JP2011166310A - 圧電振動子及びこれを用いた発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース基板2の実装部9と第一貫通電極10aとの間に形成した第一引回し電極5aを、圧電振動片4の外表面に形成した駆動用の第一及び第二励振電極6a、6bと重ならない周囲の領域に形成して、第一引回し電極5aの抵抗を低減した。
【選択図】図1
Description
本発明の第一実施形態に係る圧電振動子1を、図1及び図2を用いて説明する。図1は圧電振動子1の説明図であり、図1(a)が圧電振動子1の外観図、図1(b)が分解斜視図である。図2は圧電振動子1の説明図であり、図2(a)がベース基板2の上面模式図であり、図2(b)が部分BBに対応する圧電振動子1の断面模式図である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。
図3は、本発明の第二実施形態に係る圧電振動子1の説明図である。図3(a)が、ベース基板2の上面模式図であり、図3(b)が部分BBに対応する圧電振動子1の断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、ベース基板2とリッド基板3の接合面に形成した導体膜と第一引回し電極5aを、第一実装部9aの近傍と第一貫通電極10aの近傍において電気的に接続した点であり、その他の部分は第一実施形態と同じである。従って、以下、主に第一実施形態と異なる部分について説明する。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図4及び図5は、本発明の第三実施形態に係る圧電振動子1の説明図である。図4(a)がベース基板2の上面模式図であり、図4(b)がリッド基板3の上面模式図であり、図5(a)が部分BBに対応する圧電振動子1の断面模式図であり、図5(b)が部分AAの断面模式図である。第一実施形態と異なる点は、リッド基板3のベース基板2側の表面に第二引回し電極5bを形成し、第一引回し電極5aと第二引回し電極5bを第二実装部9bの近傍領域に形成した第一接続部7aと第一貫通電極10aの近傍領域に形成した第二接続部7bにより電気的に接続した点である。その他は第一実施形態と同様なので、説明を省略する。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。
図6は、本発明の第四実施形態に係る発振器40の上面模式図である。図6に示すように、発振器40は、基板43、この基板上に設置した上記第一〜第三実施形態のいずれかの圧電振動子1、集積回路41及び電子部品42を備えている。圧電振動子1は、外部電極11a、11bに与えられる駆動信号に基づいて一定周波数の信号を生成し、集積回路41及び電子部品42は、圧電振動子1から供給される一定周波数の信号を処理して、クロック信号等の基準信号を生成する。本発明による圧電振動子1は、高信頼性でかつ小型に形成することができるので、発振器40の全体を一層コンパクトに構成することができる。
2 ベース基板
3 リッド基板
4 圧電振動片
5a 第一引回し電極、5b 第二引回し電極、5c 第三引回し電極
6a 第一励振電極、6b 第二励振電極
7a 第一接続部、7b 第二接続部
9a 第一実装部、9b 第二実装部
10a 第一貫通電極、10b 第二貫通電極
11a 第一外部電極、11b 第二外部電極
12a 第一端子電極、12b 第二端子電極
13 接合部材
40 発振器
Claims (4)
- ベース基板と、
前記ベース基板の表面に形成した実装部において方持ち状態で保持される圧電振動片と、
前記ベース基板に設置され、前記圧電振動片を覆うように収納するリッド基板と、を備える圧電振動子であって、
前記圧電振動片は、その外表面に駆動用の第一及び第二励振電極を有し、
前記ベース基板は、その表面から反対側の裏面にかけて貫通する第一及び第二貫通電極と、前記表面に形成され、一端が前記第一貫通電極に接続し他端が前記実装部に接続する第一引回し電極を有し、
前記第一引回し電極は、前記ベース基板をその表面の法線方向から見たときに、前記第一及び第二励振電極と重ならない周囲の領域に形成され、
前記第一励振電極は、前記実装部と前記第一引回し電極とを介して前記第一貫通電極に電気的に接続し、前記第二励振電極は、前記実装部を介して前記第二貫通電極に電気的に接続する圧電振動子。 - 前記リッド基板は、前記圧電振動片を収納するための凹部を有し、
前記凹部を構成する側壁の上面が前記ベース基板に接合し、
前記リッド基板と前記ベース基板とが接合する接合面には導体膜が形成され、
前記第一引回し電極は、前記実装部の近傍と前記第一貫通電極の近傍において前記導体膜に電気的に接続する請求項1に記載の圧電振動子。 - 前記ベース基板は、前記第一引回し電極の上であり前記実装部の近傍に位置する第一接続部と前記第一貫通電極の近傍に位置する第二接続部とを有し、
前記リッド基板は、前記圧電振動片が実装される側の表面に形成される第二引回し電極を有し、前記第一引回し電極と前記第二引回し電極とは前記第一及び第二接続部において電気的に接続することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電振動子。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電振動子と、
前記圧電振動子に駆動信号を供給する駆動回路と、を備える発信器。
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