JP7199195B2 - 弾性波デバイスおよび複合基板 - Google Patents
弾性波デバイスおよび複合基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7199195B2 JP7199195B2 JP2018195792A JP2018195792A JP7199195B2 JP 7199195 B2 JP7199195 B2 JP 7199195B2 JP 2018195792 A JP2018195792 A JP 2018195792A JP 2018195792 A JP2018195792 A JP 2018195792A JP 7199195 B2 JP7199195 B2 JP 7199195B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- linear expansion
- coefficient
- electrode
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図11(a)から図11(d)は、実施例4の変形例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図11(a)に示すように、圧電基板10上に開口61を有するマスク層62を形成する。マスク層62は例えばフォトレジストである。
図12(a)から図13(b)は、実施例4の変形例2に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図12(a)に示すように、支持基板11に穴60をレーザ光を照射し形成する。穴60の内面および支持基板11の上面にデブリ65aが形成される。
11 支持基板
20 弾性波共振器
22 貫通電極
Claims (10)
- 主面に平行な第1方向の第1線膨張係数が前記主面に平行でかつ前記第1方向に交差する第2方向の第2線膨張係数より大きい第1基板と、
前記第1基板の主面と反対の面に接合され、前記第2線膨張係数より小さい第3線膨張係数を有する第2基板と、
前記第1基板および前記第2基板を貫通し、前記主面を平面視して、前記第1方向における最大の幅は、前記第2方向における最大の幅より小さい形状の貫通電極と、
を備え、
前記主面を平面視して、前記貫通電極の形状は前記第1方向を短軸とする楕円形状である複合基板。 - 主面に平行な第1方向の第1線膨張係数が前記主面に平行でかつ前記第1方向に交差する第2方向の第2線膨張係数より大きい第1基板と、
前記第1基板の主面と反対の面に接合され、前記第2線膨張係数より小さい第3線膨張係数を有する第2基板と、
前記第1基板および前記第2基板を貫通し、前記主面を平面視して、前記第1方向における最大の幅は、前記第2方向における最大の幅より小さい形状の貫通電極と、
を備え、
前記主面を平面視して、前記貫通電極の形状は、前記第1方向における最大の幅に重なる線分を軸として線対称であり、外周がなめらかな線でありかつ外側に凸状の形状である複合基板。 - 前記第1方向は、前記第1基板の前記主面に平行な方向のうち最も線膨張係数が大きい方向であり、前記第2方向は前記第1方向に直交する方向である請求項1または2に記載の複合基板。
- 前記第1基板は回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板または回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板であり、前記第1方向は前記第1基板の結晶方位のX軸方位である請求項1または2に記載の複合基板。
- 前記第2基板は、サファイア基板、シリコン基板、スピネル基板、石英基板、アルミナ基板または水晶基板である請求項1から4のいずれか一項に記載の複合基板。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の複合基板と、
前記主面に設けられ、前記貫通電極に電気的に接続された弾性波素子と、
を備える弾性波デバイス。 - 主面に平行な第1方向の第1線膨張係数が前記主面に平行でかつ前記第1方向に交差する第2方向の第2線膨張係数より大きい基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記基板の主面と反対の面に設けられた端子と、
前記基板内に設けられ、第3線膨張係数を有し、前記第1線膨張係数と前記第3線膨張係数との差は前記第2線膨張係数と前記第3線膨張係数との差より小さく、前記弾性波素子と前記端子とを電気的に接続し、前記主面を平面視して、前記第1方向における最大の幅は、前記第2方向における最大の幅より大きく、前記基板を貫通し、前記弾性波素子と前記端子とを電気的に接続する貫通電極と、
を備え、
前記主面を平面視して、前記貫通電極の形状は前記第1方向を長軸とする楕円形状である弾性波デバイス。 - 主面に平行な第1方向の第1線膨張係数が前記主面に平行でかつ前記第1方向に交差する第2方向の第2線膨張係数より大きい基板と、
前記基板の主面に設けられた弾性波素子と、
前記基板の主面と反対の面に設けられた端子と、
前記基板内に設けられ、第3線膨張係数を有し、前記第1線膨張係数と前記第3線膨張係数との差は前記第2線膨張係数と前記第3線膨張係数との差より小さく、前記弾性波素子と前記端子とを電気的に接続し、前記主面を平面視して、前記第1方向における最大の幅は、前記第2方向における最大の幅より大きく、前記基板を貫通し、前記弾性波素子と前記端子とを電気的に接続する貫通電極と、
を備え、
前記主面を平面視して、前記貫通電極の形状は前記第1方向における最大の幅に重なる線分を軸として線対称であり、外周がなめらかな線でありかつ外側に凸状の形状である弾性波デバイス。 - 前記基板は回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板または回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板であり、前記第1方向は前記基板の結晶方位のX軸方位である請求項7または8に記載の弾性波デバイス。
- 前記貫通電極は、銅、金、銀およびニッケルの少なくとも1つを主成分とする請求項7から9のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018195792A JP7199195B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 弾性波デバイスおよび複合基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018195792A JP7199195B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 弾性波デバイスおよび複合基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020065158A JP2020065158A (ja) | 2020-04-23 |
JP7199195B2 true JP7199195B2 (ja) | 2023-01-05 |
Family
ID=70388389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018195792A Active JP7199195B2 (ja) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 弾性波デバイスおよび複合基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7199195B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022269721A1 (ja) * | 2021-06-21 | 2022-12-29 | 国立大学法人東北大学 | 弾性表面波デバイス |
JP7075150B1 (ja) * | 2021-08-16 | 2022-05-25 | 三安ジャパンテクノロジー株式会社 | デュプレクサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002124848A (ja) | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Tdk Corp | 表面弾性波素子、電子部品及びその搭載方法 |
JP2009289935A (ja) | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置 |
JP2017147708A (ja) | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2018125773A (ja) | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
-
2018
- 2018-10-17 JP JP2018195792A patent/JP7199195B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002124848A (ja) | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Tdk Corp | 表面弾性波素子、電子部品及びその搭載方法 |
JP2009289935A (ja) | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置 |
JP2017147708A (ja) | 2016-02-19 | 2017-08-24 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
JP2018125773A (ja) | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020065158A (ja) | 2020-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6397352B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP6315716B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2019186655A (ja) | 弾性波デバイス、マルチプレクサおよび複合基板 | |
JP6430977B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP6963445B2 (ja) | 電子部品 | |
JP6934340B2 (ja) | 電子部品 | |
JP7370146B2 (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
KR20010020699A (ko) | 전자 부품 | |
JP7199195B2 (ja) | 弾性波デバイスおよび複合基板 | |
JP7231360B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2018085705A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
WO2022075311A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JPWO2018216486A1 (ja) | 電子部品およびそれを備えるモジュール | |
JP7406331B2 (ja) | 電子デバイス、モジュールおよびウエハ | |
US11271542B2 (en) | Acoustic wave device and method of fabricating the same | |
JP4731216B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2021027383A (ja) | 弾性波装置 | |
JP2000236230A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP2020174332A (ja) | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2023157798A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP7281146B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2020053812A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7406341B2 (ja) | 電子部品、フィルタおよびマルチプレクサ | |
US20240007082A1 (en) | Acoustic wave device and method for manufacturing acoustic wave device | |
JP2006270170A (ja) | 弾性表面波素子及び弾性表面波素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7199195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |