JPH07112142B2 - 圧電共振子の封止構造 - Google Patents
圧電共振子の封止構造Info
- Publication number
- JPH07112142B2 JPH07112142B2 JP61250431A JP25043186A JPH07112142B2 JP H07112142 B2 JPH07112142 B2 JP H07112142B2 JP 61250431 A JP61250431 A JP 61250431A JP 25043186 A JP25043186 A JP 25043186A JP H07112142 B2 JPH07112142 B2 JP H07112142B2
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- piezoelectric resonator
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- piezoelectric
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は圧電共振子,殊にフラットパッケージ型圧電共
振子の封止構造に関する。
振子の封止構造に関する。
(従来技術) 電子回路の背丈を低くする為従来からフラットパッケー
ジ型の圧電共振子が提案されているがその構造は第2図
に示すように圧電共振子素板1の周辺表裏両面と皿型の
封止部材2,3の縁部とを接着することによって封止する
ものが一般的である。
ジ型の圧電共振子が提案されているがその構造は第2図
に示すように圧電共振子素板1の周辺表裏両面と皿型の
封止部材2,3の縁部とを接着することによって封止する
ものが一般的である。
この封止部4は通常接着面をメタライズしインジウム或
は金一シリコン等を付着した上で加熱圧接するものであ
り前記共振子素板1表面に付着した電極5から延びる電
極リード部を前記メタライズと一体化し前記封止部材2
の外周部において外部回路と接続するものである。
は金一シリコン等を付着した上で加熱圧接するものであ
り前記共振子素板1表面に付着した電極5から延びる電
極リード部を前記メタライズと一体化し前記封止部材2
の外周部において外部回路と接続するものである。
しかしながら上述したように構成する従来のフラットパ
ッケージ型圧電共振子は第2図からも明らかなように圧
電素板周辺両面に大面積の導体プレートが存在すること
により共振子の並列容量が増大するので共振子の容量比
が増大するという欠陥があった。
ッケージ型圧電共振子は第2図からも明らかなように圧
電素板周辺両面に大面積の導体プレートが存在すること
により共振子の並列容量が増大するので共振子の容量比
が増大するという欠陥があった。
また上述の問題を回避するため封止部4を有機接着剤或
は無機のガラス接着剤で接着することも考えられるが,
前者は接着剤硬化時の歪が大きく圧電素板に大なるスト
レスが加わるのみならず発生するガスの影響で共振周波
数が変動するという問題があり,後者は接着温度が高い
為電極の蒸発又は変質によりやはり共振周波数が変動す
るのでいずれもこのようなタイプの封止構造には適しな
いものであった。
は無機のガラス接着剤で接着することも考えられるが,
前者は接着剤硬化時の歪が大きく圧電素板に大なるスト
レスが加わるのみならず発生するガスの影響で共振周波
数が変動するという問題があり,後者は接着温度が高い
為電極の蒸発又は変質によりやはり共振周波数が変動す
るのでいずれもこのようなタイプの封止構造には適しな
いものであった。
(発明の目的) 本発明は上述したような従来のフラットパッケージ型圧
電共振子の封止構造の欠陥を除去する為になされたもの
であって密封性に優れ接着温度の低いメタライズ面接着
を用いしかも共振子の容量比を増大させない圧電共振子
の封止構造を提供することを目的とする。
電共振子の封止構造の欠陥を除去する為になされたもの
であって密封性に優れ接着温度の低いメタライズ面接着
を用いしかも共振子の容量比を増大させない圧電共振子
の封止構造を提供することを目的とする。
(発明の概要) 上述の目的を達成する為本発明に於いては封止部に施す
メタライズと共振子の電極リード部とを切り離すと共に
前記電極リード部を前記封止部材に設けたスルーホール
を介して封止部材外部と電気的に接続するものである。
メタライズと共振子の電極リード部とを切り離すと共に
前記電極リード部を前記封止部材に設けたスルーホール
を介して封止部材外部と電気的に接続するものである。
(実施例) 以下,本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第1図は本発明に係る圧電共振子の封止構造の一実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
本図に於いて圧電共振子1両面をはさむ皿型封止部材2,
3には夫々内面をメタライズするとともにその開口面に
ランドを有するスルーホール6,7を設け、前記圧電共振
子1との当接面側のランドと圧電共振子1の電極5のリ
ード部とをインジウム或は金一シリコン等を介して加熱
圧接し電気的に接続する。尚,圧電共振子1素板の密封
は前記電極5のリード部から独立し前記圧電共振子1素
