JP7084739B2 - マルチプレクサ - Google Patents

マルチプレクサ Download PDF

Info

Publication number
JP7084739B2
JP7084739B2 JP2018028685A JP2018028685A JP7084739B2 JP 7084739 B2 JP7084739 B2 JP 7084739B2 JP 2018028685 A JP2018028685 A JP 2018028685A JP 2018028685 A JP2018028685 A JP 2018028685A JP 7084739 B2 JP7084739 B2 JP 7084739B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonators
series
parallel
resonator
wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018028685A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019146025A (ja
Inventor
大喜 伊藤
泰久 岡本
▲琢▼真 黒▲柳▼
史章 井坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP2018028685A priority Critical patent/JP7084739B2/ja
Priority to US16/235,533 priority patent/US10826460B2/en
Priority to CN201910090908.9A priority patent/CN110176914B/zh
Publication of JP2019146025A publication Critical patent/JP2019146025A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7084739B2 publication Critical patent/JP7084739B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0566Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements for duplexers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/058Holders; Supports for surface acoustic wave devices
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1064Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/58Multiple crystal filters
    • H03H9/60Electric coupling means therefor
    • H03H9/605Electric coupling means therefor consisting of a ladder configuration
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6426Combinations of the characteristics of different transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/644Coupled resonator filters having two acoustic tracks
    • H03H9/6456Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
    • H03H9/6469Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via two connecting electrodes
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/6483Ladder SAW filters
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/703Networks using bulk acoustic wave devices
    • H03H9/706Duplexers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • H03H9/72Networks using surface acoustic waves
    • H03H9/725Duplexers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

本発明は、マルチプレクサに関し、例えば複数の基板にそれぞれ設けられたフィルタを有するマルチプレクサに関する。
フィルタが形成された2つの基板をフィルタが形成された面が空隙を挟み対向するように搭載することが知られている(例えば特許文献1)。特許文献1には、平面視において2つのフィルタが重なるように設けること、および平面視において2つのフィルタを重ならないように設けることが記載されている。
特開2007-67617号公報
2つのフィルタが重なるように設けると、フィルタ間が干渉し、アイソレーション特性は劣化する。2つのフィルタを重ならないように設けると、小型化が難しくなる。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、アイソレーション特性を向上させかつ小型化を可能とすることを目的とする。
本発明は、第1面を有する第1基板と、前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有する第2基板と、前記第1面に設けられ、共通端子と第1端子との間に第1配線の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の第1直列共振器と、前記共通端子と前記第1端子との間に前記第1配線の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の第1並列共振器とを含む第1フィルタと、前記第2面に設けられ、前記共通端子と第2端子との間に第2配線の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の第2直列共振器と、前記共通端子と前記第2端子との間に前記第2配線の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の第2並列共振器とを含み、前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち1または複数の第1共振器の少なくとも一部および/または前記1または複数の第1共振器に隣接する第2配線の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部、および/または前記第1配線の少なくとも一部と平面視において重なり、前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち前記1または複数の第1共振器以外の1または複数の第2共振器および/または前記1または複数の第2共振器に隣接する第2配線は、前記1または複数の第1直列共振器、前記1または複数の第1並列共振器、および/または前記第1配線と平面視において重ならず、前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器を接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路で表したとき、前記1または複数の第1共振器が含まれる1または複数の第1基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs1およびCp1とし、前記1または複数の第2共振器が含まれ、前記1または複数の第1共振器が含まれない1または複数の第2基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs2およびCp2としたとき、Cp1/Cs1の少なくとも1つはCp2/Cs2の少なくとも1つより小さい、第2フィルタと、を備えるマルチプレクサである。
上記構成において、前記Cp1/Cs1の最大値は前記Cp2/Cs2の最小値より小さい構成とすることができる。
上記構成において、前記Cp1/Cs1の相乗平均は前記Cp2/Cs2の相乗平均より小さい構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第1共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第2共振器は、前記1または複数の第2直列共振器のうち最も前記第2端子側に電気的に接続された第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち最も前記第2端子側に電気的に接続された第2並列共振器を含む構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第1共振器の全ては、前記1または複数の第2共振器より前記共通端子側に電気的に接続されている構成とすることができる。
