JP2017175102A - 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 - Google Patents
光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017175102A JP2017175102A JP2016189568A JP2016189568A JP2017175102A JP 2017175102 A JP2017175102 A JP 2017175102A JP 2016189568 A JP2016189568 A JP 2016189568A JP 2016189568 A JP2016189568 A JP 2016189568A JP 2017175102 A JP2017175102 A JP 2017175102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- layer
- compound semiconductor
- conductivity type
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 684
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 121
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 102
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 502
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 469
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 226
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 248
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 202
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 175
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 65
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 33
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 25
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 8
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 5
- 208000019901 Anxiety disease Diseases 0.000 abstract 1
- 230000036506 anxiety Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 971
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 55
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 38
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 38
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 26
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 20
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 16
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 12
- -1 36B Chemical compound 0.000 description 11
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 8
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N Melanin Chemical compound O=C1C(=O)C(C2=CNC3=C(C(C(=O)C4=C32)=O)C)=C2C4=CNC2=C1C XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N subphthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(=N3)N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C3=N1 PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 102000001554 Hemoglobins Human genes 0.000 description 4
- 108010054147 Hemoglobins Proteins 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000001007 phthalocyanine dye Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 3
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 3
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical class C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical class C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004140 HfO Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000980 acid dye Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 125000000609 carbazolyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000009036 growth inhibition Effects 0.000 description 2
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004211 migration-enhanced epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000001022 rhodamine dye Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N trichloro(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical class C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIDSTEJLDQMWBR-UHFFFAOYSA-N 1-isocyanatododecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCN=C=O YIDSTEJLDQMWBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000579895 Chlorostilbon Species 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005555 GaZnO Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BYDQGSVXQDOSJJ-UHFFFAOYSA-N [Ge].[Au] Chemical compound [Ge].[Au] BYDQGSVXQDOSJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBOYOXRQUWVUFU-UHFFFAOYSA-N [O-2].[Ti+4].[Nb+5] Chemical compound [O-2].[Ti+4].[Nb+5] OBOYOXRQUWVUFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001251 acridines Chemical class 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940058303 antinematodal benzimidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229940027991 antiseptic and disinfectant quinoline derivative Drugs 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 150000008378 aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical class N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000003925 brain function Effects 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 229910052951 chalcopyrite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 150000001846 chrysenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 150000001907 coumarones Chemical class 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- UAMZXLIURMNTHD-UHFFFAOYSA-N dialuminum;magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3] UAMZXLIURMNTHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004826 dibenzofurans Chemical class 0.000 description 1
- WSUTUEIGSOWBJO-UHFFFAOYSA-N dizinc oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zn+2].[Zn+2] WSUTUEIGSOWBJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000469 dry deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010976 emerald Substances 0.000 description 1
- 229910052876 emerald Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 150000002219 fluoranthenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- SAOPTAQUONRHEV-UHFFFAOYSA-N gold zinc Chemical compound [Zn].[Au] SAOPTAQUONRHEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002537 isoquinolines Chemical class 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000000813 microcontact printing Methods 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QJAOYSPHSNGHNC-UHFFFAOYSA-N octadecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCS QJAOYSPHSNGHNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 150000002964 pentacenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 150000002987 phenanthrenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000005041 phenanthrolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000002988 phenazines Chemical class 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 150000003039 picenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000090 poly(aryl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 150000003216 pyrazines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 229940083082 pyrimidine derivative acting on arteriolar smooth muscle Drugs 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000007979 thiazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- VJYJJHQEVLEOFL-UHFFFAOYSA-N thieno[3,2-b]thiophene Chemical class S1C=CC2=C1C=CS2 VJYJJHQEVLEOFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPYJNCGUESNPMV-UHFFFAOYSA-N triallylamine Chemical class C=CCN(CC=C)CC=C VPYJNCGUESNPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/0304—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14623—Optical shielding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14645—Colour imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14649—Infrared imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14694—The active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H01L31/02164—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers, cold shields for infrared detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/0304—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L31/03046—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds including ternary or quaternary compounds, e.g. GaAlAs, InGaAs, InGaAsP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/102—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
- H01L31/109—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier being of the PN heterojunction type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/184—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
- H01L31/1844—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP comprising ternary or quaternary compounds, e.g. Ga Al As, In Ga As P
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1884—Manufacture of transparent electrodes, e.g. TCO, ITO
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/75—Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/30—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/50—Photovoltaic [PV] devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/544—Solar cells from Group III-V materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【課題】形成時に結晶欠陥等が発生する虞が無く、また、微細化に確実に対処し得るような、隣接する光電変換素子間を分離する領域を有する光電変換素子を提供する。【解決手段】光電変換素子は、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31;第1化合物半導体層31上に形成された光電変換層34;光電変換層34を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32;少なくとも第2化合物半導体層32の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域52;光電変換層の側面を取り囲む素子分離層34;第2導電型領域上に形成された第1電極51;及び、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を備えている。【選択図】 図1
Description
本開示は、光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置に関する。
撮像装置は、通常、シリコン半導体基板に形成された光電変換素子(受光素子、フォトダイオード、撮像素子)を備えている。ところで、入射する光の波長が決まれば、シリコン(Si)の光吸収係数は一義的に定まる。従って、光、特に、赤色から近赤外波長領域の光を効率良くシリコン半導体基板に吸収させるためには、光入射面から深い所(具体的には、例えば、10μm程度)に位置するシリコン半導体基板の領域に光電変換素子を形成しなければならない。このことは、撮像装置における画素を微細化していくと、光電変換素子におけるアスペクト比が増加することを意味する。
然るに、光電変換素子においてアスペクト比が増加すると、或る光電変換素子に隣接する光電変換素子への入射光がこの或る光電変換素子にも入射するといった画素間混色が問題となる。画素間混色を低減するために光電変換素子におけるアスペクト比を低くすると、赤色から近赤外波長領域にかけての光電変換素子の感度低下といった問題がある。また、Siのバンドギャップエネルギーは1.1eVであることから、1.1μmよりも長波長の赤外光を検出することは原理的にできない。Siの代わりに、例えば、InP層とInGaAs層の積層構造から成る光電変換層を用いることで、赤外光を検出することが可能である(例えば、特開2012−244124号公報参照)。即ち、この特許公開公報に開示された受光素子アレイは、近赤外波長領域に受光感度を有し、III−V族化合物半導体の積層体に形成された受光素子アレイであり、近赤外波長領域に対応するバンドギャップエネルギーを有する受光部が、複数、配列されている。そして、受光部は、選択拡散によって形成された第1導電型領域の先端部にpn接合を有する。また、受光部を区分けするように、第2導電型領域が受光部の間に位置する。ここで、第2導電型領域は、イオン注入法あるいは選択拡散法に基づき形成される。
この特許公開公報に開示された受光素子アレイにおいて、受光部とこの受光部に隣接する受光部とは第2導電型領域によって分離されるが、この第2導電型領域はイオン注入法や拡散法によって形成される。然るに、これらの方法では、III−V族化合物半導体の積層体に結晶欠陥が発生し易いし、第2導電型を有する不純物の拡散制御では受光部の微細化に限界がある。
従って、本開示の目的は、形成時に結晶欠陥等が発生する虞が無く(若しくは、虞が少なく)、また、微細化に確実に対処し得るような、隣接する光電変換素子間を分離する領域を有する光電変換素子及び係る光電変換素子の製造方法、並びに、係る光電変換素子を備えた撮像装置を提供することにある。
上記の目的を達成するための本開示の光電変換素子は、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
第1化合物半導体層上に形成された光電変換層、
光電変換層を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域、
光電変換層の側面を取り囲む素子分離層、
第2導電型領域上に形成された第1電極、及び、
第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極、
を備えている。
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
第1化合物半導体層上に形成された光電変換層、
光電変換層を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域、
光電変換層の側面を取り囲む素子分離層、
第2導電型領域上に形成された第1電極、及び、
第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極、
を備えている。
ここで、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層は、第2化合物半導体層上にも形成されている場合がある。また、第2導電型領域は、少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成されているが、具体的には、第2化合物半導体層の一部に形成されており、あるいは又、素子分離層を構成する材料にも依るが、第2化合物半導体層の一部及び素子分離層の一部に形成されている。第2化合物半導体層は、光電変換層を覆っているが、素子分離層を構成する材料にも依るが、更に、素子分離層を覆っている場合がある。
上記の目的を達成するための本開示の撮像装置は、上記の本開示の光電変換素子が、複数、2次元マトリクス状に配列されて成る。
上記の目的を達成するための本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法にあっては、上記工程(B)において、凹部を少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に形成するが、具体的には、凹部を、第2化合物半導体層及び光電変換層に形成してもよいし、あるいは又、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成してもよい。また、上記工程(C)において、素子分離層を少なくとも凹部内に形成するが、具体的には、素子分離層を、凹部内に形成してもよいし、あるいは又、素子分離層を構成する材料にも依るが、凹部内及び第2化合物半導体層上に形成してもよい。更には、上記工程(D)において、第2導電型領域を少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成するが、具体的には、第2導電型領域を、第2化合物半導体層の一部に形成してもよいし、あるいは又、第2化合物半導体層の一部、及び、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層の一部に形成してもよい。
上記の目的を達成するための本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、及び、
光電変換層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成し、更に、光電変換層を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、及び、
