JP3858575B2 - 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 80
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 125000002066 L-histidyl group Chemical group [H]N1C([H])=NC(C([H])([H])[C@](C(=O)[*])([H])N([H])[H])=C1[H] 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
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- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば水晶等から成る振動片、この振動片を有する振動子、この振動子を備える発信器や携帯電話装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、振動片である例えば音叉型水晶振動片は、例えば図11に示すように構成されている。
【0003】
すなわち、音叉型水晶振動片10は、基部11と、この基部11から突出するように形成されていいる2本の腕部12、13を有している。そして、この2本の腕部12,13には、溝12a及び溝13aが設けられている。
【0004】
この溝12a,13aは、図11においては表れていない腕部12,13の裏面にも同様に設けられている。
【0005】
このため、図11のA−A’断面図である図12に示すように腕部12,13は、その断面形状が略H状に形成されることになる。
【0006】
このような略H型の音叉型水晶振動片10は、振動片の大きさを従来より著しく小型化しても、腕部12,13の振動損失が低くCI値(クリスタルインピーダンス又は等価直列抵抗)も低く抑えることができるという特性を有する。
【0007】
このため、略H型の音叉型水晶振動片10は、例えば特に小型でも高精度な性能を求められる振動子に適している。このような振動子としては、例えば共振周波数が32.768kHzの小型の振動子等があり、このような振動子の振動片として前記略H型の音叉型水晶振動片10を用いることが検討されている。そして、この共振周波数が32.768kHzの小型の振動子等は、最終的には、例えば時計等の精密機器に組み込まれて使用されることになる。
【0008】
ところで、上述のような略H型の音叉型水晶振動片10は、外部より電流が印加されると腕部12、13が振動するようになっている。具体的には、図11及び図12に示す溝12a、13aに溝電極が形成され、これら溝12a,13aが設けられていない腕部12、13の面である両側面12b,13bに側面電極が形成される。そして、電流が印加されると溝電極と側面電極との間で電界が生じ腕部12,13が振動するようになっている。
【0009】
ところで、このような溝電極と側面電極は、上述のように外部から電流が印加されるのであるが、具体的には、外部から音叉型水晶振動片10の基部11に設けられている基部電極を介して、電流は溝電極や側面電極に供給されることになる。
【0010】
このため、基部電極と溝電極や側面電極とを接続する接続電極が必要となる。この接続電極のうち基部電極と溝電極とを接続する溝電極用接続電極は、図11における基部表面11cに配置される。また、基部電極と側面電極とを接続する側面電極用接続電極は、例えば、基部表面11cと腕部表面12cとに配置される。
【0011】
ところが、この腕部表面12cには、溝12a及び溝電極が形成されているため、腕部表面12cに配置される側面電極用接続電極は、溝12aが形成されていない部分(図11における斜線部分)に配置せざるを得ないことになり、この領域に側面電極用接続電極を配置していた。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のように、略H型の音叉型水晶振動片10は、例えば共振周波数が32.768kHzの小型の振動子等に搭載されるため、特に小型化が要求されており、これに伴い腕部12、13の図11における横方向に幅が例えば0.1mm程度、溝12a、13aの図において横方向の幅が例えば0.07mm程度まで小型化されている。
【0013】
したがって、上述の基部電極と側面電極とを接続する側面電極用接続電極を配置する腕部表面12cにおける領域(図11における斜線部分)の図における幅Wは、例えば0,015mm程度と制限されてしまう。
【0014】
ところで、腕部表面12cに配置しようとする側面電極用接続電極の幅は、最も狭くても0.01mm程度は必要である。これでは、理論上、側面電極用接続電極と溝電極又は溝電極用接続電極との間は僅か0.01mmであり、実際の製造工程における誤差を考慮すると側面電極用接続電極と溝電極又は溝電極用接続電極とが接触したり、その他の短絡を起こす可能性が高く、振動片の不良の原因となってしまうという問題があった。
【0015】
また、このような電極同士の接触を防ぐように製造すると、製造コストが著しく上昇してしまうという問題もあった。
【0016】
そこで、本発明は、以上の点に鑑み、製造コストを上昇させずに、簡単な構成で電極に不良が生じるのを未然に防ぐことができる振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、基部電極部が形成されている基部と、この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片であって、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成され、ていることを特徴とする振動片に関係する。
【0018】
本願発明は、さらに、前記溝部の短手方向の幅は、前記幅広部よりも前記振動細棒の突出した側の領域において約0.07mmであり、前記幅広部を形成する領域において約0.06mmであり、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に引き出された前記側面電極用接続電極部の幅は約0.01mmであるように形成されたことを特徴とする振動片に関係する。
【0019】