上記構成において、前記接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路は、1または複数の合成直列共振器と1または複数の合成並列共振器とが交互に接続されるように、前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器を合成し、両側に静電容量値がCmp1の第1合成並列共振器および静電容量値がCmp2の第2合成並列共振器が接続されている静電容量値がCmsの合成直列共振器を、前記第1合成並列共振器側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp2の分割直列共振器と、前記第2合成並列共振器側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp1の分割直列共振器と、に直列に分割することにより、前記1または複数の合成直列共振器を1または複数の分割直列共振器に分割し、両側に静電容量値がCds1の第1分割直列共振器および静電容量値がCds2の第2分割直列共振器が接続されている静電容量値がCmpの合成並列共振器を、前記第1分割直列共振器側の静電容量値がCmp×Cds1/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器と、前記第2分割直列共振器側の静電容量値がCmp×Cds2/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器と、に並列に分割することにより、前記1または複数の合成並列共振器を1または複数の分割並列共振器に分割し、前記1または複数の分割直列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間の直列共振器とし、前記1または複数の分割並列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間の並列共振器とすることにより算出される構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器のうち1または複数の第3共振器の少なくとも一部および/または前記1または複数の第3共振器に隣接する第1配線の少なくとも一部は、前記1または複数の第2直列共振器の少なくとも一部、前記1または複数の第2並列共振器の少なくとも一部、および/または前記第2配線の少なくとも一部と平面視において重なり、前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器のうち前記1または複数の第3共振器以外の1または複数の第4共振器および/または前記1または複数の第4共振器に隣接する第2配線は、前記1または複数の第2直列共振器、前記1または複数の第2並列共振器、および/または前記第2配線と平面視において重ならず、前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器を接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路で表したとき、前記1または複数の第3共振器が含まれる1または複数の第3基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs3およびCp3とし、前記1または複数の第4共振器が含まれ、前記1または複数の第3共振器が含まれない1または複数の第4基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs4およびCp4としたとき、Cp3/Cs3の少なくとも1つはCp4/Cs4の少なくとも1つより小さい構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第1共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なり、前記1または複数の第3共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第2直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第2並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の第1共振器の全ては、前記1または複数の第2共振器より前記共通端子側に電気的に接続され、前記1または複数の第3共振器の全ては、前記1または複数の第4共振器より前記共通端子側に電気的に接続されている構成とすることができる。
本発明によれば、アイソレーション特性を向上させかつ小型化を可能とすることができる。
図1は、実施例1に係るマルチプレクサの回路図である。 図2は、実施例1に係るマルチプレクサの断面図である。 図3(a)は、実施例1における弾性波共振器12の平面図であり、図3(b)は、実施例1における弾性波共振器22の断面図である。 図4は、シミュレーションにおける等価回路を示す図である。 図5は、シミュレーションにおけるフィルタの等価回路を示す回路図である。 図6は、シミュレーションにおけるサンプルAからEの静電容量を示す図である。 図7は、シミュレーションにおいて基本区間1段でのCp/Csに対する減衰量を示す図である。 図8(a)および図8(b)は、シミュレーションにおけるそれぞれ通過特性およびアイソレーション特性を示す図である。 図9(a)から図9(c)は、シミュレーションにおけるアイソレーション特性を示す図である。 図10(a)および図10(b)は、シミュレーションにおける基本区間64から66のCp/Csに対するそれぞれ送信帯域側および受信帯域側のアイソレーションの最悪値を示す図である。 図11(a)および図11(b)は、任意に接続された直列共振器および並列共振器を合成する方法を示す回路図である。 図12(a)から図12(c)は、基本区間に分解する方法について説明する図である。 図13は、実施例1における基板10の上面を示す平面図である。 図14は、実施例1における基板20の下面を上から透視した平面図である。 図15は、実施例1に係るマルチプレクサの平面図である。 図16は、実施例1の変形例1に係るマルチプレクサの平面図である。 図17は、実施例1の変形例2に係るマルチプレクサの平面図である。 図18(a)から図18(c)は、範囲を分ける方法1を示す回路図である。 図19(a)から図19(c)は、範囲を分ける方法2を示す回路図である。 図20(a)から図20(c)は、範囲を分ける方法3を示す回路図である。 図21(a)から図21(c)は、範囲を分ける方法4を示す回路図である。 図22(a)および図22(b)は、範囲を分ける方法5を示す回路図である。
以下、図面を参照し本発明の実施例について説明する。
図1は、実施例1に係るマルチプレクサの回路図である。図1に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ50が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ52が接続されている。送信フィルタ50の通過帯域と受信フィルタ52の通過帯域とは重なっていない。送信フィルタ50は送信端子Txに入力した高周波信号のうち送信帯域の信号を共通端子Antに出力し、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ52は共通端子Antに入力した高周波信号のうち受信帯域の信号を受信端子Rxに出力し他の周波数の信号を抑圧する。
送信フィルタ50はラダー型フィルタであり、直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13を有している。直列共振器S11からS14は共通端子Antと送信端子Txとの間に直列に接続されている。並列共振器P11からP13は共通端子Antと送信端子Txとの間に並列に接続されている。受信フィルタ52はラダー型フィルタであり、直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23を有している。直列共振器S21からS24は共通端子Antと受信端子Rxとの間に直列に接続されている。並列共振器P21からP23は共通端子Antと受信端子Rxとの間に並列に接続されている。
図2は、実施例1に係るマルチプレクサの断面図である。図2に示すように、基板10上に基板20が搭載されている。基板10は支持基板10aと圧電基板10bとを有する。支持基板10aは例えばサファイア基板、スピネル基板、アルミナ基板、水晶基板またはシリコン基板である。圧電基板10bは、例えばタンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板である。圧電基板10bは支持基板10aの上面に接合されている。圧電基板10bと支持基板10aの接合面は平面であり平坦である。基板10は圧電基板であり支持基板に接合されていなくてもよい。
基板10の上面に弾性波共振器12および配線14が設けられている。基板10の下面に端子18が設けられている。端子18は、弾性波共振器12および22を外部と接続するためのフットパッドである。基板10を貫通するようにビア配線16が設けられている。ビア配線16は、配線14と端子18とを電気的に接続する。配線14、ビア配線16および端子18は例えば銅層、アルミニウム層または金層等の金属層である。端子18は、共通端子Ant、送信端子Tx、受信端子Rxおよびグランド端子を含む。
基板20の下面に弾性波共振器22および配線24が設けられている。基板20は、例えばサファイア基板、スピネル基板、アルミナ基板、ガラス基板、水晶基板またはシリコン基板である。配線24は例えば銅層、アルミニウム層または金層等の金属層である。基板10の配線14と基板20の配線24はバンプ26を介し接合されている。基板10の上面と基板20の下面とは空隙28を介し対向する。
基板10の上面の周縁に環状電極32が設けられている。基板10上に基板20を囲むように封止部30が設けられている。封止部30は環状電極32に接合されている。封止部30は、例えば半田等の金属または樹脂等の絶縁体である。基板20および封止部30の上面にリッド34が設けられている。リッド34は、例えばコバール等の金属板または絶縁体板である。封止部30およびリッド34を覆うように保護膜36が設けられている。保護膜36は例えばニッケル等の金属膜または絶縁膜である。
図3(a)は、実施例1における弾性波共振器12の平面図であり、図3(b)は、実施例1における弾性波共振器22の断面図である。図3(a)に示すように、弾性波共振器12は弾性表面波共振器である。基板10の圧電基板10b上にIDT(Interdigital Transducer)40と反射器42が形成されている。IDT40は、互いに対向する1対の櫛型電極40aを有する。櫛型電極40aは、複数の電極指40bと複数の電極指40bを接続するバスバー40cとを有する。反射器42は、IDT40の両側に設けられている。IDT40が基板10に弾性表面波を励振する。IDT40および反射器42は例えばアルミニウム膜または銅膜により形成される。基板10上にIDT40および反射器42を覆うように保護膜または温度補償膜が設けられていてもよい。
弾性表面波共振器の静電容量値は、一対の櫛型電極40a間の静電容量値であり、一対の櫛型電極40aの電極指40bが重なる開口長と電極指40bの対数との積にほぼ比例する。
