JP7068902B2 - マルチプレクサ - Google Patents
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Description
送信フィルタ50の一部と受信フィルタ52の一部が平面視において重なった場合を想定しアイソレーションのシミュレーションを行った。以下では、高周波信号が伝送される線路および共振器をホットという。例えば、直列共振器を含む直列経路51および53はホットである。
図3(a)は、シミュレーションSH-Lにおける回路図、図3(b)は、周波数に対するS21を示す図である。図3(a)に示すように、ポート1(Port1)とポート3(Port3)との間の線路L1に直列共振器S1が設けられている。直列共振器S1の共振周波数および反共振周波数をそれぞれ2.65GHzおよび2.758GHzとした。ポート2(Port2)とポート4(Port4)との間は線路L2により接続されている。線路L1とL2との間にキャパシタC1が接続されている。
図4(a)は、シミュレーションPH-Lにおける回路図、図4(b)は、周波数に対するS21およびS31を示す図である。図4(a)に示すように、並列共振器P1は一端がポート1とポート3との間の線路L1に接続され、他端はグランドに接続されている。並列共振器P1の共振周波数および反共振周波数をそれぞれ2.653GHzおよび2.758GHzとした。線路L2と並列共振器P1の線路L1側のノードとの間にキャパシタC1が接続されている。
図5(a)は、シミュレーションPG-Lにおける回路図、図5(b)は、周波数に対するS21およびS31を示す図である。図5(a)に示すように、並列共振器P1は一端がポート1とポート3との間の線路L1に接続され、他端はグランドに接続されている。並列共振器P1の共振周波数および反共振周波数はシミュレーションPH-Lと同じである。線路L2と並列共振器P1のグランド側のノードとの間にキャパシタC1が接続されている。
図6(a)および図6(b)は、シミュレーション1の結果を示す図である。図6(a)および図6(b)では、シミュレーションSH-L、PH-LおよびPG-Lにおいて、周波数が1GHzにおけるアイソレーションS21、2.5GHzから2.8GHzにおけるS21の最悪値、4GHzにおけるS21を示している。
シミュレーションPG-Lにおいて、並列経路55のうちグランドと並列共振器P1との間にインダクタが接続されている場合についてシミュレーションPG+L-Lを行った。
図9(a)および図9(b)は、それぞれ直列共振器および並列共振器が弾性表面波共振器の場合の平面図である。図9(a)および図9(b)に示すように、櫛型電極42dはダミー電極42bを備えている。一方の櫛型電極42dの電極指42aと他方の櫛型電極42dのダミー電極42bとは、電極指42aの延伸方向において対向している。一対の櫛型電極42dはそれぞれ配線43aおよび43bに電気的に接続されている。その他の弾性波共振器12の構造は図2(a)と同じであり説明を省略する。
図10(a)は、直列共振器が圧電薄膜共振器の場合の平面図、図10(b)および図10(c)は、並列共振器が圧電薄膜共振器の場合の平面図である。図10(a)から図10(c)に示すように、配線43aは上部電極47により形成され、配線43bは下部電極45により形成されている。配線43aと43bとの間に共振領域48が設けられている。その他の弾性波共振器22の構造は図2(b)と同じであり説明を省略する。
上記シミュレーションの結果を実験で確認した。図11は、実験に用いた測定系を示す断面図である。図11に示すように、冶具70上に図1と同様のサンプル35を搭載した。冶具70には、治具台72上に冶具基板74が設けられ、冶具基板74上に配線76が設けられている。配線76に端子18が電気的に接触する。配線76はコネクタ78に接続されている。
圧電基板10b:厚さが20μmの42°回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
支持基板10a:厚さが83μmのサファイア基板
弾性波共振器12:弾性表面波共振器
配線14:主に膜厚が1μmの金層
基板20:厚さが150μmのシリコン基板
弾性波共振器22:圧電薄膜共振器
上部電極47を用いた配線24:主に膜厚が0.6μmの金層
下部電極45を用いた配線24:膜厚が70nmのクロム膜および膜厚が215nmのルテニウム膜
空隙28:高さが約10μm
図12(a)から図12(c)は、それぞれサンプルLH-LH、LG-LHおよびLH-LGの平面図である。図12(a)から図12(c)に示すように、平面視において、線路L1とL2を交差させた。線路L1は基板10の上面に設けられた配線14であり、幅は40μmである。線路L1の両端はポート1およびポート3に接続されている。線路L2は基板20の下面に設けられた配線24であり、幅は20μmである。線路L2の両端はポート2およびポート4に接続されている。