本願発明は、さらに、前記溝部が前記振動細棒の表面及び裏面に形成されていると共に、これら各々の振動細棒の断面を溝部の深さ方向に形成した場合、その断面が略H型に形成されることを特徴とする振動片に関係する。
【0020】
本願発明は、さらに、前記振動片が音叉型水晶振動片により形成されていることを特徴とする振動片に関係する。
【0021】
本願発明は、さらに、前記音叉型水晶振動片の共振周波数が略32kHzに成っていることを特徴とする振動片に関係する。
【0022】
本願発明は、基部電極部が形成されている基部と、この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、前記振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片を含み、この振動片が、パッケージ内に収容されている振動子であって、前記振動片の前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第 1 の角部とし、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする振動子に関係する。
【0023】
本願発明は、さらに、前記振動片の前記溝部の短手方向の幅は、前記幅広部よりも前記振動細棒の突出した側の領域において約0.07mmであり、前記幅広部を形成する領域において約0.06mmであり、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に引き出された前記側面電極用接続電極部の幅は約0.01mmであるように形成されたことを特徴とする振動子に関係する。
【0024】
本願発明は、さらに、前記振動片の前記溝部が前記振動細棒の表面及び裏面に形成されていると共に、これら各々の振動細棒の断面を溝部の深さ方向に形成した場合、その断面が略H型に形成されることを特徴とする振動子に関係する。
【0025】
本願発明は、さらに、前記振動片が音叉型水晶振動片により形成されていることを特徴とする振動子に関係する。
【0026】
本願発明は、さらに、前記音叉型水晶振動片の共振周波数が略32kHzに成っていることを特徴とする振動子に関係する。
【0027】
本願発明は、さらに、前記パッケージが箱状に形成されていることを特徴とする振動子に関係する。
【0028】
本願発明は、さらに、前記パッケージが所謂シリンダータイプに形成されていることを特徴とする振動子に関係する。
【0029】
本願発明は、基部電極部が形成されている基部と、この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片を含み、前記振動片と集積回路が、パッケージ内に収容されている発振器であって、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との角部を第2の角部とした場合、前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする発振器。
【0030】
本願発明は、基部電極部が形成されている基部と、この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片と、前記振動片をパッケージ内に収容した振動子と、前記振動子に接続される制御部と、を含む携帯電話装置であって、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする携帯電話装置に関係する。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0032】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る電極が設けられていない略H型の音叉型水晶振動片100を示す概略斜視図である。
【0033】
この略H型の音叉型水晶振動子100は、例えば水晶の単結晶から切り出され音叉型に加工されて形成されている。このとき、図1に示すX軸が電気軸、Y軸が機械軸及びZ軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出されることになる。
【0034】
このように電気軸が図1のX軸方向に配置されることにより、高精度が要求される携帯電話装置等の電子機器全般に好適な略H型の音叉型水晶振動片100となる。
【0035】
また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のX軸、Y軸及びZ軸からなる直交座標系において、X軸回りに、X軸とY軸とからなるXY平面を反時計方向に約1度乃至5度傾けた、所謂水晶Z板として、略H型の音叉型水晶振動片100が形成されることになる。
【0036】
この略H型の音叉型水晶振動片100は、基部130と、この基部140から図においてY軸方向に突出するように形成された例えば2本の振動細棒である腕部120,130とを有している。
【0037】
また、この2本の腕部120、130の表面120c、130cには、図1に示すように溝部120a,130aがそれぞれ形成されている。また、この溝部は2本の腕部120,130の裏面にも同様に形成されている(図示せず)。
【0038】
したがって、図4に示すように腕部120、130には、溝部120a等が図において上下方向に設けられているため、その断面形状が略H型に形成される。そして、この断面形状が略H型なので略H型の音叉型水晶振動片100と称している。
【0039】
この略H型の音叉型水晶振動片100には、図2に示すように電極が形成される。すなわち、図2に示すように、基部140には、基部電極140dが形成され、腕部120、130の溝部120a,130aには、溝電極120d,130dがそれぞれ形成される。
【0040】
また、腕部120,130のそれぞれの両側面120b,120b,130b,130bには、側面電極120e,130eが形成されている。
【0041】
さらに、図2に示すように腕部120の一方側の側面電極120e(図において腕部120の内側)と基板電極140dとを接続するための側面電極用接続電極141が設けられている。この側面電極用接続電極141は、具体的には、基部表面140c及び腕部120の表面120cに設けられ、その端部が前記一方側の側面電極120eと接続するようになっている。
【0042】
また、図2に示すように溝電極120d、130dと基板電極140dとを接続するための溝電極用接続電極142が,図においては2個形成されている。具体的には、基部表面140cに配置され、その端部が溝電極120d、130dと接続するようになっている。
【0043】
このような基部電極140d、側面電極用接続電極141、溝電極用接続電極142、側面電極130e及び溝電極130dの詳細な構成を示したのが、図3である。
【0044】
図3の丸で囲んだ部分に示すように、略H型の音叉型水晶振動片100の一方の腕部120の溝部120aの形状が、他方の腕部130の溝部130aの形状と異なっている。
【0045】
すなわち、溝部120aの基部140に近接している部分の幅が他の溝120aの部分より狭く形成され、この部分に腕部120の内側の側面電極120eと接続される側面電極用接続電極141が形成されている。
【0046】
ところで、略H型の音叉型水晶振動子100は、例えば共振周波数が32.768kHzであるにもかかわらず、従来の32.768kHzの音叉型水晶振動子と比べ、著しく小型となっている。
【0047】
すなわち、図4に示すように、略H型の音叉型水晶振動子00のY軸方向の長さは、例えば約2.2mm程度となっており、略H型の音叉型水晶振動子100のX軸方向の幅は、約0.56mm程度となっている。
【0048】
この寸法は、従来の音叉型水晶振動片の一般的な寸法である、3.6mm(Y軸方向)、0.69mm(X軸方向)と比べ著しく小さくなっている。
【0049】
また、図4に示す腕部120のY軸方向の長さは、例えば約1.6mm程度であり、各腕部120、130のX軸方向の幅は、例えば0.1mm程度となっている。
【0050】
このような腕部120の大きさは、従来の一般的な腕部の寸法である2.4mm(Y軸方向)、0.23mm(X軸方向)と比べ、著しく小さくなっている。
【0051】
このように従来の音叉型水晶振動片と比べ著しく小さくなっている腕部120、130には、上述のように溝部120a,130aが形成されており、この溝部120a、130aは、腕部120,130の表面120c、130c上においてY軸方向に例えば約1.3mm程度の長さに形成されている。この溝部130aのX軸方向の幅は、図4に示すように例えば約0.07mm程度であり、そのZ軸方向の深さは、例えば約0.02から0.045mm程度となっている。
【0052】
以上のような寸法に形成されている略H型の音叉型水晶振動片100の図3における丸で囲った部分の寸法は、図5に示すようになる。
【0053】
すなわち、溝部120aの基部140に近接している部分(図においてCの部分)の幅が例えば約0.06mm程度に形成され、他の溝120aの部分の幅である約0.07mmと比べ0.01mm狭く形成されている。
【0054】
また、この溝部120aに設けられている溝電極120dも同様の寸法で配置されている。
【0055】
一方、腕部120の内側の側面120bに形成された側面電極120eに対して側面電極用接続電極141が配置されている。具体的には、腕部120の表面120cのうち溝部120aが設けられていない領域で、且つこの溝部120aと接触等の短絡が生じない位置である、図において腕部120の表面120cの左端部に配置される。
【0056】
このように配置される側面電極用接続電極141は、腕部120の表面120cの左端部に幅約0.01mm程度で配置され、基部表面140cに形成されている側面電極用接続電極141に繋がっている。
【0057】
ところで、前記溝電極120dにも、図5に示すように、溝電極用接続電極142が接続され、前記側面電極用接続電極141と一定の間隔を空けて配置され、図2に示す基部電極140dと接続されている。
【0058】
また、腕部130の溝部130aに形成されている溝電極130dには、他の溝電極用接続電極142が接続されている。この他の溝電極用接続電極142は、図2に示すように途中で、前記側面電極用接続電極141と合流し、基部電極140dに接続されている。
【0059】
図2及び図5に示す電極の配置は、略H型の音叉型水晶振動片100の表面側のみを示したものあるが、裏面側にも、表面側と対称に同様の電極が配置される。
【0060】
上述のように、腕部120の溝部120aうち、図においてCの部分の幅を約0.07mmから約0.06mmに狭くして形成しているため、腕部120の表面120cのうち、図において左端部と溝部120aとの間は、約0.015mmから約0.025mmまで広がることになる。したがって、この広がった部分(図においてDで示す部分)が、腕部120の内側の側面120dの側面電極120eと接続するための側面電極用接続電極141を配置するための接続電極配置部となる。
【0061】
すなわち、この接続電極配置部Dの部分が設けられない場合は、腕部120の表面120cに形成された側面電極用接続電極141と溝電極120d及び溝電極120dと接続される溝電極用接続電極142との間の距離は約0.015mm程度しかなく、製造上の誤差があると、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じ、略H型の音叉型水晶振動片100の不良等が生じるおそれがある。
【0062】
しかし、本実施の形態に係る略H型の音叉型水晶振動片100では、上述の図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることががなく、略H型の音叉型水晶振動片100の不良等が生じる原因を取り除くことができる。
【0063】
また、この接続電極配置部の形成は、腕部120の溝部120aの幅を狭くするだけで形成することができるため、特別な構成を略H型の音叉型水晶振動片100に設ける必要がなく、製造上のコストを上昇させることがない。
【0064】
ところで、このように配置される溝電極120d,側面電極120e等の電極は、具体的には、複数層、例えば2層から成り、下地としてCr、上層がAuから形成されている。この場合、Crの代わりにNiやTi等を使用してもよい。
【0065】
また、1層からなる場合もあり、このときは、例えばAl層が用いられる。この他にも、Al電極で表面を陽極酸化した電極やCr電極1層で、このCr層の上に保護膜としてSiO2 等を形成する電極も用いることができる。