図3(b)に示すように、弾性波共振器22は圧電薄膜共振器である。基板20上に圧電膜46が設けられている。圧電膜46を挟むように下部電極44および上部電極48が設けられている。下部電極44と基板20との間に空隙45が形成されている。圧電膜46の少なくとも一部を挟み下部電極44と上部電極48とが対向する領域が共振領域47である。共振領域47内の下部電極44および上部電極48は圧電膜46内に、厚み縦振動モードの弾性波を励振する。下部電極44および上部電極48は例えばルテニウム膜等の金属膜である。圧電膜46は例えば窒化アルミニウム膜である。
圧電薄膜共振器の静電容量値は、下部電極44と上部電極48との間の静電容量値であり、共振領域47の面積を圧電膜46の膜厚で除した値にほぼ比例する。
弾性波共振器12および22は、弾性波を励振する電極を含む。このため、弾性波の励振を阻害しないように、弾性波共振器12および22は空隙28に覆われている。
図1の送信フィルタ50は基板10の上面に設けられている。直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13は弾性波共振器12である。受信フィルタ52は基板20の下面に設けられている。直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23は弾性波共振器22である。送信フィルタ50のうち範囲54内の直列共振器S11、S12および並列共振器P11は、受信フィルタ52のうち範囲54内の直列共振器S21、S22および並列共振器P21と平面視において重なっている。送信フィルタ50のうち範囲56内の直列共振器S13、S14、並列共振器P12およびP13は、受信フィルタ52のいずれの弾性波共振器22とも重なっていない。受信フィルタ52のうち範囲56内の直列共振器S23、S24、並列共振器P22およびP23は、送信フィルタ50のいずれの弾性波共振器12とも重なっていない。
送信端子Txから入力した受信帯域の信号は送信フィルタ50により抑圧される。範囲54において、送信フィルタ50と受信フィルタ52とが重なっていると、送信フィルタ50から空隙28を介し受信フィルタ52に信号が漏れる。これにより、図1の矢印58のように、送信端子Txから受信端子Rxに受信帯域の信号が漏れる。よって、アイソレーション特性は劣化する。送信フィルタ50と受信フィルタ52とを平面視において重ならないように設けることにより、アイソレーション特性を改善できる。しかしながら、マルチプレクサが大型化してしまう。送信フィルタ50と受信フィルタ52とを平面視において重なるように設けることにより、小型化できる。しかしながらアイソレーション特性が劣化してしまう。そこで、送信フィルタ50の一部と受信フィルタ52の一部が平面視において重なるようにする。これにより、アイソレーション特性を抑制しかつ小型化が可能となる。
[シミュレーション]
送信フィルタ50の一部と受信フィルタ52の一部が平面視において重ねた場合に、直列共振器および並列共振器の静電容量の好ましい関係についてシミュレーションした。シミュレーションでは、LTE(Long Term Evolution)バンド7(送信帯域:2500MHz-2570MHz、受信帯域:2620MHz-2690MHz)を想定した弾性波共振器12および22を用いた。
図4は、シミュレーションにおける等価回路を示す図である。図4に示すように、共通端子Antとグランドとの間にインダクタLが電気的に接続されている。インダクタLは整合回路である。送信フィルタ50と受信フィルタ52とが平面視において重なっていることを等価的に表すため、送信フィルタ50と受信フィルタ52との間にキャパシタC1およびC2が電気的に接続されているとした。キャパシタC1は、直列共振器S11とS12との間のノードと、直列共振器S21とS22との間のノードと、の間に電気的に接続されている。キャパシタC2は、直列共振器S12とS13との間のノードと、直列共振器S22とS23との間のノードと、の間に電気的に接続されている。キャパシタC1およびC2の静電容量値を各々0.1pFとした。
送信フィルタ50および受信フィルタ52を基本区間に分解し、直列共振器と並列共振器との静電容量比を変えた。図5は、シミュレーションにおけるフィルタの等価回路を示す回路図である。図5に示すように、フィルタ51は、端子T1とT2との間に接続されている。フィルタ51は、送信フィルタ50および受信フィルタ52である。
フィルタ51を基本区間61から66の6区間に分解する。基本区間61と62とは接続関係が線71に対しミラー対称である。基本区間62と63とは接続関係が線72に対しミラー対称である。同様に、基本区間63から66は接続関係が線73から75に対しミラー対称である。このような基本区間に分解すると、直列共振器S2は直列共振器S2aとS2bとに直列に分割される。直列共振器S3は直列共振器S3aとS3bとに直列に分割される。並列共振器P1は共振器P1aとP1bとに並列に分割される。並列共振器P2は並列共振器P2aとP2bとに並列に分割される。並列共振器P3は並列共振器P3aとP3bとに並列に分割される。図1の例では、範囲54に相当する(すなわち送信フィルタ50と受信フィルタ52とが重なっている)基本区間は基本区間61から63である。範囲56に相当する(すなわち送信フィルタ50と受信フィルタ52とが重なっていない)基本区間は基本区間64から66である。図1では、並列共振器P12およびP22は、範囲56に含まれるが、直列共振器S12およびS22が範囲54に含まれる。このため、基本区間63は範囲54に含まれるとした。
静電容量値がCsの直列共振器Sを静電容量値がCsaの共振器Saと静電容量値がCsbの共振器Sbとに直列に分割した場合の静電容量値の関係は、Cs=(Csa・Csb)/(Csa+Csb)である。静電容量値がCpの並列共振器Pを静電容量値がCpaの共振器Paと静電容量値がCpbの共振器Pbとに並列に分割した場合の静電容量値の関係は、Cp=Cpa+Cpbである。
図6は、シミュレーションにおけるサンプルAからEの静電容量を示す図である。基本区間61から66における直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCsおよびCpとした。サンプルAからCは比較例に相当し、サンプルDおよびEは実施例に相当する。図6に示すように、サンプルCでは、基本区間61から66におけるCsおよびCpは各々1pFである。Cp/Csは1、Cp×Csは1pFである。基本区間61から66について相乗平均したCp/Csは1、Cp×Csは1pFである。Cp/Csの相乗平均は、基本区間61から66のCp/Csを乗じた後6乗根することにより求める。
サンプルAでは、範囲54の基本区間61から63のCsおよびCpは、それぞれ1/√1.3pFおよび√1.3pFであり、Cp/Csは1.3であり、Cp×Csは1pFである。範囲56の基本区間64から66のCsおよびCpは、それぞれ√1.3pFおよび1/√1.3pFであり、Cp/Csは1/1.3であり、Cp×Csは1pFである。基本区間61から66のCp/Csの相乗平均およびCp×Csの相乗平均は、それぞれ1および1pFである。サンプルBでは、基本区間61から63のCsおよびCpは、それぞれ1/√1.1pFおよび√1.1pFであり、Cp/Csは1.1である。基本区間64から66のCsおよびCpは、それぞれ√1.1pFおよび1/√1.1pFであり、Cp/Csは1/1.1である。
サンプルDでは、基本区間61から63のCsおよびCpは、それぞれ1/√0.9pFおよび√0.9pFであり、Cp/Csは0.9である。基本区間64から66のCsおよびCpは、それぞれ√0.9pFおよび1/√0.9pFであり、Cp/Csは1/0.9である。サンプルEでは、基本区間61から63のCsおよびCpは、それぞれ1/√0.7pFおよび√0.7pFであり、Cp/Csは0.7である。基本区間64から66のCsおよびCpは、それぞれ√0.7pFおよび1/√0.7pFであり、Cp/Csは1/0.7である。
基本区間61から66におけるCp/Csの相乗平均をサンプルAからEにおいて同じとする理由を説明する。図7は、シミュレーションにおいて基本区間1段でのCp/Csに対する減衰量を示す図である。図7に示すように、Cp/Csが大きくなると1880MHzにおける減衰量が大きくなる。このように、フィルタ特性はCp/Csに依存する。そこで、フィルタ特性を変化させないため、サンプルAからEにおける基本区間61から66のCp/Csの相乗平均を同じ1pFとした。
図8(a)および図8(b)は、シミュレーションにおけるそれぞれ通過特性およびアイソレーション特性を示す図である。図8(a)は、マルチプレクサにおける送信フィルタ50および受信フィルタ52の通過特性を示す。図8(b)は、送信端子Txから受信端子Rxへのアイソレーション特性を示す。LTEバンド7の送信帯域76および受信帯域78を図示している。シミュレーションではLTEバンド7に完全には最適化されていない。
図8(a)に示すように、送信フィルタ50および受信フィルタ52の通過帯域においる通過特性はサンプルAからEでほとんど変わらない。これは、サンプルAからEでCp/Csの相乗平均を同じにしたためである。送信フィルタ50の受信帯域78における減衰量はサンプルEからAの順に大きい。サンプルDおよびEの減衰量はサンプルAからCの減衰量より大きい。受信フィルタ52の送信帯域76における減衰量はサンプルEからAの順に大きい。図8(b)に示すように、アイソレーション特性は、サンプルEからAの順によくなる。サンプルDおよびEのアイソレーション特性はサンプルAからCのアイソレーション特性より良好である。
図9(a)から図9(c)は、シミュレーションにおけるアイソレーション特性を示す図である。図9(a)は、図8(b)の送信帯域76および受信帯域78付近の拡大図である。図9(b)および図9(c)は、図9(a)のそれぞれ範囲68および69の拡大図である。
図9(a)に示すように、送信帯域76および受信帯域78におけるアイソレーション特性はサンプルEからAの順によくなる。図9(b)に示すように、範囲68(送信帯域76側においてアイソレーションが最悪となる周波数付近)ではサンプルEはサンプルCに比べアイソレーションの最悪値は4.3dB改善している。図9(c)に示すように、範囲69(受信帯域78側においてアイソレーションが最悪となる周波数付近)ではサンプルEはサンプルCに比べアイソレーションは4.9dB改善している。
