JP2020017955A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有する基板と、
   前記基板内の第１光電変換領域及び第２光電変換領域と、
   第１開口部及び第２開口部を含み、前記第２面を覆うように配置された第１層と、
   第３開口部及び第４開口部を含み、前記第１層上に配置された第２層と、
   前記第２層上に配置された平坦化層と、
   前記第１光電変換領域に対応する第１レンズと、前記第２光電変換領域に対応する第２レンズと、を備え、
   前記第１開口部は前記第３開口部と垂直に整合（ａｌｉｇｎ）され、前記第２開口部は前記第４開口部と垂直に整合され、
   前記第３開口部は、第１方向において少なくとも前記第１開口部と同じ幅を有することを特徴とするイメージセンサー。
2. 前記第１開口部と前記第２開口部は前記第１方向に配置され、前記第３開口部と前記第４開口部は前記第１方向に配置され、
   前記第３開口部の前記第１方向の幅は、前記第１開口部の前記第１方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサー。
3. 前記第１開口部は、前記第１方向に垂直な第２方向に第１高さを有し、前記第３開口部は、前記第２方向に第２高さを有し、
   第２高さは第１高さよりも大きいことを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサー。
4. 前記第１光電変換領域と前記第２光電変換領域との間に、第３光電変換領域をさらに備え、
   前記第３光電変換領域は、前記第１層で覆われていることを特徴とする請求項３に記載のイメージセンサー。
5. 前記第１開口部と前記第２開口部は前記第１方向に配置され、前記第３開口部と前記第４開口部は前記第１方向に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサー。
6. 前記第１層は第１厚さを有し、前記第２層は前記第１厚さよりも大きい第２厚さを有することを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサー。
7. 第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有する基板と、
   前記基板内の第１光電変換領域及び第２光電変換領域と、
   第１開口部及び第２開口部を含み、前記第２面を覆うように配置された第１層と、
   第３開口部及び第４開口部を含み、前記第１層上に配置された第２層と、
   第５開口部及び第６開口部を含み、前記第２層上に配置された第３層と、
   前記第３層上に配置された平坦化層と、
   前記第１光電変換領域に対応する第１レンズと、前記第２光電変換領域に対応する第２レンズと、を備え、
   前記第１開口部は前記第１光電変換領域の中心と垂直に整合（ａｌｉｇｎ）され、前記第２開口部は前記第２光電変換領域の中心と垂直に整合され、
   第１方向における前記第１光電変換領域と前記第２光電変換領域との間の距離は、前記第１方向における前記第１開口部の幅よりも大きく、
   前記第１開口部は前記第３開口部及び前記第５開口部と垂直に整合し、
   前記第２開口部は前記第４開口部及び前記第６開口部と垂直に整合していることを特徴とするイメージセンサー。
8. 前記第１開口部は、円形であることを特徴とする請求項７に記載のイメージセンサー。
9. 前記第１層は、前記第１方向に垂直な第２方向に第１厚さを有し、前記第２層は、前記第２方向に第２厚さを有し、
   前記第２厚さは前記第１厚さよりも大きいことを特徴とする請求項８に記載のイメージセンサー。
10. 前記第３層は、前記第２方向に第３厚さを有し、前記第２厚さは前記第３厚さよりも大きいことを特徴とする請求項９に記載のイメージセンサー。
11. 前記第２層と前記第３層との間に第４層をさらに有することを特徴とする請求項１０に記載のイメージセンサー。
12. 前記第５開口部の前記第１方向の幅は、前記第１開口部の前記第１方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１０に記載のイメージセンサー。
13. 前記第１光電変換領域と前記第２光電変換領域との間に、第３光電変換領域をさらに備え、
    前記第３光電変換領域は、前記第１層で覆われていることを特徴とする請求項１０に記載のイメージセンサー。
14. 第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有する基板と、
    前記基板内の第１光電変換領域及び第２光電変換領域と、
    第１開口部及び第２開口部を含み、前記第２面を覆うように配置された第１層と
    前記第１層上に配置された第２層と、
    前記第２層上に配置された第３層と、
    前記第３層上に配置された平坦化層と、
    前記第１光電変換領域に対応する第１レンズと、前記第２光電変換領域に対応する第２レンズと、を備え、
    前記第１開口部は前記第１光電変換領域の中心と垂直に整合（ａｌｉｇｎ）され、前記第２開口部は前記第２光電変換領域の中心と垂直方向に整列され、
    第１方向における前記第１光電変換領域と前記第２光電変換領域との間の距離は、前記第１方向における第１開口部の幅よりも大きく、
    前記第１層は前記第１方向に垂直な第２方向に第１厚さを有し、前記第２層は前記第２方向に第２厚さを有し、
    前記第２厚さは前記第１厚さよりも大きいことを特徴とするイメージセンサー。