【0066】
さらに、電極の厚みは、例えば下層Crが100オングストロームで上層Auが1000オングストロームと成っている。
【0067】
次に、上述のような略H型の音叉型水晶振動子100の腕部120の断面を示したのが図6である。図6に示すように腕部120には溝部120aが図において上下方向にそれぞれ設けられているため、その断面形状が略H形に形成されている。そして、この2カ所の溝部120aには、それぞれ溝電極120dが設けられている。また、腕部120の両側面120bにも側面電極120eがそれぞれ設けられている。
【0068】
本実施の形態に係る略H型の音叉型水晶振動片100は以上のように構成されるが、以下その動作等について説明する。
【0069】
先ず、略H型の音叉型水晶振動片100の外部の図示しない電源より電流が基部140の基部電極140dに供給される。すると、この電流は、側面電極用接続電極141と溝電極用接続電極142を経て側面電極120eと溝電極120dにそれぞれ供給される。
【0070】
このとき、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間には、上述のの図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることがない。
【0071】
このように溝電極120dと側面電極120eに電流が印加されると、図6に示す溝電極120dと側面電極120eとの間に電界を発生し、圧電体である水晶の内部に電界が深く分布することになる。
【0072】
この電界の分布によって、圧電体である腕部120、130が振動し、音叉型振動片100が振動することになる。
【0073】
このときの共振周波数は、例えば32.768kHzとなっており、本実施の形態に係る略H型の音叉型水晶振動片100は、上述のように、腕部120、130の断面形状が略H型に形成されているため、従来の32.768kHzの音叉型水晶振動子と比べ、著しく小型となっているにもかかわらず、性能が向上している。
【0074】
(第2の実施の形態)
図7は、本実施の第2の形態に係る振動子であるセラミックパッケージ音叉型振動子200を示す図である。
【0075】
このセラミックパッケージ音叉型振動子200は、上述の第1の実施の形態の略H型の音叉型水晶振動片100を使用している。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の構成、作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【0076】
図7は、セラミックパッケージ音叉型振動子200の構成を示す概略断面図である。図7に示すように、セラミックパッケージ音叉型振動子200は、その内側に空間を有する箱状のパッケージ210を有している。このパッケージ210には、その底部にベース部211を備えている。このベース部211は、例えばアルミナ等のセラミックス等で形成されている。
【0077】
ベース部211の上には、封止部212が設けられており、この封止部212は、蓋体213と同様の材料から形成されている。また、この封止部212の上には蓋体213が載置され、これらベース部211、封止部212及び蓋体213で、中空の箱体を形成することになる。
【0078】
このように形成されているパッケージ210のベース部211上にはパッケージ側電極214が設けられている。このパッケージ側電極214の上には導電性接着剤等を介して電極140が形成されてた略H型の音叉型水晶振動片100の端部が固定されている。
【0079】
この略H型の音叉型水晶振動片100は、パッケージ側電極214から一定の電流が与えられると振動するようになっている。このとき、略H型の音叉型水晶振動片100には、図5に示すように、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間には、図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることがない。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の性能を十分に発揮できるセラミックパッケージ音叉型振動子200となる。また、製造コストを上昇させることなく、セラミックパッケージ音叉型振動子200を製造することができる。
【0080】
(第3の実施の形態)
図8は、本実施の第3の形態に係る携帯電話装置であるデジタル携帯電話300を示す図である。
【0081】
このデジタル携帯電話300は、上述の第3の実施の形態のセラミックパッケージ音叉型振動子200と略H型の音叉型水晶振動片100を使用している。したがって、セラミックパッケージ音叉型振動子200と略H型の音叉型水晶振動片100の構成、 作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【0082】
図8は、デジタル携帯電話300の回路ブロックを示す概略図である。図8に示すように、デジタル携帯電話300で送信する場合は、使用者が、自己の声をマイクロフォンに入力すると、信号はパルス幅変調・符号化のブロックと変調器/復調器のブロックを経てトランスミッター、アンテナスイッチを介しアンテナから送信されることになる。
【0083】
一方、他人の電話から送信された信号は、アンテナで受信され、アンテナスイッチ、受信フィルター等を経て、レシーバーから変調器/復調器のブロックに入力される。そして、変調又は復調された信号がパルス幅変調・符号化のブロックを経てスピーカーに声として出力されるようになっている。
【0084】
このうち、アンテナスイッチや変調器/復調器ブロック等を制御するためにコントローラが設けられている。
【0085】
このコントローラは、上述の他に表示部であるLCDや数字等の入力部であるキー、さらにはRAMやROM等も制御するため、高精度であることが求められ、この高精度なコントローラの要求に応えられるように高精度の上述のセラミックパッケージ音叉振動子200が用いられることになる。
【0086】