基本区間61から66のCp/Csの相乗平均を0.8、1.0および1.2とし、アイソレーションの最悪値を送信帯域76側および受信帯域78側でシミュレーションした。図10(a)および図10(b)は、シミュレーションにおける基本区間64から66のCp/Csに対するそれぞれ送信帯域側および受信帯域側のアイソレーションの最悪値を示す図である。
図10(a)および図10(b)に示すように、基本区間61から66のCp/Csの相乗平均が大きくなると、アイソレーションは改善する。また、範囲56の基本区間64から66におけるCp/Csが大きくなるとアイソレーションは改善する。基本区間64から66におけるCp/Csが大きいサンプルは基本区間61から63におけるCp/Csが相対的に小さなサンプルである。
以上のように、基本区間61から63のCp/Csを基本区間64から66のCp/Csより小さくしたサンプルDおよびEは、サンプルAからCに比べ通過帯域の通過特性を劣化させることなく、アイソレーション特性を改善できる。これは、送信フィルタ50の範囲56の基本区間64から66におけるCp/Csを範囲54の基本区間61から63におけるCp/Csより大きくすることで、送信端子Txから入力した受信帯域の信号を基本区間64から66により抑圧できるためである。また、受信フィルタ52の範囲56の基本区間64から66におけるCp/Csを範囲54の基本区間61から63におけるCp/Csより大きくするとで、基本区間61から63において受信フィルタ52に漏れた送信帯域の信号を基本区間64から66により抑圧できるためである。
任意に接続された直列共振器および並列共振器を等価的に基本区間に分解する方法について説明する。図11(a)および図11(b)は、任意に接続された直列共振器および並列共振器を合成する方法を示す回路図である。図11(a)に示すように、端子T1とT2との間に直列共振器S1-1、S1-2、S2-1およびS2-2が直列に接続されている。直列共振器S1-2とS2-1との間のノードN1とグランドとの間に並列共振器P1-1およびP1-2が直列に接続されている。ノードN2とグランドとの間に並列共振器P1-3が接続されている。
図11(b)に示すように、直列共振器S1-1およびS1-2を合成し等価的に合成直列共振器Sm1とする。直列共振器S2-1およびS2-2を合成し等価的に合成直列共振器Sm2とする。並列共振器P1-1からP1-3を合成し等価的に合成並列共振器Pm1とする。合成直列共振器Sm1の静電容量値Cms1は、直列共振器S1-1およびS1-2のそれぞれ静電容量値Cs11およびCs12を用い、Cms1=(Cs11・Cs12)/(Cs11+Cs12)となる。合成直列共振器Sm2の静電容量値も同様に算出できる。合成並列共振器Pm1の静電容量値Cmp1は、並列共振器P1-1からP1-3のそれぞれの静電容量値Cp11からCp13を用い、Cmp1=Cp13+(Cp11・Cp12)/(Cp11+Cp12)となる。
図12(a)から図12(c)は、基本区間に分解する方法について説明する図である。図12(a)に示すように、直列共振器および並列共振器を合成することにより、合成直列共振器Sm1からSm3と合成並列共振器Pm1およびPm2とが互い違いに接続される。
図12(b)に示すように、図12(a)において合成並列共振器に挟まれた合成直列共振器は両側に接続された合成並列共振器の静電容量値の比で直列に分割する。例えば、合成直列共振器Sm2は、合成並列共振器Pm1とPm2に挟まれている。合成直列共振器Sm2、合成並列共振器Pm1およびPm2の静電容量値をそれぞれCms2、Cmp1およびCmp2とする。合成直列共振器Sm2が直列に分割された分割直列共振器Sd2aおよびSd2bの静電容量値をそれぞれCds2aおよびCds2bとする。このとき、Cds2a=Cms2×(Cmp1+Cmp2)/Cmp2およびCds2b=Cms2×(Cmp1+Cmp2)/Cmp1となる。合成直列共振器Sm3も同様に分割直列共振器Sd3aおよびSd3bに直列に分割される。合成直列共振器Sm1は片側に合成並列共振器が接続されていないため分割しないが、分割直列共振器Sd1とする。
次に、図12(c)に示すように、図12(b)において分割直列共振器に挟まれた合成並列共振器は両側に接続された分割直列共振器の静電容量値の比で並列に分割する。例えば、合成直列共振器Sm1は、分割直列共振器Sd1とSd2aに挟まれている。合成並列共振器Pm1が並列に分割された分割並列共振器Pd1aおよびPd1bの静電容量値をそれぞれCdp1aおよびCdp1bとする。このとき、Cdp1a=Cmp1×Cds1/(Cds1+Cds2a)およびCdp1b=Cmp1×Cds2a/(Cds1+Cds2a)となる。合成並列共振器Pm2は、分割直列共振器Sd2bとSd3aに挟まれている。合成並列共振器Pm2が並列に分割された分割並列共振器Pd2aおよびPd2bの静電容量値をそれぞれCdp2aおよびCdp2bとする。このとき、Cdp2a=Cmp2×Cds2b/(Cds2b+Cds3a)およびCdp2b=Cmp2×Cds3a/(Cds2b+Cds3a)となる。
以上のように、任意に接続された直列共振器と並列共振器を基本区間で等価的に表すことができる。
図13は、実施例1における基板10の上面を示す平面図である。図13において、弾性波共振器12の大小を誇張して図示している。図13に示すように、基板10上に弾性波共振器12および配線14が設けられている。配線14にビア配線16およびバンプ26が接続されている。パッドPa1、Pt1、Pr1およびPg1は、それぞれ共通端子Ant、送信端子Tx、受信端子Rxおよびグランド端子にビア配線16を介し接続される。パッドPa1とPt1との間に直列に直列共振器S11からS14、並列に並列共振器P11からP13が配線14を介し接続されている。直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13は送信フィルタ50を形成する。
図14は、実施例1における基板20の下面を上から透視した平面図である。図14において、弾性波共振器22の大小を誇張して図示している。図14に示すように、基板20上に弾性波共振器22および配線24が設けられている。配線24にバンプ26が接続されている。パッドPa2、Pr2およびPg2は、それぞれ共通端子Ant、受信端子Rxおよびグランド端子にバンプ26、配線14およびビア配線16を介し接続される。パッドPa2とPr2との間に直列に直列共振器S21からS24、並列に並列共振器P21からP23が配線24を介し接続されている。直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23は受信フィルタ52を形成する。
図15は、実施例1に係るマルチプレクサの平面図である。基板10に基板20の弾性波共振器22および配線24を重ねて図示している。弾性波共振器12および配線14と弾性波共振器22および配線24とが重なる領域を太線55で示している。図15に示すように、送信フィルタ50の並列共振器P11の一部と受信フィルタ52の直列共振器S21の一部が平面視において重なっている。直列共振器S11の一部と並列共振器P21の一部とが平面視において重なっている。直列共振器S12の一部と並列共振器P22の一部とが平面視において重なっている。並列共振器P12の一部と直列共振器S22の一部とが平面視において重なっている。
隣の弾性波共振器12(または22)までの配線14(または24)が弾性波共振器22(または12)および/または配線24(または14)に重なっている弾性波共振器12(または22)を範囲54に含まれるとする場合(すなわち配線を考慮する場合)、並列共振器P11、P12および直列共振器S11-S13が弾性波共振器22および/または配線24と重なる。同様に、並列共振器P21、P22および直列共振器S21-S23が弾性波共振器12および/または配線14と重なる。よって、送信フィルタ50および受信フィルタ52とも、基本区間61から65が範囲54に含まれ、基本区間66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間66おけるCp/Csを、基本区間61から65におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
配線14を考慮せず、弾性波共振器22(または12)と重なっている弾性波共振器12(または22)を範囲54に含まれるとする場合、並列共振器P11、P12および直列共振器S11、S12が弾性波共振器22と重なる。同様に、並列共振器P21、P22および直列共振器S21、S22が弾性波共振器12と重なる。よって、送信フィルタ50および受信フィルタ52とも、基本区間61から64が範囲54に含まれ、基本区間65および66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間65および66おけるCp/Csを、基本区間61から64におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
図16は、実施例1の変形例1に係るマルチプレクサの平面図である。図16に示すように、送信フィルタ50の並列共振器P11の一部と受信フィルタ52の直列共振器S21の一部が平面視において重なっている。直列共振器S11の一部と並列共振器P21の一部とが平面視において重なっている。直列共振器S12の一部と直列共振器S22の一部とが平面視において重なっている。
隣の弾性波共振器12(または22)までの配線14(または24)を考慮して範囲54を定める場合、並列共振器P11および直列共振器S11-S12が弾性波共振器22および/または配線24と重なる。よって、送信フィルタ50では、基本区間61から63が範囲54に含まれ、基本区間64から66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間64から66おけるCp/Csを、基本区間61から63におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
受信フィルタ52では、並列共振器P21、P22、直列共振器S21およびS22が弾性波共振器12および/または配線14と重なる。それで、受信フィルタ52では、基本区間61から64が範囲54に含まれ、基本区間65および66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間65および66おけるCp/Csを、基本区間61から64におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