光電変換層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成し、更に、光電変換層を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法にあっては、上記工程(B)において、凹部を少なくとも光電変換層に形成するが、具体的には、凹部を、光電変換層に形成してもよいし、あるいは又、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成してもよい。また、上記工程(C)において、素子分離層を少なくとも凹部内に形成するが、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層を凹部内及び光電変換層上に形成してもよく、この場合、光電変換層を覆うように第2化合物半導体層を形成するが、具体的には、第2化合物半導体層を素子分離層上に形成する。あるいは又、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層を凹部内及び光電変換層上に形成してもよく、この場合、光電変換層上に形成された素子分離層の部分が第2化合物半導体層に相当する形態としてもよい。更には、上記工程(D)において、第2導電型領域を少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成するが、具体的には、第2導電型領域を、第2化合物半導体層の一部に形成してもよいし、あるいは又、第2化合物半導体層の一部、及び、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層の一部に形成してもよい。
上記の目的を達成するための本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、次いで、
(C)第2導電型領域上に第1電極を形成した後、
(D)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(E)少なくとも凹部内に素子分離層を形成する、
各工程を備えている。
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、次いで、
(C)第2導電型領域上に第1電極を形成した後、
(D)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(E)少なくとも凹部内に素子分離層を形成する、
各工程を備えている。
本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法にあっては、上記工程(D)において、凹部を少なくとも光電変換層に形成するが、具体的には、凹部を、第2化合物半導体層及び光電変換層に形成してもよいし、あるいは又、第1化合物半導体層及び光電変換層に形成してもよいし、あるいは又、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成してもよい。また、上記工程(E)において、素子分離層を少なくとも凹部内に形成するが、素子分離層を、凹部内に形成してもよいし、あるいは又、素子分離層を構成する材料にも依るが、凹部内及び第1化合物半導体層上に形成してもよい。
上記の目的を達成するための本開示の第4の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層を形成し、素子分離層によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層上に、素子分離層によって囲まれた光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層を形成し、素子分離層によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層上に、素子分離層によって囲まれた光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
上記の目的を達成するための本開示の第5の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層・形成領域を形成し、素子分離層・形成領域によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層及び素子分離層・形成領域上に光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)素子分離層・形成領域の上方に位置する第2化合物半導体層及び光電変換層の部分を除去し、除去した部分を素子分離層・形成材料で埋め込み、素子分離層を得た後、
(E)第2化合物半導体層に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(F)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層・形成領域を形成し、素子分離層・形成領域によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層及び素子分離層・形成領域上に光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)素子分離層・形成領域の上方に位置する第2化合物半導体層及び光電変換層の部分を除去し、除去した部分を素子分離層・形成材料で埋め込み、素子分離層を得た後、
(E)第2化合物半導体層に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(F)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
上記の目的を達成するための本開示の第6の態様に係る光電変換素子の製造方法は、
(A)第1導電型を有する基板に選択成長阻止部を形成した後、
(B)横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部と選択成長阻止部との間に位置し、第1化合物半導体層に相当する基板の領域から光電変換層を形成し、その後、
(C)全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成し、以て、選択成長阻止部の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層を得た後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
(A)第1導電型を有する基板に選択成長阻止部を形成した後、
(B)横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部と選択成長阻止部との間に位置し、第1化合物半導体層に相当する基板の領域から光電変換層を形成し、その後、
(C)全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成し、以て、選択成長阻止部の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層を得た後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えている。
本開示の光電変換素子、本開示の撮像装置を構成する光電変換素子、本開示の第1の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法によって製造された光電変換素子にあっては、素子分離層が光電変換層の側面を取り囲んでいるので、隣接する光電変換素子間を分離する領域を形成するとき、結晶欠陥等が発生する虞が無く(若しくは、虞が少なく)、また、微細化に確実に対処することができる。尚、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また、付加的な効果があってもよい。
以下、図面を参照して、実施例に基づき本開示を説明するが、本開示は実施例に限定されるものではなく、実施例における種々の数値や材料は例示である。尚、説明は、以下の順序で行う。
1.本開示の光電変換素子、本開示の第1の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法並びに本開示の撮像装置、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の光電変換素子、本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法、並びに、本開示の撮像装置)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法)
5.実施例4(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法)
6.実施例5(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第4の態様に係る光電変換素子の製造方法)
7.実施例6(実施例5の光電変換素子の製造方法の変形)
8.実施例7(実施例5の光電変換素子の製造方法の別の変形)
9.実施例8(実施例5の光電変換素子の製造方法の更に別の変形)
10.実施例9(実施例8の変形)
11.実施例10(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第5の態様に係る光電変換素子の製造方法)
12.実施例11(実施例10の変形)
13.実施例12(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第6の態様に係る光電変換素子の製造方法)
14.実施例13(実施例12の変形)
15.実施例14(本開示の撮像装置の変形)
16.その他
1.本開示の光電変換素子、本開示の第1の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法並びに本開示の撮像装置、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の光電変換素子、本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法、並びに、本開示の撮像装置)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法)
5.実施例4(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法)
6.実施例5(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第4の態様に係る光電変換素子の製造方法)
7.実施例6(実施例5の光電変換素子の製造方法の変形)
8.実施例7(実施例5の光電変換素子の製造方法の別の変形)
9.実施例8(実施例5の光電変換素子の製造方法の更に別の変形)
10.実施例9(実施例8の変形)
11.実施例10(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第5の態様に係る光電変換素子の製造方法)
12.実施例11(実施例10の変形)
13.実施例12(実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形、本開示の第6の態様に係る光電変換素子の製造方法)
14.実施例13(実施例12の変形)
15.実施例14(本開示の撮像装置の変形)
16.その他
〈本開示の光電変換素子、本開示の第1の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法並びに本開示の撮像装置、全般に関する説明〉
本開示の撮像装置は、駆動用基板、例えば、読出し用集積基板(ROIC基板、Read Only IC 基板)を更に備えており、各光電変換素子を構成する第1電極は、駆動用基板に設けられた第1電極接続部に接続されている形態とすることができる。そして、この場合、更には、各光電変換素子を構成する第2電極は、駆動用基板に設けられた第2電極接続部に接続されている形態とすることができる。
本開示の撮像装置は、駆動用基板、例えば、読出し用集積基板(ROIC基板、Read Only IC 基板)を更に備えており、各光電変換素子を構成する第1電極は、駆動用基板に設けられた第1電極接続部に接続されている形態とすることができる。そして、この場合、更には、各光電変換素子を構成する第2電極は、駆動用基板に設けられた第2電極接続部に接続されている形態とすることができる。
本開示の第1の態様〜第3の態様に係る光電変換素子の製造方法において、素子分離層は、第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成り、凹部内に形成された素子分離層に溝部を形成した後、溝部を絶縁材料又は遮光材料で埋め込む工程を更に備えている形態とすることができる。ここで、凹部内に素子分離層を形成した後、凹部内の素子分離層に溝部を形成してもよいし、凹部内に素子分離層を形成するとき、同時に、溝部を形成してもよい。そして、このような形態を含む本開示の第1の態様〜第3の態様に係る光電変換素子の製造方法にあっては、あるいは又、本開示の第4の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法にあっては、最終的に基板を除去する形態とすることができる。
溝部は、凹部の深さ方向に沿って、凹部の全ての領域に形成されていてもよいし、凹部の一部の領域に形成されていてもよい。具体的には、本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法において、凹部を、第2化合物半導体層及び光電変換層に形成する場合、溝部を、
[1−1]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の全て、あるいは、
[1−2]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、
[1−3]第2化合物半導体層の全て、光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[1−4]第2化合物半導体層の全て、光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部
に形成すればよい。本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法において、凹部を、光電変換層に形成する場合、溝部を、
[2−1]光電変換層の全て、あるいは、
[2−2]光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、
[2−3]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[2−4]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部、
に形成すればよい。本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法において、凹部を、第2化合物半導体層及び光電変換層に形成する場合、溝部を、
[3−1]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の全て、あるいは、
[3−2]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、第1化合物半導体層及び光電変換層に形成する場合、溝部を、
[3−3]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[3−4]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部、
に形成すればよい。また、凹部を、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、少なくとも光電変換層(場合によっては、少なくとも光電変換層の一部)に形成すればよい。
[1−1]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の全て、あるいは、
[1−2]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、
[1−3]第2化合物半導体層の全て、光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[1−4]第2化合物半導体層の全て、光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部
に形成すればよい。本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法において、凹部を、光電変換層に形成する場合、溝部を、
[2−1]光電変換層の全て、あるいは、
[2−2]光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、
[2−3]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[2−4]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部、
に形成すればよい。本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法において、凹部を、第2化合物半導体層及び光電変換層に形成する場合、溝部を、
[3−1]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の全て、あるいは、
[3−2]第2化合物半導体層の全て、及び、光電変換層の一部
に形成すればよい。また、凹部を、第1化合物半導体層及び光電変換層に形成する場合、溝部を、
[3−3]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の全て、あるいは、
[3−4]光電変換層の全て、及び、第1化合物半導体層の一部、
に形成すればよい。また、凹部を、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層に形成する場合、溝部を、少なくとも光電変換層(場合によっては、少なくとも光電変換層の一部)に形成すればよい。
本開示の撮像装置、上記の好ましい形態を含む本開示の撮像装置における光電変換素子、上記の好ましい形態を含む本開示の第1の態様〜第6の態様に係る光電変換素子の製造方法に基づき製造された光電変換素子(以下、これらの光電変換素子を総称して、『本開示の光電変換素子等』と呼ぶ場合がある)において、第2電極は、第1電極と同じ側に形成されている形態とすることができるし、あるいは又、第2電極は、第1化合物半導体層の光入射側の面上に形成されている形態とすることができる。
上記の好ましい形態を含む本開示の光電変換素子等において、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層は、異なる材料から構成することもできるし、同じ材料から成る構成とすることもできる。尚、後者の場合、素子分離層は、第1導電型を有し、光電変換層を構成する材料とは異なる化合物半導体材料(第3化合物半導体材料)から成る。このような構成の素子分離層を『第3化合物半導体材料から成る素子分離層』と呼ぶ場合がある。そして、後者の場合、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の光電変換素子等において、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層、素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)及び光電変換層は、III−V属化合物半導体材料から成る構成とすることができ、この場合、光電変換層はInGaAsから成り、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)はInPから成る構成とすることができる。但し、これに限定されるものではなく、光電変換層のバンドギャップエネルギーが最も低くなるように、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び光電変換層の材料を選択してもよい。また、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層を異なる材料から構成する場合、素子分離層を構成する材料として、絶縁材料や、遮光材料と絶縁材料との組み合わせを挙げることができる。即ち、後者の場合、素子分離層は、絶縁材料層から成り、あるいは又、光電変換層の側面と接している素子分離層の部分は絶縁材料層から構成され、それ以外の素子分離層の部分は遮光材料層から構成されている形態とすることができる。また、光電変換層を構成する化合物半導体層が結晶性の化合物半導体材料から構成され、素子分離層が、光電変換層を構成する化合物半導体材料と同じ化合物半導体材料から構成されているが、多結晶状態である形態も含み得る。
第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)が同じ材料から成る構成において、材料は、完全に同一の材料であってもよいし、組成が異なる材料であってもよいし、組成は同一だが不純物濃度が異なる材料であってもよい。ここで、組成が同一とは、材料を構成する原子の原子百分率が同じ値であることを意味し、組成が異なるとは、材料を構成する原子の原子百分率が異なる値であることを意味する。また、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)はInPから成る構成に限定するものではなく、第1化合物半導体層、第2化合物半導体層あるいは素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)のそれぞれを構成する化合物半導体材料として、その他、Si、InGaAsPやAlInAsを例示することができる。
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の光電変換素子等において、素子分離層を構成する化合物半導体材料(第3化合物半導体材料)は、光電変換層を構成する材料よりも広いバンドギャップエネルギーを有する形態とすることができるし、更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の光電変換素子等において、素子分離層の不純物濃度は、光電変換層の不純物濃度よりも高い形態とすることができる。
ここで、第3化合物半導体材料のバンドギャップエネルギーをBG3、光電変換層を構成する材料のバンドギャップエネルギーをBG0としたとき、限定するものではないが、
0.3eV≦BG3−BG0≦0.85eV
を例示することができる。また、第3化合物半導体材料の屈折率をn3、光電変換層を構成する材料の屈折率をn0としたとき、限定するものではないが、
0.3≦n0−n3≦0.5
を例示することができる。更には、第3化合物半導体材料から成る素子分離層の不純物濃度をIm3、光電変換層の不純物濃度をIm0としたとき、限定するものではないが、
1×10≦Im3/Im0≦1×105
を例示することができる。あるいは又、Im0の値として、5×1016cm-3以下(例えば、1×1014cm-3乃至5×1015cm-3)を例示することができるし、Im3の値として、5×1017cm-3乃至5×1018cm-3以下を例示することができる。
0.3eV≦BG3−BG0≦0.85eV
を例示することができる。また、第3化合物半導体材料の屈折率をn3、光電変換層を構成する材料の屈折率をn0としたとき、限定するものではないが、
0.3≦n0−n3≦0.5
を例示することができる。更には、第3化合物半導体材料から成る素子分離層の不純物濃度をIm3、光電変換層の不純物濃度をIm0としたとき、限定するものではないが、
1×10≦Im3/Im0≦1×105
を例示することができる。あるいは又、Im0の値として、5×1016cm-3以下(例えば、1×1014cm-3乃至5×1015cm-3)を例示することができるし、Im3の値として、5×1017cm-3乃至5×1018cm-3以下を例示することができる。
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の光電変換素子等において、光電変換層の側面と接している素子分離層の部分は第3化合物半導体材料から構成され、それ以外の素子分離層の部分は遮光材料から構成されている形態とすることができる。
凹部の具体的な平面形状として、隣接する光電変換素子の間に(具体的には、例えば、隣接する光電変換素子の境界領域に対応する素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)の部分に)、凹部が形成されている形状を挙げることができる。云い換えれば、凹部は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子は凹部によって囲まれている。また、絶縁材料から成る絶縁材料層又は遮光材料から成る遮光材料層は、具体的には、凹部内に位置する素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)の部分に、光電変換素子を取り囲むように溝部が形成され、この溝部内に形成されている。
本開示の第5の態様に係る光電変換素子の製造方法において、素子分離層・形成領域を構成する材料として、次に述べる各種の絶縁材料を挙げることができる。また、素子分離層・形成材料として、次に述べる各種の絶縁材料を挙げることができる。あるいは又、素子分離層・形成材料として、第2化合物半導体層、光電変換層及び第1化合物半導体層の側面と接している部分は次に述べる各種の絶縁材料から構成され、それ以外の部分は後述する遮光材料から構成されている形態とすることができる。
絶縁材料層を構成する材料あるいは絶縁材料として、酸化ケイ素系材料;窒化ケイ素(SiNY);酸化アルミニウム(Al2O3)、HfO2等の金属酸化物高誘電絶縁膜にて例示される無機系絶縁材料だけでなく、ポリメチルメタクリレート(PMMA);ポリビニルフェノール(PVP);ポリビニルアルコール(PVA);ポリイミド;ポリカーボネート(PC);ポリエチレンテレフタレート(PET);ポリスチレン;N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン(AEAPTMS)、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(MPTMS)、オクタデシルトリクロロシラン(OTS)等のシラノール誘導体(シランカップリング剤);ノボラック型フェノール樹脂;フッ素系樹脂;オクタデカンチオール、ドデシルイソシアネイト等の一端に制御電極と結合可能な官能基を有する直鎖炭化水素類にて例示される有機系絶縁材料(有機ポリマー)を挙げることができるし、これらの組み合わせを用いることもできる。尚、酸化ケイ素系材料として、酸化シリコン(SiOX)、BPSG、PSG、BSG、AsSG、PbSG、酸化窒化シリコン(SiON)、SOG(スピンオングラス)、低誘電率材料(例えば、ポリアリールエーテル、シクロパーフルオロカーボンポリマー及びベンゾシクロブテン、環状フッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、フッ化アリールエーテル、フッ化ポリイミド、アモルファスカーボン、有機SOG)を例示することができる。また、遮光材料層(素子間遮光層)を構成する材料あるいは遮光材料として、クロム(Cr)や銅(Cu)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、マンガン(Mn)を例示することができる。遮光材料層(素子間遮光層)が設けられている構成とすることで、隣接する光電変換素子への光の漏れ込み(光学的クロストーク)を、一層効果的に防ぐことができるし、感度の向上を図ることができる。絶縁材料層は、各種の物理的気相成長法(PVD法)や化学的気相成長法(CVD法)に基づき形成することができる。また、遮光材料層は、各種のPVD法に基づき形成することができる。
