JP2005077349A5 - - Google Patents
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- 基板と、
基板上に配設された、加速度センサ素子および該センサ素子を囲む枠部と、
枠部上に配設された中間層と、
中間層と接合され、これにより加速度センサ素子を封止するキャップ部とを備え、
枠部および中間層にはそれぞれ、基板主面方向に関し略同一の位置に枠状の溝が設けてあることを特徴とする加速度センサ。 - 枠部および中間層にそれぞれ設けた溝が貫通溝であることを特徴とする請求項１の加速度センサ。
- キャップ部には、中間層との接合領域において、上記枠部および中間層の溝と基板主面方向に関し略同一の位置に枠状の溝が設けてあることを特徴とする請求項１または２の加速度センサ。
- 基板と、
基板上に配設された、加速度センサ素子および該センサ素子を囲む枠部と、
枠部上に配設された中間層と、
中間層と接合され、これにより加速度センサ素子を封止するキャップ部とを備え、
枠部は、中間層とキャップ部との接合領域よりも加速度センサ素子側に延在する延在部を有し、該延在部に加速度センサ素子を囲むように枠状の溝が設けてあることを特徴とする加速度センサ。
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