配線14を考慮せず範囲54を定める場合、並列共振器P11、直列共振器S11およびS12が弾性波共振器22と重なる。同様に、並列共振器P21、直列共振器S21およびS22が弾性波共振器12と重なる。よって、送信フィルタ50および受信フィルタ52とも、基本区間61から63が範囲54に含まれ、基本区間64から66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間64から66おけるCp/Csを、基本区間61から63におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
図17は、実施例1の変形例2に係るマルチプレクサの平面図である。図17に示すように、送信フィルタ50の並列共振器P11の一部と受信フィルタ52の直列共振器S21の一部が平面視において重なっている。直列共振器S11の一部と並列共振器P21の一部とが平面視において重なっている。
配線を考慮して範囲54を定める場合、並列共振器P11および直列共振器S11-S12が弾性波共振器22および/または配線24と重なる。並列共振器P21、P22、直列共振器S21およびS22が弾性波共振器12および/または配線14と重なる。よって、図16の場合と同様に、送信フィルタ50では、基本区間64から66おけるCp/Csを、基本区間61から63におけるCp/Csより大きくする。受信フィルタ52では、基本区間65および66おけるCp/Csを、基本区間61から64におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
配線14を考慮せず範囲54を定める場合、並列共振器P11および直列共振器S11が弾性波共振器22と重なる。同様に、並列共振器P21および直列共振器S22が弾性波共振器12と重なる。よって、送信フィルタ50および受信フィルタ52とも、基本区間61および62が範囲54に含まれ、基本区間63から66が範囲56に含まれる。そこで、基本区間63から66おけるCp/Csを、基本区間61および62におけるCp/Csより大きくする。これにより、アイソレーション特性を改善できる。
[範囲54と56とを分ける方法1]
次に、基本区間61から66を範囲54および56に分ける方法の例を説明する。並列共振器間の直列共振器が直列に分割されている例である。図18(a)から図18(c)は、範囲を分ける方法1を示す回路図である。図18(a)に示すように、直列共振器S2が直列共振器S2-1からS2-3に直列に分割されている。直列共振器S2-1からS2-3のうち直列共振器S2-1は範囲54に含まれている。すなわち直列共振器S2-1は他のフィルタの弾性波共振器と重なっている。直列共振器S2-2およびS2-3は範囲56に含まれる。すなわち直列共振器S2-2およびS2-3は他のフィルタの弾性波共振器と重なっていない。
図18(b)に示すように、範囲56内の直列共振器S2-2とS2-3(図18(a)の太点線)を合成し直列共振器S2-23とする。直列共振器S2-23は範囲56に含まれる。
図18(c)に示すように、等価的に基本区間61から66に分解するとき、基本区間62の直列共振器はS2-1とし、基本区間63の直列共振器はS2-23とする。直列共振器S2のうち、範囲54の直列共振器S2-1と、範囲56の直列共振器S2-2およびS2-3と、は合成していない。このため、直列共振器S2-1が含まれる基本区間62を範囲54とし、直列共振器S2-2およびS2-3が含まれる基本区間63を範囲56とする。これにより、基本区間61および62を範囲54とし、基本区間63から66を範囲56とする。
図18(a)から図18(c)のように、隣接する並列共振器P1とP2との間の直列共振器S2が複数の直列共振器S2-1からS2-3に分割され、直列共振器S2-1からS2-3のうち範囲54の方の直列共振器S2-1が範囲54に含まれ範囲56の方の直列共振器S2-2およびS2-3が範囲56に含まれる。このとき、直列共振器S2を基本区間62の直列共振器S2aと基本区間63の直列共振器S2bに分割する(図5参照)ときに、直列共振器S2aおよびS2bをそれぞれ直列共振器S2-1とS2-23としてもよい。
[範囲54と56とを分ける方法2]
直列共振器間の並列共振器が並列に分割されている例である。図19(a)から図19(c)は、範囲を分ける方法2を示す回路図である。図19(a)に示すように、並列共振器P2が並列共振器P2-1からP2-3に分割されている。並列共振器P2-2とP2-3は直列に接続されている。並列共振器P2-1と、並列共振器P2-2およびP2-3と、は並列に接続されている。並列共振器P2-1は範囲54に含まれる。並列共振器P2-2およびP2-3は範囲56に含まれる。
図19(b)に示すように、並列共振器P2-2とP2-3(図19(a)の太点線)を等価的に合成し並列共振器P2-23とする。並列共振器P2-23は範囲56に含まれる。
図19(c)に示すように、等価的に基本区間61から66に分解するとき、基本区間63の並列共振器をP2-1とし、基本区間64の並列共振器をP2-23とする。並列共振器P2のうち、範囲54の並列共振器P2-1と、範囲56の並列共振器P2-2およびP2-3と、は合成していない。このため、並列共振器P2-1が含まれる基本区間63を範囲54とし、並列共振器P2-2およびP2-3が含まれる基本区間64を範囲56とする。これにより、基本区間61から63を範囲54とし、基本区間64から66を範囲56とする。
図19(a)から図19(c)のように、隣接する直列共振器S2とS3との間の並列共振器P2が複数の並列共振器P2-1からP2-3に分割され、並列共振器P2-1からP2-3のうち範囲54の方の並列共振器P2-1が範囲54に含まれ範囲56の方の並列共振器P2-2およびP2-3が範囲56に含まれる。このとき、並列共振器P2を基本区間63の並列共振器P2aと基本区間64の並列共振器P2bに分割する(図5参照)ときに、並列共振器P2aおよびP2bをそれぞれ並列共振器P2-1とP2-23としてもよい。
[範囲54と56とを分ける方法3]
直列共振器間の並列共振器が並列に分割されている例である。図20(a)から図20(c)は、範囲を分ける方法3を示す回路図である。図20(a)に示すように、回路は図19(a)と同じである。並列共振器P2-1およびP2-2は範囲54に含まれている。並列共振器P2-3は範囲56に含まれる。
図20(b)に示すように、直列分割された並列共振器P2-2およびP2-3のうち一部は範囲54に含まれ、他は範囲56に含まれる。この場合、並列共振器P2-3は範囲54に含まれるとする。
図20(c)に示すように、並列共振器P2-1からP2-3を合成し、その後は図12(a)から図12(c)と同じ方法で基本区間61から66に分解する。並列共振器P2は範囲54に含まれるため、基本区間61から64を範囲54とし、基本区間65および66を範囲56とする。
図20(a)から図20(c)のように、隣接する直列共振器S2とS3との間の並列共振器P2が並列に分割され、並列に分割された一方の並列共振器がさらに並列共振器P2-2およびP2-3に分割されている場合、並列共振器P2-2とP2-3とが異なる範囲54および56の場合、並列共振器P2-2およびP2-3はいずれも範囲54に含まれているとする。この場合、並列共振器P2-2およびP2-3はいずれも範囲56に含まれているとしてもよい。
[範囲54と56とを分ける方法4]
図21(a)から図21(c)は、範囲を分ける方法4を示す回路図である。図21(a)に示すように、回路は図19(a)と同じである。直列共振器S1からS3および並列共振器P1は範囲54に含まれている。直列共振器S4並列共振器P2-1からP3は範囲56に含まれている。このように、直列共振器S3は範囲54であるが並列共振器P3は範囲56である。
図21(b)に示すように、交互に接続される並列共振器と直列共振器のうち並列共振器が範囲56の場合、直列共振器S3は範囲56とする。
図21(c)に示すように、並列共振器P2-1からP2-3を合成し、その後は図12(a)から図12(c)と同じ方法で基本区間61から66に分解する。直列共振器S2は範囲54に含まれるため、基本区間61から63を範囲54とし、基本区間64から66を範囲56とする。
図21(a)から図21(c)のように、隣接する直列共振器S2とS3とは範囲54に含まれるが直列共振器S2とS3との間の並列共振器P2が範囲56に含まれる場合、直列共振器S3は範囲56に含まれるとしてもよい。この場合、並列共振器P2および直列共振器S3はいずれも範囲54に含まれているとしてもよい。
[範囲54と56とを分ける方法5]
配線の一部が範囲54に含まれる例である。図22(a)から図22(b)は、範囲を分ける方法5を示す回路図である。図22(a)に示すように、回路は、図18(a)と同じである。直列共振器S2が分割された直列共振器S2-1からS2-3のうち直列共振器S2-1は範囲54に含まれ、直列共振器S2-2およびS2-3は範囲56に含まれている。直列共振器S2-2およびS2-3の間の配線14aが範囲54に含まれている。すなわち、他のフィルタの弾性波共振器と重なっている。
図22(b)に示すように、直列共振器S2-2およびS2-3は配線14aを含め範囲56に含まれているとする。その後は、図18(b)および図18(c)と同様に、基本区間61から66に分解する。
図22(a)および図22(b)のように、隣接する共振器(直列共振器S2-2およびS2-3)がともに他のフィルタの弾性波共振器および配線と重なっていない場合、隣接する共振器間の配線14aの一部が他のフィルタの弾性波共振器および/または配線と重なっていても、隣接する共振器は範囲56に含まれているとしてもよい。この場合、隣接する共振器はともに範囲54に含まれるとしてもよい。
送信フィルタ50および受信フィルタ52の直列共振器および並列共振器を等価的に基本区間61から66に分割する方法、および基本区間61から66を範囲54および56に分ける方法は、図11(a)から図12(c)の方法を原則とし、図18(a)から図22(b)の方法を例外として用いてもよい。
