JP7075150B1 - デュプレクサ - Google Patents

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Abstract

【課題】より矩形に近く、低損失で急峻性に優れた通過帯域特性を持つ多重モード型共振 器を用いたデュプレクサおよびそのデュプレクサを備えるモジュールを提供する。【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える受信フィルタと、前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える送信フィルタとを備え、前記受信フィルタの共振器の一つは、両端に一対の反射器が隣接する複数のIDT電極を備える多重モード型弾性波共振器であって、前記多重モード型弾性波共振器は、前記圧電基板上に形成された前記多重モード型弾性波共振器以外のすべての共振器の平均容量の2倍以上の容量を有する、デュプレクサ【選択図】図2

Description

本開示は、デュプレクサに関連する。
近年の技術的進歩により、移動体通信端末に代表されるスマートフォンなどは、目覚ましく小型化、軽量化されている。このような移動通信端末に用いられるデュプレクサとしては、小型化が可能なデュプレクサが用いられている。また、移動体通信システムとして、同時送受信する通信システムが急増しデュプレクサの需要が急増している。
これらの状況によって、デュプレクサの受信側のフィルタとして不平衡―平衡変換機能を有する多重モード型共振器が使用されている。さらには移動通信システムの変化に伴い、デュプレクサの要求仕様がより厳しくなってきている。すなわち、従来に比してより矩形に近く、低損失で急峻性に優れた通過帯域特性を持つ多重モード型共振器が必要となっている。
特許文献1には、デュプレクサに関する技術の一例が開示されている。
特開2020-43404号
しかしながら、特許文献1に開示の技術を採用しても、十分な通過帯域特性を持つ多重モード型共振器を用いたデュプレクサを提供することができない。本開示は、より矩形に近く、低損失で急峻性に優れた通過帯域特性を持つ多重モード型共振器を用いたデュプレクサを提供することを目的とする。
本開示にかかるデュプレクサは、圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える受信フィルタと、
前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える送信フィルタと
を備え、
前記受信フィルタの共振器の一つは、両端に一対の反射器が隣接する複数のIDT電極を備える多重モード型弾性波共振器であって、前記多重モード型弾性波共振器は、前記圧電基板上に形成された前記多重モード型弾性波共振器以外のすべての共振器の平均容量の2倍以上の容量を有する、デュプレクサとした。
前記受信フィルタの通過帯域は、前記送信フィルタの通過帯域よりも周波数が低いことが、本開示の一形態とされる。
前記多重モード型弾性波共振器は、前記受信フィルタの他の共振器の平均容量の3倍以上の容量を有することが、本開示の一形態とされる。
前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
前記第3のIDT電極の対数は、前記第1のIDT電極、前記第2のIDT電極、前記第4のIDT電極および前記第5のIDT電極の対数の合計よりも多いことが、本開示の一形態とされる。
前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
前記第1のIDT電極の対数は、前記第5のIDT電極の対数と同等であることが、本開示の一形態とされる。
前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
前記第2のIDT電極の対数は、前記第4のIDT電極の対数と同等であることが、本開示の一形態とされる。
前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、前記多重モード型弾性波共振器と電気的に接続される配線パターンは、第1金属層、前記第1金属層上に形成された第2金属層および前記第1金属層と前記第2金属層の間に形成された絶縁体を含み、前記第1金属層は、前記第3のIDT電極の信号ラインに囲まれ、かつ、絶縁されたアイランドパターンを有し、前記アイランドパターンは、前記第2金属層を介して前記第2のIDT電極および前記第4のIDT電極のグランドラインと電気的に接続されていることが、本開示の一形態とされる。
前記圧電基板は、前記受信フィルタおよび前記送信フィルタが形成された面とは反対の主面に、サファイア、シリコン、アルミナ、スピネル、水晶またはガラスからなる基板が接合されていることが、本開示の一形態とされる。