板及び前記封止部材5の外周に環状に設けたメタライズ
部8をインジウム等を介して上述のスルーホール6と電
極リード部の接続と同時に加熱圧接することはいうまで
もない。
3には夫々内面をメタライズするとともにその開口面に
ランドを有するスルーホール6,7を設け、前記圧電共振
子1との当接面側のランドと圧電共振子1の電極5のリ
ード部とをインジウム或は金一シリコン等を介して加熱
圧接し電気的に接続する。尚,圧電共振子1素板の密封
は前記電極5のリード部から独立し前記圧電共振子1素
板及び前記封止部材5の外周に環状に設けたメタライズ
部8をインジウム等を介して上述のスルーホール6と電
極リード部の接続と同時に加熱圧接することはいうまで
もない。
また前記スルーホール6,7を介する外部回路との接続は
このスルーホールにピンを立てランド部において半田付
けをしてもよく或はランド部に金属片を接着すればこの
圧電共振子をチップ部品として使用することもできる。
このスルーホールにピンを立てランド部において半田付
けをしてもよく或はランド部に金属片を接着すればこの
圧電共振子をチップ部品として使用することもできる。
もっとも上述したようにリード端子が部品の表裏に存在
する場合プリント板への実装に不便なことが少なくな
い。
する場合プリント板への実装に不便なことが少なくな
い。
この問題を解決する為には第3図に示すようにスルーホ
ール6,6を封止部材の一方2に集中すると共に封止すべ
き圧電共振子素板1にも同様のスルーホール9を設け両
者を接続するようにしてもよい。
ール6,6を封止部材の一方2に集中すると共に封止すべ
き圧電共振子素板1にも同様のスルーホール9を設け両
者を接続するようにしてもよい。
このようにしたことにより圧電共振子素板の封止にかか
わる金属膜が容量を構成することがないので共振子の並
列容量が増大することがない。
わる金属膜が容量を構成することがないので共振子の並
列容量が増大することがない。
尚,前記圧電素板1に於いてその電極リード部と前記ス
ルホール6とが当接する面の背面は封止用メタライズ8
の存在によって少しく空隙が生じ電極リード部とスルホ
ールとの加熱圧接による接続が不完全となる場合があり
うる。これを防止する為には第4図に示す如く前記圧電
基板1に於ける電極リード部とスルーホールとの当接面
の背面に封止用メタライズ8とほゞ同等の厚さの独立し
たランド10を形成すればよい。又,前記ランド10は必ず
しも圧電基板1側に設ける必要はなく封止部材2側の適
所に予じめ形成しておいてもよいことはいうまでもある
まい。
ルホール6とが当接する面の背面は封止用メタライズ8
の存在によって少しく空隙が生じ電極リード部とスルホ
ールとの加熱圧接による接続が不完全となる場合があり
うる。これを防止する為には第4図に示す如く前記圧電
基板1に於ける電極リード部とスルーホールとの当接面
の背面に封止用メタライズ8とほゞ同等の厚さの独立し
たランド10を形成すればよい。又,前記ランド10は必ず
しも圧電基板1側に設ける必要はなく封止部材2側の適
所に予じめ形成しておいてもよいことはいうまでもある
まい。
以上一般的な圧電共振子素板を封止する構造について説
明したが本発明は以下に示すように変形することも可能
である。
明したが本発明は以下に示すように変形することも可能
である。
第5図は圧電素板1の片面に分割電極5,5を設け対称モ
ードの振動を励起するものであるが図からも明らかなよ
うにリード端子をその片面に集中し得ると共に圧電共振
子素板1の電極付着面のみを封止した後,素板背面の研
摩或はドライエッチングによって周波数の調整が可能で
あるという特色を有する。
ードの振動を励起するものであるが図からも明らかなよ
うにリード端子をその片面に集中し得ると共に圧電共振
子素板1の電極付着面のみを封止した後,素板背面の研
摩或はドライエッチングによって周波数の調整が可能で
あるという特色を有する。
更に第6図或は第7図に示すように励振電極11,11を封
止部材2又は3の内面に付着しエアーギャップを介して
圧電素板1に電界を印加してもよくこのようにすること
によって共振子のQを大巾に向上することができる。
止部材2又は3の内面に付着しエアーギャップを介して
圧電素板1に電界を印加してもよくこのようにすること
によって共振子のQを大巾に向上することができる。
尚,封止部の材料としては封止すべき圧電共振子素板と
同一の材料を用い結晶軸を同一方向に揃えるのが圧電素
板へのストレスを回避する上で好都合であるが圧電素板
と異った材料を使用する場合には圧電共振子素板1の形
状を第8図に示すように枠体12の中央に支持部13を介し
て振動部14を吊ったようなものとすればよくこれはエッ
チングによって容易に製造することができる。
同一の材料を用い結晶軸を同一方向に揃えるのが圧電素
板へのストレスを回避する上で好都合であるが圧電素板
と異った材料を使用する場合には圧電共振子素板1の形
状を第8図に示すように枠体12の中央に支持部13を介し
て振動部14を吊ったようなものとすればよくこれはエッ
チングによって容易に製造することができる。
また本発明に係る圧電共振子を量産する場合第9図に示
すように封止部材を大面積の基板15にマトリックス状に
連続形成し所要のスルーホール6,6,……及びメタライズ
8を施した後圧電共振子素板を配置し封止を行ない最後
