JP7364197B2 - 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール - Google Patents
弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP7364197B2 JP7364197B2 JP2022014182A JP2022014182A JP7364197B2 JP 7364197 B2 JP7364197 B2 JP 7364197B2 JP 2022014182 A JP2022014182 A JP 2022014182A JP 2022014182 A JP2022014182 A JP 2022014182A JP 7364197 B2 JP7364197 B2 JP 7364197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- wave device
- acoustic wave
- layer
- metal layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims description 3
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 85
- WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N aluminum copper Chemical compound [Al].[Cu] WPPDFTBPZNZZRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000013035 low temperature curing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02551—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of quartz substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
Description
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されたIDT電極と
を備え、
前記IDT電極は、
濃度が99重量%以上である第1金属からなる第1金属層と、
濃度が95重量%以上99重量%未満である前記第1金属と第2金属の合金からなる第2金属層を含み、
前記第1金属層と前記第2金属層は、それぞれ複数層形成され、
前記第1金属層と前記第2金属層は、交互に積層されており、
前記第1金属層と前記第2金属層の厚みの比率は、3:2~29:32である弾性波デバイスとした。
図1は実施の形態1における弾性波デバイスの縦断面図である。
図7は、実施の形態2の弾性波デバイスが適用されるモジュールの縦断面図である。なお、実施の形態1の部分と同一又は相当部分には同一符号が付される。当該部分の説明は省略される。
3 配線基板
5 デバイスチップ、
11 圧電基板
21 支持基板
9 電極パッド
15 バンプ
16 空隙
17 封止部
31 外部接続端子
52 弾性波素子、 52a IDT、 52b 反射器、 52c 櫛形電極、 52d 電極指
100 モジュール、 111 インダクタ、 117 封止部、 130 配線基板、 131 外部接続端子、 IC 集積回路部品
Claims (12)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されたIDT電極と
を備え、
前記IDT電極は、
濃度が99重量%以上である第1金属からなる第1金属層と、
濃度が95重量%以上99重量%未満である前記第1金属と第2金属の合金からなる第2金属層を含み、
前記第1金属層と前記第2金属層は、それぞれ複数層形成され、
前記第1金属層と前記第2金属層は、交互に積層されており、
前記第1金属層と前記第2金属層の厚みの比率は、3:2~29:32である弾性波デバイス。 - 前記第1金属は、前記第2金属よりも電気抵抗率が高い請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2金属層の合計の厚みは、前記第1金属層の合計の厚みよりも厚い請求項1または2に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1金属と前記第2金属よりも電気抵抗率が高い第3金属からなるボトム層を含む請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1金属層と前記第2金属層の合計の厚みは、前記IDT電極の厚みの半分以上4分の3以下である請求項1から4のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1金属は、アルミニウム、モリブデン、イリジウム、タングステン、コバルト、ニッケルまたはルテニウムからなる請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第3金属は、クロム、ストロンチウムまたはチタンからなる請求項4に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2金属層は、前記第1金属の濃度が95重量%以上97.5重量%以下である請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第2金属層は、前記第1金属がアルミニウムであり、前記第2金属が銅である請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムの単結晶からなる基板である請求項1から9のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板の前記IDT電極が形成された主面とは反対の主面に支持基板を備え、前記支持基板は、サファイア、シリコン、アルミナ、スピネル、水晶またはガラスからなる基板である請求項1から10のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを備えるモジュール。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022014182A JP7364197B2 (ja) | 2022-02-01 | 2022-02-01 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
CN202310092046.XA CN116545404A (zh) | 2022-02-01 | 2023-01-30 | 弹性波装置及包含所述弹性波装置的模块 |
JP2023144024A JP2023162413A (ja) | 2022-02-01 | 2023-09-05 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022014182A JP7364197B2 (ja) | 2022-02-01 | 2022-02-01 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023144024A Division JP2023162413A (ja) | 2022-02-01 | 2023-09-05 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023112408A JP2023112408A (ja) | 2023-08-14 |
JP7364197B2 true JP7364197B2 (ja) | 2023-10-18 |
Family
ID=87449446
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022014182A Active JP7364197B2 (ja) | 2022-02-01 | 2022-02-01 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
JP2023144024A Pending JP2023162413A (ja) | 2022-02-01 | 2023-09-05 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023144024A Pending JP2023162413A (ja) | 2022-02-01 | 2023-09-05 | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7364197B2 (ja) |
CN (1) | CN116545404A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001524295A (ja) | 1997-05-09 | 2001-11-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 分離されたくし形電極を含む表面弾性波デバイス |
JP2002368568A (ja) | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2003188672A (ja) | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置とその製造方法 |
JP2003198323A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2003243961A (ja) | 2002-02-15 | 2003-08-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2005286871A (ja) | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
WO2015022931A1 (ja) | 2013-08-14 | 2015-02-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、電子部品、および弾性波装置の製造方法 |
JP2018191112A (ja) | 2017-05-01 | 2018-11-29 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
JP6956438B1 (ja) | 2021-03-05 | 2021-11-02 | 三安ジャパンテクノロジー株式会社 | 弾性波デバイスチップ、弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスチップまたは弾性波デバイスを備えるモジュール |
-
2022
- 2022-02-01 JP JP2022014182A patent/JP7364197B2/ja active Active
-
2023
- 2023-01-30 CN CN202310092046.XA patent/CN116545404A/zh active Pending
- 2023-09-05 JP JP2023144024A patent/JP2023162413A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001524295A (ja) | 1997-05-09 | 2001-11-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 分離されたくし形電極を含む表面弾性波デバイス |
JP2002368568A (ja) | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2003188672A (ja) | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置とその製造方法 |
JP2003198323A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2003243961A (ja) | 2002-02-15 | 2003-08-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JP2005286871A (ja) | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
WO2015022931A1 (ja) | 2013-08-14 | 2015-02-19 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、電子部品、および弾性波装置の製造方法 |
JP2018191112A (ja) | 2017-05-01 | 2018-11-29 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
JP6956438B1 (ja) | 2021-03-05 | 2021-11-02 | 三安ジャパンテクノロジー株式会社 | 弾性波デバイスチップ、弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスチップまたは弾性波デバイスを備えるモジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023112408A (ja) | 2023-08-14 |
JP2023162413A (ja) | 2023-11-08 |
CN116545404A (zh) | 2023-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6956438B1 (ja) | 弾性波デバイスチップ、弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスチップまたは弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP7364197B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP6940085B1 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7370546B1 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7378105B1 (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP7370547B1 (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP7370542B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7055503B1 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7282343B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP7055492B1 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2020115616A (ja) | フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP7364196B2 (ja) | 弾性波デバイス、モジュール | |
JP7055499B1 (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP2023026938A (ja) | デュプレクサ | |
JP2022151393A (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
JP2022138735A (ja) | 弾性波デバイス、その弾性波デバイスを備えるモジュール、およびその弾性波デバイスの製造方法 | |
JP2024061013A (ja) | ラダー型フィルタおよびそのラダー型フィルタを備えるデュプレクサおよびモジュール | |
JP2022169399A (ja) | 弾性波デバイス、その弾性波デバイスを備えるモジュール、およびその弾性波デバイスの製造方法 | |
JP2022051614A (ja) | モジュール | |
JP2023105340A (ja) | 弾性波デバイスおよびその弾性波デバイスを備えるモジュール | |
CN114531132A (zh) | 弹性波装置及包含所述弹性波装置的模组 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230626 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230808 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7364197 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |