JP2009232449A - 圧電振動子及び発振器 - Google Patents
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Abstract
特性を劣化させることなく、従来よりも遥かに薄型化し、コンパクト化を図る。
【解決手段】
ガラス材料からなるベース基板2と、ベース基板2に対向させた状態でベース基板2に陽極接合されたガラス材料からなるリッド基板3と、ベース基板2とリッド基板3との間に形成されたキャビティ16内に収納された状態で、ベース基板2の上面に接合された圧電振動片4と、を備えた圧電振動子1において、圧電振動片4が、ATモードで発振する圧電振動片4であり、かつ、ベース基板2の上面にバンプ接合され、ベース基板2のガラス材料の熱膨張係数が、8.5×10−6〜20×10−6/℃である。また、ベース基板2とリッド基板3とが陽極接合された接合部分の幅が50μm〜300μmである。
【選択図】図3
Description
さらに導電性接着剤204は、有機溶剤が含まれているため、熱環境により硬度や強度が変化する可能性がある。このため、圧電振動子200が長期的に熱環境下におかれている場合、導電性接着剤204の状態が変化し、圧電振動子200の周波数やインピーダンスを変化させてしまうという課題があった。
ここで、バンプ接合の位置やバンプの数とガラス材料の熱膨張係数の限定範囲には関係がある。図8に示すようにマウント電極7、8に対し、圧電振動片4のZ’軸方向にバンプ11、12が複数並ぶ場合、ガラス材料の熱膨張係数のばらつきは前記Z’軸方向の熱膨張係数の±30%前後に相当する8.1×10−6〜15.1×10−6/℃がより望ましい。これは、圧電振動片4のZ’軸方向の熱膨張係数は11.6×10−6/℃近辺にあるためである。
また、図9に示すようにマウント電極7、8に対し、圧電振動片4のX軸方向にバンプ11、12が複数並ぶ場合、ガラス材料の熱膨張係数のばらつきはこれは前記X軸方向の熱膨張係数に比較的近い±30%前後に相当する9.6×10−6〜18×10−6/℃がより望ましい。これは、圧電振動片4のX軸方向の熱膨張係数は13.7×10−6/℃近辺にあるためである。
ガラスフリット材26は塗布後に焼成を行う。このとき、バンプ11、12の並んでいる方向は、圧電振動片4の結晶軸Z’軸方向になるので、ガラスフリット材26の熱膨張係数は10×10−6〜16×10−6/℃がより望ましい。
前記圧電振動子1に形成された前記外部電極21、22に対して、集積回路42より所定の駆動電圧を印加する。これにより、前記圧電振動片4の前記励振電極5、6からなる励振電極5、6に電流を流すことができ、所定の周波数で振動させることができる。そして、振動を利用して、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。
2…ベース基板
3…リッド基板
4…圧電振動片
5、6…励振電極
7、8…マウント電極
9、10…引き回し電極
11、12…バンプ
13、14…貫通電極
15…側面電極
16…キャビティ
20…接合面
21、22、33、34…外部電極
23…接合膜
24、25…スルーホール
26…ガラスフリット材
31、32…側面外部電極
40…発振器
41…基板
42…集積回路
43…電子部品
Claims (7)
- ベース基板と、
前記ベース基板に対向させた状態で該ベース基板に接合されたリッド基板と、
前記ベース基板と前記リッド基板との間に形成されたキャビティ内に収納された状態で、
前記ベース基板のキャビティ側の面に接合された圧電振動片と、
を備えた圧電振動子において、
前記圧電振動片はATモードで発振し、
前記ベース基板のキャビティ側の面に電極膜を介して前記圧電振動片がバンプ接合され、
前記ベース基板が、熱膨張係数が前記圧電振動片の熱膨張係数の±30%以内に収まる範囲にある材料からなることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1に記載の圧電振動子において、
前記ベース基板の熱膨張係数が8.1×10−6〜18×10−6/℃であることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1または2に記載の圧電振動子において、
前記ベース基板がガラス材料からなることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1に記載の圧電振動子において、
前記ベース基板と前記リッド基板とが陽極接合されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項4に記載の圧電振動子において、
前記ベース基板と前記リッド基板との接合部分の幅が、50μm〜300μmであることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1に記載の圧電振動子において、
前記ベース基板のキャビティ側の面にガラスフリット材の層が形成され、
前記ガラスフリット材の層の上面に前記圧電振動片が電極膜を介してバンプ接合されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項1〜6のいずれか一つに記載の圧電振動子と、
前記圧電振動子に駆動電圧を印加する駆動回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
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