に境界(矢印)に沿って切断すれば一挙に大量の共振子
を得ることができ効率的である。このような製造方法を
用いる場合前記第2図に示したような構造のリード端子
は切断後改めて端子部を形成する必要があり量産効果を
害するものであったが本発明の封止構造によればあらか
じめリード端子としてのスルーホールが形成されている
為切断後の加工はほとんど不要である。
すように封止部材を大面積の基板15にマトリックス状に
連続形成し所要のスルーホール6,6,……及びメタライズ
8を施した後圧電共振子素板を配置し封止を行ない最後
に境界(矢印)に沿って切断すれば一挙に大量の共振子
を得ることができ効率的である。このような製造方法を
用いる場合前記第2図に示したような構造のリード端子
は切断後改めて端子部を形成する必要があり量産効果を
害するものであったが本発明の封止構造によればあらか
じめリード端子としてのスルーホールが形成されている
為切断後の加工はほとんど不要である。
以上,圧電振動子を例に挙げて本発明に係る封止構造を
説明したが,本発明はこれのみに限定される理由はな
く,例えば多重モード圧電フィルタの如く圧電基板の一
面に分割電極を,他面に共通電極を付し励振によって発
生する複数の振動モードの結合を利用したフィルタ素子
の封止にも同様に利用可能であることは自明であろう。
説明したが,本発明はこれのみに限定される理由はな
く,例えば多重モード圧電フィルタの如く圧電基板の一
面に分割電極を,他面に共通電極を付し励振によって発
生する複数の振動モードの結合を利用したフィルタ素子
の封止にも同様に利用可能であることは自明であろう。
(発明の効果) 本発明に係る圧電共振子は以上説明したように共振子の
特性を有するガスの発生或は共振子へのストレスの加わ
ることの殆んどない封止法を使用し,しかも励振電極の
リードと封止の為のメタライズ部とを切離すよう構成す
るので共振子の等価並列容量が増大することがなく従っ
てそのQを低下させないという効果がある。
特性を有するガスの発生或は共振子へのストレスの加わ
ることの殆んどない封止法を使用し,しかも励振電極の
リードと封止の為のメタライズ部とを切離すよう構成す
るので共振子の等価並列容量が増大することがなく従っ
てそのQを低下させないという効果がある。
更に封止部材に設けたスルーホールを介して電極リード
を引き出すので外部回路との接続が容易であり共振子の
チップ部品化に適するという効果をも併せもつものであ
る。
を引き出すので外部回路との接続が容易であり共振子の
チップ部品化に適するという効果をも併せもつものであ
る。
第1図は本発明の基本構成を示す断面図,第2図は従来
の圧電共振子のフラット型パッケージの構造を示す断面
図,第3図乃至第7図は夫々本発明の異った実施例を示
す断面図,第8図は本発明に於いて使用する圧電共振子
の一実施例を示す平面図,第9図は本発明に係る圧電共
振子封止部材の一実施例を示す部分平面図である。 1……圧電共振子(素板),2及び3……皿型封止部材,8
……メタライズ,5及び11……電極(リード部),6及び7
……スルーホール,15……大面積基板。
の圧電共振子のフラット型パッケージの構造を示す断面
図,第3図乃至第7図は夫々本発明の異った実施例を示
す断面図,第8図は本発明に於いて使用する圧電共振子
の一実施例を示す平面図,第9図は本発明に係る圧電共
振子封止部材の一実施例を示す部分平面図である。 1……圧電共振子(素板),2及び3……皿型封止部材,8
……メタライズ,5及び11……電極(リード部),6及び7
……スルーホール,15……大面積基板。
Claims (3)
- 【請求項1】圧電共振子素板周辺の表裏両面を皿型の封
止部材にて接着密封するタイプの圧電共振子に於いて、
前記封止部に施すメタライズと共振子の電極リード部と
を切り離すと共に前記電極リード部を前記封止部材に設
けたスルーホールを介して封止部材外部と電気的に接続
したことを特徴とする圧電共振子の封止構造。 - 【請求項2】前記共振子の電極及び電極リード部を前記
封止部材の内面に付着したことを特徴とする特許請求の
範囲(1)記載の圧電共振子の封止構造。 - 【請求項3】前記共振子の電極を共振子素板の一面側の
みに分割電極として配置したことを特徴とする特許請求
の範囲(1)又は(2)記載の圧電共振子の封止構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61250431A JPH07112142B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 圧電共振子の封止構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61250431A JPH07112142B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 圧電共振子の封止構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63104512A JPS63104512A (ja) | 1988-05-10 |
