JP6534406B2 - マルチプレクサ - Google Patents
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Description
実施例1の効果を調べるため、実施例1と比較例1から3を作製した。図6は、比較例1に係るマルチプレクサの断面図である。図6に示すように、基板60上に基板10および20がバンプ26を介し搭載されている。基板60は、積層された絶縁層60aおよび60bを含む。基板60の上面に配線64、下面に端子68が設けられている。内部配線66は、ビア配線66a、66bおよび配線66cを含み、配線64と端子68を電気的に接続する。
図8は、比較例2に係るマルチプレクサの断面図である。図9(a)は、比較例2における基板10の上面を示す平面図、図9(b)は、基板20の下面を上から透視した平面図である。図8から図9(b)に示すように、平面視において弾性波共振器12と22が重なるように設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図10は、比較例3に係るマルチプレクサの断面図である。図11(a)は、比較例3における基板10の上面を示す平面図、図11(b)は、基板20の下面を上から透視した平面図である。図10から図11(b)に示すように、平面視において弾性波共振器12と22は重なっていない。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
フィルタ50:バンド7の受信フィルタ
フィルタ52:バンド7の送信フィルタ
支持基板10a:厚さが100μmのサファイア基板
圧電基板10b:膜厚が20nmのタンタル酸リチウム基板
弾性波共振器12:弾性表面波共振器
配線14:膜厚が1μmの金層
ビア配線16:銅層
端子18:基板10側から膜厚が2、5および1μの銅層、ニッケル層および金層
基板20:厚さが150μmのシリコン基板
弾性波共振器22:圧電膜が窒化アルミニウムの圧電薄膜共振器
配線24:膜厚が1μmの金層
バンプ26:高さが15μmの金バンプ
封止部30:錫銀半田
環状電極32:膜厚が5μmのニッケル膜
リッド34:厚さが20μmのコバール
保護膜36:膜厚が10μmのニッケル膜
基板10:厚さが150μmのタンタル酸リチウム基板
絶縁層60a、60b:膜厚75μmのアルミナセラミックス
配線64:膜厚が20μmのフラッシュ金めっきしたタングステン層
内部配線66:タングステン層
端子68:膜厚が20μmのフラッシュ金めっきしたタングステン層
図14は、実施例1の変形例1に係るマルチプレクサの平面図である。基板10に基板20の弾性波共振器22および配線24を重ねて図示している。図14に示すように、基板10の上面に弾性波共振器12および配線14が設けられている。パッドPantとPt1との間に直列共振器S11からS13が直列に並列共振器P11からP14が並列に接続されている。直列共振器S11は直列に3分割されている。並列共振器P12およびP13は各々並列に2分割されている。基板20の下面に弾性波共振器22および配線24が設けられている。パッドPantとPt2との間に直列共振器S21からS23が直列に並列共振器P21およびP22が並列に接続されている。直列共振器S23は直列に2つの直列共振器S23に分割されている。直列共振器S11の一部と直列共振器S21の一部が平面視において重なっている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図15は、実施例1の変形例2に係るマルチプレクサの平面図である。基板10に基板20の弾性波共振器22および配線24を重ねて図示している。図15に示すように、並列共振器P11の一部が並列共振器P21の一部に重なり、直列共振器S11の一部が並列共振器P21の一部および直列共振器S21の一部に重なる。その他の構成は実施例1の変形例1と同じであり説明を省略する。
図16は、実施例1の変形例3に係るマルチプレクサの平面図である。基板10に形成されたフィルタ50のパッド間が基板20の配線24を介し接続されている。その他の構成は実施例1の変形例1と同じであり説明を省略する。
12、22 弾性波共振器
14、24 配線
16 ビア配線
18 端子
26 バンプ
28 空隙
Claims (11)
- 第1面を有する第1基板と、
前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有する第2基板と、
前記第1面に設けられかつ共通端子と第1端子との間に接続された複数の第1共振器を含む第1フィルタと、
前記第2面に設けられかつ前記共通端子と第2端子との間に接続された複数の第2共振器を含み、前記複数の第1共振器のうち前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続されかつ最も前記共通端子に近い第1共振器の少なくとも一部と前記複数の第2共振器のうち前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ最も前記共通端子に近い第2共振器の少なくとも一部とは平面視において重なり、前記複数の第1共振器のうち前記最も前記共通端子に近い第1共振器以外の第1共振器のうち少なくとも1つの第1共振器は前記複数の第2共振器と平面視において重ならず、前記複数の第2共振器のうち前記最も前記共通端子に近い第2共振器以外の第2共振器のうち少なくとも1つの第2共振器は前記複数の第1共振器と平面視において重ならない第2フィルタと、
