JP2012195976A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る圧電デバイス100は、下側基板30および上側基板20と、それらに挟まれている中間基板10とを含む圧電デバイスであって、中間基板は、圧電振動部11と、圧電振動部の周囲を囲む枠部12と、圧電振動部と枠部とを接続する接続部15と、圧電振動部の上面に設けられた第1の励振電極13と、圧電振動部の下面に設けられた第2の励振電極14と、を有し、下側基板は、その下面に設けられた第1の外部端子32および第2の外部端子34を有し、当該圧電デバイスは、上側基板の下面において、接続部の上方から、当該接続部から最も離れた側面に沿った位置まで延び、かつ位置から当該側面を通ることにより、第1の励振電極と第1の外部端子とを電気的に接続する第1の配線23c、dをさらに含む。
【選択図】図2
Description
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、
前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記圧電振動部の上面に設けられた第1の励振電極と、
前記圧電振動部の下面に設けられた第2の励振電極と、
を有し、
前記下側基板は、その下面に設けられた第1の外部端子および第2の外部端子を有し、
当該圧電デバイスは、
前記上側基板の下面において、前記接続部の上方から、当該接続部から最も離れた側面に沿った位置まで延び、かつ前記位置から当該側面を通ることにより、前記第1の励振電極と前記第1の外部端子とを電気的に接続する第1の配線と、
前記接続部の下面から前記下側基板の側面を通ることにより、第2の励振電極と前記第2の外部端子とを電気的に接続する第2の配線と、
をさらに含む。
前記上側基板は、下面に設けられた凹部を有し、
前記第1の配線は、前記上側基板の下面において前記凹部内に設けられていることができる。
前記中間基板および前記下側基板の一の側面に連続的に設けられた第1の溝部と、
前記下側基板の前記一の側面に対向する他の側面に設けられた第2の溝部と、
を有し、
前記第1の配線は、前記第1の溝部の内部に設けられ、
前記第2の配線は、前記第2の溝部に内部に設けられていることができる。
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスであって、
前記中間基板は、
複数の圧電振動部と、
前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、
前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、
前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第1の励振電極と、
前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第2の励振電極と、
前記枠部に設けられた第1の貫通穴と、を有し、
前記上側基板は、その下面において前記接続部の上方から前記第1の貫通穴の上方に延びている第1の配線を有し、
前記下側基板は、
前記第1の貫通穴の下方に設けられた第2の貫通穴と、
前記隣り合う接続部の間の下方に設けられた第3の貫通穴と、を有し、
当該圧電デバイスは、
前記複数の圧電振動部の各々を分離するために前記枠部上に設けられた複数のダイシングラインをさらに含み、
前記複数のダイシングラインのうち、前記接続部の最も近い一のダイシングラインは、前記第3の貫通穴を通り、
他のダイシングラインは、前記第1の貫通穴および前記第2の貫通穴を通り、
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられている。
下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む圧電デバイスの製造方法であって、
複数の圧電振動部と、前記複数の圧電振動部の各々を囲む複数の枠部と、前記複数の圧電振動部の各々と前記枠部とを接続する複数の接続部と、前記複数の圧電振動部の各々の上面に設けられた複数の第1の励振電極と、前記複数の圧電振動部の各々の下面に設けられた複数の第2の励振電極と、前記枠部に設けられた第1の貫通穴と、を有する中間基板と、下面に第1の配線を有する上側基板と、第2の貫通穴および第3の貫通穴を有する下側基板と、を準備する工程と、
前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴とが重複するように、前記下側基板および上側基板と、中間基板とを接合する工程と、
前記第3の貫通穴を通る一のダイシングラインと、前記第1の貫通穴および前記第2の貫通穴を通る他のダイシングラインとに沿って前記上側基板、前記中間基板、および前記下側基板を切断することによって、前記複数の圧電振動部を分離する工程と、
前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴の形成領域に、第1の配線と接する一の導電膜を形成する工程と、
前記第3の貫通穴の形成領域に、他の導電膜を形成する工程と、
を含む。
互いに隣り合う前記複数の圧電振動部および前記複数の接続部は、前記一または他のダイシングラインに対して対称に設けられていることができる。
本実施の形態に係る圧電デバイス100は、下側基板および上側基板と、それらに挟まれている中間基板とを含む。まず、下側基板、上側基板、および中間基板のそれぞれについて図1(A)〜図1(D)および図2を参照しながら具体的に説明する。図1(A)〜図1(D)は、本実施の形態に係る圧電デバイスに用いられる上側基板、中間基板、および下側基板を示す上面または下面図である。図2は、本実施の形態に係る圧電デバイスを示す断面図であり、図1(A)〜図1(D)におけるII−II切断面に対応する図である。
図1(A)は、上側基板20を模式的に示す下面図である。上側基板20は、凹部21と、その周囲に設けられた枠部22とを有する。
側基板20の側面に沿った領域に設けられ、その内側の領域および縁部24に凹部21が設けられる。また、凹部21の深さは、第1の配線23cの厚み以上であることが好ましい。また、中間基板の枠部に凹部を形成し、当該凹部に相当する位置に配線を配置する場合、上側基板は平板でも構わない。
図1(B)は、中間基板10を模式的に示す上面図であり、図1(C)は、中間基板10を模式的に示す下面図である。
図1(D)は、下側基板30を模式的に示す下面図である。下側基板30は、その下面に設けられた第1の外部端子32および第2の外部端子34を有する。
第1の励振電極13および第2の励振電極14のそれぞれが第1の外部端子32および第2の外部端子34と電気的に接続するために、圧電デバイス100に設けられた配線構造について詳細に説明する。
0における第1の配線23a第1の励振電極13側とは反対側の端部に重複している。