JPH07112142B2 true JPH07112142B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=17207778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61250431A Expired - Fee Related JPH07112142B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | 圧電共振子の封止構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07112142B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011066922A (ja) * | 2010-11-05 | 2011-03-31 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3839867A1 (de) * | 1987-11-26 | 1989-06-08 | Asahi Glass Co Ltd | Ultraschall-verzoegerungsleitung |
JP2525173Y2 (ja) * | 1990-06-26 | 1997-02-05 | ヤンマー農機株式会社 | コンバインの刈刃装置 |
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JP2008035276A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kyocera Corp | 圧電発振器の製造方法 |
JP5049702B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2012-10-17 | 日本電波工業株式会社 | 積層型の水晶振動子 |
JP5041145B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2012-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
JP5263475B2 (ja) * | 2007-10-09 | 2013-08-14 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
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JP5213887B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2013-06-19 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2011229123A (ja) | 2010-03-30 | 2011-11-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP2011151857A (ja) * | 2011-04-22 | 2011-08-04 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子、電子デバイス及び電子機器 |
JP5408213B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2014-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子 |
JP2013081022A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子及びその製造方法 |
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JP5527564B2 (ja) * | 2013-01-21 | 2014-06-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス |
JP6645832B2 (ja) * | 2014-01-06 | 2020-02-14 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスと回路基板との接合構造 |
WO2017213163A1 (ja) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動素子 |
CN108544739B (zh) * | 2018-04-11 | 2023-07-04 | 清华大学 | 半球谐振器的热成型装置及半模压热成型加工方法 |
-
1986
- 1986-10-21 JP JP61250431A patent/JPH07112142B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011066922A (ja) * | 2010-11-05 | 2011-03-31 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63104512A (ja) | 1988-05-10 |
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