前記送信フィルタは、ラダー型に配置された複数の共振器を備えることが、本開示の一形態とされる。
前記受信フィルタが形成された領域の前記圧電基板上に占める面積は、前記送信フィルタが形成された領域の前記圧電基板上に占める面積よりも小さいことが、本開示の一形態とされる。
前記デュプレクサを備えるモジュールが、本開示の一形態とされる。
本開示によれば、より矩形に近く、低損失で急峻性に優れた通過帯域特性を持つ多重モード型共振器を用いたデュプレクサを提供することができる。
実施の形態1におけるデュプレクサ1の断面図である。 実施の形態1における圧電基板5上の構成例を示す図である。 共振器の構造例を説明するための図である。 実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの通過特性を示す図である。 実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの通過帯域のVSWR(Voltage Standing Wave Ratio:電圧定在波比)特性を示す図である。 実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの入力パッドからみた複素インピーダンスを表すスミスチャートである。 実施の形態1にかかるデュプレクサ1の帯域特性を示す図である。 図2において一点鎖線で囲われた領域FIG.8の構成を説明するための図である。 実施の形態2におけるモジュール100の断面図である。
実施の形態について添付の図面に従って説明する。なお、各図中、同一または相当する部分には同一の符号が付される。当該部分の重複説明は適宜に簡略化乃至省略される。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1におけるデュプレクサ1の断面図である。
図1に示されるように、本実施例にかかるデュプレクサ1は、配線基板3と、配線基板3上に実装された、圧電基板5を備える。
配線基板3は、例えば、樹脂からなる多層基板、または、複数の誘電体層からなる低温同時焼成セラミックス(Low Temperature Co-fired Ceramics:LTCC)多層基板等が用いられる。また、配線基板3は、複数の外部接続端子31を備える。
圧電基板5上には、複数の共振器を備える受信フィルタと、複数の共振器を備える送信フィルタが形成されている。受信フィルタと送信フィルタは、所望の周波数帯域の電気信号が通過するように構成されたバンドパスフィルタである。
一つの圧電基板5に、受信フィルタと送信フィルタが構成されていることにより、デュプレクサを小型化することができる。
圧電基板5は、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムまたは水晶などの圧電単結晶、あるいは圧電セラミックスからなる基板を用いることができる。
圧電基板5は、支持基板6が接合されてもよい。支持基板6は、例えば、サファイア基板、アルミナ基板、スピネル基板またはシリコン基板を用いることができる。
配線基板3上に、複数の電極パッド9が形成されている。電極パッド9は、例えば、銅または銅を含む合金を用いることができる。また、電極パッド9は、例えば、10μm~20μmの厚みとすることができる。
圧電基板5を覆うように、封止部17が形成されている。封止部17は、例えば、合成樹脂等の絶縁体により形成してもよく、金属を用いてもよい。合成樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミドなどを用いることができるが、これらに限るものではない。好ましくは、エポキシ樹脂を用い、低温硬化プロセスを用いて封止部17を形成する。
圧電基板5は、バンプ15を介して、配線基板3にフリップチップボンディングにより実装されている。
バンプ15は、例えば、金バンプを用いることができる。バンプ15の高さは、例えば、20μmから50μmである。
電極パッド9は、バンプ15を介して、圧電基板5と電気的に接続されている。
図2は、実施の形態1における圧電基板5上の構成例を示す図である。
図2に示されるように、一つの圧電基板5上に、複数の共振器からなる受信フィルタRxBPFと複数の共振器からなる送信フィルタTxBPFが形成されている。これにより、一つの圧電基板でデュプレクサとしてのデュプレクサを提供することができる。
図2に示されるように、受信フィルタRxBPFを構成する複数の共振器は、共振器Rx1~Rx5および多重モード型共振器7からなる。送信フィルタTxBPFを構成する複数の共振器は、共振器S1~S5および共振器P1~P5からなる。