図14(a)および図14(b)は、それぞれサンプルS-LHおよびP-LHの平面図である。図14(a)および図14(b)に示すように、線路L1内に弾性波共振器12が設けられている。弾性波共振器12は弾性表面波共振器であり基板10の上面に設けられている。弾性波共振器12の一端はポート1に接続され、他端はポート3に接続されている。弾性波共振器12のIDT42および41の中心に重なるようにホットな線路L2が設けられている。弾性波共振器12は、開口長が30λである。なお、λは弾性波の波長であり一対の櫛型電極42dのうち一方の櫛型電極42dの電極指42aのピッチに相当する。電極指42aの対数は200対である。共振周波数および反共振周波数は、それぞれ1768MHzおよび1804MHzである。その他の構成はサンプルLH-LH、LG-LHおよびLH-LGと同じであり説明を省略する。
図16(a)は、サンプルS-LHaおよびP-LHaの平面図、図16(b)は、サンプルS-LHbおよびP-LHbの平面図である。図16(a)に示すように、サンプルS-LHaおよびP-LHaでは、線路L2は弾性波共振器12の端に重なっている。図16(b)に示すように、サンプルS-LHbおよびP-LHbでは、線路L2は線路L1のうちホットな配線に重なっている。サンプルP-LHaおよびP-LHbでは、ポート1をグランドに接続する。その他の構成はサンプルS-LHおよびP-LHと同じであり説明を省略する。
図18(a)および図18(b)は、それぞれサンプルLH-SおよびLH-Pの平面図である。図18(a)および図18(b)に示すように、線路L2内に弾性波共振器22が設けられている。弾性波共振器22は圧電薄膜共振器であり基板20の下面に設けられている。弾性波共振器22の一端はポート2に接続され、他端はポート4に接続されている。弾性波共振器22の共振領域48の中心に重なるようにホットな線路L1が設けられている。弾性波共振器22における共振領域48の面積は16903.8μm2である。共振周波数および反共振周波数は、それぞれ1862MHzおよび1907MHzである。線路L2のうち共振領域48付近の下部電極45の幅W45および上部電極47の幅W47は36μmである。その他の構成はサンプルLH-LH、LG-LHおよびLH-LGと同じであり説明を省略する。
図20(a)は、サンプルLH-SaおよびLH-Paの平面図、図20(b)は、サンプルLH-SbおよびLH-Pbの平面図である。図20(a)に示すように、サンプルLH-SaおよびLH-Paでは、線路L2は共振領域48よりポート4側の上部電極47に重なっている。図20(b)に示すように、サンプルLH-SbおよびLH-Pbでは、線路L2は共振領域48よりポート2側の下部電極45に重なっている。サンプルLH-PaおよびLH-Pbでは、ポート4をグランドに接続する。その他の構成はサンプルLH-SおよびLH-Pと同じであり説明を省略する。
図22(a)および図22(b)は、それぞれサンプルS-LHおよびS-LGの平面図である。図22(a)に示すように、サンプルS-LHは、図14(a)と同じであり説明を省略する。図22(b)に示すように、サンプルS-LGでは、ポート4をグランドに接続する。これにより、線路L2はグランド線路となる。その他の構成はサンプルS-LHと同じであり説明を省略する。
図24(a)および図24(b)は、それぞれサンプルLH-SおよびLG-Sの平面図である。図24(a)に示すように、サンプルLH-Sは、図18(a)と同じであり説明を省略する。図24(b)に示すように、サンプルLG-Sでは、ポート3をグランドに接続する。これにより、線路L1はグランド線路となる。その他の構成はサンプルLH-Sと同じであり説明を省略する。
図26(a)から図26(c)は、それぞれサンプルS-S、P-SおよびS-Pの平面図である。図26(a)から図26(c)に示すように、基板10の上面に形成された弾性表面波共振器である弾性波共振器12と、基板20の下面に形成された圧電薄膜共振器である弾性波共振器22とが重なっている。弾性波共振器12の中心と弾性波共振器22の中心はほぼ一致している。弾性波共振器12の構造はサンプルS-LHおよびP-LHと同じであり、弾性波共振器22の構造はサンプルLH-SおよびLH-Pと同じである。
図28(a)および図28(b)は、それぞれサンプルS-SおよびP-Pの平面図である。図28(a)に示すように、サンプルS-Sは、図26(a)と同じであり説明を省略する。図28(b)に示すように、サンプルP-Pでは、ポート1およびポート2がグランドに接続されており、弾性波共振器12および22はいずれも並列共振器に対応する。その他の構成は、S-Sと同じであり説明を省略する。
図30(a)から図30(c)は、それぞれサンプルS-LH、P-LHおよびP+L-LHの平面図である。図30(a)および図30(b)に示すように、サンプルS-LHおよびP-LHは、図14(a)および図14(b)と同じであり説明を省略する。図30(c)に示すように、サンプルP+L-LHでは、ポート3がインダクタL3を介しグランドに接続されている。弾性波共振器12はインダクタL3を介し接地された並列共振器に対応する。その他の構成は、P-LHと同じであり説明を省略する。
図32(a)から図32(c)は、それぞれサンプルLH-S、LH-PおよびLH-P+Lの平面図である。図32(a)および図32(b)に示すように、サンプルLH-SおよびLH-Pは、図18(a)および図18(b)と同じであり説明を省略する。図32(c)に示すように、サンプルLH-P+Lでは、ポート4がインダクタL3を介しグランドに接続されている。弾性波共振器22はインダクタL3を介し接地された並列共振器に対応する。その他の構成は、LH-Pと同じであり説明を省略する。