PVD法の原理を用いた成膜方法として、抵抗加熱あるいは高周波加熱を用いた真空蒸着法、EB(電子ビーム)蒸着法、各種スパッタリング法(マグネトロンスパッタリング法、RF−DC結合形バイアススパッタリング法、ECRスパッタリング法、対向ターゲットスパッタリング法、高周波スパッタリング法)、イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、分子線エピタキシー法、レーザー転写法を挙げることができる。また、CVD法として、プラズマCVD法、熱CVD法、有機金属(MO)CVD法、光CVD法を挙げることができる。
更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本開示の光電変換素子等において、第1化合物半導体層を介して光が入射する形態とすることができる。
以上に説明した各種の好ましい形態を含む本開示の光電変換素子等において、第1導電型をn型とする場合、第2導電型はp型であり、第1導電型をp型とする場合、第2導電型はn型である。
以上に説明した各種の好ましい形態を含む本開示の光電変換素子等において、光が照射され、光電変換層で光電変換が生じ、正孔(ホール)と電子がキャリア分離される。そして、正孔が取り出される電極を陽極(アノード)、電子が取り出される電極を陰極(カソード)とする。第1電極が陽極を構成し、第2電極が陰極を構成する形態もあるし、逆に、第1電極が陰極を構成し、第2電極が陽極を構成する形態もある。第1導電型をn型とし、第2導電型をp型とする場合、第1電極が陰極(カソード)を構成し、第2電極が陽極(アノード)を構成する。
第1電極、あるいは、第1電極と同じ側に形成されている形態の第2電極にあっては、これらの電極を構成する材料として、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、バナジウム(V)、パラジウム(Pd)、亜鉛(Zn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、白金(Pt)、金−亜鉛(Au−Zn)、金−ゲルマニウム(AuGe)、クロム(Cr)、金(Au)、アルミニウム(Al)、Ti/WやTi/W/Cuの積層構造を例示することができる。
第1化合物半導体層の光入射側の面上に形成されている形態の第2電極にあって、第2電極は透明導電材料から成る形態とすることができる。尚、透明導電材料から成る電極を『透明電極』と呼ぶ場合がある。ここで、透明電極を構成する透明導電材料として、導電性のある金属酸化物を挙げることができ、具体的には、酸化インジウム、インジウム−錫酸化物(ITO,Indium Tin Oxide,SnドープのIn2O3、結晶性ITO及びアモルファスITOを含む)、ITiO(TiドープのIn2O3)、IFO(FドープのIn2O3)、酸化亜鉛(他元素をドープしたZnOを含む)、酸化亜鉛にドーパントとしてインジウムを添加したインジウム−亜鉛酸化物(IZO,Indium Zinc Oxide)、酸化亜鉛にドーパントとしてインジウムとガリウムを添加したインジウム−ガリウム−亜鉛酸化物(IGZO,In−GaZnO4)、AlMgZnO(酸化アルミニウム及び酸化マグネシウム・ドープの酸化亜鉛)、酸化亜鉛にドーパントとしてアルミニウムを添加したアルミニウム−亜鉛酸化物(AZO)、酸化亜鉛にドーパントとしてガリウムを添加したガリウム−亜鉛酸化物(GZO)、酸化チタン(TiO2)、BドープのZnO、酸化錫(SnO2)、ATO(SbドープのSnO2)、FTO(FドープのSnO2)、酸化ガリウムにドーパントとしてインジウムを添加したインジウム−ガリウム酸化物(IGO)、InSnZnONiO、酸化チタンにドーパントとしてニオブを添加したニオブ−チタン酸化物(TNO)、酸化アンチモン、スピネル型酸化物、YbFe2O4構造を有する酸化物を例示することができる。あるいは又、ガリウム酸化物、チタン酸化物、ニオブ酸化物、ニッケル酸化物等を母層とする透明電極を挙げることができる。透明電極の厚さとして、2×10-8m乃至2×10-7m、好ましくは3×10-8m乃至1×10-7mを挙げることができる。第2電極を、所謂ベタ膜とすることもできる。更には、第2電極の光入射面には補助電極が形成されていてもよい。補助電極の平面形状として格子状(井桁状)を挙げることができるし、あるいは、複数の枝補助電極が相互に平行に延び、これらの複数の枝補助電極の一端あるいは両端が相互に接続されている形状を例示することができる。補助電極は、例えば、AuGe層/Ni層/Au層、Mo層/Ti層/Pt層/Au層、Ti層/Pt層/Au層、Ni層/Au層等から構成することができ、例えば、スパッタリング法や真空蒸着法といったPVD法に基づき形成することができる。尚、「/」の最も先頭に記載された層が第2電極側を占める。
第1電極や第2電極(陽極や陰極)の成膜方法として、前述した各種PVD法(例えば、スパッタリング法や真空蒸着法等)あるいは各種CVD法を挙げることができる。
光電変換素子の光入射面(例えば、第1化合物半導体層の光入射面)の上には、反射防止膜が形成されている構成とすることができる。反射防止膜を構成する材料として、最上層の化合物半導体層を構成する化合物半導体材料よりも屈折率が小さい材料を用いることが好ましく、具体的には、例えば、TiO2、Al2O3、ZnS、MgF2、Ta2O5、SiO2、Si3N4、ZrO2、HfO2から成る層、あるいは、これらの層の積層構造を挙げることができ、例えば、スパッタリング法等のPVD法に基づき形成することができる。
光電変換層は、光電変換層に含まれる不純物濃度に依っては、第1導電型層とみなされる場合もあるし、i層とみなされる場合もある。即ち、光電変換層には、真性半導体層も含まれる。
第2導電型領域の形成方法として、第2導電型を有する不純物の気相拡散法や固相拡散法を例示することができる。第2導電型をp型とする場合、不純物として亜鉛(Zn)やマグネシウム(Mg)を例示することができる。また、イオン注入法により亜鉛(Zn)やマグネシウム(Mg)を導入してもよい。
各種の化合物半導体層の形成は、例えば、有機金属化学的気相成長法(MOCVD法,Metal Organic-Chemical Vapor Deposition 法、MOVPE法,Metal Organic-Vapor Phase Epitaxy 法)や分子線エピタキシー法(MBE法)、ハロゲンが輸送あるいは反応に寄与するハイドライド気相成長法(HVPE法)、原子層堆積法(ALD法, Atomic Layer Deposition 法)、マイグレーション・エンハンスト・エピタキシー法(MEE法, Migration-Enhanced Epitaxy 法)、プラズマ・アシステッド物理的気相成長法(PPD法)等に基づき行うことができる。
凹部や溝部は、ウエットエッチング法やドライエッチング法に基づき形成することができる。あるいは又、溝部は、凹部を素子分離層で埋め込むときに、同時に形成することもできる。
光電変換素子の光入射側に、所望の波長の光を通過させるフィルタ(例えば、カラーフィルタや可視光カットフィルタ、不所望の赤外光をカットする赤外線カットフィルタ)を備えた構成とすることができるし、集光レンズ(オンチップ・マイクロ・レンズ、OCL)を備えた構成とすることもできる。即ち、例えば、第1化合物半導体層の上に平坦化膜を形成し、更に、平坦化膜上にフィルタ、集光レンズを形成してもよい。
第2化合物半導体層の頂面(場合によっては、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層の頂面)は、被覆層によって被覆されていてもよい。被覆層を構成する材料として、前述した絶縁材料層を構成する材料を挙げることができる。
基板(成膜用基板)として、III−V族化合物半導体から成る基板を挙げることができる。具体的には、III−V族化合物半導体から成る基板として、GaAs基板、InP基板、GaN基板、AlN基板、GaP基板、GaSb基板、InSb基板、InAs基板等を挙げることができる。あるいは又、シリコン半導体基板、サファイア基板、SiC基板、石英ガラス基板、サファイア基板等を挙げることもできる。駆動用基板を、例えば、シリコン半導体基板から構成することができる。そして、駆動用基板には、光電変換素子を駆動するための各種回路を形成すればよい。基板(成膜用基板)の除去は、エッチング法や研磨法、CMP法、レーザーアブレーション法、加熱法等によって行えばよい。
駆動用基板に形成された第1電極接続部や第2電極接続部を、例えば、光電変換素子の第1電極や第2電極との接続のためのバンプ部から構成することもできる。そして、第1電極、第2電極あるいはコンタクト部と、シリコン半導体基板に設けられたバンプ部とを接続する。あるいは又、銅(Cu)から成る第1電極接続部や第2電極接続部が形成された駆動用基板と、第1電極や第2電極上に設けられた接続部(銅から成る)を有する光電変換素子とを、接続部同士が接するように重ね合わせ、接続部同士を接合することで、積層することができる。あるいは又、接続には、その他、TCV(Through Contact VIA)を用いることもできる。
場合によっては、光電変換素子を支持基板に固定してもよい。この場合にも、成膜用基板上で光電変換素子を形成した後、光電変換素子を支持基板に固定し、あるいは又、貼り合わせ、次いで、光電変換素子から成膜用基板を除去すればよい。光電変換素子から成膜用基板を除去する方法として、上述した方法を挙げることができる。また、光電変換素子を支持基板に固定し、あるいは又、貼り合わせる方法として、接着剤を用いる方法の他、金属接合法、半導体接合法、金属・半導体接合法を挙げることができる。支持基板として、成膜用基板として例示した基板以外にも、ガラス基板、石英基板等の透明無機基板、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂;ポリカーボネート(PC)樹脂;ポリエーテルスルホン(PES)樹脂;ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂;ポリフェニレンサルファイド樹脂;ポリフッ化ビニリデン樹脂;テトラアセチルセルロース樹脂;ブロム化フェノキシ樹脂;アラミド樹脂;ポリイミド樹脂;ポリスチレン樹脂;ポリアリレート樹脂;ポリスルフォン樹脂;アクリル樹脂;エポキシ樹脂;フッ素樹脂;シリコーン樹脂;ジアセテート樹脂;トリアセテート樹脂;ポリ塩化ビニル樹脂;環状ポリオレフィン樹脂等の透明プラスチック基板やフィルムを挙げることができる。ガラス基板として、例えば、ソーダガラス基板、耐熱ガラス基板、石英ガラス基板を挙げることができる。
本開示の撮像装置において、光電変換素子の配列として、ベイヤ配列の他、インターライン配列、GストライプRB市松配列、GストライプRB完全市松配列、市松補色配列、ストライプ配列、斜めストライプ配列、原色色差配列、フィールド色差順次配列、フレーム色差順次配列、MOS型配列、改良MOS型配列、フレームインターリーブ配列、フィールドインターリーブ配列を挙げることができる。ここで、1つの光電変換素子によって1つの画素が構成される。光電変換素子の配列ピッチとして、5μm以下を例示することができる。本開示の撮像装置によって、単板式カラー固体撮像装置を構成することができる。撮像装置には、光電変換素子を駆動するための制御部や駆動回路、配線が設けられている。必要に応じて、光電変換素子への光の入射を制御するためのシャッターを配設してもよい。
本開示の撮像装置において、光電変換素子が複数配列された画素領域は、2次元マトリクス状(2次元アレイ状)に規則的に複数配列された画素から構成される。画素領域は、通常、実際に光を受光し光電変換によって生成された信号電荷を増幅して駆動回路に読み出す有効画素領域と、黒レベルの基準になる光学的黒を出力するための黒基準画素領域とから構成されている。黒基準画素領域は、通常は、有効画素領域の外周部に配置されている。
光電変換素子から、CCD素子(Charge Coupled Device:電荷結合素子)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ、CIS(Contact Image Sensor)、CMD(Charge Modulation Device)型の信号増幅型イメージセンサを構成することができる。また、撮像装置から、例えば、デジタルスチルカメラやビデオカメラ、カムコーダ、車載用カメラ、監視用カメラ、携帯電話機等の撮像機能を有する電子機器を構成することができる。光電変換素子を除く撮像装置の構成、構造は、周知の撮像装置の構成、構造と同じとすることができるし、光電変換素子によって得られた信号の各種処理も周知の回路に基づき行うことができる。
実施例1は、本開示の光電変換素子(受光素子、フォトダイオード、撮像素子)、及び、本開示の第1の態様に係る光電変換素子の製造方法、並びに、本開示の撮像装置に関する。実施例1の光電変換素子の模式的な一部断面図を図1Aに示す。また、実施例1の光電変換素子における第1電極、第2電極、第2化合物半導体層、素子分離層、凹部の配置を模式的に図4Aに示し、実施例1の光電変換素子と駆動用基板との接続を模式的に示す図を図5に示し、実施例1の撮像装置の概念図を図6に示す。
実施例1の光電変換素子10Aは、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、
第1化合物半導体層31上に形成された光電変換層34、
光電変換層34を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32、
少なくとも第2化合物半導体層32の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35、
光電変換層34の側面を取り囲む素子分離層33、
第2導電型領域35上に形成された第1電極51、及び、
第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52、
を備えている。
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、
第1化合物半導体層31上に形成された光電変換層34、
光電変換層34を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32、
少なくとも第2化合物半導体層32の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35、
光電変換層34の側面を取り囲む素子分離層33、
第2導電型領域35上に形成された第1電極51、及び、
第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52、
を備えている。
ここで、素子分離層33は、具体的には、第1導電型を有し、光電変換層34を構成する材料とは異なる第3化合物半導体材料から成る。そして、素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)33は、第2化合物半導体層32上にも形成されている。また、第2導電型領域35は、少なくとも第2化合物半導体層32の一部に形成されているが、具体的には、第2化合物半導体層32の一部、及び、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層33の一部に形成されている。尚、第2化合物半導体層32が、素子分離層を構成する材料にも依るが、素子分離層33の頂部を覆っている場合もある。
実施例1の撮像装置は、実施例1の光電変換素子10Aが、複数、2次元マトリクス状に配列されて成る。そして、実施例1の撮像装置は、駆動用基板60、具体的には、読出し用集積基板(ROIC基板)を更に備えており、各光電変換素子10Aを構成する第1電極51は、駆動用基板60に設けられた第1電極接続部61に接続されており、また、各光電変換素子10Aを構成する第2電極52は、駆動用基板60に設けられた第2電極接続部62に接続されている。駆動用基板60には、光電変換素子10Aを駆動するための各種回路が設けられているが、図示は省略した。撮像素子10Aは、より具体的には、CMOSイメージセンサから構成されている。また、撮像装置から、例えば、車載用カメラや監視用カメラが構成されている。
実施例1において、第2電極52は、第1電極51と同じ側に形成されている。また、第1化合物半導体層31を介して光が入射する。第1導電型をn型とし、第2導電型をp型とした。第1化合物半導体層31、第2化合物半導体層32及び素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)33は、同じ材料から成る。具体的には、第1化合物半導体層31、第2化合物半導体層32、素子分離層33及び光電変換層34は、III−V属化合物半導体材料から成る。そして、光電変換層34はInGaAs(具体的には、n−InGaAs、より具体的には、n−In0.57Ga0.43As)から成り、第1化合物半導体層31、第2化合物半導体層32及び素子分離層33はInP(具体的には、n+−InP)から成る。また、素子分離層33を構成する第3化合物半導体材料は、光電変換層34を構成する材料よりも広いバンドギャップエネルギーを有するし、素子分離層33の不純物濃度は、光電変換層34の不純物濃度よりも高い。具体的には、光電変換層34及び素子分離層33のバンドギャップエネルギーBG、不純物濃度Im、屈折率nの値は、以下の表1のとおりである。尚、光電変換層34の不純物濃度Im0は5×1016cm-3以下であることが望ましく、素子分離層33の不純物濃度Im3は5×1017cm-3乃至5×1018cm-3であることが望ましい。第1化合物半導体層31及び第2化合物半導体層32の不純物濃度Im1,Im2も5×1017cm-3乃至5×1018cm-3であることが望ましい。実施例1にあっては、第1化合物半導体層31、第2化合物半導体層32及び素子分離層33を構成する第1化合物半導体材料、第2化合物半導体材料及び第3化合物半導体材料を、設計上、完全に同一の材料とした。更には、第2導電型領域35の不純物濃度を2×1018cm-3とした。
〈表1〉
BG(eV) Im(cm-3) n
光電変換層 0.75 1.0×1014〜1.0×1016 3.9
素子分離層 1.35 1.0×1016〜1.0×1018 3.5
BG(eV) Im(cm-3) n
光電変換層 0.75 1.0×1014〜1.0×1016 3.9
素子分離層 1.35 1.0×1016〜1.0×1018 3.5
図6に実施例1の撮像装置の概念図を示すように、実施例1の撮像装置100は、光電変換素子10A(図6では撮像素子101で表す)が2次元マトリクス状(2次元アレイ状)に配列された撮像領域111、並びに、その駆動回路(周辺回路)としての垂直駆動回路112、カラム信号処理回路113、水平駆動回路114、出力回路115及び駆動制御回路116等から構成されている。尚、これらの回路は周知の回路から構成することができるし、また、他の回路構成(例えば、従来のCCD型撮像装置やCMOS型撮像装置にて用いられる各種の回路)を用いて構成することができることは云うまでもない。尚、図6において、撮像素子101における参照番号「101」の表示は、1行のみとした。
駆動制御回路116は、垂直同期信号、水平同期信号及びマスタークロックに基づいて、垂直駆動回路112、カラム信号処理回路113及び水平駆動回路114の動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。そして、生成されたクロック信号や制御信号は、垂直駆動回路112、カラム信号処理回路113及び水平駆動回路114に入力される。
垂直駆動回路112は、例えば、シフトレジスタによって構成され、撮像領域111の各撮像素子101を行単位で順次垂直方向に選択走査する。そして、各撮像素子101における受光量に応じて生成した電流(信号)に基づく画素信号(画像信号)は、信号線(データ出力線)117を介してカラム信号処理回路113に送られる。
カラム信号処理回路113は、例えば、撮像素子101の列毎に配置されており、1行分の撮像素子101から出力される画像信号を撮像素子毎に黒基準画素(図示しないが、有効画素領域の周囲に形成される)からの信号によって、ノイズ除去や信号増幅の信号処理を行う。カラム信号処理回路113の出力段には、水平選択スイッチ(図示せず)が水平信号線118との間に接続されて設けられる。
水平駆動回路114は、例えばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路113の各々を順次選択し、カラム信号処理回路113の各々から信号を水平信号線118に出力する。
出力回路115は、カラム信号処理回路113の各々から水平信号線118を介して順次供給される信号に対して、信号処理を行って出力する。
赤外光が、第1化合物半導体層31側から光電変換素子に入射すると、光電変換層34において、正孔及び電子が生成する。第1電極51に第2電極52よりも高い電位を加えておくと、電子は、第2導電型領域35から第1電極51を経由して外部へと取り出される。一方、正孔は、第1化合物半導体層31、素子分離層33、第2化合物半導体層32のいずれかから、第2電極52を経由して外部へと取り出される。
以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図11A、図11B、図11C、図12A、図12B、図12C、図13を参照して、実施例1の光電変換素子10Aの製造方法を説明する。
[工程−100]
基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、光電変換層34、及び、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、順次、形成する。具体的には、InPから成り、厚さ0.1μm乃至1μmのバッファ層22が形成されたInPから成る基板(成膜用基板)21を準備する。そして、周知のMOCVD法に基づき、バッファ層22の上に、厚さ0.1μm乃至1μmの第1化合物半導体層31、厚さ3μm乃至5μmの光電変換層34、厚さ0.1μm乃至1μmの第2化合物半導体層32を、順次、成膜する(図11A参照)。
基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、光電変換層34、及び、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、順次、形成する。具体的には、InPから成り、厚さ0.1μm乃至1μmのバッファ層22が形成されたInPから成る基板(成膜用基板)21を準備する。そして、周知のMOCVD法に基づき、バッファ層22の上に、厚さ0.1μm乃至1μmの第1化合物半導体層31、厚さ3μm乃至5μmの光電変換層34、厚さ0.1μm乃至1μmの第2化合物半導体層32を、順次、成膜する(図11A参照)。
[工程−110]
その後、少なくとも第2化合物半導体層32及び光電変換層34に凹部40を形成する(図11B参照)。具体的には、第2化合物半導体層32の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。場合によっては、凹部40を、第2化合物半導体層32及び光電変換層34に形成してもよい。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子10Aの境界領域に対応する第2化合物半導体層32等の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子10Aは凹部40によって囲まれている。
その後、少なくとも第2化合物半導体層32及び光電変換層34に凹部40を形成する(図11B参照)。具体的には、第2化合物半導体層32の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。場合によっては、凹部40を、第2化合物半導体層32及び光電変換層34に形成してもよい。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子10Aの境界領域に対応する第2化合物半導体層32等の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子10Aは凹部40によって囲まれている。
[工程−120]
次いで、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例1にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を、周知のMOCVD法に基づき形成する(図11C参照)。尚、図示した例では、素子分離層33を第2化合物半導体層32の上にも形成したが、凹部40内のみに素子分離層33を形成してもよい。具体的には、例えば、第2化合物半導体層32の上に不所望の素子分離層33が形成されないように、第2化合物半導体層32の上に選択成長マスク層を形成して、素子分離層33を周知のMOCVD法に基づき形成した後、選択成長マスク層を除去すればよい。
次いで、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例1にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を、周知のMOCVD法に基づき形成する(図11C参照)。尚、図示した例では、素子分離層33を第2化合物半導体層32の上にも形成したが、凹部40内のみに素子分離層33を形成してもよい。具体的には、例えば、第2化合物半導体層32の上に不所望の素子分離層33が形成されないように、第2化合物半導体層32の上に選択成長マスク層を形成して、素子分離層33を周知のMOCVD法に基づき形成した後、選択成長マスク層を除去すればよい。
[工程−130]
その後、少なくとも第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図12A参照)。尚、第2導電型領域35を「×」印で示す。以下においても同様である。具体的には、図示した例では、素子分離層33が第2化合物半導体層32の上に形成されているので、素子分離層33上にマスク層を形成し、例えば、第2導電型(p型)を有する不純物(具体的には、亜鉛、Zn)を気相拡散させ、あるいは又、固相拡散させることで、第2導電型領域35を形成することができる。その後、マスク層を除去する。尚、凹部40内のみに素子分離層33を形成した場合には、第2化合物半導体層32の一部に、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成すればよい。
