JP6725208B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 130
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 46
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 88
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 64
- 239000000463 material Substances 0.000 description 32
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 15
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
12 パッケージ
13 内部空間
2 水晶振動板
213 連結部
214 外枠部
221 第1励振電極
222 第2励振電極
23 振動部
3 第1封止部材
39 溝
4 第2封止部材
Claims (5)
- 基板の一主面に第1励振電極が形成され、前記基板の他主面に前記第1励振電極と対になる第2励振電極が形成された圧電振動板と、
前記圧電振動板の前記第1励振電極を覆う第1封止部材と、
前記圧電振動板の前記第2励振電極を覆う第2封止部材と、が設けられ、
前記第1封止部材に形成された接合パターンのAu層と前記圧電振動板に形成された接合パターンのAu層とが接合され、前記第2封止部材に形成された接合パターンのAu層と前記圧電振動板に形成された接合パターンのAu層とが接合されることによってパッケージが形成され、当該パッケージには、前記第1励振電極と前記第2励振電極とを含む前記圧電振動板の振動部を気密封止した内部空間が設けられた圧電振動デバイスにおいて、
前記第1封止部材の前記圧電振動板に対向する面が平坦面に形成され、前記第2封止部材の前記圧電振動板に対向する面が平坦面に形成され、
前記第1封止部材の前記平坦面に形成された部分および前記第2封止部材の前記平坦面に形成された部分のうち少なくとも一方には、前記パッケージの固有振動数を調整する調整部が設けられ、
前記調整部により、前記パッケージの固有振動数が、前記圧電振動板から前記パッケージへ漏れる振動の振動数と異ならせるように調整されることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動板は、
略矩形に形成された前記振動部と、
前記振動部の外周を取り囲む外枠部と、
前記振動部と前記外枠部とを連結する連結部とを有しており、
前記振動部と前記連結部と前記外枠部とが一体的に設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1または2に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記調整部は、前記第1封止部材の前記内部空間に面する部分に設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項3に記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記調整部は、前記第2封止部材の前記内部空間に面する部分にも設けられていることを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記調整部は、溝であることを特徴とする圧電振動デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015062499A JP6725208B2 (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 圧電振動デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015062499A JP6725208B2 (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 圧電振動デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016181880A JP2016181880A (ja) | 2016-10-13 |
JP6725208B2 true JP6725208B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=57132179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015062499A Active JP6725208B2 (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 圧電振動デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6725208B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6848953B2 (ja) * | 2018-11-26 | 2021-03-24 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0548380A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
US20060255691A1 (en) * | 2005-03-30 | 2006-11-16 | Takahiro Kuroda | Piezoelectric resonator and manufacturing method thereof |
JP4992686B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2012-08-08 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 |
JP2010245266A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 電子部品及びその製造方法 |
JP5646367B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2014-12-24 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
JP2013012977A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
-
2015
- 2015-03-25 JP JP2015062499A patent/JP6725208B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016181880A (ja) | 2016-10-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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