すなわち、セラミックパッケージ音叉振動子200に収容されている略H型の音叉型水晶振動片100には、図5に示すように、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間には、図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることがない。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の性能を十分に発揮できるセラミックパッケージ音叉型振動子200を有するデジタル携帯電話300となる。また、製造コストを上昇させることなく、デジタル携帯電話300を製造することができる。
【0087】
(第4の実施の形態)
図9は、本実施の第4の実施の形態に係る発振器である音叉水晶発振器400を示す図である。
【0088】
このデジタル音叉水晶発振器400は、上述の第3の実施の形態のセラミックパッケージ音叉型振動子200と多くの部分で構成が共通している。したがって、セラミックパッケージ音叉型振動子200と略H型の音叉型水晶振動片100の構成、 作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【0089】
図9に示す音叉型水晶発振器400は、図5に示すセラミックパッケージ音叉振動子200の略H型の音叉型水晶振動片100の下方で、ベース部211の上に、図9に示すように集積回路410を配置したものである。
【0090】
すなわち、音叉水晶発振器400では、その内部に配置された、略H型の音叉型水晶振動片100が振動すると、その振動は、集積回路410に入力され、その後、所定の周波数信号を取り出すことで、発振器として機能することになる。
【0091】
すなわち、音叉水晶発振器400に収容されている略H型の音叉型水晶振動片100には、図5に示すように、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間には、図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることがない。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の性能を十分に発揮できる音叉水晶発振器400となる。また、製造コストを上昇させることなく、音叉型水晶発振器400を製造することができる。
【0092】
(第5の実施の形態)
図10は、本実施の第5の実施の形態に係る振動子であるシリンダータイプ音叉振動子500を示す図である。
【0093】
このシリンダータイプ音叉振動子500は、上述の第1の実施の形態の略H型の音叉型水晶振動片100を使用している。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の構成、 作用等については、同一符号を付する等して、その説明を省略する。
【0094】
図10は、シリンダータイプ音叉振動子500の構成を示す概略図である。
【0095】
図10に示すようにシリンダータイプ音叉振動子500は、その内部に略H型の音叉型水晶振動片100を収容するための金属製のキャップ530を有している。このキャップ530は、ステム520に対して圧入され、その内部が真空状態に保持されるようになっている。
【0096】
また、キャップ530に収容された略H型の音叉型水晶振動片100を保持すうためのリード510が2本配置されている。
【0097】
このようなシリンダータイプ音叉振動子500に外部より電流を印加すると略H型の音叉型水晶振動片100の腕部120が振動し、振動子として機能することになる。
【0098】
このとき、略H型の音叉型水晶振動片100には、図5に示すように、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間には、図5においてDで示す接続電極配置部が形成されているため、製造上の誤差があっても、側面電極用接続電極141と溝電極120d等との間に接触やその他の短絡等が生じることがない。したがって、略H型の音叉型水晶振動片100の性能を十分に発揮できるシリンダータイプ音叉振動子500となる。また、製造コストを上昇させることなく、シリンダータイプ音叉振動子500を製造することができる。
【0099】
また、上述の各実施の形態では、32.738kHzの音叉型水晶振動子を例に説明したが、15kHz乃至155kHzの音叉型水晶振動子に適用できることは明らかである。
【0100】
なお、上述の実施の形態に係る略H型の音叉型水晶振動片100は、上述の例のみならず、他の電子機器、携帯情報端末、さらに、テレビジョン、ビデオ機器、所謂ラジカセ、パーソナルコンピュータ等の時計内蔵機器及び時計にも用いられることは明らかである。
【0101】
さらに、本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。そして、上記実施の形態の構成は、その一部を省略したり、上述していない他の任意の組み合わせに変更することができる。
【0102】
【発明の効果】
本発明によれば、製造コストを上昇させずに、簡単な構成で電極に不良が生じるのを未然に防ぐことができる振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係る電極形成前の略H型の音叉型水晶振動片を示す概略斜視図である。
【図2】 図1の略H型の音叉型水晶振動片に電極が形成された状態を示す概略斜視図である。
【図3】 図2の電極の配置の詳細を示した概略斜視図である。
【図4】 図1に示す略H型の音叉型水晶振動片の寸法を示す概略図である。
【図5】 図3の丸で囲んだ部分を示す概略拡大図である。
【図6】 図2の略H型の音叉型水晶振動片の腕部の概略断面図である。
【図7】 セラミックパッケージ音叉型振動子の構成を示す概略断面図である。
【図8】 デジタル携帯電話の回路ブロックを示す概略図である。
【図9】 音叉水晶発振器の構成を示す概略断面図である。
【図10】 シリンダータイプ音叉振動子の構成を示す概略図である。
【図11】 従来の音叉型水晶振動片の構成を示す概略図である。
【図12】 図11のA−A’断面図である。
【符号の説明】
100・・・略H型の音叉型水晶振動片
120、130・・・腕部
120a、130a・・・溝部
120b、130b・・・側面
120c、130c・・・表面
120d、130d・・・溝電極
120e、130e・・・側面電極