その後、少なくとも第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図12A参照)。尚、第2導電型領域35を「×」印で示す。以下においても同様である。具体的には、図示した例では、素子分離層33が第2化合物半導体層32の上に形成されているので、素子分離層33上にマスク層を形成し、例えば、第2導電型(p型)を有する不純物(具体的には、亜鉛、Zn)を気相拡散させ、あるいは又、固相拡散させることで、第2導電型領域35を形成することができる。その後、マスク層を除去する。尚、凹部40内のみに素子分離層33を形成した場合には、第2化合物半導体層32の一部に、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成すればよい。
[工程−140]
その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、第2導電型領域35及び素子分離層33の上にSiNから成る被覆層36を形成し、次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、第1電極51及び第2電極52を形成すべき部分の被覆層36に開口部36A,36Bを形成する(図12B参照)。そして、開口部36Aの底部に露出した第2導電型領域35の上から被覆層36の上に亙り第1電極51を形成し、併せて、開口部36Bの底部に露出した素子分離層33の上から被覆層36の上に亙り第2電極52を形成する。こうして、図12Cに示す構造の光電変換素子10Aを得ることができる。第1電極51及び第2電極52は、例えば、Ti層/W層の積層構造を有する。ここで、Ti層がバリアメタル層として機能する。尚、第1電極51及び第2電極52の頂面には、接続部として銅層(図示せず)を形成しておく。
その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、第2導電型領域35及び素子分離層33の上にSiNから成る被覆層36を形成し、次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、第1電極51及び第2電極52を形成すべき部分の被覆層36に開口部36A,36Bを形成する(図12B参照)。そして、開口部36Aの底部に露出した第2導電型領域35の上から被覆層36の上に亙り第1電極51を形成し、併せて、開口部36Bの底部に露出した素子分離層33の上から被覆層36の上に亙り第2電極52を形成する。こうして、図12Cに示す構造の光電変換素子10Aを得ることができる。第1電極51及び第2電極52は、例えば、Ti層/W層の積層構造を有する。ここで、Ti層がバリアメタル層として機能する。尚、第1電極51及び第2電極52の頂面には、接続部として銅層(図示せず)を形成しておく。
[工程−150]
次いで、基板21と支持基板23とを、光電変換素子及び絶縁膜24を介して周知の方法に基づき貼り合わせる(図13参照)。そして、周知の方法で、基板21及びバッファ層22を除去し、露出した第1化合物半導体層31の上に平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ(オンチップ・マイクロ・レンズ、OCL)38を形成することで、図1Aに示した構造の光電変換素子10Aを得ることができる。尚、図1A、後述する図1B、図2A、図2Bでは、支持基板23等の図示を省略している。その後、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。
次いで、基板21と支持基板23とを、光電変換素子及び絶縁膜24を介して周知の方法に基づき貼り合わせる(図13参照)。そして、周知の方法で、基板21及びバッファ層22を除去し、露出した第1化合物半導体層31の上に平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ(オンチップ・マイクロ・レンズ、OCL)38を形成することで、図1Aに示した構造の光電変換素子10Aを得ることができる。尚、図1A、後述する図1B、図2A、図2Bでは、支持基板23等の図示を省略している。その後、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。
[工程−160]
駆動用基板60、具体的には、読出し用集積基板を準備する。駆動用基板60には、銅から成る第1電極接続部61及び第2電極接続部62が形成されている。そして、撮像装置用の光電変換素子群を支持基板23から駆動用基板60上に移動させる。次いで、光電変換素子10Aの第1電極51の接続部と第1電極接続部61とを銅層同士を接合し、光電変換素子10Aの第2電極52の接続部と第2電極接続部62とを銅層同士を接合する。こうして、光電変換素子10Aを駆動用基板60に実装することができる(図5参照)。
駆動用基板60、具体的には、読出し用集積基板を準備する。駆動用基板60には、銅から成る第1電極接続部61及び第2電極接続部62が形成されている。そして、撮像装置用の光電変換素子群を支持基板23から駆動用基板60上に移動させる。次いで、光電変換素子10Aの第1電極51の接続部と第1電極接続部61とを銅層同士を接合し、光電変換素子10Aの第2電極52の接続部と第2電極接続部62とを銅層同士を接合する。こうして、光電変換素子10Aを駆動用基板60に実装することができる(図5参照)。
尚、光電変換素子の光入射側に、所望の波長の光を通過させるフィルタ(例えば、カラーフィルタや可視光カットフィルタ、不所望の赤外光をカットする赤外線カットフィルタ)を配設してもよい。光電変換部に不要な外光が入射することを防ぐための遮光膜を設けてもよい。遮光膜を構成する材料として、クロム(Cr)や銅(Cu)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)を例示することができる。
実施例1にあっては、光電変換層を構成する材料とは異なる材料(第1導電型を有する第3化合物半導体材料)から成る素子分離層が光電変換層の側面を取り囲んでいる。それ故、隣接する光電変換素子間を分離する領域(実施例1にあっては、具体的には、素子分離層)を形成するとき、結晶欠陥等が発生する虞が無く、また、微細化に確実に対処することができる。また、従来の技術では問題であった、不純物の拡散制御の困難性、即ち、III−V族化合物半導体の積層体の深さ方向の不純物濃度の制御の困難性を回避することができるし、pn接合プロファイルが広がり易く、その結果、感度が低下するといった問題が生じることもない。
実施例1の光電変換素子の変形例の模式的な一部断面図を図1Bに示す。この変形例の光電変換素子(撮像素子)10Bにおいて、第2電極52は、第1化合物半導体層31の光入射側の面上に形成されている。具体的には、例えば、実施例1の[工程−140]と同様の工程において、第2電極52の形成を省略し、実施例1の[工程−150]と同様の工程において基板21及びバッファ層22を除去し、露出した第1化合物半導体層31の上に、ITO等の透明導電材料から成る第2電極52、平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ38を形成する。尚、第2電極52をベタ膜とすることができる。即ち、第2電極52を光電変換素子に共通な電極とすることができる。
実施例2は、実施例1の変形である。実施例2の光電変換素子の模式的な一部断面図を図2Aに示し、実施例2の光電変換素子における第1電極、第2電極、第2化合物半導体層、素子分離層、凹部、溝部の配置を模式的に図4Bに示す。
実施例2の光電変換素子10Cにおいて、光電変換層34の側面と接している素子分離層33の部分は第3化合物半導体材料から構成され、それ以外の素子分離層33の部分は絶縁材料層又は遮光材料層42から構成されている。即ち、凹部40内に位置する素子分離層33の部分に、光電変換素子10Cを取り囲むように溝部41が形成されている。そして、溝部41内に、絶縁材料層又は遮光材料層42が形成されている。
実施例2の光電変換素子10Cは、実施例1における[工程−120]と[工程−130]との間の工程において、あるいは又、[工程−130]と[工程−140]との間の工程において、あるいは又、[工程−140]と[工程−150]との間の工程において、凹部40内に形成された素子分離層33(具体的には、第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)に溝部41を形成する。そして、溝部41を絶縁材料又は遮光材料で埋め込むことで絶縁材料層又は遮光材料層42を形成する。尚、図示した例では、[工程−120]と[工程−130]との間の工程において、絶縁材料層又は遮光材料層42を形成している。
具体的には、実施例1の[工程−120]が完了した後(図11C参照)、素子分離層33の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、素子分離層33を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、素子分離層33に溝部41を形成する(図14A参照)。そして、例えば、スパッタリング法に基づき、例えば、SiN、SiO2、Al2O3あるいはHfO2によって溝部41を埋め込むことで、絶縁材料層42を形成することができるし、あるいは又、例えば、Ti、W、Mo、MnあるいはCuによって溝部41を埋め込むことで、遮光材料層42を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。こうして、図14Bに示す構造を得ることができる。
あるいは又、実施例1の[工程−120]と同様の工程において、少なくとも凹部40内に素子分離層(第3化合物半導体材料から成る素子分離層)33を周知のMOCVD法に基づき形成するとき、素子分離層33の成膜条件を制御することで、凹部40内の素子分離層33に溝部41を同時に形成する(図15A参照)。そして、例えば、スパッタリング法に基づき、溝部41内に絶縁材料層又は遮光材料層42を形成する。こうして、図15Bに示す構造を得ることができる。
実施例2の光電変換素子の変形例(光電変換素子10D)を図2Bに模式的な一部断面図を示すが、図1Bに示した実施例1の光電変換素子の変形例と同様に、第2電極52を、第1化合物半導体層31の光入射側の面上に形成してもよい。
実施例3は、実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形であり、且つ、本開示の第2の態様に係る光電変換素子の製造方法に関する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図16A、図16B、図16C、図17A、図17Bを参照して、実施例3の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−300]
基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、及び、光電変換層34を、順次、形成する。具体的には、InPから成り、厚さ0.1μm乃至1μmのバッファ層22が形成されたInPから成る基板(成膜用基板)21を準備する。そして、周知のMOCVD法に基づき、バッファ層22の上に、厚さ0.1μm乃至1μmの第1化合物半導体層31、厚さ3μm乃至5μmの光電変換層34を、順次、成膜する(図16A参照)。
基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、及び、光電変換層34を、順次、形成する。具体的には、InPから成り、厚さ0.1μm乃至1μmのバッファ層22が形成されたInPから成る基板(成膜用基板)21を準備する。そして、周知のMOCVD法に基づき、バッファ層22の上に、厚さ0.1μm乃至1μmの第1化合物半導体層31、厚さ3μm乃至5μmの光電変換層34を、順次、成膜する(図16A参照)。
[工程−310]
その後、少なくとも光電変換層34に凹部40を形成する(図16B参照)。具体的には、光電変換層34の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、光電変換層34及び第1化合物半導体層31を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子10Aの境界領域に対応する光電変換層34の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子10Aは凹部40によって囲まれている。尚、凹部40を、光電変換層34に形成してもよい。
その後、少なくとも光電変換層34に凹部40を形成する(図16B参照)。具体的には、光電変換層34の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、光電変換層34及び第1化合物半導体層31を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子10Aの境界領域に対応する光電変換層34の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子10Aは凹部40によって囲まれている。尚、凹部40を、光電変換層34に形成してもよい。
[工程−320]
次に、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例3にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を形成し、更に、光電変換層34を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を形成する。具体的には、凹部40を含む全面に、周知のMOCVD法に基づき、素子分離層を形成する(図16C参照)。ここで、光電変換層34上に形成された素子分離層の部分が第2化合物半導体層32に相当する。第2化合物半導体層32の光電変換層34上における厚さを0.1μm乃至1μmとした。即ち、実施例3にあっては、第2化合物半導体層32及び素子分離層33は同じ化合物半導体材料から一体的に構成されており、形成される場所に依存して、第2化合物半導体層32(光電変換層34上)あるいは素子分離層33(凹部40内)となる。
次に、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例3にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を形成し、更に、光電変換層34を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を形成する。具体的には、凹部40を含む全面に、周知のMOCVD法に基づき、素子分離層を形成する(図16C参照)。ここで、光電変換層34上に形成された素子分離層の部分が第2化合物半導体層32に相当する。第2化合物半導体層32の光電変換層34上における厚さを0.1μm乃至1μmとした。即ち、実施例3にあっては、第2化合物半導体層32及び素子分離層33は同じ化合物半導体材料から一体的に構成されており、形成される場所に依存して、第2化合物半導体層32(光電変換層34上)あるいは素子分離層33(凹部40内)となる。
尚、素子分離層33を凹部40内上に形成してもよく、この場合、光電変換層34及び凹部40を覆うように第2化合物半導体層32を形成すればよい。あるいは又、凹部40を含む全面に素子分離層33を形成し、素子分離層33上に、更に、第2化合物半導体層32を形成してもよい。
[工程−330]
その後、少なくとも第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図17A参照)。具体的には、第2化合物半導体層32上にマスク層を形成し、例えば、第2導電型(p型)を有する不純物(具体的には、亜鉛、Zn)を気相拡散させ、あるいは又、固相拡散させることで、第2導電型領域35を形成することができる。その後、マスク層を除去する。
その後、少なくとも第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図17A参照)。具体的には、第2化合物半導体層32上にマスク層を形成し、例えば、第2導電型(p型)を有する不純物(具体的には、亜鉛、Zn)を気相拡散させ、あるいは又、固相拡散させることで、第2導電型領域35を形成することができる。その後、マスク層を除去する。
[工程−340]
その後、図17Bに工程の一部を図示するように、実施例1の[工程−140]〜[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例3の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、図17Bに工程の一部を図示するように、実施例1の[工程−140]〜[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例3の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例3にあっても、実施例1の光電変換素子の変形例と同様に、第2電極52を、第1化合物半導体層31の光入射側の面上に形成してもよい。また、実施例2と同様に、絶縁材料層又は遮光材料層42を形成してもよい。
実施例4は、実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形であり、且つ、本開示の第3の態様に係る光電変換素子の製造方法に関する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図18A、図18B、図19A、図19B、図20A、図20Bを参照して、実施例4の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−400]
先ず、実施例1の[工程−100]と同様にして、基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、光電変換層34、及び、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、順次、形成する(図18A参照)。
先ず、実施例1の[工程−100]と同様にして、基板上に、第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層31、光電変換層34、及び、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、順次、形成する(図18A参照)。
[工程−410]
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する。
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する。
[工程−420]
その後、実施例1の[工程−140]と同様にして、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第2化合物半導体層32の上に第2電極52を形成する。こうして、図18Bに示す構造を得ることができる。
その後、実施例1の[工程−140]と同様にして、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第2化合物半導体層32の上に第2電極52を形成する。こうして、図18Bに示す構造を得ることができる。
[工程−430]
次いで、基板21と支持基板23とを、光電変換素子及び絶縁膜24を介して周知の方法に基づき貼り合わせる(図19A参照)。そして、周知の方法で、基板21及びバッファ層22を除去し、露出した第1化合物半導体層31を露出させる(図19B参照)。
次いで、基板21と支持基板23とを、光電変換素子及び絶縁膜24を介して周知の方法に基づき貼り合わせる(図19A参照)。そして、周知の方法で、基板21及びバッファ層22を除去し、露出した第1化合物半導体層31を露出させる(図19B参照)。
[工程−440]
その後、少なくとも光電変換層34に凹部40を形成する(図20A参照)。具体的には、第1化合物半導体層31の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第1化合物半導体層31、光電変換層34及び第2化合物半導体層32を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。場合によっては、凹部40を、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に形成してもよい。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子の境界領域に対応する第1化合物半導体層31等の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子は凹部40によって囲まれている。
その後、少なくとも光電変換層34に凹部40を形成する(図20A参照)。具体的には、第1化合物半導体層31の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第1化合物半導体層31、光電変換層34及び第2化合物半導体層32を、例えば、ドライエッチング法やウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部40を形成することができる。その後、エッチング用レジスト層を除去する。場合によっては、凹部40を、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に形成してもよい。ここで、隣接する光電変換素子10Aの間に、具体的には、例えば、隣接する光電変換素子の境界領域に対応する第1化合物半導体層31等の部分に、凹部40が形成されている。云い換えれば、凹部40は、例えば、井桁状に設けられている。即ち、光電変換素子は凹部40によって囲まれている。
[工程−450]
次いで、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例4にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を、周知のMOCVD法に基づき、形成する(図20B参照)。尚、図示した例では、凹部40内のみに素子分離層33を形成している。具体的には、例えば、第1化合物半導体層31の上に不所望の素子分離層が形成されないように、第1化合物半導体層31の上に選択成長マスク層を形成して、素子分離層33を周知のMOCVD法に基づき形成し、選択成長マスク層を除去すればよい。尚、素子分離層33を、凹部40内だけでなく、第1化合物半導体層31の上に形成してもよい。その後、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。
次いで、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、実施例4にあっては、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を、周知のMOCVD法に基づき、形成する(図20B参照)。尚、図示した例では、凹部40内のみに素子分離層33を形成している。具体的には、例えば、第1化合物半導体層31の上に不所望の素子分離層が形成されないように、第1化合物半導体層31の上に選択成長マスク層を形成して、素子分離層33を周知のMOCVD法に基づき形成し、選択成長マスク層を除去すればよい。尚、素子分離層33を、凹部40内だけでなく、第1化合物半導体層31の上に形成してもよい。その後、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。
[工程−460]
その後、露出した第1化合物半導体層31の上に平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ38を形成し、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。そして、更に、実施例1の[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例4の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、露出した第1化合物半導体層31の上に平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ38を形成し、ダイシングを行い、撮像装置用の光電変換素子群(撮像素子群)に分割する。そして、更に、実施例1の[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例4の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例4にあっても、実施例1の光電変換素子の変形例と同様に、第2電極52を、第1化合物半導体層31の光入射側の面上に形成してもよい。また、実施例2と同様に、絶縁材料層又は遮光材料層42を形成してもよい。
場合によっては、[工程−420]の後、第2化合物半導体層側から、少なくとも第2化合物半導体層32及び光電変換層34に凹部を形成してもよい。具体的には、第2化合物半導体層32及び光電変換層34に凹部を形成してもよいし、第2化合物半導体層32、光電変換層34及び第1化合物半導体層31に凹部を形成してもよい。そして、少なくとも凹部40内に、素子分離層33(具体的には、光電変換層34を構成する材料とは異なる材料である第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成る素子分離層33)を、周知のMOCVD法に基づき、形成し、更に、実施例1の[工程−150]〜実施例1の[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例4の光電変換素子、撮像装置を得ることもできる。
実施例5は、実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形であり、且つ、本開示の第4の態様に係る光電変換素子の製造方法に関する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図21A、図21B、図21C、図22A、図22B、図22Cを参照して、実施例5の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−500]
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図21A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21の一部から構成された素子分離層33を形成することができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図21A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21の一部から構成された素子分離層33を形成することができる。
[工程−510]
次いで、第1化合物半導体層31上に光電変換層34をMOCVD法に基づき形成する。その後、必要に応じて、平坦化処理を行う。こうして、図21Bに示す構造を得ることができる。尚、素子分離層33の側面からは光電変換層34が成膜されない条件を選択した。