ここで、共振器Rx1の容量は4.34pF、共振器Rx2の容量は4.18pF、共振器Rx3の容量は3.23pF、共振器Rx4の容量は5.25pF、共振器Rx5の容量は1.13pF、多重モード型共振器7の容量は16.35pFである。なお、多重モード型共振器7の第3のIDT電極73の容量は9.01pFである。また、共振器S1の容量は2.84pF、共振器S2の容量は3.27pF、共振器S3の容量は1.89pF、共振器S4の容量は2.34pF、共振器S5の容量は1.82pF、共振器P1の容量は3.48pF、共振器P2の容量は6.04pF、共振器P3の容量は5.19pF、共振器P4の容量は2.36pFである。
多重モード型共振器7の容量は、他の共振器の平均容量3.38pFの2倍以上である。また、第3のIDT電極73の容量は、他の共振器の平均容量の2倍以上である。これにより、インピーダンス整合が改善され、低損失なデュプレクサを提供することができる。また、急峻な右肩特性を有する受信フィルタを含むデュプレクサを提供することができる。
多重モード型共振器7の容量は、受信フィルタの他の共振器の平均容量3.63pFの3倍以上である。また、第3のIDT電極73の容量は、受信フィルタの他の共振器の平均容量の2倍以上である。これにより、インピーダンス整合が改善され、低損失なデュプレクサを提供することができる。また、急峻な右肩特性を有する受信フィルタを含むデュプレクサを提供することができる。
図2に示されるように、受信フィルタRxBPFの入力パッドIn(Rx)と送信フィルタTxBPFの出力パッドOut(Tx)は、共通パッドとなっている。受信フィルタRxBPFの出力パッドOut(Rx)と送信フィルタTxBPFの入力パッドIn(Tx)は、圧電基板5上において、最も離れた配置とすることが望ましい。受信フィルタRxBPFと送信フィルタTxBPF間の干渉を低減することができ、デュプレクサの特性が向上するからである。
また、一つの圧電基板5上での受信フィルタRxBPFと送信フィルタTxBPFの設計において、受信フィルタRxBPFは、省スペースで通過帯域外の抑圧を確保するため、多重モード型フィルタが望ましく、送信フィルタTxBPFは、耐電力を確保するため、ラダー型フィルタとすることが望ましい。
さらには、送信フィルタTxBPFは、耐電力を確保するため、圧電基板5上の使用面積を大きくすることが望ましい。つまり、受信フィルタRxBPFが形成された領域の圧電基板5上に占める面積は、送信フィルタTxBPFが形成された領域の圧電基板5上に占める面積よりも小さくすることが望ましい。
受信フィルタRxBPFは、多重モード型共振器7を含む。多重モード型共振器7は、第1のIDT電極71、第2のIDT電極72、第3のIDT電極73、第4のIDT電極74および第5のIDT電極75を備える。第1のIDT電極71および第5のIDT電極75の隣には、反射器Rがそれぞれ隣接して配置されている。
本実施例において、第1のIDT電極71の対数は、22である。また、第2のIDT電極72の対数は、18である。また、第3のIDT電極73の対数は、96.5である。また、第4のIDT電極74の対数は、18である。また、第5のIDT電極75の対数は、22である。すなわち、第3のIDT電極73の対数は、第1のIDT電極71、第2のIDT電極72、第4のIDT電極74および第5のIDT電極75の対数の合計よりも多い。
第1のIDT電極71の対数と第5のIDT電極75の対数は18で、同等である。また、第2のIDT電極72の対数と第4のIDT電極74の対数は22で、同等である。
圧電基板5上に、複数の配線パターン54が形成されている。配線パターン54は、各共振器と電気的に接続されている。配線パターン54は、入力パッドIn、出力パッドOutおよびグランドパッドGNDを構成する配線を含んでいる。
配線パターン54は、第1金属層と第2金属層(図2においては図示しない)を含み、第1金属層と第2金属層との間に、絶縁体(図2においては図示しない)が形成されている。絶縁体は、例えば、ポリイミドを用いることができる。絶縁体は、例えば、1000nmの膜厚で形成する。
配線パターン54は、絶縁体を介して第1金属層と第2金属層とが立体的に交差するように配線される、立体配線部58を有する。
共振器および配線パターン54は、例えば、銀、アルミニウム、銅、チタン、パラジウムなどの適宜の金属もしくは合金により形成することができる。また、これらの金属パターンは、複数の金属層を積層してなる積層金属膜により形成されてもよい。共振器および配線パターン54は、その厚みが、例えば、150nmから400nmとすることができる。
入力パッドIn(Rx)から入力された電気信号は、受信フィルタを通過し、所望の周波数帯域の電気信号が、出力パッドOut(Rx)に出力される。出力パッドOut(Rx)に出力された電気信号は、バンプ15および電極パッド9を介して、配線基板3の外部接続端子31から出力される。