以上のように、実施例1およびその変形例によれば、基板20(第1基板)の下面(第1面)と基板10(第2基板)の上面(第2面)とが空隙28を挟み対向している。受信フィルタ52(第1フィルタ)は、基板20の下面に設けられ、共通端子Antと受信端子Rx(第1端子)との間に配線24(第1配線)の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の直列共振器S21からS24(第1直列共振器)と、共通端子Antと受信端子Rxとの間に配線24の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の並列共振器P21からP23(第1並列共振器)とを含む。送信フィルタ50(第2フィルタ)は、基板10の上面に設けられ、共通端子Antと送信端子Tx(第2端子)との間に配線14(第2配線)の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の直列共振器S11からS14(第2直列共振器)と、共通端子Antと送信端子Txとの間に配線14の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の並列共振器P11からP13(第2並列共振器)とを含む。
図15から図17のように、直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13のうち1または複数の第1共振器(例えば図15のS11、S12、P11およびP12)の少なくとも一部は、直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23の少なくとも一部と平面視において重なる。直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13のうち1または複数の第1共振器以外の1または複数の第2共振器(例えば図15のS13、S14、P12およびP13)は、直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23と平面視において重ならない。
直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13を接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路で表したとき、1または複数の第1共振器(例えば図15のS11、S12、P11およびP12)が含まれる1または複数の第1基本区間(例えば図5の基本区間61から63)の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs1およびCp1とする。1または複数の第2共振器(例えば図15のS13、S14、P12およびP13)が含まれ、1または複数の第1共振器が含まれない1または複数の第2基本区間(例えば図5の基本区間64から65)の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs2およびCp2とする。このとき、図14のように、Cp1/Cs1の少なくとも1つをCp2/Cs2の少なくとも1つより小さくする。
これにより、Cp2/Cs2の大きい基本区間64から66において、送信フィルタ50の受信帯域の信号を抑圧できる。よって、アイソレーション特性を向上できる。また、基本区間61から63のCp1/Cs1と小さくする。これにより、送信フィルタ50全体のCp/Csの相乗平均を、送信フィルタ50の所望の特性が得られるように設定できる。
1または複数の第1共振器のCp1/Cs1の最大値は1または複数の第2共振器のCp2/Cs2の最小値より小さいことが好ましい。1または複数の第1共振器のCp1/Cs1の相乗平均は1または複数の第2共振器のCp2/Cs2の相乗平均より小さいことがより好ましい。
図15から図17において説明したように、1または複数の第1共振器(例えば図15のS11、S12、P11およびP12)の少なくとも一部は、直列共振器S21からS24の少なくとも一部、および/または1または複数の並列共振器P11からP13の少なくとも一部と平面視において重なるとしてもよい。
また、1または複数の第1共振器の少なくとも一部および/または1または複数の第1共振器に隣接する配線24の少なくとも一部は、直列共振器S11からS14の少なくとも一部、並列共振器P11からP13の少なくとも一部、および/または配線14の少なくとも一部と平面視において重なるとしてもよい。1または複数の第1共振器以外の1または複数の第2共振器および/または1または複数の第2共振器に隣接する配線14は、1または複数の直列共振器S11からS14、並列共振器P11からP13、および/または配線24と平面視において重なるとしてもよい。
なお、共振器に隣接する配線は、隣接する共振器または端子との間の配線である。例えば図1において、直列共振器S21に隣接する配線は、直列共振器S21と共通端子Antの間の配線、直列共振器S21とS22との間の配線、および直列共振器S21と並列共振器P21との間の配線である。これらの配線は、直列共振器S11とほぼ同じ電位であり、基板10の共振器および/または配線と平面視において重なると、高周波信号が受信フィルタ52と干渉してしまう。
図15から図17のように、1または複数の第2共振器は、直列共振器S21からS24のうち最も送信端子Tx側に電気的に接続された直列共振器S24および並列共振器P21からP23のうち最も送信端子Tx側に電気的に接続された並列共振器P23を含む。これにより、少なくとも基本区間66において、受信帯域の信号を抑圧できる。
1または複数の第1共振器の全ては、1または複数の第2共振器より共通端子Ant側に電気的に接続されている。これにより、送信端子Tx側の基本区間において、受信帯域の信号を抑圧できる。よって、アイソレーション特性をより向上できる。
接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路は、以下のように算出する。図11(a)および図11(b)のように、1または複数の合成直列共振器Sm1およびSm2と1または複数の合成並列共振器Pm1とが交互に接続されるように、1または複数の直列共振器S1-1、S1-2、S2-1、S2-2および1または複数の並列共振器P1-1からP1-3を合成する。
次に、図12(a)および図12(b)のように、両側に静電容量値がCmp1の合成並列共振器Pm1(第1合成並列共振器)および静電容量値がCmp2の合成並列共振器Pm2(第2合成並列共振器)が接続されている静電容量値がCmsの合成直列共振器Sm2を、合成並列共振器Pm1側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp2の分割直列共振器Sd2aと、合成並列共振器Pm2側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp1の分割直列共振器Sd2bと、に直列に分割する。このように、1または複数の合成直列共振器Sm1からSm3を1または複数の分割直列共振器Sd1からSd3bに分割する。
次に、両側に静電容量値がCds1の分割直列共振器Sd1(第1分割直列共振器)および静電容量値がCds2の分割直列共振器Sd2a(第2分割直列共振器)が接続されている静電容量値がCmpの合成並列共振器Pm1を、分割直列共振器Sd1側の静電容量値がCmp×Cds1/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器Pd1aと、分割直列共振器Sd2a側の静電容量値がCmp×Cds2/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器Pd1bと、に並列に分割する。このように、1または複数の合成並列共振器Pm1およびPm2を1または複数の分割並列共振器Pd1aからPd2bに分割する。
図5のように、1または複数の分割直列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間61から66の直列共振器とし、1または複数の分割並列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間61から66の並列共振器とする。これにより、接続関係がミラー対称の基本区間61から66の等価回路が算出される。
第2端子が送信端子Txであり、第2フィルタが送信フィルタ50のとき、受信フィルタ52と平面視において重なる1または複数の第1基本区間(例えば基本区間61から63)のうち最も送信端子Txに電気的に近い基本区間63のCp1/Cs1は、他の第1基本区間61および62のCp1/Cs1より大きい。送信端子Txに近い基本区間63において受信帯域の信号を抑圧できる。
さらに、1または複数の第1基本区間61から63のCp1/Cs1は、共通端子Ant側に行くにしたがい小さくなる。これにより、より送信端子Txに近い基本区間61から63において受信帯域の信号を抑圧できる。
直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23のうち1または複数の第3共振器(例えば図15のS21、S22、P21およびP22)の少なくとも一部は、直列共振器S11からS14の少なくとも一部、および/または並列共振器P11からP13の少なくとも一部と平面視において重なる。直列共振器S21からS24および並列共振器P21からP23うち1または複数の第3共振器以外の1または複数の第4共振器(例えば図15のS23、S24およびP23)は、直列共振器S11からS14および/または並列共振器P11からP13と平面視において重ならない。
直列共振器S11からS14および並列共振器P11からP13を接続関係がミラー対称の基本区間61から66の等価回路で表したとき、1または複数の第3共振器が含まれる1または複数の第3基本区間61から63の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs3およびCp3とする。1または複数の第4共振器が含まれ、1または複数の第3共振器が含まれない1または複数の第4基本区間64から66の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs4およびCp4とする。このとき、第3共振器の少なくとも1つのCp3/Csを第4共振器の少なくとも1つのCp4/Cs4より小さくする。
これにより、Cp4/Cs4大きい基本区間64から66において、受信フィルタ52の送信帯域の信号を抑圧できる。よって、アイソレーション特性を向上できる。また、基本区間61から63のCp3/Cs3を小さくする。これにより、受信フィルタ52全体のCp/Csを、受信フィルタ52の所望の特性が得られるように設定できる。
1または複数の第3共振器のCp3/Cs3の最大値は1または複数の第4共振器のCp4/Cs4の最小値より小さいことが好ましい。1または複数の第3共振器のCp3/Cs3の相乗平均は1または複数の第4共振器のCp4/Cs4の相乗平均より小さいことがより好ましい。
