JP5333806B2 - デバイス - Google Patents
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[適用例1]
第1の面、および前記第1の面に対して裏側の第2の面を有している第1の基板と、
前記第2の面と対向している第3の面、前記第3の面に対して裏側の第4の面、および前記第4の面に配置されている第1の外部端子並びに第2の外部端子を有している第2の基板と、前記第2の面と前記第3の面との間に配置されており、前記第1の基板と前記第2の基板と共に収容空間を構成している枠部、前記収容空間内に配置されている振動部、前記振動部と前記枠部とを連結している接続部、前記第2の面と対向して前記振動部に配置されている第1の振動用の電極、および前記第3の面と対向して前記振動部に配置されている第2の振動用の電極、を有している中間基板と、前記第2の面の前記接続部と対向している所と、前記第2の面の前記収容空間内の所と、前記枠部の外周の側面とを伝って配置されており、前記第1の振動用の電極と前記第1の外部端子とを導通している第1の配線と、前記接続部の前記第3の面と対向している所と、前記第2の基板の側面とを伝って配置されており、前記第2の振動用の電極と前記第2の外部端子とを導通している第2の配線と、を含む。
[適用例2]
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記第1の配線は、さらに前記第2の基板の側面を伝って配置されていてもよい。
[適用例3]
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記枠部の前記外周の側面は、前記第1の配線が配置されている第1の溝部を有し、前記第2の基板の側面は、前記第2の配線が配置されている第2の溝部を有していてもよい。
[適用例4]
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記デバイスは略直方体であり、前記第1の配線が配置されている前記枠部の前記外周の側面と、前記第2の配線が配置されている前記第2の基板の側面とは、表裏の関係であってもよい。
[適用例5]
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記第2の面には前記収容空間の一部を構成している凹部があってもよい。
[適用例6]
上記適用例に係るデバイスにおいて、前記振動部は圧電振動部であってもよい。
本参考例の第1の形態に係る圧電デバイスは、
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、
前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記圧電振動部の上面に設けられた第1の励振電極と、
前記圧電振動部の下面に設けられた第2の励振電極と、
を有し、
前記下側基板は、その下面に設けられた第1の外部端子および第2の外部端子を有し、
当該圧電デバイスは、
前記上側基板の下面において、前記接続部の上方から、当該接続部から最も離れた側面に沿った位置まで延び、かつ前記位置から当該側面を通ることにより、前記第1の励振電極と前記第1の外部端子とを電気的に接続する第1の配線と、
前記接続部の下面から前記下側基板の側面を通ることにより、第2の励振電極と前記第2の外部端子とを電気的に接続する第2の配線と、
をさらに含む。
前記上側基板は、下面に設けられた凹部を有し、
前記第1の配線は、前記上側基板の下面において前記凹部内に設けられていることができる。
前記中間基板および前記下側基板の一の側面に連続的に設けられた第1の溝部と、
前記下側基板の前記一の側面に対向する他の側面に設けられた第2の溝部と、
を有し、
前記第1の配線は、前記第1の溝部の内部に設けられ、
前記第2の配線は、前記第2の溝部に内部に設けられていることができる。
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
複数の圧電振動部と、
前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、
前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、
前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第1の励振電極と、
前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第2の励振電極と、
前記枠部に設けられた第1の貫通穴と、を有し、
前記上側基板は、その下面において前記接続部の上方から前記第1の貫通穴の上方に延びている第1の配線を有し、
前記下側基板は、
前記第1の貫通穴の下方に設けられた第2の貫通穴と、
前記隣り合う接続部の間の下方に設けられた第3の貫通穴と、を有し、
当該圧電デバイスは、
前記複数の圧電振動部の各々を分離するために前記枠部上に設けられた複数のダイシングラインをさらに含み、
前記複数のダイシングラインのうち、前記接続部の最も近い一のダイシングラインは、前記第3の貫通穴を通り、
他のダイシングラインは、前記第1の貫通穴および前記第2の貫通穴を通り、
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられている。
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスの製造方法であって、
複数の圧電振動部と、前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第1の励振電極と、前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第2の励振電極と、前記枠部に設けられた第1の貫通穴と、を有する中間基板と、下面に第1の配線を有する上側基板と、第2の貫通穴および第3の貫通穴を有する下側基板と、を準備する工程と、
前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴とが重複するように、前記下側基板および上側基板と、中間基板とを接合する工程と、
前記第3の貫通穴を通る一のダイシングラインと、前記第1の貫通穴および前記第2の貫通穴を通る他のダイシングラインとに沿って前記上側基板、前記中間基板、および前記下側基板を切断することによって、前記複数の圧電振動部を分離する工程と、
