電基板の側面における厚さが前記支持基板上及び前記圧電基板上における厚さよりも薄い、弾性波デバイス。 - 支持基板と、
前記支持基板の上面の一部に接合された圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含む共振器と、
前記複数の電極指が並んだ第1方向で前記支持基板の前記上面のうちの前記圧電基板が接合されていない非接合領域から前記圧電基板上に延在し、前記共振器に接続する配線と、を備え、
前記支持基板の前記上面に複数の前記圧電基板が接合され、
前記複数の圧電基板に設けられた前記共振器は前記配線によって互いに接続され、
前記配線は、前記複数の圧電基板のうちの少なくとも1つの圧電基板上に前記非接合領域から延在する方向と残りの圧電基板上に前記非接合領域から延在する方向とが異なる、弾性波デバイス。 - 前記配線は、前記圧電基板の上面に平行な方向で前記第1方向に交差する第2方向では前記非接合領域から前記圧電基板上に延在していない、請求項2または3記載の弾性波デバイス。
- 前記1又は複数の圧電基板の前記第1方向の線膨張係数と前記配線の線膨張係数との差は、前記第2方向の前記1又は複数の圧電基板の線膨張係数と前記配線の線膨張係数との差よりも小さい、請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板は回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板又は回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板である、請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記配線は金、銅、又はニッケルのいずれかで形成されている、請求項1から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記非接合領域における前記配線は前記圧電基板よりも厚い、請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記1又は複数の圧電基板は1つの圧電基板であり、
前記1つの圧電基板に前記複数の共振器が設けられている、請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記1又は複数の圧電基板は複数の圧電基板であり、
前記複数の圧電基板それぞれには前記複数の共振器それぞれが設けられていて、
前記複数の圧電基板に設けられた前記複数の共振器は前記配線によって互いに接続されている、請求項1記載の弾性波デバイス。
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