以上の実験をまとめると、送信フィルタ50の並列経路55を受信フィルタ52の直列経路53および並列経路56(ただし並列共振器とグランドとの間を除く)と重ねると、送信フィルタ50の直列経路51を受信フィルタ52の直列経路53および並列経路56(ただし並列共振器とグランドとの間を除く)と重ねるより、アイソレーション特性が向上する。また、受信フィルタ52の並列経路56を送信フィルタ50の直列経路51および並列経路55(ただし並列共振器とグランドとの間を除く)と重ねると、受信フィルタ52の直列経路53を送信フィルタ50の直列経路51および並列経路55(ただし並列共振器とグランドとの間を除く)と重ねるより、アイソレーション特性が向上する。
図35は、サンプルAにおける基板10の上面を示す平面図である。平面に平行な方向をX方向およびY方向とする。一部の配線14、ビア配線16およびバンプ26の図示を省略している。図35に示すように、基板10の上面のうち-X側の約半分の領域に弾性波共振器12および配線14が設けられている。弾性波共振器12は、弾性表面波共振器である。基板10の周縁に封止部30が設けられている。配線14にビア配線16およびバンプ26が接続されている。
サンプルBにおける基板10の上面を示す平面図はサンプルAの図35と同じであり説明を省略する。図38は、サンプルBにおける基板20の下面を上から透視した平面図である。図36および図38に示すように、サンプルBでは、サンプルAに比べ直列経路53のうちパッドPa2から直列共振器S23までの範囲60が+X方向に移動している。その他の構成はサンプルAの図36と同じであり説明を省略する。
サンプルAにおいて、並列共振器P15からP18と直列経路53が重なる面積は、範囲62を除くと10306μm2である。また、直列共振器S17からS19と直列経路53が重なる面積は21115μm2である。これらの合計の面積は31421μm2である。
図41は、サンプルCおよびサンプルDに係るマルチプレクサの回路図である。図41に示すように、送信フィルタ50では、共通端子Antから送信端子Txに至る直列経路51(第2直列経路)に直列に直列共振器S11からS16が接続されている。並列共振器P11からP16は、一端が直列経路51に接続し他端がグランドに接続された並列経路55(第1並列経路)に直列に接続されている。受信フィルタ52では、共通端子Antから受信端子Rxに至る直列経路53(第1直列経路)に直列に直列共振器S21からS26が接続されている。並列共振器P21からP23は一端が直列経路53に接続し他端がグランドに接続された並列経路56(第2並列経路)に直列に接続されている。
図45は、実施例1の変形例1における基板10の上面を示す平面図である。図45に示すように、基板10の上面に弾性波共振器12として弾性表面波共振器が設けられている。パッドPa1とPt1との間の直列経路51に直列共振器S11からS16が設けられている。直列経路51とパッドPg1との間に並列共振器P11からP13が接続されている。直列共振器S11からS16は基板10の-X側の領域64に設けられ、並列共振器P11からP13は直列共振器S11からS16より+X側に設けられている。その他の構成は実施例1のサンプルAと同じであり説明を省略する。
図48は、実施例1の変形例2における基板10の上面を示す平面図である。図48に示すように、基板10の上面に弾性波共振器12として弾性表面波共振器が設けられている。パッドPa1とPt1との間の直列経路51に直列共振器S11からS19が設けられている。直列経路51とパッドPg1との間に並列共振器P11からP18が接続されている。その他の構成は実施例1のサンプルAと同じであり説明を省略する。
図51は、実施例1の変形例3に係るマルチプレクサの回路図である。図51に示すように、送信フィルタ50において、共通端子Antと送信端子Txとの間に直列共振器S11からS14が直列に接続され、並列共振器P11からP13が並列に接続されている。並列共振器P11からP13とグランドとの間にそれぞれインダクタL11からL13が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に直列共振器S21からS24が直列に接続され、並列共振器P21からP23が並列に接続されている。並列共振器P21からP23とグランドとの間にそれぞれインダクタL21からL23が接続されている。
12、22 弾性波共振器
14、24 配線
16 ビア配線
18 端子
26 バンプ
28 空隙
50 送信フィルタ
51、53 直列経路
52 受信フィルタ
55、56 並列経路
Claims (11)
- 第1面を有する第1基板と、
前記第1面と空隙を挟み対向する第2面を有する第2基板と、
前記第1面に設けられ、共通端子から第1端子に至る第1直列経路に直列に接続された1または複数の第1直列共振器と、一端が前記第1直列経路に接続し他端がグランドに接続された1または複数の第1並列経路に直列に接続された1または複数の第1並列共振器とを含む第1フィルタと、
前記第2面に設けられ、前記共通端子から第2端子に至る第2直列経路に直列に接続された1または複数の第2直列共振器と、一端が前記第2直列経路に接続し他端がグランドに接続された複数の第2並列経路に直列に接続された複数の第2並列共振器とを含み、