入力パッドIn(Tx)から入力された電気信号は、送信フィルタを通過し、所望の周波数帯域の電気信号が、出力パッドOut(Tx)に出力される。出力パッドOut(Tx)に出力された電気信号は、バンプ15および電極パッド9を介して、配線基板3の外部接続端子31から出力される。
図3は、共振器の構造例を説明するための図である。
図3に示されるように、圧電基板5上に、弾性表面波を励振するIDT(Interdigital Transducer)52aと反射器Rが形成されている。IDT52aは、互いに対向する一対の櫛形電極52cを有する。櫛形電極52cは、複数の電極指52dと複数の電極指52dを接続するバスバー52eを有する。反射器Rは、IDT52aの両側に設けられている。
IDT52aおよび反射器Rは、例えば、アルミニウムと銅の合金からなる。IDT52aおよび反射器Rは、その厚みが、例えば、150nmから400nmの薄膜である。IDT52aおよび反射器Rは、他の金属、例えば、チタン、パラジウム、銀などの適宜の金属もしくはこれらの合金を含んでもよく、これらの合金により形成されてもよい。また、IDT52aおよび反射器Rは、複数の金属層を積層してなる積層金属膜により形成されてもよい。
図4は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの通過特性を示す図である。
実線で示された波形は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFの通過特性を示す。また、破線で示された波形は、比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの通過特性を示す。比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの多重モード型共振器は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタの多重モード型共振器(開口長を31.56λとした。)と第1~第5のIDT電極の対数を同じとし、開口長を18.94λとし、容量を9.81pFとした。その他の条件は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタと同様とした。
図4に示されるように、実施の形態1の通過帯域の特性は、比較例よりも低損失で優れた特性であり、また、通過帯域外となる820MHz付近よりも高周波となる領域から、実施の形態1の減衰特性が優れていることがわかる。
図5は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの通過帯域のVSWR(Voltage Standing Wave Ratio:電圧定在波比)特性を示す図である。
実線で示された波形は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFのVSWR特性を示す。また、破線で示された波形は、比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタのVSWR特性を示す。
図5に示されるように、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFの通過帯域のVSWR特性は、比較例よりも低損失で優れた特性であることがわかる。
図6は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFと比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタの入力パッドからみた複素インピーダンスを表すスミスチャートである。
実線で示された波形は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFのインピーダンス特性を示す。また、破線で示された波形は、比較例にかかるデュプレクサの受信フィルタのインピーダンス特性を示す。
図6に示されるように、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の受信フィルタRxBPFのインピーダンス特性は、比較例よりもインピーダンス整合に優れた特性であることがわかる。
図7は、実施の形態1にかかるデュプレクサ1の帯域特性を示す図である。
図7に示されるように、実施の形態1にかかるデュプレクサ1は、受信フィルタRxBPFの通過帯域Rxが、送信フィルタTxBPFの通過帯域Txよりも周波数が低い。このような周波数関係にあるデュプレクサにおいては、受信フィルタは、受信フィルタの通過帯域Rxの高周波側に急峻な抑圧を求められる。一般に、多重モード型フィルタは、通過帯域の高周波側の抑圧を急峻とすることが難しいが、本開示によれば、このような周波数関係にあるデュプレクサであっても、受信フィルタの通過帯域、送信フィルタの通過帯域ともに、優れた通過特性を得られる。
