JP5839025B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Description
本実施の形態にかかる水晶振動子101では、図1に示すように、水晶振動板2(本発明でいう圧電振動板)と、水晶振動板2の第1励振電極221(図4参照)を覆い、水晶振動板2の一主面211に形成された第1励振電極221を気密封止する第1封止部材3と、この水晶振動板2の他主面212に、水晶振動板2の第2励振電極222(図5参照)を覆い、第1励振電極221と対になって形成された第2励振電極222を気密封止する第2封止部材4が設けられている。
11 接合材
12 パッケージ
13 内部空間
2 水晶振動板
211 一主面
212 他主面
213 導通路
221 第1励振電極
222 第2励振電極
223 第1引出電極
224 第2引出電極
23 振動部
24 切り欠き部
241 平面視凹形状体
242 平面視長方形状体
25 振動側封止部
251 振動側第1接合パターン
2511 下地PVD膜
2512 電極PVD膜
252 振動側第2接合パターン
2521 下地PVD膜
2522 電極PVD膜
261 第1貫通孔
3 第1封止部材
311 一主面
312 他主面
32 封止側第1封止部
321 封止側第1接合パターン
3211 下地PVD膜
3212 電極PVD膜
33 電極パターン
4 第2封止部材
411 一主面
412 他主面
42 封止側第2封止部
421 封止側第2接合パターン
4211 下地PVD膜
4212 電極PVD膜
431 一外部電極端子
4311 下地PVD膜
4312 電極PVD膜
432 他外部電極端子
4321 下地PVD膜
4322 電極PVD膜
441 第2貫通孔
442 第3貫通孔
Claims (6)
- 基板の一主面に第1励振電極が形成され、前記基板の他主面に前記第1励振電極と対になる第2励振電極が形成された圧電振動板と、
前記圧電振動板の前記第1励振電極を覆う第1封止部材と、
前記圧電振動板の前記第2励振電極を覆う第2封止部材と、が設けられ、
前記第2封止部材には、前記第1励振電極に接続され、外部に電気的に接続する一外部電極端子と、前記第2励振電極に接続され、外部に電気的に接続する他外部電極端子と、が設けられ、
前記第1封止部材と前記圧電振動板とが接合され、前記第2封止部材と前記圧電振動板とが接合されて、前記第1励振電極と前記第2励振電極とを含む前記圧電振動板の振動部が気密封止された内部空間が形成され、
前記圧電振動板の一主面には、前記第1封止部材に封止接合するための振動側第1接合パターンが形成され、
前記圧電振動板の他主面には、前記第2封止部材に封止接合するための振動側第2接合パターンが形成された圧電振動デバイスにおいて、
前記振動側第1接合パターンは、前記第1励振電極に接続され、前記振動側第2接合パターンは、前記第2励振電極に接続され、
前記第2励振電極は、前記他外部電極端子に重畳し、前記一外部電極端子に重畳しないことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 基板の一主面に第1励振電極が形成され、前記基板の他主面に前記第1励振電極と対になる第2励振電極が形成された圧電振動板と、
前記圧電振動板の前記第1励振電極を覆う第1封止部材と、
前記圧電振動板の前記第2励振電極を覆う第2封止部材と、が設けられ、
前記第2封止部材には、前記第1励振電極に接続され、外部に電気的に接続する一外部電極端子と、前記第2励振電極に接続され、外部に電気的に接続する他外部電極端子と、が設けられ、
前記第1封止部材と前記圧電振動板とが接合され、前記第2封止部材と前記圧電振動板とが接合されて、前記第1励振電極と前記第2励振電極とを含む前記圧電振動板の振動部が気密封止された内部空間が形成され、
前記圧電振動板の一主面には、前記第1封止部材に封止接合するための振動側第1接合パターンが形成され、
前記圧電振動板の他主面には、前記第2封止部材に封止接合するための振動側第2接合パターンが形成された圧電振動デバイスにおいて、
前記振動側第1接合パターンは、前記第1励振電極に接続され、前記振動側第2接合パターンは、前記第2励振電極に接続され、
前記第2励振電極は、前記一外部電極端子及び前記他外部電極端子に重畳し、
前記第2励振電極では、前記他外部電極端子に重畳する部分に比べて前記一外部電極端子に重畳する部分が小さいことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 基板の一主面に第1励振電極が形成され、前記基板の他主面に前記第1励振電極と対になる第2励振電極が形成された圧電振動板と、
前記圧電振動板の前記第1励振電極を覆う第1封止部材と、
前記圧電振動板の前記第2励振電極を覆う第2封止部材と、が設けられ、
前記第2封止部材には、前記第1励振電極に接続され、外部に電気的に接続する一外部電極端子と、前記第2励振電極に接続され、外部に電気的に接続する他外部電極端子と、が設けられ、
前記第1封止部材と前記圧電振動板とが接合され、前記第2封止部材と前記圧電振動板とが接合されて、前記第1励振電極と前記第2励振電極とを含む前記圧電振動板の振動部が気密封止された内部空間が形成され、
前記圧電振動板の一主面には、前記第1封止部材に封止接合するための振動側第1接合パターンが形成され、
前記圧電振動板の他主面には、前記第2封止部材に封止接合するための振動側第2接合パターンが形成された圧電振動デバイスにおいて、
前記振動側第1接合パターンは、前記第1励振電極に接続され、前記振動側第2接合パターンは、前記第2励振電極に接続され、
前記第2励振電極は、前記一外部電極端子及び前記他外部電極端子に重畳し、
前記一外部電極端子において、前記第2励振電極に重畳する部分が小さいことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記第2封止部材には、前記内部空間の外方に配された貫通孔が形成され、前記内部空間の内方に前記貫通孔が形成されないことを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記内部空間は、平面視一端側に偏って位置することを特徴とする圧電振動デバイス。 - 請求項1乃至5のうちいずれか1つに記載の圧電振動デバイスにおいて、
前記第1封止部材には、前記圧電振動板に接合するための封止側第1接合パターンが形成され、
前記第2封止部材には、前記圧電振動板に接合するための封止側第2接合パターンが形成され、
前記封止側第1接合パターンと前記振動側第1接合パターンとが接合され、前記封止側第2接合パターンと前記振動側第2接合パターンとが接合され、
前記第1封止部材と前記圧電振動板とは、1.00μm以下のギャップを有し、前記第2封止部材と前記圧電振動板とは、1.00μm以下のギャップを有することを特徴とする圧電振動デバイス。
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