JP7231368B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
図9は、実施例1の変形例1に係る弾性波デバイスの貫通電極付近の平面図、図10(a)および図10(b)は、図9のA-A断面図およびB-B断面図である。図9から図10(b)に示すように、金属層37aは実施例1より内側に設けられている。圧電基板11aは圧電基板11に接続されている。金属層37aと圧電基板11との間に環状金属層37および圧電基板11aが設けられていない。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。実施例1の変形例1のように、金属層37aおよび貫通電極15は、封止部30が接合層34に接合する領域に少なくとも一部が重なっていればよい。
図11は、実施例1の変形例2に係る弾性波デバイスの断面図である。図11に示すように、基板20が設けられていない。リッド36は平板でなく、周縁部が中央部より下方に位置している。保護膜38が設けられていない。リッド36は、金属板36cと金属板36cの下面に設けられた絶縁膜36dとを有する。金属板36cは、例えばコバール板または鉄ニッケル合金板である。絶縁膜36dは、例えば酸化シリコン膜である。
図12は、実施例1の変形例3に係る弾性波デバイスの断面図である。図12に示すように、基板20が設けられていない。封止部30aは樹脂である。配線16の絶縁膜32および接合層34は設けられていない。リッド36は、絶縁板36aと絶縁板36aの下面に設けられた導電膜36bとを有する。絶縁板36aは、例えばサファイア基板、アルミナ基板、タンタル酸リチウム基板、ニオブ酸リチウム基板またはシリコン基板である。導電膜36bは、例えばチタン膜等の密着膜である。
図13(a)および図13(b)は、比較例1における基板の平面図である。図13(a)は基板10の平面図であり、図13(b)は、基板20の平面図(上から透視した図)である。図13(a)および図13(b)のように、比較例1では、貫通電極15は基板10の周縁の封止部とは重なっていない。このため、貫通電極15およびパッドが基板10の面積により、基板10および20の面積が大きくなってしまう。また、送信端子Txおよび受信端子Rx用の貫通電極15間の距離L1が短くなる。これにより、送信端子Txと受信端子Rxとの間のアイソレーション特性が劣化する。例えば、送信端子Txに入力した受信帯域の信号が受信端子Rxに漏れてしまう。
10a 支持基板
11、11a 圧電基板
12、22 弾性波共振器
14 端子
15、15a 貫通電極
16、26 配線
17、17a 絶縁膜
25 空隙
28 バンプ
30、30a 封止部
32 絶縁膜
34 接合層
36 リッド
Claims (9)
- 第1面と前記第1面の反対の第2面とを有する第1基板と、
前記第1面に設けられた弾性波素子と、
前記第1基板を貫通する貫通孔を介し前記弾性波素子と前記第2面に設けられた金属部とを電気的に接続する配線部と、
金属封止部であり、前記弾性波素子を囲むように前記第1面上に設けられ、平面視において前記貫通孔の少なくとも一部と重なり、前記弾性波素子を空隙に封止する封止部と、
前記封止部と前記配線部との間に設けられ、前記封止部と前記配線部とを絶縁する第1絶縁膜と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記第1基板は、前記第2面を有する支持基板と前記支持基板上に接合され前記第1面を有する圧電基板とを備え、
前記弾性波素子を囲み、前記支持基板上の前記圧電基板が除去された領域に設けられ、前記封止部が接合する環状金属層を備え、
前記貫通孔は前記環状金属層を貫通し、前記貫通孔と前記環状金属層との間に前記圧電基板が設けられている請求項1に記載の弾性波デバイス。 - 前記環状金属層は、平面視において、前記圧電基板を挟み前記貫通孔を囲むように設けられ、
前記第1基板の厚さ方向において前記配線部と前記環状金属層とは重なり、
前記配線部と前記環状金属層とが重なる領域における前記配線部と前記環状金属層との間に設けられ、前記配線部と前記環状金属層とを絶縁する第2絶縁膜を備える請求項2に記載の弾性波デバイス。 - 前記支持基板を貫通し前記環状金属層と前記第2面とを電気的に接続する貫通電極を備え、
前記封止部は、前記環状金属層と電気的に接続される請求項2または3に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1絶縁膜上および前記環状金属層上に設けられ、前記第1絶縁膜が設けられていない領域において前記環状金属層と電気的に接続され、前記封止部が接合する接合層を備え、
前記封止部は半田封止部であり、
前記封止部と前記接合層とが接合する領域は、前記第1基板の厚さ方向において前記貫通孔の少なくとも一部と重なる請求項2または3に記載の弾性波デバイス。 - 前記第1基板上に前記空隙を介し対向する第2基板を備え、
前記封止部は前記第2基板を囲むように設けられる請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 共通端子と第1端子との間に電気的に接続された第1フィルタと、
前記共通端子と第2端子との間に電気的に接続された第2フィルタと、
を備え、
前記第1フィルタおよび前記第2フィルタの少なくとも一方は前記弾性波素子を含み、
前記共通端子、前記第1端子および前記第2端子は、各々前記金属部である請求項1から6のいずれか一項に弾性波デバイス。 - 前記第1端子および前記第2端子は前記第2面に設けられ、
前記貫通孔は、前記第1端子に接続する第1貫通孔と、前記第2端子に接続する第2貫通孔を有し、
前記第1貫通孔は、前記第1基板の対向する一対の側面のうち、一方の側面側に設けられ、前記第2貫通孔は前記一対の側面のうち、他方の側面側に設けられている請求項7に記載の弾性波デバイス。 - 前記封止部上に設けられ、前記封止部とで前記弾性波素子を前記空隙に封止するリッドを備える請求項1から8のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
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