次いで、第1化合物半導体層31上に光電変換層34をMOCVD法に基づき形成する。その後、必要に応じて、平坦化処理を行う。こうして、図21Bに示す構造を得ることができる。尚、素子分離層33の側面からは光電変換層34が成膜されない条件を選択した。
[工程−520]
次いで、光電変換層34の上に(実施例5においては、具体的には、全面に)、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図21Cに示す構造を得ることができる。
次いで、光電変換層34の上に(実施例5においては、具体的には、全面に)、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図21Cに示す構造を得ることができる。
[工程−530]
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図22A参照)。
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図22A参照)。
[工程−540]
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例1の[工程−140]と同様にして、第2導電型領域35及び素子分離層33の上にSiNから成る被覆層36を形成し、次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、第1電極51及び第2電極52を形成すべき部分の被覆層36に開口部を形成する(図22B参照)。そして、開口部の底部に露出した第2導電型領域35の上から被覆層36の上に亙り第1電極51を形成し、併せて、開口部の底部に露出した素子分離層33の上から被覆層36の上に亙り第2電極52を形成する。こうして、図22Cに示す構造の光電変換素子を得ることができる。
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例1の[工程−140]と同様にして、第2導電型領域35及び素子分離層33の上にSiNから成る被覆層36を形成し、次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、第1電極51及び第2電極52を形成すべき部分の被覆層36に開口部を形成する(図22B参照)。そして、開口部の底部に露出した第2導電型領域35の上から被覆層36の上に亙り第1電極51を形成し、併せて、開口部の底部に露出した素子分離層33の上から被覆層36の上に亙り第2電極52を形成する。こうして、図22Cに示す構造の光電変換素子を得ることができる。
[工程−550]
その後、実施例1の[工程−150]、[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例5の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、実施例1の[工程−150]、[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例5の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例5あるいは後述する実施例6〜実施例7にあっても、実施例1の光電変換素子の変形例と同様に、第2電極52を、第1化合物半導体層31の光入射側の面上に形成してもよい。また、実施例2と同様に、絶縁材料層又は遮光材料層42を形成してもよい。
実施例6は、実施例5の変形である。実施例6が実施例5と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例5にあっては、光電変換層34のMOCVD法における成膜条件として、素子分離層33の側面からは光電変換層34が成膜されない条件を選択した。一方、実施例6にあっては、光電変換層34のMOCVD法における成膜条件として、素子分離層33の側面からも光電変換層34が成膜される条件を選択する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図23A、図23B、図23C、図24A、図24B、図24Cを参照して、実施例6の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−600]
先ず、第1導電型を有するInPから成る基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図23A参照)。具体的には、素子分離層33を形成すべき基板21の部分の上にハードマスク層25を形成する。そして、ハードマスク層25をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21の一部から構成された素子分離層33を形成することができる。
先ず、第1導電型を有するInPから成る基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図23A参照)。具体的には、素子分離層33を形成すべき基板21の部分の上にハードマスク層25を形成する。そして、ハードマスク層25をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21の一部から構成された素子分離層33を形成することができる。
[工程−610]
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図23Bに示す構造を得ることができる。MOCVD法における成膜条件として、素子分離層33の側面からも光電変換層34が成膜される条件を選択する。その後、必要に応じて、平坦化処理を行ってもよい。
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図23Bに示す構造を得ることができる。MOCVD法における成膜条件として、素子分離層33の側面からも光電変換層34が成膜される条件を選択する。その後、必要に応じて、平坦化処理を行ってもよい。
[工程−620]
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図23Cに示す構造を得ることができる。そして、平坦化処理を行う。こうして、図24Aに示す構造を得ることができる。
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図23Cに示す構造を得ることができる。そして、平坦化処理を行う。こうして、図24Aに示す構造を得ることができる。
[工程−630]
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図24B参照)。
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図24B参照)。
[工程−640]
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例5の[工程−540]と同様の工程を実行する。こうして、図24Cに示す構造の光電変換素子を得ることができる。
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する。併せて、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例5の[工程−540]と同様の工程を実行する。こうして、図24Cに示す構造の光電変換素子を得ることができる。
[工程−650]
その後、実施例1の[工程−150]、[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例5の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、実施例1の[工程−150]、[工程−160]と同様の工程を実行することで、実施例5の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例7も、実施例5の変形である。実施例7が実施例5と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例5にあっては素子分離層33を基板21の一部から構成した。一方、実施例7にあっては、素子分離層33は、絶縁材料層から成り、あるいは又、外側の一部が絶縁材料層から成り、残りの部分(芯部)が遮光材料層から成る。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図25A、図25B、図25C、図26A、図26B、図26Cを参照して、実施例7の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−700]
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図25A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料層から構成された素子分離層33を形成することができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図25A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料層から構成された素子分離層33を形成することができる。
あるいは又、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に犠牲層を形成し、犠牲層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、犠牲層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、犠牲層に素子分離層を形成すべき溝部を形成する。そして、溝部を絶縁材料で埋め込む。あるいは又、溝部の側面及び底面を絶縁材料で覆い、更に、溝部の残部を遮光材料で埋め込む。そして、犠牲層の頂面上の絶縁材料(あるいは絶縁材料及び遮光材料)を除去し、更に、犠牲層を除去する。こうして、素子分離層33を得ることができる。
[工程−710]
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図25Bに示す構造を得ることができる。尚、その後、必要に応じて、平坦化処理を行ってもよい。
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図25Bに示す構造を得ることができる。尚、その後、必要に応じて、平坦化処理を行ってもよい。
[工程−720]
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図25Cに示す構造を得ることができる。
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図25Cに示す構造を得ることができる。
[工程−730]
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図26A参照)。
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図26A参照)。
[工程−740]
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する(図26B、図26C参照)。具体的には、実施例5の[工程−540]と同様の工程を実行することで第1電極51を得ることができる。
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する(図26B、図26C参照)。具体的には、実施例5の[工程−540]と同様の工程を実行することで第1電極51を得ることができる。
[工程−750]
その後、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例1の[工程−150]と同様の工程において基板21を厚さ方向に一部分除去し、露出した第1化合物半導体層31の上に、ITO等の透明導電材料から成る第2電極52、平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ38を形成する。尚、第2電極52をベタ膜とすることができる。即ち、第2電極52を光電変換素子に共通な電極とすることができる。こうして、実施例7の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例1の[工程−150]と同様の工程において基板21を厚さ方向に一部分除去し、露出した第1化合物半導体層31の上に、ITO等の透明導電材料から成る第2電極52、平坦化膜37を形成し、平坦化膜37の上に集光レンズ38を形成する。尚、第2電極52をベタ膜とすることができる。即ち、第2電極52を光電変換素子に共通な電極とすることができる。こうして、実施例7の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例8も、実施例5の変形である。実施例8が実施例5と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例5にあっては素子分離層33を基板21の一部から構成した。一方、実施例8にあっては、素子分離層33は、基板21上に形成された絶縁材料層33A、及び、絶縁材料層33A上に形成された多結晶材料層34Aから成る。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図27A、図27B、図27C、図28A、図28B、図28Cを参照して、実施例8の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−800]
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図27A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料層33Aから構成された素子分離層33の一部を形成することができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図27A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料層33Aから構成された素子分離層33の一部を形成することができる。
[工程−810]
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図27Bに示す構造を得ることができる。ここで、絶縁材料層33Aの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、素子分離層33の残部である多結晶材料層34Aを得ることができる。こうして、絶縁材料層33A、及び、絶縁材料層33A上に形成された多結晶材料層34Aから成る素子分離層33を得ることができる。尚、多結晶材料層34Aは高抵抗状態にあるので、キャリアは第1電極51あるいは第2電極52に向かって流れ難い。
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図27Bに示す構造を得ることができる。ここで、絶縁材料層33Aの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、素子分離層33の残部である多結晶材料層34Aを得ることができる。こうして、絶縁材料層33A、及び、絶縁材料層33A上に形成された多結晶材料層34Aから成る素子分離層33を得ることができる。尚、多結晶材料層34Aは高抵抗状態にあるので、キャリアは第1電極51あるいは第2電極52に向かって流れ難い。
[工程−820]
次いで、光電変換層34及び素子分離層33の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図27Cに示す構造を得ることができる。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
次いで、光電変換層34及び素子分離層33の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する。こうして、図27Cに示す構造を得ることができる。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
[工程−830]
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図28A参照)。
その後、実施例1の[工程−130]と同様にして、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層34に達する第2導電型領域35を形成する(図28A参照)。
[工程−840]
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する(図28B、図28C参照)。
次いで、第2導電型領域35上に第1電極51を形成する(図28B、図28C参照)。
[工程−850]
その後、実施例7の[工程−750]と同様の工程を実行することで、実施例8の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、実施例7の[工程−750]と同様の工程を実行することで、実施例8の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例9は、実施例8の変形である。実施例8が実施例7と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例7にあっては、素子分離層33の一部を、基板21上に形成された絶縁材料層33Aから構成した。一方、実施例9にあっては、素子分離層33の一部を、基板21の表面領域に形成された絶縁材料層33Bから構成する。素子分離層33は、基板21の表面領域に形成された絶縁材料層33B、及び、絶縁材料層33B上に形成された多結晶材料層34Aから成る。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図29A、図29B、図29C、図30A、図30B、図30Cを参照して、実施例9の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−900]
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る。(図29A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21に素子分離層33を形成すべき凹みを形成することができる。そして、基板21に形成された凹みを、素子分離層33の一部を構成する絶縁材料層33Bで埋め込む。具体的には、凹みを含む全面に絶縁材料層を成膜し、基板21上の絶縁材料層を除去することで、図29Aに示す構造を得ることができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に素子分離層33を形成し、素子分離層33によって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る。(図29A参照)。具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21に素子分離層33を形成すべき凹みを形成することができる。そして、基板21に形成された凹みを、素子分離層33の一部を構成する絶縁材料層33Bで埋め込む。具体的には、凹みを含む全面に絶縁材料層を成膜し、基板21上の絶縁材料層を除去することで、図29Aに示す構造を得ることができる。
[工程−910]
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を形成する。こうして、図29Bに示す構造を得ることができる。ここで、絶縁材料層33Bの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。こうして、絶縁材料層33B、及び、絶縁材料層33B上に形成された多結晶材料層34Aから成る素子分離層33を得ることができる。
その後、第1化合物半導体層31上に、素子分離層33によって囲まれた光電変換層34を形成する。こうして、図29Bに示す構造を得ることができる。ここで、絶縁材料層33Bの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。こうして、絶縁材料層33B、及び、絶縁材料層33B上に形成された多結晶材料層34Aから成る素子分離層33を得ることができる。
[工程−920]
次いで、実施例8の[工程−820]と同様の工程を実行し(図29C参照)、更に、
実施例8の[工程−830]、[工程−840]と同様の工程を実行し(図30A、図30B、図30C参照)、更に、実施例8の[工程−850]と同様の工程を実行することで、実施例9の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
次いで、実施例8の[工程−820]と同様の工程を実行し(図29C参照)、更に、
実施例8の[工程−830]、[工程−840]と同様の工程を実行し(図30A、図30B、図30C参照)、更に、実施例8の[工程−850]と同様の工程を実行することで、実施例9の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例10は、実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形であり、且つ、本開示の第5の態様に係る光電変換素子の製造方法に関する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図31A、図31B、図31C、図32A、図32B、図32Cを参照して、実施例10の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−1000]
先ず、第1導電型を有する基板21に絶縁材料から成る素子分離層・形成領域33Cを形成し、素子分離層・形成領域33Cによって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図31A参照)。具体的には、実施例8の[工程−800]と同様の工程を実行する。
先ず、第1導電型を有する基板21に絶縁材料から成る素子分離層・形成領域33Cを形成し、素子分離層・形成領域33Cによって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図31A参照)。具体的には、実施例8の[工程−800]と同様の工程を実行する。
[工程−1010]
その後、第1化合物半導体層31及び素子分離層・形成領域33C上に光電変換層34を形成する(図31B参照)。具体的には、実施例8の[工程−810]と同様の工程を実行する。ここで、素子分離層・形成領域33Cの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。
その後、第1化合物半導体層31及び素子分離層・形成領域33C上に光電変換層34を形成する(図31B参照)。具体的には、実施例8の[工程−810]と同様の工程を実行する。ここで、素子分離層・形成領域33Cの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。
[工程−1020]
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する(図31C参照)。具体的には、実施例8の[工程−820]と同様の工程を実行する。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する(図31C参照)。具体的には、実施例8の[工程−820]と同様の工程を実行する。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
[工程−1030]
その後、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去し(図32A参照)、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得る(図32B参照)。具体的には、第2化合物半導体層32上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第2化合物半導体層32及び光電変換層34を、例えば、ウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去することができる。次いで、例えば、絶縁材料から成る素子分離層・形成材料33DをCVD法にて全面に成膜し、平坦化処理を行うことで、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得ることができる。尚、素子分離層33は、外側を絶縁材料から構成し、内側(芯部)を遮光材料から構成してもよい。
その後、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去し(図32A参照)、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得る(図32B参照)。具体的には、第2化合物半導体層32上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、第2化合物半導体層32及び光電変換層34を、例えば、ウエットエッチング法に基づきエッチングすることで、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去することができる。次いで、例えば、絶縁材料から成る素子分離層・形成材料33DをCVD法にて全面に成膜し、平坦化処理を行うことで、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得ることができる。尚、素子分離層33は、外側を絶縁材料から構成し、内側(芯部)を遮光材料から構成してもよい。
[工程−1040]
そして、第2化合物半導体層32に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図32C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極51を形成する。具体的には、実施例8の[工程−830]、[工程−840]、[工程−850]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例10の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