1または複数の第3共振器の少なくとも一部および/または1または複数の第3共振器に隣接する配線14の少なくとも一部は、直列共振器S21からS24の少なくとも一部、並列共振器P21からP23の少なくとも一部、および/または配線24の少なくとも一部と平面視において重なればよい。1または複数の第3共振器以外の1または複数の第4共振器および/または1または複数の第4共振器に隣接する配線24は、1または複数の直列共振器S21からS24、並列共振器P21からP23、および/または配線14と平面視において重ならなければよい。
図15から図17のように、1または複数の第4共振器は、直列共振器S11からS14のうち最も受信端子Rx側に電気的に接続された直列共振器S14および並列共振器P11からP13のうち最も受信端子Rx側に電気的に接続された並列共振器P13を含む。これにより、少なくとも基本区間66において、送信帯域の信号を抑圧できる。
1または複数の第3共振器の全ては、1または複数の第4共振器より共通端子Ant側に電気的に接続されている。これにより、受信端子Rx側の基本区間において、送信帯域の信号を抑圧できる。よって、アイソレーション特性をより向上できる。
第1端子が受信端子Rxであり、第1フィルタが受信フィルタ52のとき、送信フィルタ50と平面視において重なる1または複数の第3基本区間(例えば基本区間61から63)のうち最も共通端子Antに電気的に近い基本区間61のCp1/Cs1は、他の第3基本区間62および63のCp1/Cs1より大きい。これにより、共通端子Antに近い基本区間63において送信帯域の信号を抑圧できる。
さらに、1または複数の第3基本区間61から63のCp1/Cs1は、共通端子Ant側に行くにしたがい大きくなる。これにより、より共通端子Antに近い基本区間61から63において送信帯域の信号を抑圧できる。
実施例1およびその変形例においては、第1フィルタを受信フィルタ52および第2フィルタを送信フィルタ50として説明したが、第1フィルタが送信フィルタ50であり、第2フィルタが受信フィルタ52でもよい。ラダー型フィルタを構成する直列共振器および並列共振器の個数は任意に設定することができる。第1フィルタおよび第2フィルタの弾性波共振器は両方が弾性表面波共振器でもよく、両方が圧電薄膜共振器でもよい。基板20を囲むように封止部30が設けられている例を説明したが、封止部30は設けられていなくてもよい。マルチプレクサとしてデュプレクサの例を説明したが、マルチプレクサは、トリプレクサまたはクワッドプレクサでもよい。第1フィルタおよび第2フィルタはマルチプレクサの少なくとも2つのフィルタであればよい。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10、20 基板
12、22 弾性波共振器
14、24 配線
16 ビア配線
18 端子
26 バンプ
28 空隙
50 送信フィルタ
52 受信フィルタ

Claims (10)

  1. 第1面を有する第1基板と、
    前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有する第2基板と、
    前記第1面に設けられ、共通端子と第1端子との間に第1配線の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の第1直列共振器と、前記共通端子と前記第1端子との間に前記第1配線の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の第1並列共振器とを含む第1フィルタと、
    前記第2面に設けられ、前記共通端子と第2端子との間に第2配線の少なくとも一部を介し直列に接続された1または複数の第2直列共振器と、前記共通端子と前記第2端子との間に前記第2配線の少なくとも一部を介し並列に接続された1または複数の第2並列共振器とを含み、
    前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち1または複数の第1共振器の少なくとも一部および/または前記1または複数の第1共振器に隣接する第2配線の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部、および/または前記第1配線の少なくとも一部と平面視において重なり、
    前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち前記1または複数の第1共振器以外の1または複数の第2共振器および/または前記1または複数の第2共振器に隣接する第2配線は、前記1または複数の第1直列共振器、前記1または複数の第1並列共振器、および/または前記第1配線と平面視において重ならず、
    前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器を接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路で表したとき、前記1または複数の第1共振器が含まれる1または複数の第1基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs1およびCp1とし、
    前記1または複数の第2共振器が含まれ、前記1または複数の第1共振器が含まれない1または複数の第2基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs2およびCp2としたとき、Cp1/Cs1の少なくとも1つはCp2/Cs2の少なくとも1つより小さい、第2フィルタと、
    を備えるマルチプレクサ。
  2. 前記Cp1/Cs1の最大値は前記Cp2/Cs2の最小値より小さい請求項1に記載のマルチプレクサ。
  3. 前記Cp1/Cs1の相乗平均は前記Cp2/Cs2の相乗平均より小さい請求項1に記載のマルチプレクサ。
  4. 前記1または複数の第1共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる、請求項1から3のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
  5. 前記1または複数の第2共振器は、前記1または複数の第2直列共振器のうち最も前記第2端子側に電気的に接続された第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器のうち最も前記第2端子側に電気的に接続された第2並列共振器を含む請求項1から4のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
  6. 前記1または複数の第1共振器の全ては、前記1または複数の第2共振器より前記共通端子側に電気的に接続されている請求項1から5のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
  7. 前記接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路は、
    1または複数の合成直列共振器と1または複数の合成並列共振器とが交互に接続されるように、前記1または複数の第2直列共振器および前記1または複数の第2並列共振器を合成し、
    両側に静電容量値がCmp1の第1合成並列共振器および静電容量値がCmp2の第2合成並列共振器が接続されている静電容量値がCmsの合成直列共振器を、前記第1合成並列共振器側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp2の分割直列共振器と、前記第2合成並列共振器側の静電容量値がCms×(Cmp1+Cmp2)/Cmp1の分割直列共振器と、に直列に分割することにより、前記1または複数の合成直列共振器を1または複数の分割直列共振器に分割し、
    両側に静電容量値がCds1の第1分割直列共振器および静電容量値がCds2の第2分割直列共振器が接続されている静電容量値がCmpの合成並列共振器を、前記第1分割直列共振器側の静電容量値がCmp×Cds1/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器と、前記第2分割直列共振器側の静電容量値がCmp×Cds2/(Cds1+Cds2)の分割並列共振器と、に並列に分割することにより、前記1または複数の合成並列共振器を1または複数の分割並列共振器に分割し、
    前記1または複数の分割直列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間の直列共振器とし、前記1または複数の分割並列共振器をそれぞれ1または複数の基本区間の並列共振器とすることにより算出される請求項1から6のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
  8. 前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器のうち1または複数の第3共振器の少なくとも一部および/または前記1または複数の第3共振器に隣接する第1配線の少なくとも一部は、前記1または複数の第2直列共振器の少なくとも一部、前記1または複数の第2並列共振器の少なくとも一部、および/または前記第2配線の少なくとも一部と平面視において重なり、
    前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器のうち前記1または複数の第3共振器以外の1または複数の第4共振器および/または前記1または複数の第4共振器に隣接する第1配線は、前記1または複数の第2直列共振器、前記1または複数の第2並列共振器、および/または前記第2配線と平面視において重ならず、
    前記1または複数の第1直列共振器および前記1または複数の第1並列共振器を接続関係がミラー対称の基本区間の等価回路で表したとき、前記1または複数の第3共振器が含まれる1または複数の第3基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs3およびCp3とし、
    前記1または複数の第4共振器が含まれ、前記1または複数の第3共振器が含まれない1または複数の第4基本区間の直列共振器および並列共振器の静電容量値をそれぞれCs4およびCp4としたとき、Cp3/Cs3の少なくとも1つはCp4/Cs4の少なくとも1つより小さい、請求項1から7のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
  9. 前記1または複数の第1共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なり、
