JP5646367B2 - 水晶デバイス - Google Patents
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- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
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Description
(第1実施形態)
<第1水晶デバイス100の構成>
<接合方法及び塗布方法>
<第1水晶デバイス100の製造方法>
以上のステップS01からステップS03の工程は順不同で行われる。
接合材51が塗布され、短辺方向に第2接合材52が塗布される。また、第1接合材51
及び第2接合材52の塗布方法も第1実施形態と同様することができる。
11 … 天井面
15 … 接合面
20 … 第1水晶素子、 20W … 水晶ウエハ
21 … 励振部
22 … 開口部
24 … 接続部
25 … 枠部
27 … 励振電極、 28 … 引出電極
30 … ベース 30W … ベースウエハ
31 … 外部電極、 32 … 接続電極
33 … 底面
35 … 枠部
36 … 接合面
40 … 第2水晶素子
41 … 音叉型水晶振動部
42 … 枠部
43 … 振動腕
44 … 溝部
45 … 接続部
46 … 錘金属膜
47 … 励振電極
48 … 引出電極
51 … 第1接合材
52 … 第2接合材
61 … 第1塗布領域
62 … 第2塗布領域
70 … キャスタレーション
100 … 第1水晶デバイス
110 … 第2水晶デバイス
Au … 金層
Cr … クロム層
SL … スライスライン
Claims (5)
- 電圧の印加により振動する励振部と前記励振部の周囲を囲む枠部とを有する水晶材により形成され、前記枠部が第1方向と該第1方向と交差する第2方向の辺を有する矩形形状の水晶素子と、
前記枠部の一主面に接合され、前記第1方向と前記第2方向の辺を有する矩形形状のベースと、
前記枠部の他主面に接合され、前記第1方向と前記第2方向の辺を有する矩形形状のリッドと、を備え、
前記枠部、前記ベース及び前記リッドのそれぞれの前記第1方向には、前記水晶素子の前記第1方向の熱膨張率に対応した第1接合材が塗布され、
前記枠部、前記ベース及び前記リッドのそれぞれの前記第2方向には、前記水晶素子の前記第2方向の熱膨張率に対応し、前記第1接合材とは異なる第2接合材が塗布される水晶デバイス。 - 前記第1接合材は、前記水晶素子の前記第1方向の熱膨張率に同等、又は前記水晶素子の前記第1方向の熱膨張率と前記ベース及び前記リッドの前記第1方向の熱膨張率との中間値に同等の熱膨張率を有し、
前記第2接合材は、前記水晶素子の前記第2方向の熱膨張率に同等、又は前記水晶素子の前記第2方向の熱膨張率と前記ベース及び前記リッドの前記第2方向の熱膨張率との中間値に同等の熱膨張率を有する請求項1に記載の水晶デバイス。 - 前記水晶素子はATカット水晶材であり、前記ベース及び前記リッドはATカット水晶材、Zカット水晶材又はガラス材である請求項1又は請求項2に記載の水晶デバイス。
- 前記水晶素子はZカット水晶材であり、前記ベース及び前記リッドはATカット水晶材、Zカット水晶材又はガラス材である請求項1又は請求項2に記載の水晶デバイス。
- 前記第1接合材及び前記第2接合材は、ポリイミド樹脂又は融点が500度以下のガラスである請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の水晶デバイス。
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