140・・・基部
140c・・・基部表面
140d・・・基部電極
141・・・側面電極用接続電極
142・・・溝電極用接続電極
C・・・溝部の基部に近接している部分
D・・・接続電極配置部
200・・・セラミックパッケージ音叉振動子
210・・・パッケージ
211・・・ベース部
212・・・封止部
213・・・蓋体
214・・・パッケージ側電極
300・・・デジタル携帯電話
400・・・音叉水晶発振器
410・・・集積回路
500・・・シリンダータイプ音叉振動子
510・・・リード
520・・・ステム
530・・・キャップ
Claims (14)
- 基部電極部が形成されている基部と、
この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、
この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、
前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、
前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、
前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片であって、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、
前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、
前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成され、
ていることを特徴とする振動片。 - 前記溝部の短手方向の幅は、前記幅広部よりも前記振動細棒の突出した側の領域において約0.07mmであり、前記幅広部を形成する領域において約0.06mmであり、
前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に引き出された前記側面電極用接続電極部の幅は約0.01mmであるように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の振動片。 - 前記溝部が前記振動細棒の表面及び裏面に形成されていると共に、これら各々の振動細棒の断面を溝部の深さ方向に形成した場合、その断面が略H型に形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項2のいずれかに記載の振動片。
- 前記振動片が音叉型水晶振動片により形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の振動片。
- 前記音叉型水晶振動片の共振周波数が略32kHzに成っていることを特徴とする請求項4に記載の振動片。
- 基部電極部が形成されている基部と、
この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、
前記振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、
前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、
前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、
前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片を含み、
この振動片が、パッケージ内に収容されている振動子であって、
前記振動片の前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、
前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、
前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする振動子。 - 前記振動片の前記溝部の短手方向の幅は、前記幅広部よりも前記振動細棒の突出した側の領域において約0.07mmであり、前記幅広部を形成する領域において約0.06mmであり、
前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に引き出された前記側面電極用接続電極部の幅は約0.01mmであるように形成されたことを特徴とする請求項6に記載の振動子。 - 前記振動片の前記溝部が前記振動細棒の表面及び裏面に形成されていると共に、これら各々の振動細棒の断面を溝部の深さ方向に形成した場合、その断面が略H型に形成されることを特徴とする請求項6乃至請求項7のいずれかに記載の振動子。
- 前記振動片が音叉型水晶振動片により形成されていることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれかに記載の振動子。
- 前記音叉型水晶振動片の共振周波数が略32kHzに成っていることを特徴とする請求項9に記載の振動子。
- 前記パッケージが箱状に形成されていることを特徴とする請求項6乃至請求項10のいずれかに記載の振動子。
- 前記パッケージが所謂シリンダータイプに形成されていることを特徴とする請求項6乃至請求項10のいずれかに記載の振動子。
- 基部電極部が形成されている基部と、
この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、
この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、
前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、
前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、
前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片を含み、
前記振動片と集積回路が、パッケージ内に収容されている発振器であって、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との角部を第2の角部とした場合、