次に本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法について説明する。図3〜図6は、本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法を示す図である。
本実施の形態の変形例にかかる圧電デバイスは、接続部が2箇所に設けられている点で、接続部が1箇所に設けられている圧電デバイス100と異なる。
図7(A)は、上側基板120の下面を示す図である。上側基板120は、凹部121および第1の配線123cを下面に有する。
図7(B)は、中間基板110を模式的に示す上面図であり、図7(C)は、中間基板110を模式的に示す下面図である。
図7(D)は、下側基板130を模式的に示す下面図である。下側基板130は、その下面に設けられた第1の外部端子132および第2の外部端子134を有する。
第1の励振電極113は、第1の配線123a,b,c,d,を介して第1の外部端子と電気的に接続する。第1の配線123dは、上側基板120の縁部124、および中間基板110および下側基板130の側面に設けられた第1の溝部125に連続的に設けられて、第1の外部端子132に接続する。
25…第1の溝部、 30…下側基板、 32…第1の外部端子、33a,33b…第2の配線、 34…第2の外部端子、 35…第1の溝部、 36…第2の溝部、 100…圧電デバイス、 110…中間基板、 111…圧電振動部、 112…枠部、 113…第1の励振電極、 114…第2の励振電極、 115a、115b…接続部、 120…上側基板、 121…凹部、 122…枠部、 123a,123b,123c,123d,…第1の配線、 124…縁部、 125…第1の溝部、 130…下側基板、 132…第1の外部端子、133a,133b…第2の配線、 134…第2の外部端子、 135…第1の溝部、 136…第2の溝部、 210…中間水晶板、 220…上側水晶板、 225…第1の貫通穴、 230…下側水晶板、 235…第2の貫通穴、 236…第3の貫通穴、 300…圧電水晶デバイス
Claims (3)
- 圧電振動部、平面視において前記圧電振動部の周囲を囲んでいる枠部、前記圧電振動部と前記枠部とを連結している接続部、前記圧電振動部の一方の面に設けられている第1の励振電極および前記一方の面に対して裏面側の他方の面に設けられている第2の励振電極を有している中間基板と、
平面視において前記第2の励振電極、前記接続部および前記枠部と一方の面とが重なっており、かつ該一方の面に対して裏面側である他方の面に第1の外部電極および第2の外部電極が配置されている下側基板と、
平面視において前記第1の励振電極、前記接続部および前記枠部と一方の面とが重なっている上側基板と、
前記上側基板の前記一方の面において前記接続部と重なっている所から、前記上側基板における外縁のうち前記接続部から最も離れている側面に沿って延びている外縁の位置までの間と、該位置から前記上側基板の側面とに配置されており、かつ前記第1の励振電極と前記第1の外部端子とを電気的に接続している第1の配線と、
前記接続部の、前記下側基板の前記一方の面と重なっている側の面から延出し、前記下側基板の側面をわたって配置されており、かつ前記第2の励振電極と前記第2の外部端子とを電気的に接続している第2の配線と、を含む、圧電デバイス。 - 請求項1において、
前記上側基板の前記一方の面が凹部を有し、
前記第1の配線は、前記凹部内に設けられている、圧電デバイス。 - 請求項1または2において、
前記中間基板および前記下側基板の一の側面に連続的に設けられた第1の溝部と、
前記下側基板の前記一の側面に対向する他の側面に設けられた第2の溝部と、
を有し、
前記第1の配線は、前記第1の溝部の内部に設けられ、
前記第2の配線は、前記第2の溝部に内部に設けられている、圧電デバイス。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104512A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電共振子の封止構造 |
JPH10209799A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子 |
JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
WO2007023685A1 (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corporation | 圧電デバイス |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104512A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電共振子の封止構造 |
JPH10209799A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動子 |
JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
WO2007023685A1 (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corporation | 圧電デバイス |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017077972A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
CN108352820A (zh) * | 2015-11-06 | 2018-07-31 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
JPWO2017077972A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2018-08-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
US10600953B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-03-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
TWI708480B (zh) * | 2015-11-06 | 2020-10-21 | 日商大真空股份有限公司 | 壓電振動裝置 |
CN108352820B (zh) * | 2015-11-06 | 2021-12-07 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
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