図8は、図2において一点鎖線で囲われた領域FIG.8の構成を説明するための図である。
図8に示されるように、圧電基板5上に、第1金属層54M1が形成されている。また、第1金属層54M1である、第3のIDT電極73の信号ラインL73に囲まれ、かつ、絶縁されているアイランドパターンIPが形成されている。
第2のIDT電極72と第4のIDT電極74のグランドラインGLが形成されている。また、グランドラインGLとアイランドパターンIPを電気的に接続する第2金属層54M2が形成されている。また、第2金属層54M2と信号ラインL73の間に、絶縁体56が形成されている。
このように、信号ラインL73、絶縁体56および第2金属層54M2は、立体的に配線される立体配線部58を構成している。
本開示の第3のIDT電極73は、幅が大きいため、絶縁体56が剥離するという問題が生じた。そこで、発明者は、第3のIDT電極73への配線にかかる立体配線を分割して、複数の立体配線により配線を行うことで、絶縁体56が剥離するという問題を解決した。
また、図8に示されるように、アイランドパターンIPを2つ形成して、立体配線部58を3つ形成してもよいし、アイランドパターンIPを1つ形成して立体配線部58を2つ形成してもよい。アイランドパターンIPを1つ形成するときは、必要に応じて長くするなどしてもよい。
ここで、絶縁体56の厚みや面積如何により、立体配線部58は信号ラインL73とグランドラインGLである第2金属層54M2との間に寄生容量が生じ、バンドパスフィルタの特性に影響がでてしまう場合がある。絶縁体56の厚みを厚くするほど、寄生容量は少なくなる一方で、絶縁体56が剥離しやすくなる。また、絶縁体56の面積を大きくするほど、剥離しにくくなるが、寄生容量は大きくなる。
また、アイランドパターンIPを長くとると、寄生容量を低減できるが、長くしすぎると、信号ラインL73の配線パターン54が狭くなり、抵抗値が増大することを考慮する。
本開示の構成によれば、絶縁体56の剥離や寄生容量による特性劣化を防止しつつ、最適化した設計をすることができる。本開示の構成によれば、設計の自由度が高く、優れた特性のデュプレクサを提供することができる。
実施の形態2.
図9は、実施の形態2におけるモジュール100の断面図である。
図9に示されるように、配線基板130の主面上に、デュプレクサ1が実装されている。デュプレクサ1は、実施の形態1で説明した構成を採用したデュプレクサである。配線基板130は、複数の外部接続端子131を有している。複数の外部接続端子131は、所定の移動通信端末のマザーボードに実装される構成となっている。
配線基板130の主面上に、インピーダンスマッチングのため、インダクタ111が実装されている。インダクタ111は、Integrated Passive Device(IPD)とすることができる。モジュール100は、デュプレクサ1を含む複数の電子部品を封止するための封止部117により、封止されている。
配線基板130の内部に、集積回路部品ICが実装されている。集積回路部品ICは、図示はしないが、スイッチング回路、ローノイズアンプを含む。
その他の構成は、実施の形態1で説明した内容と重複するため、省略する。
以上説明した本開示の実施形態によれば、より矩形に近く、低損失で急峻性に優れた通過帯域特性を持つ多重モード型共振器を用いたデュプレクサおよびそのデュプレクサを備えるモジュールを提供することすることができる。
なお、当然のことながら、本開示は以上に説明した実施態様に限定されるものではなく、本開示の目的を達成し得るすべての実施態様を含むものである。
また、少なくとも一つの実施形態のいくつかの側面を上述したが、様々な改変、修正および改善が当業者にとって容易に想起されることを理解されたい。かかる改変、修正および改善は、本開示の一部となることが意図され、かつ、本開示の範囲内にあることが意図される。理解するべきことだが、ここで述べられた方法および装置の実施形態は、上記説明に記載され又は添付図面に例示された構成要素の構造および配列の詳細への適用に限られない。方法および装置は、他の実施形態で実装し、様々な態様で実施又は実行することができる。特定の実装例は、例示のみを目的としてここに与えられ、限定されることを意図しない。また、ここで使用される表現および用語は、説明目的であって、限定としてみなすべきではない。ここでの「含む」、「備える」、「有する」、「包含する」およびこれらの変形の使用は、以降に列挙される項目およびその均等物並びに付加項目の包括を意味する。「又は(若しくは)」の言及は、「又は(若しくは)」を使用して記載される任意の用語が、当該記載の用語の一つの、一つを超える、およびすべてのものを示されるように解釈され得る。前後左右、頂底上下、および横縦への言及はいずれも、記載の便宜を意図しており、本開示の構成要素がいずれか一つの位置的又は空間的配向に限られるものではない。したがって、上記説明および図面は例示にすぎない。