そして、第2化合物半導体層32に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図32C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極51を形成する。具体的には、実施例8の[工程−830]、[工程−840]、[工程−850]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例10の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例11は、実施例10の変形である。実施例11が実施例10と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例10にあっては、素子分離層・形成領域33Cを基板21上に形成した。一方、実施例11にあっては、素子分離層・形成領域33Cを、基板21の表面領域に形成する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図33A、図33B、図33C、図34A、図34B、図34Cを参照して、実施例11の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−1100]
先ず、第1導電型を有する基板21に絶縁材料から成る素子分離層・形成領域33Cを形成し、素子分離層・形成領域33Cによって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図33A参照)。具体的には、実施例9の[工程−900]と同様の工程を実行する。
先ず、第1導電型を有する基板21に絶縁材料から成る素子分離層・形成領域33Cを形成し、素子分離層・形成領域33Cによって囲まれ、基板21の表面領域から構成された第1化合物半導体層31を得る(図33A参照)。具体的には、実施例9の[工程−900]と同様の工程を実行する。
[工程−1110]
その後、第1化合物半導体層31及び素子分離層・形成領域33C上に光電変換層34を形成する(図33B参照)。具体的には、実施例10の[工程−1010]と同様の工程を実行する。ここで、素子分離層・形成領域33Cの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。
その後、第1化合物半導体層31及び素子分離層・形成領域33C上に光電変換層34を形成する(図33B参照)。具体的には、実施例10の[工程−1010]と同様の工程を実行する。ここで、素子分離層・形成領域33Cの上に形成される光電変換層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層34Aを得ることができる。
[工程−1120]
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する(図33C参照)。具体的には、実施例10の[工程−1020]と同様の工程を実行する。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
次いで、光電変換層34の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32を、MOCVD法に基づき形成する(図33C参照)。具体的には、実施例10の[工程−1020]と同様の工程を実行する。素子分離層33の上に形成される第2化合物半導体層の部分は多結晶状態となり、多結晶材料層32Aを得ることができる。
[工程−1130]
その後、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去し(図34A参照)、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得る(図34B参照)。具体的には、実施例10の[工程−1030]と同様の工程を実行する。
その後、素子分離層・形成領域33Cの上方に位置する第2化合物半導体層32及び光電変換層34の部分を除去し(図34A参照)、除去した部分を素子分離層・形成材料33Dで埋め込み、素子分離層33を得る(図34B参照)。具体的には、実施例10の[工程−1030]と同様の工程を実行する。
[工程−1140]
そして、第2化合物半導体層32に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図34C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極51を形成する。具体的には、実施例10の[工程−1040]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例11の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
そして、第2化合物半導体層32に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図34C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極51を形成する。具体的には、実施例10の[工程−1040]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例11の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例12は、実施例1〜実施例2の光電変換素子の変形であり、且つ、本開示の第6の態様に係る光電変換素子の製造方法に関する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図35A、図35B、図35C、図36A、図36B、図36Cを参照して、実施例7の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−1200]
先ず、第1導電型を有する基板21に選択成長阻止部26を形成する。具体的には、実施例9の[工程−900]と同様の工程を実行する。より具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21に選択成長阻止部26を形成すべき凹みを形成することができる。そして、基板21に形成された凹みを、選択成長阻止部26を構成する絶縁材料層で埋め込む。具体的には、凹みを含む全面に絶縁材料層を成膜し、基板21上の絶縁材料層を除去することで、図35Aに示す構造を得ることができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に選択成長阻止部26を形成する。具体的には、実施例9の[工程−900]と同様の工程を実行する。より具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、基板21を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、基板21に選択成長阻止部26を形成すべき凹みを形成することができる。そして、基板21に形成された凹みを、選択成長阻止部26を構成する絶縁材料層で埋め込む。具体的には、凹みを含む全面に絶縁材料層を成膜し、基板21上の絶縁材料層を除去することで、図35Aに示す構造を得ることができる。
[工程−1210]
次いで、横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部26と選択成長阻止部26との間に位置し、第1化合物半導体層31に相当する基板21の領域から光電変換層34をMOCCVD法に基づき形成する。
次いで、横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部26と選択成長阻止部26との間に位置し、第1化合物半導体層31に相当する基板21の領域から光電変換層34をMOCCVD法に基づき形成する。
[工程−1220]
その後、全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32をMOCVD法に基づき形成し、以て、選択成長阻止部26の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層33’を得る(図35C参照)。尚、形成された第2化合物半導体層32に平坦化処理を施してもよい。
その後、全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層32をMOCVD法に基づき形成し、以て、選択成長阻止部26の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層33’を得る(図35C参照)。尚、形成された第2化合物半導体層32に平坦化処理を施してもよい。
[工程−1230]
次に、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し(図36A参照)、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図36B及び図36C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例8の[工程−830]、[工程−840]、[工程−850]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例12の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
次に、第2化合物半導体層32の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域35を形成し(図36A参照)、その後、第2導電型領域35上に第1電極51を形成し(図36B及び図36C参照)、第1化合物半導体層31に電気的に接続された第2電極52を形成する。具体的には、実施例8の[工程−830]、[工程−840]、[工程−850]と同様の工程を実行すればよい。こうして、実施例12の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例13は、実施例12の変形である。実施例13が実施例12と相違する点は、以下のとおりである。即ち、実施例12にあっては、選択成長阻止部26を基板21の表面領域に形成した。一方、実施例13にあっては、選択成長阻止部26を基板21上に形成する。以下、第1化合物半導体層等の模式的な一部端面図である図37A、図37B、図37C、図38A、図38B、図38Cを参照して、実施例5の光電変換素子の製造方法を説明する。
[工程−1310]
先ず、第1導電型を有する基板21に選択成長阻止部26を形成する(図37A参照)。具体的には、実施例8の[工程−800]と同様の工程を実行する。より具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料から成る選択成長阻止部26を形成することができる。
先ず、第1導電型を有する基板21に選択成長阻止部26を形成する(図37A参照)。具体的には、実施例8の[工程−800]と同様の工程を実行する。より具体的には、InPから成る基板(成膜用基板)21の上に絶縁材料層を形成し、絶縁材料層上にエッチング用レジスト層を形成し、エッチング用レジスト層をエッチング用マスクとして、絶縁材料層を、例えば、ドライエッチング法に基づきエッチングすることで、絶縁材料から成る選択成長阻止部26を形成することができる。
[工程−1320]
その後、実施例12の[工程−1210]、[工程−1220]、[工程−1230]を実行することで(図37B、図37C、図38A、図38B、図38C参照)、実施例13の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
その後、実施例12の[工程−1210]、[工程−1220]、[工程−1230]を実行することで(図37B、図37C、図38A、図38B、図38C参照)、実施例13の光電変換素子、撮像装置を得ることができる。
実施例14は、実施例1〜実施例13の変形であり、積層構造の光電変換素子に関する。即ち、実施例1〜実施例13において説明した光電変換素子(撮像素子、便宜上、『第1の光電変換素子』と呼ぶ)の光入射側(便宜上、『上方』と呼ぶ)に、可視光に対して感度を有する第2の光電変換素子(撮像素子)を構成する光電変換部が配されている。尚、第1の光電変換素子を構成する光電変換層を、便宜上、『第1の光電変換部』と呼び、第2の光電変換素子を構成する光電変換部を、便宜上、『第2の光電変換部』と呼ぶ。第2の光電変換部は、例えば、第1の光電変換素子側から、第1電極、第2光電変換層及び第2電極が積層されて成る。
具体的には、赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部と第1の光電変換部の積層構造、緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部と第1の光電変換部の積層構造、及び、青色用光電変換部を有する第2の光電変換部と第1の光電変換部の積層構造の組み合わせから撮像素子ユニットを構成することもでき、この場合、これらの第2の光電変換部の配列として、前述したベイヤ配列等を例示することができる。あるいは又、第1の光電変換部の上に、赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部、緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部及び青色用光電変換部を有する第2の光電変換部が積層されて成る撮像素子ユニットとすることもできる。このように、第2の光電変換部を、例えば、赤色用光電変換部、緑色用光電変換部及び青色用光電変換部の積層構造から構成する場合、光電変換部の垂直方向における配置順は、光入射側から青色用光電変換部、緑色用光電変換部、赤色用光電変換部の順、あるいは、光入射側から緑色用光電変換部、青色用光電変換部、赤色用光電変換部の順であることが好ましい。これは、より短い波長の光がより入射面側において効率良く吸収されるからである。赤色は3色の中では最も長い波長であるので、光入射面から見て赤色用光電変換部を最下層に位置させることが好ましい。ここで、第1の光電変換素子と第2の光電変換素子とが組み合わされて1つの画素が構成される。
尚、第2の光電変換部を1種類の光電変換部から構成することもでき、この場合、第2の光電変換部は、例えば、可視光全体(白色)に感度を有する構成とすればよいし、第2の光電変換部を2種類の光電変換部から構成することもでき、この場合、第2の光電変換部は、例えば、原色に感度を有する光電変換部、及び、補色に感度を有する光電変換部から構成すればよいし、第2の光電変換部を4種類の光電変換部から構成することもでき、この場合、第2の光電変換部は、例えば、赤色用光電変換部、緑色用光電変換部、青色用光電変換部、及び、青緑色(エメラルド色)の光に感度を有する青緑色用光電変換部から構成すればよいし、青緑色用光電変換部の代わりに、カラーフィルタが設けられていない光電変換部(所謂白画素)から構成してもよい。
第1の光電変換素子を、第2の光電変換素子と同じ大きさとすることもできるし、第2の光電変換素子よりも大きくすることもできる。後者の場合、具体的には、第1の光電変換素子の大きさとして、第2の光電変換素子の2倍の大きさ、4倍の大きさ、広くはm×n倍(m,nは正の整数であり、m=n=1を除く)の大きさを例示することができる。
第2の光電変換素子は、第2の光電変換部よりも光入射側に配置され、可視光及び第1の光電変換素子に入射させるべき赤外光を通過させるフィルタ層を更に備えている形態とすることができ、これによって、第2の光電変換素子の色再現性の向上を図ることができる。
フィルタ層は、例えば、多数の誘電体膜を積層した構造を有する。誘電体材料としては、例えば、Si、Mg、Al、Hf、Nb、Zr、Sc、Ta、Ga、Zn、Y、B、Ti等の酸化物、窒化物(例えば、SiN、AlN、AlGaN、GaN、BN等)、又は、フッ化物等を挙げることができる。具体的には、SiO2、TiO2、Nb2O5、ZrO2、Ta2O5、ZnO、Al2O3、HfO2、SiN、AlN等を例示することができる。そして、これらの誘電体材料の内、屈折率が異なる誘電体材料から成る2種類以上の誘電体膜を交互に積層することにより、フィルタ層を得ることができる。所望の透過率を得るために、各誘電体膜を構成する材料、膜厚、積層数等を、適宜、選択すればよい。各誘電体膜の厚さは、用いる材料等により、適宜、調整すればよい。フィルタ層は、真空蒸着法やスパッタリング法といったPVD法に基づき成膜することができる。
第2の光電変換素子を構成する光電変換部を有機光電変換材料から構成することが好ましい。そして、この場合、第2の光電変換部(第2光電変換層)を、
(1)p型有機半導体から構成する。
(2)n型有機半導体から構成する。
(3)p型有機半導体層/n型有機半導体層の積層構造から構成する。p型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)/n型有機半導体層の積層構造から構成する。p型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)の積層構造から構成する。n型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)の積層構造から構成する。
(4)p型有機半導体とn型有機半導体の混合(バルクヘテロ構造)から構成する。
の4態様のいずれかとすることができる。但し、積層順は任意に入れ替えた構成とすることができる。
(1)p型有機半導体から構成する。
(2)n型有機半導体から構成する。
(3)p型有機半導体層/n型有機半導体層の積層構造から構成する。p型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)/n型有機半導体層の積層構造から構成する。p型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)の積層構造から構成する。n型有機半導体層/p型有機半導体とn型有機半導体との混合層(バルクヘテロ構造)の積層構造から構成する。
(4)p型有機半導体とn型有機半導体の混合(バルクヘテロ構造)から構成する。
の4態様のいずれかとすることができる。但し、積層順は任意に入れ替えた構成とすることができる。
p型有機半導体として、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、ピレン誘導体、ペリレン誘導体、テトラセン誘導体、ペンタセン誘導体、キナクリドン誘導体、チオフェン誘導体、チエノチオフェン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、トリアリルアミン誘導体、カルバゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピセン誘導体、クリセン誘導体、フルオランテン誘導体、フタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、サブポルフィラジン誘導体、複素環化合物を配位子とする金属錯体、ポリチオフェン誘導体、ポリベンゾチアジアゾール誘導体、ポリフルオレン誘導体等を挙げることができる。n型有機半導体として、フラーレン及びフラーレン誘導体、p型有機半導体よりもHOMO及びLUMOが大きい(深い)有機半導体、透明な無機金属酸化物を挙げることができる。n型有機半導体として、具体的には、窒素原子、酸素原子、硫黄原子を含有する複素環化合物、例えば、ピリジン誘導体、ピラジン誘導体、ピリミジン誘導体、トリアジン誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、イソキノリン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、フェナントロリン誘導体、テトラゾール誘導体、ピラゾール誘導体、イミダゾール誘導体、チアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、ベンゾトリアゾール誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、カルバゾール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、サブポルフィラジン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリベンゾチアジアゾール誘導体、ポリフルオレン誘導体等を分子骨格の一部に有する有機分子、有機金属錯体やサブフタロシアニン誘導体を挙げることができる。有機光電変換材料から構成された第2の光電変換部(『有機光電変換層』と呼ぶ場合がある)の厚さは、限定するものではないが、例えば、1×10-8m乃至5×10-7m、好ましくは2.5×10-8m乃至3×10-7m、より好ましくは2.5×10-8m乃至2×10-7m、一層好ましくは1×10-7m乃至1.8×10-7mを例示することができる。尚、有機半導体は、p型、n型と分類されることが多いが、p型とは正孔を輸送し易いという意味であり、n型とは電子を輸送し易いという意味であり、無機半導体のように熱励起の多数キャリアとして正孔又は電子を有しているという解釈に限定されない。
あるいは又、緑色の波長の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、ローダミン系色素、メラシアニン系色素、キナクリドン誘導体、サブフタロシアニン系色素等を挙げることができるし、青色の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、クマリン酸色素、トリス−8−ヒドリキシキノリアルミニウム(Alq3)、メラシアニン系色素等を挙げることができるし、赤色の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、フタロシアニン系色素、サブフタロシアニン系色素を挙げることができる。
有機光電変換層と第1電極との間に、第1キャリアブロッキング層を設けてもよいし、有機光電変換層と第2電極との間に、第2キャリアブロッキング層を設けてもよい。また、第1キャリアブロッキング層と第1電極との間に第1電荷注入層を設けてもよいし、第2キャリアブロッキング層と第2電極との間に第2電荷注入層を設けてもよい。例えば、電子注入層を構成する材料として、例えば、リチウム(Li)、ナトリウム(Na)、カリウム(K)といったアルカリ金属及びそのフッ化物や酸化物、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)といったアルカリ土類金属及びそのフッ化物や酸化物を挙げることができる。
各種有機層の成膜方法として、乾式成膜法及び湿式成膜法を挙げることができる。乾式成膜法として、抵抗加熱あるいは高周波加熱を用いた真空蒸着法、EB蒸着法、各種スパッタリング法(マグネトロンスパッタリング法、RF−DC結合形バイアススパッタリング法、ECRスパッタリング法、対向ターゲットスパッタリング法、高周波スパッタリング法)、イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、分子線エピタキシー法、レーザー転写法を挙げることができる。また、CVD法として、プラズマCVD法、熱CVD法、MOCVD法、光CVD法を挙げることができる。一方、湿式法として、スピンコート法、インクジェット法、スプレーコート法、スタンプ法、マイクロコンタクトプリント法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法、ディップ法等の方法を用いることができる。パターニング法として、シャドーマスク、レーザー転写、フォトリソグラフィ技術等を含む化学的エッチング、紫外線やレーザー等による物理的エッチング等を挙げることができる。各種有機層の平坦化技術として、レーザー平坦化法、リフロー法等を用いることができる。
あるいは又、第2の光電変換部(第2光電変換層)を構成する無機系材料として、結晶シリコン、アモルファスシリコン、微結晶シリコン、結晶セレン、アモルファスセレン、及び、カルコパライト系化合物であるCIGS(CuInGaSe)、CIS(CuInSe2)、CuInS2、CuAlS2、CuAlSe2、CuGaS2、CuGaSe2、AgAlS2、AgAlSe2、AgInS2、AgInSe2、あるいは又、III−V族化合物半導体であるGaAs、InP、AlGaAs、InGaP、AlGaInP、InGaAsP、更には、CdSe、CdS、In2Se3、In2S3、Bi2Se3、Bi2S3、ZnSe、ZnS、PbSe、PbS等の化合物半導体を挙げることができる。
実施例14の撮像装置にあっては、カラーフィルタを用いて青色、緑色、赤色の分光を行うのではなく、同一画素内で光の入射方向において、例えば、複数種の波長の光に対して感度を有する第2の光電変換部を積層して1つの画素を構成するので、感度の向上及び単位体積当たりの画素密度の向上を図ることができる。また、第2の光電変換部(第2光電変換層)を有機光電変換材料から構成するが、有機光電変換材料は吸収係数が高いため、有機光電変換層の膜厚を従来のSi系光電変換層と比較して薄くすることができ、隣接画素からの光漏れや、光の入射角の制限が緩和される。更には、従来のSi系撮像素子では3色の画素間で補間処理を行って色信号を作成するために偽色が生じるが、実施例14の撮像装置にあっては、偽色の発生が抑えられる。有機光電変換層それ自体がカラーフィルタとしても機能するので、カラーフィルタ(オンチップ・カラーフィルタ、OCCF)を配設しなくとも色分離が可能である。
但し、カラーフィルタを配設してもよく、これによって、色純度の向上を図ることができる。カラーフィルタは、例えば、赤色、緑色、青色の色分離を行い、あるいは、シアン色、マゼンタ色、黄色の色分離を行う。カラーフィルタは、所望の顔料や染料から成る着色剤を添加した樹脂によって構成されており、顔料や染料を選択することにより、目的とする赤色、緑色、青色等の波長領域における光透過率が高く、他の波長領域における光透過率が低くなるように調整されている。
図7に実施例14の撮像装置を構成する光電変換素子の模式的な一部断面図を示す。また、第1の光電変換素子11及び第2の光電変換素子12の配置状態を模式的に図8に例示する。尚、図8あるいは後述する図9においては、「R」は、赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部を表し、「G」は、緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部を表し、「B」は、青色用光電変換部を有する第2の光電変換部を表す。但し、第2の光電変換素子12の配置状態はこれに限定するものではない。図8、図9において、「IR」は第1の光電変換素子を示し、第1の光電変換素子を点線で表示した。
図示するように、実施例14の撮像装置は、第1の光電変換素子(実施例1〜実施例2において説明した光電変換素子)11、及び、第1の光電変換素子11の上方に配置された第2の光電変換素子12から成る撮像素子ユニットから構成されている。そして、第2の光電変換素子12に光が入射し、第2の光電変換素子12を通過した赤外光が第1の光電変換素子11に入射する。第2の光電変換素子12は、可視光に感度を有する第2の光電変換部を備えている。第2の光電変換素子12は、光入射側に配置され、可視光及び第1の撮像素子に入射させるべき赤外光を通過させるフィルタ層85を更に備えている。