前記複数の第2並列共振器のうち前記第2端子に電気的に最も近い第2並列共振器と、前記1または複数の第2直列共振器のうち前記第2端子に電気的に最も近い第2直列共振器と、は、前記第1直列経路と平面視において重ならず、
前記複数の第2並列経路のうち少なくとも1つの第2並列経路の少なくとも一部は、前記1または複数の第1並列経路のうち前記第1直列経路と前記1または複数の第1並列共振器との間の1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、前記第1直列経路と、の少なくとも一部と平面視において重なる第2フィルタと、
を備え、
前記1または複数の第1直列共振器、前記1または複数の第1並列共振器、前記1または複数の第2直列共振器および前記複数の第2並列共振器は、弾性波共振器であるマルチプレクサ。 - 前記複数の第2並列共振器のうち少なくとも1つの第2並列共振器の少なくとも一部は、前記1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、前記第1直列経路と、の少なくとも一部と平面視において重なる請求項1に記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第2並列経路のうち少なくとも1つの第2並列経路の少なくとも一部は、前記1または複数の第1並列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる請求項1または2に記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第2並列経路のうち少なくとも1つの第2並列経路の少なくとも一部は、前記1または複数の第1直列共振器の少なくとも一部と平面視において重なる請求項1から3のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
- 前記第2直列経路のうち前記共通端子と実質的に同電位の範囲を除く範囲は、前記第1直列経路のうち前記共通端子と実質的に同電位の範囲を除く範囲と平面視において重ならない請求項1から4のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
- 前記少なくとも1つの第2並列経路は、前記複数の第2並列経路のうち前記共通端子に電気的に最も近い第2並列経路を含む請求項1から5のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
- 前記複数の第2並列経路のうち一部の第2並列経路は、前記1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、前記第1直列経路と、平面視において重ならない請求項1から6のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
- 前記少なくとも1つの第2並列経路内の第2並列共振器とグランド端子との間のインダクタンスは、前記一部の第2並列経路内の第2並列共振器とグランド端子との間のインダクタンスより小さい請求項7に記載のマルチプレクサ。
- 前記1または複数の第1並列共振器のうち前記第1端子に電気的に最も近い第1並列共振器と、前記1または複数の第1直列共振器のうち前記第1端子に電気的に最も近い第1直列共振器と、は、前記第2直列経路と平面視において重ならず、
前記1または複数の第1並列経路のうち少なくとも1つの第1並列経路の少なくとも一部は、前記複数の第2並列経路のうち前記第2直列経路と前記複数の第2並列共振器との間の複数の第2経路と、前記複数の第2並列共振器と、前記第2直列経路と、の少なくとも一部と平面視において重なる請求項1から8のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。 - 前記1または複数の第1直列共振器は、第1方向に配列された複数の第1直列共振器であり、
前記1または複数の第2直列共振器は、前記複数の第1直列共振器に対し前記第1方向に交差する第2方向に設けられ、前記第1方向に配列された複数の第2直列共振器であり、
前記1または複数の第1並列共振器と前記複数の第2並列共振器とは、平面視において、前記複数の第1直列共振器と前記複数の第2直列共振器との間に設けられ、
前記少なくとも1つの第2並列経路の少なくとも一部は、前記1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、の少なくとも一部と平面視において重なる請求項1から9のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。 - 前記少なくとも1つの第2並列経路の少なくとも一部は、前記1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、の少なくとも一部と平面視において重なり、
前記少なくとも1つの第2並列経路より前記共通端子に電気的に近い第2並列経路の少なくとも1つは、前記1または複数の第1経路と、前記1または複数の第1並列共振器と、前記第1直列経路と、の少なくとも一部と平面視において重ならない請求項1から10のいずれか一項に記載のマルチプレクサ。
Priority Applications (2)
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