1 デュプレクサ
3 130 配線基板
5 105 圧電基板
7 多重モード型共振器
9 電極パッド
15 バンプ
17 117 封止部
31 131 外部接続端子
52 弾性波素子
54 配線パターン
54M1 第1金属層
54M2 第2金属層
56 絶縁体
IP アイランドパターン
GL グランドライン
71 第1のIDT電極
72 第2のIDT電極
73 第3のIDT電極
L73 信号ライン
74 第4のIDT電極
75 第5のIDT電極
100 モジュール
111 インダクタ
112 第2のインダクタ
IC 集積回路部品



Claims (11)

  1. 圧電基板と、
    前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える受信フィルタと、
    前記圧電基板上に形成され、複数の共振器を備える送信フィルタと
    を備え、
    前記受信フィルタの共振器の一つは、両端に一対の反射器が隣接する複数のIDT電極を備える多重モード型弾性波共振器であって、前記多重モード型弾性波共振器は、前記圧電基板上に形成された前記多重モード型弾性波共振器以外のすべての共振器の平均容量の2倍以上の容量を有する、デュプレクサ。
  2. 前記受信フィルタの通過帯域は、前記送信フィルタの通過帯域よりも周波数が低い、請求項1に記載のデュプレクサ。
  3. 前記多重モード型弾性波共振器は、前記受信フィルタの他の共振器の平均容量の3倍以上の容量を有する、請求項1または2に記載のデュプレクサ。
  4. 前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
    前記第3のIDT電極の対数は、前記第1のIDT電極、前記第2のIDT電極、前記第4のIDT電極および前記第5のIDT電極の対数の合計よりも多い、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  5. 前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
    前記第1のIDT電極の対数は、前記第5のIDT電極の対数と同等である、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  6. 前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、
    前記第2のIDT電極の対数は、前記第4のIDT電極の対数と同等である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  7. 前記多重モード型共振器は、第1のIDT電極、第2のIDT電極、第3のIDT電極、第4のIDT電極および第5のIDT電極がこの順で隣接して配置された5つのIDT電極を備え、前記多重モード型弾性波共振器と電気的に接続される配線パターンは、第1金属層、前記第1金属層上に形成された第2金属層および前記第1金属層と前記第2金属層の間に形成された絶縁体を含み、前記第1金属層は、前記第3のIDT電極の信号ラインに囲まれ、かつ、絶縁されたアイランドパターンを有し、前記アイランドパターンは、前記第2金属層を介して前記第2のIDT電極および前記第4のIDT電極のグランドラインと電気的に接続されている請求項1乃至6のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  8. 前記圧電基板は、前記受信フィルタおよび前記送信フィルタが形成された面とは反対の主面に、サファイア、シリコン、アルミナ、スピネル、水晶またはガラスからなる基板が接合されている請求項1乃至7のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  9. 前記送信フィルタは、ラダー型に配置された複数の共振器を備える請求項1乃至8のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  10. 前記受信フィルタが形成された領域の前記圧電基板上に占める面積は、前記送信フィルタが形成された領域の前記圧電基板上に占める面積よりも小さい請求項1乃至9のいずれか一項に記載のデュプレクサ。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一項に記載のデュプレクサを備えるモジュール。
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