    前記1または複数の第3共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第2直列共振器の少なくとも一部、および/または前記1または複数の第2並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる、請求項8に記載のマルチプレクサ。
  10. 前記1または複数の第1共振器の全ては、前記1または複数の第2共振器より前記共通端子側に電気的に接続され、
    前記1または複数の第3共振器の全ては、前記1または複数の第4共振器より前記共通端子側に電気的に接続されている請求項8または9に記載のマルチプレクサ。
JP2018028685A 2018-02-21 2018-02-21 マルチプレクサ Active JP7084739B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018028685A JP7084739B2 (ja) 2018-02-21 2018-02-21 マルチプレクサ
US16/235,533 US10826460B2 (en) 2018-02-21 2018-12-28 Multiplexer
CN201910090908.9A CN110176914B (zh) 2018-02-21 2019-01-30 复用器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018028685A JP7084739B2 (ja) 2018-02-21 2018-02-21 マルチプレクサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019146025A JP2019146025A (ja) 2019-08-29
JP7084739B2 true JP7084739B2 (ja) 2022-06-15

Family

ID=67616453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018028685A Active JP7084739B2 (ja) 2018-02-21 2018-02-21 マルチプレクサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10826460B2 (ja)
JP (1) JP7084739B2 (ja)
CN (1) CN110176914B (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6534406B2 (ja) * 2017-03-21 2019-06-26 太陽誘電株式会社 マルチプレクサ
JP6852837B2 (ja) * 2018-06-21 2021-03-31 株式会社村田製作所 フィルタおよびマルチプレクサ
JP2020115616A (ja) * 2019-01-17 2020-07-30 太陽誘電株式会社 フィルタおよびマルチプレクサ
JP7347989B2 (ja) * 2019-08-13 2023-09-20 太陽誘電株式会社 マルチプレクサ
WO2021049206A1 (ja) * 2019-09-13 2021-03-18 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007067617A (ja) 2005-08-30 2007-03-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 共用器及びそれを用いた通信機器
WO2011102049A1 (ja) 2010-02-17 2011-08-25 株式会社 村田製作所 弾性波デバイス
JP2015091065A (ja) 2013-11-06 2015-05-11 太陽誘電株式会社 電子部品およびモジュール
JP2017188807A (ja) 2016-04-06 2017-10-12 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
JP2017212628A (ja) 2016-05-26 2017-11-30 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
JP2017204827A5 (ja) 2016-05-13 2018-03-29

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4467154B2 (ja) 2000-07-31 2010-05-26 京セラ株式会社 弾性表面波装置
FI113111B (fi) * 2000-11-24 2004-02-27 Nokia Corp Pietsosähköisiä resonaattoreita käsittävä suodinrakenne ja järjestely
DE602005013685D1 (de) * 2004-07-20 2009-05-14 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches filter
DE102005026243B4 (de) 2005-06-07 2018-04-05 Snaptrack, Inc. Elektrisches Bauelement und Herstellungsverfahren
JP2007074698A (ja) * 2005-08-08 2007-03-22 Fujitsu Media Device Kk 分波器及びラダー型フィルタ
DE102007020288B4 (de) 2007-04-30 2013-12-12 Epcos Ag Elektrisches Bauelement
WO2010061477A1 (ja) * 2008-11-28 2010-06-03 富士通株式会社 フィルタ、デュプレクサおよび電子装置
JP5679558B2 (ja) * 2011-01-19 2015-03-04 太陽誘電株式会社 分波器
JP6200705B2 (ja) * 2013-06-27 2017-09-20 太陽誘電株式会社 分波器
JP6411292B2 (ja) * 2015-06-26 2018-10-24 太陽誘電株式会社 ラダー型フィルタ、デュプレクサおよびモジュール
JP6454299B2 (ja) * 2016-05-13 2019-01-16 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007067617A (ja) 2005-08-30 2007-03-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 共用器及びそれを用いた通信機器
WO2011102049A1 (ja) 2010-02-17 2011-08-25 株式会社 村田製作所 弾性波デバイス
JP2015091065A (ja) 2013-11-06 2015-05-11 太陽誘電株式会社 電子部品およびモジュール
JP2017188807A (ja) 2016-04-06 2017-10-12 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
JP2017204827A5 (ja) 2016-05-13 2018-03-29
JP2017212628A (ja) 2016-05-26 2017-11-30 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
CN110176914B (zh) 2023-05-05
US20190260351A1 (en) 2019-08-22
JP2019146025A (ja) 2019-08-29
US10826460B2 (en) 2020-11-03
CN110176914A (zh) 2019-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7084739B2 (ja) マルチプレクサ
US10250230B2 (en) Filter and multiplexer
US10700666B2 (en) Filter circuit, multiplexer, and module
US10447239B2 (en) Filter and multiplexer
JP6651643B2 (ja) 弾性波フィルタ、分波器および通信装置
JP6661521B2 (ja) フィルタおよびマルチプレクサ
JP5991785B2 (ja) 弾性波デバイス
JP2017204827A (ja) 弾性波デバイス
JP7343992B2 (ja) フィルタおよびマルチプレクサ
US10911019B2 (en) Multiplexer
JP2013247466A (ja) フィルタ、分波器及び通信モジュール
US10560068B2 (en) Multiplexer
JP2020014094A (ja) 通信用モジュール
US20220345112A1 (en) Acoustic wave filter and communication apparatus
US11309868B2 (en) Multiplexer
US11025226B2 (en) Multiplexer
US11658642B2 (en) Multiplexer
JP7402612B2 (ja) フィルタおよびマルチプレクサ
JP6949635B2 (ja) マルチプレクサ
WO2023234405A1 (ja) 複合フィルタ、マルチプレクサ及び通信装置
JP2022054986A (ja) マルチプレクサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210210

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220107

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220517

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220603

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7084739

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150