前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴の形成領域に、第1の配線と接する一の導電膜を形成する工程と、
前記第3の貫通穴の形成領域に、他の導電膜を形成する工程と、
を含む。
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられていることができる。
本実施の形態に係る圧電デバイス100は、下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む。まず、下側基板、上側基板、および中間基板のそれぞれについて図1(A)〜図1(D)および図2を参照しながら具体的に説明する。図1(A)〜図1(D)は、本実施の形態に係る圧電デバイスに用いられる上側基板、中間基板、および下側基板を示す上面または下面図である。図2は、本実施の形態に係る圧電デバイスを示す断面図であり、図1(A)〜図1(D)におけるII−II切断面に対応する図である。
図1(A)は、上側基板20を模式的に示す下面図である。上側基板20は、凹部21と、その周囲に設けられた枠部22とを有する。
側基板20の側面に沿った領域に設けられ、その内側の領域および縁部24に凹部21が設けられる。また、凹部21の深さは、第1の配線23cの厚み以上であることが好ましい。また、中間基板の枠部に凹部を形成し、当該凹部に相当する位置に配線を配置する場合、上側基板は平板でも構わない。
図1(B)は、中間基板10を模式的に示す上面図であり、図1(C)は、中間基板10を模式的に示す下面図である。
図1(D)は、下側基板30を模式的に示す下面図である。下側基板30は、その下面に設けられた第1の外部端子32および第2の外部端子34を有する。
第1の励振電極13および第2の励振電極14のそれぞれが第1の外部端子32および第2の外部端子34と電気的に接続するために、圧電デバイス100に設けられた配線構造について詳細に説明する。
0における第1の配線23a第1の励振電極13側とは反対側の端部に重複している。
次に本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法について説明する。図3〜図6は、本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法を示す図である。
本実施の形態の変形例にかかる圧電デバイスは、接続部が2箇所に設けられている点で、接続部が1箇所に設けられている圧電デバイス100と異なる。
図7(A)は、上側基板120の下面を示す図である。上側基板120は、凹部121および第1の配線123cを下面に有する。
図7(B)は、中間基板110を模式的に示す上面図であり、図7(C)は、中間基板110を模式的に示す下面図である。
図7(D)は、下側基板130を模式的に示す下面図である。下側基板130は、その下面に設けられた第1の外部端子132および第2の外部端子134を有する。
第1の励振電極113は、第1の配線123a,b,c,d,を介して第1の外部端子と電気的に接続する。第1の配線123dは、上側基板120の縁部124、および中間基板110および下側基板130の側面に設けられた第1の溝部125に連続的に設けられて、第1の外部端子132に接続する。
25…第1の溝部、 30…下側基板、 32…第1の外部端子、33a,33b…第2の配線、 34…第2の外部端子、 35…第1の溝部、 36…第2の溝部、 100…圧電デバイス、 110…中間基板、 111…圧電振動部、 112…枠部、 113…第1の励振電極、 114…第2の励振電極、 115a、115b…接続部、 120…上側基板、 121…凹部、 122…枠部、 123a,123b,123c,123d,…第1の配線、 124…縁部、 125…第1の溝部、 130…下側基板、 132…第1の外部端子、133a,133b…第2の配線、 134…第2の外部端子、 135…第1の溝部、 136…第2の溝部、 210…中間水晶板、 220…上側水晶板、 225…第1の貫通穴、 230…下側水晶板、 235…第2の貫通穴、 236…第3の貫通穴、 300…圧電水晶デバイス
Claims (6)
- 第1の面、および前記第1の面に対して裏側の第2の面を有している第1の基板と、
前記第2の面と対向している第3の面、前記第3の面に対して裏側の第4の面、および前記第4の面に配置されている第1の外部端子並びに第2の外部端子を有している第2の基板と、
前記第2の面と前記第3の面との間に配置されており、前記第1の基板と前記第2の基板と共に収容空間を構成している枠部、前記収容空間内に配置されている振動部、前記振動部と前記枠部とを連結している接続部、前記第2の面と対向して前記振動部に配置されている第1の振動用の電極、および前記第3の面と対向して前記振動部に配置されている第2の振動用の電極、を有している中間基板と、
前記第2の面の前記接続部と対向している所と、前記第2の面の前記収容空間内の所と、前記枠部の外周の側面とを伝って配置されており、前記第1の振動用の電極と前記第1の外部端子とを導通している第1の配線と、
前記接続部の前記第3の面と対向している所と、前記第2の基板の側面とを伝って配置されており、前記第2の振動用の電極と前記第2の外部端子とを導通している第2の配線と、を含むデバイス。 - 請求項1において、
前記第1の配線は、さらに前記第2の基板の側面を伝って配置されているデバイス。 - 請求項1または2において、
前記枠部の前記外周の側面は、前記第1の配線が配置されている第1の溝部を有し、
前記第2の基板の側面は、前記第2の配線が配置されている第2の溝部を有しているデバイス。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記デバイスは略直方体であり、前記第1の配線が配置されている前記枠部の前記外周の側面と、前記第2の配線が配置されている前記第2の基板の側面とは、表裏の関係であるデバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第2の面には前記収容空間の一部を構成している凹部があるデバイス。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記振動部は圧電振動部であるデバイス。
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