を具備するマルチプレクサ。 - 前記第1フィルタの通過帯域と前記第2フィルタの通過帯域とは異なる請求項1記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第1共振器のうち最も前記第1端子に近い第1共振器は前記複数の第2共振器と平面視において重ならず、前記複数の第2共振器のうち最も前記第2端子に近い第2共振器は前記複数の第1共振器と平面視において重ならない請求項1または2記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第1共振器のうち前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第1共振器以外の第1共振器は前記複数の第2共振器と平面視において重ならず、前記複数の第2共振器のうち前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第2共振器以外の第2共振器は前記複数の第1共振器と平面視において重ならない請求項1または2記載のマルチプレクサ。
- 前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第1共振器と前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第2共振器は前記空隙のみを介し対向する請求項1から4のいずれか一項記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第1共振器および前記複数の第2共振器は弾性波共振器である請求項1から5のいずれか一項記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第1共振器は、前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続された1または複数の第1直列共振器と、前記共通端子と前記第1端子との間に並列に接続された1または複数の第1並列共振器と、を含み、
前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第1共振器は1または複数の第1直列共振器のうち最も前記共通端子に近い第1直列共振器を含み、
前記1または複数の第1直列共振器の各々は、単一の共振器、または互いに直列もしくは並列に接続された複数の共振器であり、
前記1または複数の第1直列共振器のうち隣接する第1直列共振器の全ての間には前記1または複数の第1並列共振器のうち1つの第1並列共振器が接続されており、
前記1または複数の第1並列共振器の各々は、単一の共振器、または互いに直列もしくは並列に接続された複数の共振器であり、
前記1または複数の第1並列共振器のうち隣接する第1並列共振器の全ての間には前記1または複数の第1直列共振器のうち1つの第1直列共振器が接続されている請求項1から6のいずれか一項記載のマルチプレクサ。 - 前記複数の第2共振器は、前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続された1または複数の第2直列共振器と、前記共通端子と前記第2端子との間に並列に接続された1または複数の第2並列共振器と、を含み、
前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第2共振器は1または複数の第2直列共振器のうち最も前記共通端子に近い第2直列共振器を含み、
前記1または複数の第2直列共振器の各々は、単一の共振器、または互いに直列もしくは並列に接続された複数の共振器であり、
前記1または複数の第2直列共振器のうち隣接する第2直列共振器の全ての間には前記1または複数の第2並列共振器のうち1つの第2並列共振器が接続されており、
前記1または複数の第2並列共振器の各々は、単一の共振器、または互いに直列もしくは並列に接続された複数の共振器であり、
前記1または複数の第2並列共振器のうち隣接する第2並列共振器の全ての間には前記1または複数の第2直列共振器のうち1つの第2直列共振器が接続されている請求項7記載のマルチプレクサ。 - 前記1または複数の第1直列共振器は、複数の第1直列共振器を含み、
前記複数の第1直列共振器のうち前記最も前記共通端子に近い第1直列共振器以外の第1直列共振器の少なくとも1つの第1直列共振器は、平面視において前記複数の第2共振器と重ならない請求項7または8記載のマルチプレクサ。 - 前記1または複数の第1並列共振器のうち最も前記共通端子に近い第1並列共振器の少なくとも一部は前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第2共振器の少なくとも一部と平面視において重なる請求項7から9のいずれか一項記載のマルチプレクサ。
- 前記共通端子と前記第1端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第1共振器は、前記複数の第1共振器のうち前記共通端子との間に他の第1共振器を直列に介さず接続された第1共振器であり、
前記共通端子と前記第2端子との間に直列に接続されかつ前記最も前記共通端子に近い第2共振器は、前記複数の第2共振器のうち前記共通端子との間に他の第2共振器を直列に介さず接続された第2共振器である請求項1から10のいずれか一項記載のマルチプレクサ。
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