実施例14の撮像装置において、赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部71Rと第1の光電変換部30の積層構造、緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部71Rと第1の光電変換部30の積層構造、及び、青色用光電変換部を有する第2の光電変換部71Bと第1の光電変換部30の積層構造の組み合わせから撮像素子ユニットは構成されている。これらの光電変換部71R,71G,71Bのそれぞれの下方に、第1の光電変換部30が配設されている。これらの光電変換部71R,71G,71Bの配列は、ベイヤ配列である(図8参照)。
実施例14の撮像装置において、第2の光電変換素子12は、第2の光電変換部71R,71G,71Bよりも光入射側に配置され、可視光を通過させるカラーフィルタ83を更に備えている。具体的には、カラーフィルタ83は、例えば、赤色、緑色、青色の色分離を行うためのオンチップ・カラーフィルタ(OCCF)から成る。赤色の色分離を行うためのオンチップ・カラーフィルタ83Rを備えた撮像素子が、赤色の光に感度を有する第2の赤色用光電変換部を備えた第2の撮像素子Rに該当する。また、緑色の色分離を行うためのオンチップ・カラーフィルタ83Gを備えた撮像素子が、緑色の光に感度を有する第2の緑色用光電変換部を備えた第2の撮像素子Gに該当する。更には、青色の色分離を行うためのオンチップ・カラーフィルタ83Bを備えた撮像素子が、青色の光に感度を有する第2の青色用光電変換部を備えた第2の撮像素子Bに該当する。即ち、第2の撮像素子は、並置された複数種(具体的には3種類)の光電変換部から構成されている。
実施例14において、第2の光電変換部71R,71G,71Bには、図示しない第1電極及び第2電極が設けられている。第1電極及び第2電極は、第2の光電変換素子12に入射する光、第2の光電変換素子12を通過する光を出来る限り遮らない構造を有することが好ましい。具体的には、第1電極、第2電極は、例えば、ITOから成る。あるいは、第1電極、第2電極は、例えば、ワイヤグリッド状の平面形状を有する。
第2の光電変換部71R,71G,71Bは、第1層間絶縁層81の上に形成されており、第2の光電変換部30及び第1層間絶縁層81は、第2層間絶縁層82によって覆われている。第2層間絶縁層82上にカラーフィルタ83が形成されており、第2層間絶縁層82及びカラーフィルタ83上には、第3層間絶縁層84が形成されている。更に、第3層間絶縁層84上にフィルタ層85が形成され、フィルタ層85上に平坦化膜37が形成され、平坦化膜37の上にはオンチップ・マイクロ・レンズ38が設けられている。また、第2の光電変換素子12と第2の光電変換素子12の間には、遮光層86が設けられている。
第1の光電変換素子11、第2の光電変換素子12の動作を制御する制御部の構成、構造は、周知の構成、構造とすることができるので、詳細な説明は省略する。
可視光及び赤外光を含む光が、第2の光電変換素子12に入射すると、先ず、オンチップ・マイクロ・レンズ38を通過し、更に、フィルタ層85を通過する。フィルタ層85を通過する光は、上述したとおり、可視光及び第1の撮像素子に入射させるべき赤外光である。そして、これらの光は、カラーフィルタ83に入射し、カラーフィルタ83を通過した光は、第2の光電変換部71へと向かう。そして、第2の光電変換部71に入射した光が光電変換され、最終的に、電気信号として出力される。第2の光電変換部71は、赤外光に対して感度を有していないので、1.0μm以上の光は、第2の光電変換素子12に基づき最終的に得られる画像に何らの影響を及ぼさない。赤外光は、第2の光電変換素子12において吸収されず、第2の光電変換素子12を通過し、第1の光電変換素子11へと向かう。そして、第1の光電変換部30に入射した光が光電変換され、最終的に、電気信号として出力される。
図7、図8に示した例では、光電変換部R(71R),G(71G),B(71B)のそれぞれの下方に、第1の光電変換部30が配設されているが、代替的に、例えば、4つの光電変換部71R,71G,71Bの下方に、1つの第1の光電変換部30が配設されている構成とすることもできる。このような構成における第1の光電変換素子11及び第2の光電変換素子12の配置状態を模式的に図9に例示する。即ち、第1の光電変換素子11の大きさとして、第2の光電変換素子12の2倍の大きさ、4倍の大きさ、広くはm×n倍(m,nは正の整数であり、m=n=1を除く)の大きさを例示することができるが、これに限定するものではない。図9に示した例では、第1の光電変換素子11の大きさは、第2の光電変換素子12の2×2=4倍の大きさである。
第2の光電変換部30における有機光電変換層は、具体的には、上述したように、有機光電変換層から構成されているが、より具体的には、緑色の波長の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、ローダミン系色素、メラシアニン系色素、キナクリドン誘導体、サブフタロシアニン系色素等を挙げることができるし、青色の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、クマリン酸色素、トリス−8−ヒドリキシキノリアルミニウム(Alq3)、メラシアニン系色素等を挙げることができるし、赤色の光を光電変換する第2の光電変換部(有機光電変換層)を構成する材料として、例えば、フタロシアニン系色素、サブフタロシアニン系色素を挙げることができる。尚、有機光電変換層それ自体がカラーフィルタとしても機能するので、カラーフィルタを配設しなくとも色分離が可能である。但し、カラーフィルタを用いることで、青色、緑色、赤色の分光特性への要求を緩和することができる。
以上に説明した例では、第1の撮像素子の上方に、1層の有機光電変換層を設けたが、代替的に、第1の光電変換部の上に、赤色用有機光電変換層を備えた赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部、緑色用有機光電変換層を備えた緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部、及び、青色用有機光電変換層を備えた青色用光電変換部を有する第2の光電変換部が積層されて成る撮像素子ユニットとすることもできる。
以上、本開示を好ましい実施例に基づき説明したが、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例にて説明した光電変換素子、撮像素子、撮像装置の構造や構成、製造条件、製造方法、使用した材料は例示であり、適宜、変更することができる。光入射側に紫外線カットフィルタを配設してもよい。また、図3A及び図3Bに、例えば、実施例1において説明した撮像装置の変形例を示すように、光入射側に遮光膜39が形成されている構成とすることもできる。尚、ここで、図3Aに示した例は、図1Aに示した撮像装置の変形であり、図3Bに示した例は、図1Bに示した撮像装置の変形である。また、光電変換層よりも光入射側に設けられた各種配線を遮光膜として機能させることもできる。実施例においては、電子を信号電荷としており、光電変換層の導電型をn型としたが、正孔を信号電荷とする撮像装置にも適用できる。この場合には、各化合物半導体層を逆の導電型の化合物半導体材料で構成すればよい。
本開示の撮像装置の応用例の1つとして、新月で、しかも、周囲に光源が無いような闇夜でも、波長が1.0μm以上の短波長赤外光(大気光)が以下の理由で降り注ぐ。大気光のスペクトルを示すグラフを図39に示す。
(1)日中の太陽光による光イオン化反応で生成されたイオンの再結合
(2)上層大気に放射される宇宙線によるルミネセンス
(3)酸素や窒素が、数百km上空で水酸化物イオンと反応することによる化学発光
そのため、1.0μm以上の短波長赤外光を検知して画像化できれば、照明光源がなくても撮像が可能となる。本開示の撮像装置はこのような分野に適用することが可能である。
(1)日中の太陽光による光イオン化反応で生成されたイオンの再結合
(2)上層大気に放射される宇宙線によるルミネセンス
(3)酸素や窒素が、数百km上空で水酸化物イオンと反応することによる化学発光
そのため、1.0μm以上の短波長赤外光を検知して画像化できれば、照明光源がなくても撮像が可能となる。本開示の撮像装置はこのような分野に適用することが可能である。
また、撮影環境として霧が発生している場合、可視光では散乱や乱反射が生じ、霧の中にある被写体を撮像できないことがある。このような場合にも、波長1.0μm以上の短波長赤外光であれば、霧による散乱や乱反射が抑えられるために、霧の中にある被写体を撮像することが可能である。従って、例えば、本開示の撮像装置を車載用カメラに適用することで、霧が発生している場合であっても、車両の運転の安全性を向上させることができる。
更には、本開示の撮像装置を、生体センサとしての応用にも適用することができる。図40に、所謂生体の窓を示す光吸収スペクトルのグラフを示すが、波長0.7μmから1.3μmまでの赤外光において、生体の窓と呼ばれる、水やヘモグロビン、メラニン等の生体に関する組織や物質の光吸収が少ない波長領域が存在する。尚、図40において、「A」は水の光吸収スペクトルを示し、「B」は脱酸素化ヘモグロビンの光吸収スペクトルを示し、「C」は酸素化ヘモグロビンの光吸収スペクトルを示し、「D」はメラニンの光吸収スペクトルを示す。この波長領域での脳機能検査や、静脈認証、虹彩認証等の生体センサとして、本開示の撮像装置は有用である。尚、この場合、フィルタ層85の特性を最適化すればよい。
そして、実施例14の撮像装置にあっては、可視光画像と赤外光画像とを1つのカメラ(撮像装置)で撮像することができるので、例えば、監視用カメラに応用した場合、大気光のみの暗闇環境から昼間の明るい環境までの撮像が可能である。また、車載用カメラに応用した場合、通常は可視光画像で、霧が発生しているときには赤外光画像で、前方の安全を確認できるような、臨機応変な対応が可能となる。また、可視光画像と波長1.0 μm以上の赤外光画像を同時に撮像することができるので、可視光画像とリンクして、生体認証を行うことができるし、ヘモグロビンやメラニン等の生体情報の画像を得ることができ、健康や医療等の検査へ応用することができる。即ち、生体情報採取用カメラへ応用することができる。
また、実施例にあっては、入射光量に応じた信号電荷を物理量として検知する単位画素が行列状に配置されて成るCMOS型撮像装置に適用した場合を例に挙げて説明したが、CMOS型撮像装置への適用に限られるものではなく、CCD型撮像装置に適用することもできる。後者の場合、信号電荷は、CCD型構造の垂直転送レジスタによって垂直方向に転送され、水平転送レジスタによって水平方向に転送され、増幅されることにより画素信号(画像信号)が出力される。また、画素が2次元マトリクス状に形成され、画素列毎にカラム信号処理回路を配置して成るカラム方式の撮像装置全般に限定するものでもない。更には、場合によっては、選択トランジスタを省略することもできる。
更には、本開示の光電変換素子、撮像素子、撮像装置は、赤外光あるいは赤外光及び可視光の入射光量の分布を検知して画像として撮像する撮像装置への適用に限らず、粒子等の入射量の分布を画像として撮像する撮像装置にも適用可能である。また、広義には、圧力や静電容量等、他の物理量の分布を検知して画像として撮像する指紋検出センサ等の撮像装置(物理量分布検知装置)全般に対して適用可能であるし、上述したとおり、静脈や光彩の画像化への適用も可能である。
更には、撮像領域の各単位画素を行単位で順に走査して各単位画素から画素信号を読み出す撮像装置に限られるものではない。画素単位で任意の画素を選択して、選択画素から画素単位で画素信号を読み出すX−Yアドレス型の撮像装置に対しても適用可能である。撮像装置はワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像領域と、駆動回路又は光学系とを纏めてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
本開示の撮像装置から構成された撮像装置201を電子機器(カメラ)200に用いた例を、図10に概念図として示す。電子機器200は、撮像装置201、光学レンズ210、シャッタ装置211、駆動回路212、及び、信号処理回路213を有する。光学レンズ210は、被写体からの像光(入射光)を撮像装置201の撮像面上に結像させる。これにより撮像装置201内に、一定期間、信号電荷が蓄積される。シャッタ装置211は、撮像装置201への光照射期間及び遮光期間を制御する。駆動回路212は、撮像装置201の転送動作等及びシャッタ装置211のシャッタ動作を制御する駆動信号を供給する。駆動回路212から供給される駆動信号(タイミング信号)により、撮像装置201の信号転送を行う。信号処理回路213は、各種の信号処理を行う。信号処理が行われた映像信号は、メモリ等の記憶媒体に記憶され、あるいは、モニタに出力される。このような電子機器200では、撮像装置201において画素サイズを微細化することができ、また、転送効率が向上するので、画素特性の向上が図られた電子機器200を得ることができる。撮像装置201を適用できる電子機器200としては、カメラに限られるものではなく、デジタルスチルカメラ、携帯電話機等のモバイル機器向けカメラモジュール等の撮像装置に適用可能である。
尚、本開示は、以下のような構成を取ることもできる。
[A01]《光電変換素子》
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
第1化合物半導体層上に形成された光電変換層、
光電変換層を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域、
光電変換層の側面を取り囲む素子分離層、
第2導電型領域上に形成された第1電極、及び、
第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極、
を備えている光電変換素子。
[A02]第2電極は、第1電極と同じ側に形成されている[A01]に記載の光電変換素子。
[A03]第2電極は、第1化合物半導体層の光入射側の面上に形成されている[A01]に記載の光電変換素子。
[A04]第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層は、同じ材料から成る[A01]乃至[A03]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A05]第1化合物半導体層、第2化合物半導体層、素子分離層及び光電変換層は、III−V属化合物半導体材料から成る[A04]に記載の光電変換素子。
[A06]光電変換層はInGaAsから成り、
第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層はInPから成る[A05]に記載の光電変換素子。
[A07]素子分離層を構成する化合物半導体材料は、光電変換層を構成する材料よりも広いバンドギャップエネルギーを有する[A04]乃至[A06]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A08]素子分離層の不純物濃度は、光電変換層の不純物濃度よりも高い[A04]乃至[A07]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A09]光電変換層の側面と接している素子分離層の部分は第3化合物半導体材料から構成され、それ以外の素子分離層の部分は遮光材料から構成されている[A04]乃至[A08]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A10]第1化合物半導体層を介して光が入射する[A01]乃至[A09]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[B01]《撮像装置》
[A01]乃至[A10]のいずれか1項に記載の光電変換素子が、複数、2次元マトリクス状に配列されて成る撮像装置。
[B02]駆動用基板を更に備えており、
各光電変換素子を構成する第1電極は、駆動用基板に設けられた第1電極接続部に接続されている[B01]に記載の撮像装置。
[B03]各光電変換素子を構成する第2電極は、駆動用基板に設けられた第2電極接続部に接続されている[B02]に記載の撮像装置。
[C01]《光電変換素子の製造方法・・・第1の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C02]《光電変換素子の製造方法・・・第2の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、及び、
光電変換層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成し、更に、光電変換層を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C03]《光電変換素子の製造方法・・・第3の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、次いで、
(C)第2導電型領域上に第1電極を形成した後、
(D)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(E)少なくとも凹部内に素子分離層を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C04]《光電変換素子の製造方法・・・第4の態様》
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層を形成し、素子分離層によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層上に、素子分離層によって囲まれた光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C05]《光電変換素子の製造方法・・・第5の態様》
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層・形成領域を形成し、素子分離層・形成領域によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層及び素子分離層・形成領域上に光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)素子分離層・形成領域の上方に位置する第2化合物半導体層及び光電変換層の部分を除去し、除去した部分を素子分離層・形成材料で埋め込み、素子分離層を得た後、
(E)第2化合物半導体層に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(F)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C06]《光電変換素子の製造方法・・・第6の態様》
(A)第1導電型を有する基板に選択成長阻止部を形成した後、
(B)横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部と選択成長阻止部との間に位置し、第1化合物半導体層に相当する基板の領域から光電変換層を形成し、その後、
(C)全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成し、以て、選択成長阻止部の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層を得た後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C07]素子分離層は、第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成り、
凹部内に形成された素子分離層に溝部を形成した後、溝部を絶縁材料又は遮光材料で埋め込む工程を更に備えている[C01]乃至[C03]のいずれか1項に記載の光電変換素子に製造方法。
[C08]最終的に基板を除去する[C01]乃至[C07]のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
[A01]《光電変換素子》
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
第1化合物半導体層上に形成された光電変換層、
光電変換層を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域、
光電変換層の側面を取り囲む素子分離層、
第2導電型領域上に形成された第1電極、及び、
第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極、
を備えている光電変換素子。
[A02]第2電極は、第1電極と同じ側に形成されている[A01]に記載の光電変換素子。
[A03]第2電極は、第1化合物半導体層の光入射側の面上に形成されている[A01]に記載の光電変換素子。
[A04]第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層は、同じ材料から成る[A01]乃至[A03]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A05]第1化合物半導体層、第2化合物半導体層、素子分離層及び光電変換層は、III−V属化合物半導体材料から成る[A04]に記載の光電変換素子。
[A06]光電変換層はInGaAsから成り、
第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層はInPから成る[A05]に記載の光電変換素子。
[A07]素子分離層を構成する化合物半導体材料は、光電変換層を構成する材料よりも広いバンドギャップエネルギーを有する[A04]乃至[A06]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A08]素子分離層の不純物濃度は、光電変換層の不純物濃度よりも高い[A04]乃至[A07]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A09]光電変換層の側面と接している素子分離層の部分は第3化合物半導体材料から構成され、それ以外の素子分離層の部分は遮光材料から構成されている[A04]乃至[A08]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[A10]第1化合物半導体層を介して光が入射する[A01]乃至[A09]のいずれか1項に記載の光電変換素子。
[B01]《撮像装置》
[A01]乃至[A10]のいずれか1項に記載の光電変換素子が、複数、2次元マトリクス状に配列されて成る撮像装置。
[B02]駆動用基板を更に備えており、
各光電変換素子を構成する第1電極は、駆動用基板に設けられた第1電極接続部に接続されている[B01]に記載の撮像装置。
[B03]各光電変換素子を構成する第2電極は、駆動用基板に設けられた第2電極接続部に接続されている[B02]に記載の撮像装置。
[C01]《光電変換素子の製造方法・・・第1の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C02]《光電変換素子の製造方法・・・第2の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、及び、
光電変換層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成し、更に、光電変換層を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C03]《光電変換素子の製造方法・・・第3の態様》
(A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、次いで、
(C)第2導電型領域上に第1電極を形成した後、
(D)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(E)少なくとも凹部内に素子分離層を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C04]《光電変換素子の製造方法・・・第4の態様》
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層を形成し、素子分離層によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層上に、素子分離層によって囲まれた光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C05]《光電変換素子の製造方法・・・第5の態様》
(A)第1導電型を有する基板に素子分離層・形成領域を形成し、素子分離層・形成領域によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層及び素子分離層・形成領域上に光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)素子分離層・形成領域の上方に位置する第2化合物半導体層及び光電変換層の部分を除去し、除去した部分を素子分離層・形成材料で埋め込み、素子分離層を得た後、
(E)第2化合物半導体層に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(F)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C06]《光電変換素子の製造方法・・・第6の態様》
(A)第1導電型を有する基板に選択成長阻止部を形成した後、
(B)横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部と選択成長阻止部との間に位置し、第1化合物半導体層に相当する基板の領域から光電変換層を形成し、その後、
(C)全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成し、以て、選択成長阻止部の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層を得た後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。
[C07]素子分離層は、第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成り、
凹部内に形成された素子分離層に溝部を形成した後、溝部を絶縁材料又は遮光材料で埋め込む工程を更に備えている[C01]乃至[C03]のいずれか1項に記載の光電変換素子に製造方法。
[C08]最終的に基板を除去する[C01]乃至[C07]のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
10A,10B,10C,10D・・・光電変換素子(撮像素子)、11・・・第1の光電変換素子、12・・・第2の光電変換素子、21・・・基板(成膜用基板)、22・・・バッファ層、23・・・支持基板、24・・・絶縁膜、25・・・ハードマスク層、30・・・第1の光電変換部、31・・・第1化合物半導体層、34・・・光電変換層、32・・・第2化合物半導体層、32A,34A・・・多結晶材料層、33,33’・・・素子分離層、33A,33B・・・絶縁材料層、33C・・・素子分離層・形成領域、33D・・・素子分離層・形成材料、35・・・第2導電型領域、36・・・被覆層、36A,36B・・・開口部、37・・・平坦化膜、38・・・集光レンズ(オンチップ・マイクロ・レンズ、OCL)、39・・・遮光膜、40・・・凹部、41・・・溝部、42・・・絶縁材料層又は遮光材料層、51・・・第1電極、52・・・第2電極、60・・・駆動用基板、61・・・第1電極接続部、62・・・第2電極接続部、71R,71G,71B・・・第2の光電変換部、81・・・第1層間絶縁層、82・・・第2層間絶縁層、83,83R,83G,83B・・・カラーフィルタ、84・・・第3層間絶縁層、85・・・フィルタ層、86・・・遮光層、100・・・撮像装置、101・・・撮像素子、111・・・撮像領域、112・・・垂直駆動回路、113・・・カラム信号処理回路、114・・・水平駆動回路、115・・・出力回路、116・・・駆動制御回路、118・・・水平信号線、200・・・電子機器(カメラ)、201・・・撮像装置、210・・・光学レンズ、211・・・シャッタ装置、212・・・駆動回路、213・・・信号処理回路、R・・・赤色用光電変換部を有する第2の光電変換部、G・・・緑色用光電変換部を有する第2の光電変換部、B・・・青色用光電変換部を有する第2の光電変換部、IR・・・第1の光電変換部
Claims (21)
- 第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
第1化合物半導体層上に形成された光電変換層、
光電変換層を覆い、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
少なくとも第2化合物半導体層の一部に形成され、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域、
光電変換層の側面を取り囲む素子分離層、
第2導電型領域上に形成された第1電極、及び、
第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極、
を備えている光電変換素子。 - 第2電極は、第1電極と同じ側に形成されている請求項1に記載の光電変換素子。
- 第2電極は、第1化合物半導体層の光入射側の面上に形成されている請求項1に記載の光電変換素子。
- 第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層は、同じ材料から成る請求項1に記載の光電変換素子。
- 第1化合物半導体層、第2化合物半導体層、素子分離層及び光電変換層は、III−V属化合物半導体材料から成る請求項4に記載の光電変換素子。
- 光電変換層はInGaAsから成り、
第1化合物半導体層、第2化合物半導体層及び素子分離層はInPから成る請求項5に記載の光電変換素子。 - 素子分離層を構成する化合物半導体材料は、光電変換層を構成する材料よりも広いバンドギャップエネルギーを有する請求項4に記載の光電変換素子。
- 素子分離層の不純物濃度は、光電変換層の不純物濃度よりも高い請求項4に記載の光電変換素子。
- 光電変換層の側面と接している素子分離層の部分は第3化合物半導体材料から構成され、それ以外の素子分離層の部分は遮光材料から構成されている請求項4に記載の光電変換素子。
- 第1化合物半導体層を介して光が入射する請求項1に記載の光電変換素子。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の光電変換素子が、複数、2次元マトリクス状に配列されて成る撮像装置。
- 駆動用基板を更に備えており、
各光電変換素子を構成する第1電極は、駆動用基板に設けられた第1電極接続部に接続されている請求項11に記載の撮像装置。 - 各光電変換素子を構成する第2電極は、駆動用基板に設けられた第2電極接続部に接続されている請求項12に記載の撮像装置。
- (A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも第2化合物半導体層及び光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - (A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、及び、
光電変換層、
を、順次、形成した後、
(B)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(C)少なくとも凹部内に素子分離層を形成し、更に、光電変換層を覆うように、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)少なくとも第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - (A)基板上に、
第1導電型を有する第1化合物半導体材料から成る第1化合物半導体層、
光電変換層、及び、
第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層、
を、順次、形成した後、
(B)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、次いで、
(C)第2導電型領域上に第1電極を形成した後、
(D)少なくとも光電変換層に凹部を形成し、次いで、
(E)少なくとも凹部内に素子分離層を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - (A)第1導電型を有する基板に素子分離層を形成し、素子分離層によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層上に、素子分離層によって囲まれた光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - (A)第1導電型を有する基板に素子分離層・形成領域を形成し、素子分離層・形成領域によって囲まれ、基板の表面領域から構成された第1化合物半導体層を得た後、
(B)第1化合物半導体層及び素子分離層・形成領域上に光電変換層を形成し、次いで、
(C)光電変換層の上に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成した後、
(D)素子分離層・形成領域の上方に位置する第2化合物半導体層及び光電変換層の部分を除去し、除去した部分を素子分離層・形成材料で埋め込み、素子分離層を得た後、
(E)第2化合物半導体層に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(F)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - (A)第1導電型を有する基板に選択成長阻止部を形成した後、
(B)横方向選択エピタキシャル成長法に基づき、選択成長阻止部と選択成長阻止部との間に位置し、第1化合物半導体層に相当する基板の領域から光電変換層を形成し、その後、
(C)全面に、第1導電型を有する第2化合物半導体材料から成る第2化合物半導体層を形成し、以て、選択成長阻止部の上方に位置する第2化合物半導体層の部分から成る素子分離層を得た後、
(D)第2化合物半導体層の一部に、第1導電型とは異なる第2導電型を有し、光電変換層に達する第2導電型領域を形成し、その後、
(E)第2導電型領域上に第1電極を形成し、第1化合物半導体層に電気的に接続された第2電極を形成する、
各工程を備えた光電変換素子の製造方法。 - 素子分離層は、第1導電型を有する第3化合物半導体材料から成り、
凹部内に形成された素子分離層に溝部を形成した後、溝部を絶縁材料又は遮光材料で埋め込む工程を更に備えている請求項14乃至請求項16のいずれか1項に記載の光電変換素子に製造方法。 - 最終的に基板を除去する請求項14乃至請求項19のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201780015473.0A CN108701706B (zh) | 2016-03-16 | 2017-02-08 | 光电转换元件及其制造方法和摄像装置 |
PCT/JP2017/004578 WO2017159130A1 (ja) | 2016-03-16 | 2017-02-08 | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 |
CN202211561880.0A CN115799286A (zh) | 2016-03-16 | 2017-02-08 | 光电转换元件及其制造方法和摄像装置 |
US16/083,070 US10615298B2 (en) | 2016-03-16 | 2017-02-08 | Photoelectric conversion element, method for manufacturing same, and imaging apparatus |
EP17766138.6A EP3432357B1 (en) | 2016-03-16 | 2017-02-08 | Photoelectric conversion element, method for manufacturing same, and imaging apparatus |
US16/789,119 US10840398B2 (en) | 2016-03-16 | 2020-02-12 | Photoelectric conversion element, method for manufacturing same, and imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016051950 | 2016-03-16 | ||
JP2016051950 | 2016-03-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017175102A true JP2017175102A (ja) | 2017-09-28 |
Family
ID=59972498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016189568A Pending JP2017175102A (ja) | 2016-03-16 | 2016-09-28 | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10615298B2 (ja) |
EP (1) | EP3432357B1 (ja) |
JP (1) | JP2017175102A (ja) |
CN (1) | CN108701706B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019096758A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | アイアールスペック株式会社 | 化合物半導体フォトダイオードアレイ |
JP2019161171A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
WO2020137282A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および電子機器 |
CN112088434A (zh) * | 2018-03-30 | 2020-12-15 | 威世科技公司 | 多光谱光传感器 |
WO2022202006A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109983580A (zh) * | 2016-12-05 | 2019-07-05 | 凸版印刷株式会社 | 固体拍摄元件 |
KR102593949B1 (ko) * | 2018-07-25 | 2023-10-27 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
CN109852928A (zh) * | 2019-03-05 | 2019-06-07 | 昆山金百辰金属科技有限公司 | 多层离子环保镀 |
EP3998642A4 (en) * | 2019-07-12 | 2022-09-21 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | OPTICAL DETECTION DEVICE |
TWI730366B (zh) * | 2019-08-02 | 2021-06-11 | 久盛光電股份有限公司 | 多頻譜電磁波檢測裝置 |
CN112164703A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-01 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示面板 |
CN113096042B (zh) * | 2021-04-09 | 2022-06-10 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种辉光图像采集装置及其图像处理方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0258878A (ja) | 1988-08-25 | 1990-02-28 | Nec Corp | 半導体受光素子アレイ |
JP2508579B2 (ja) | 1993-05-14 | 1996-06-19 | 日本電気株式会社 | 配列型赤外線検知器の製造方法 |
JPH0714996A (ja) | 1993-06-18 | 1995-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出器とその製造方法 |
JPH0758309A (ja) * | 1993-08-19 | 1995-03-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光電子集積回路 |
CN1327617A (zh) * | 1999-10-18 | 2001-12-19 | 日本板硝子株式会社 | 受光器件阵列和受光器件阵列芯片 |
JP4331033B2 (ja) | 2004-03-29 | 2009-09-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体光検出素子及びその製造方法 |
JP2010050417A (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子アレイ、その製造方法および検出装置 |
KR20120035144A (ko) | 2009-06-05 | 2012-04-13 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 광 디바이스, 반도체 기판, 광 디바이스의 제조 방법 및 반도체 기판의 제조 방법 |
US8274587B2 (en) * | 2010-04-13 | 2012-09-25 | Aptina Imaging Corporation | Image sensor pixels with vertical charge transfer |
JP2011253963A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Sony Corp | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子、撮像装置 |
JP2012244124A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子アレイ、その製造方法および検出装置 |
US9570489B2 (en) * | 2011-07-12 | 2017-02-14 | Sony Corporation | Solid state imaging device having impurity concentration on light receiving surface being greater or equal to that on opposing surface |
JP2013084785A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Sony Corp | 固体撮像装置、撮像装置 |
KR101334099B1 (ko) * | 2011-11-17 | 2013-11-29 | (주)실리콘화일 | 이중 감지 기능을 가지는 기판 적층형 이미지 센서 |
JP2013239593A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Toshiba Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
JP6126593B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2017-05-10 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び、電子機器 |
TWI613833B (zh) * | 2012-11-09 | 2018-02-01 | Sony Corp | 光電變換元件、固體攝像裝置及電子機器 |
JP2014192348A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2015032640A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
KR102140482B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2020-08-04 | 삼성전자주식회사 | 적층형 이미지 센서의 단위 픽셀 및 이를 포함하는 적층형 이미지 센서 |
JP2016009777A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2016051896A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法ならびにカメラ |
CN105364045A (zh) * | 2014-08-29 | 2016-03-02 | 一胜百模具技术(上海)有限公司 | 真空炉冷却用喷嘴 |
JP2016058559A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子機器 |
JP2016081950A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | ソニー株式会社 | 画素回路および撮像装置 |
US20170373107A1 (en) * | 2015-01-29 | 2017-12-28 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state image sensing device and electronic device |
JP2016167530A (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
-
2016
- 2016-09-28 JP JP2016189568A patent/JP2017175102A/ja active Pending
-
2017
- 2017-02-08 CN CN201780015473.0A patent/CN108701706B/zh active Active
- 2017-02-08 US US16/083,070 patent/US10615298B2/en active Active
- 2017-02-08 EP EP17766138.6A patent/EP3432357B1/en active Active
-
2020
- 2020-02-12 US US16/789,119 patent/US10840398B2/en active Active
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7109718B2 (ja) | 2017-11-24 | 2022-08-01 | アイアールスペック株式会社 | 化合物半導体フォトダイオードアレイ |
JP2019096758A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | アイアールスペック株式会社 | 化合物半導体フォトダイオードアレイ |
JP7487253B2 (ja) | 2018-03-16 | 2024-05-20 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子 |
JP2019161171A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
JP7487252B2 (ja) | 2018-03-16 | 2024-05-20 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子 |
JP2022093360A (ja) * | 2018-03-16 | 2022-06-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 測距素子 |
JP7054639B2 (ja) | 2018-03-16 | 2022-04-14 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
JP2022093359A (ja) * | 2018-03-16 | 2022-06-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 測距素子 |
US11862648B2 (en) | 2018-03-30 | 2024-01-02 | Vishay Intertechnology, Inc. | Optoelectronic device arranged as a multi-spectral light sensor having a photodiode array with aligned light blocking layers and n-well regions |
CN112088434A (zh) * | 2018-03-30 | 2020-12-15 | 威世科技公司 | 多光谱光传感器 |
JP2021519511A (ja) * | 2018-03-30 | 2021-08-10 | ヴィシャイ インターテクノロジー, インコーポレイテッドVishay Intertechnology, Inc. | マルチスペクトル光センサ |
CN112088434B (zh) * | 2018-03-30 | 2024-05-28 | 威世科技公司 | 多光谱光传感器 |
JPWO2020137282A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2021-11-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および電子機器 |
WO2020137282A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および電子機器 |
US12074178B2 (en) | 2018-12-28 | 2024-08-27 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging device and electronic apparatus |
WO2022202006A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3432357A1 (en) | 2019-01-23 |
EP3432357A4 (en) | 2019-06-12 |
CN108701706B (zh) | 2022-12-16 |
EP3432357B1 (en) | 2023-04-19 |
US10615298B2 (en) | 2020-04-07 |
US20200212236A1 (en) | 2020-07-02 |
US20190081191A1 (en) | 2019-03-14 |
US10840398B2 (en) | 2020-11-17 |
CN108701706A (zh) | 2018-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017175102A (ja) | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 | |
JP6780421B2 (ja) | 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置、並びに、固体撮像装置の駆動方法 | |
TWI784007B (zh) | 攝像元件、積層型攝像元件及固體攝像裝置 | |
KR102595958B1 (ko) | 촬상 소자, 적층형 촬상 소자 및 고체 촬상 장치 | |
EP3644602B1 (en) | Imaging element, laminated imaging element, and solid-state imaging device | |
US20230007206A1 (en) | Imaging element, stacked-type imaging element, and solid-state imaging apparatus | |
JP6992851B2 (ja) | 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置、並びに、固体撮像装置の駆動方法 | |
WO2017154444A1 (ja) | 光電変換素子及び撮像装置 | |
KR102604847B1 (ko) | 촬상 소자, 적층형 촬상 소자 및 고체 촬상 장치 | |
KR102582171B1 (ko) | 촬상 소자, 적층형 촬상 소자 및 고체 촬상 장치 | |
JPWO2019035270A1 (ja) | 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置 | |
US20230317750A1 (en) | Imaging element, stacked imaging element, and solid-state imaging apparatus | |
KR20200036816A (ko) | 촬상 소자, 적층형 촬상 소자 및 고체 촬상 장치 | |
WO2017159130A1 (ja) | 光電変換素子及びその製造方法並びに撮像装置 |