前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、
前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする発振器。 - 基部電極部が形成されている基部と、
この基部から突出して形成される少なくとも1本の振動細棒と、
この振動細棒の表面及び/又は裏面に形成されている溝電極部を有する溝部と、
前記振動細棒の前記溝部が形成されていない前記振動細棒の側面に形成されている側面電極部と、
前記基部電極部と前記溝電極部とを接続する溝電極用接続電極部と、
前記基部電極部と前記側面電極部とを接続する側面電極用接続電極部と、を有する振動片と、
前記振動片をパッケージ内に収容した振動子と、
前記振動子に接続される制御部と、を含む携帯電話装置であって、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記振動細棒の前記側面との間の角部を第1の角部とし、
前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面と、前記溝部との間の角部を第2の角部とした場合、
前記第1の角部と前記第2の角部との間の幅が前記基部の近傍で広くなっている幅広部において、前記側面電極部から前記振動細棒の前記表面及び/又は前記裏面に前記側面電極用接続電極部が引き出され、
前記幅広部は、前記溝部の短手方向の幅を他の幅の部分より狭くすることにより形成されていることを特徴とする携帯電話装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000265592A JP3858575B2 (ja) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000265592A JP3858575B2 (ja) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006211718A Division JP4645551B2 (ja) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002076827A JP2002076827A (ja) | 2002-03-15 |
JP3858575B2 true JP3858575B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=18752835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000265592A Expired - Lifetime JP3858575B2 (ja) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3858575B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3812724B2 (ja) | 2001-09-13 | 2006-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP4862639B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2012-01-25 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子とその製造方法と水晶ユニットの製造方法 |
JP2004153624A (ja) | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子及び棒状振動子 |
JP2006196932A (ja) * | 2003-05-07 | 2006-07-27 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電デバイスの製造方法および音叉型圧電デバイス |
JP4409979B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-02-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子 |
JP4277818B2 (ja) | 2005-03-22 | 2009-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
DE602005005647T2 (de) * | 2005-06-09 | 2009-04-16 | Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen |
JP2008098748A (ja) | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動子、圧電振動デバイス、及び圧電発振器 |
JP5385037B2 (ja) * | 2009-07-21 | 2014-01-08 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
JP2012039509A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
JP5592812B2 (ja) | 2011-01-27 | 2014-09-17 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP5533984B2 (ja) * | 2012-11-15 | 2014-06-25 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、センサー及びデバイス |
JP5680163B2 (ja) * | 2013-10-02 | 2015-03-04 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
-
2000
- 2000-09-01 JP JP2000265592A patent/JP3858575B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002076827A (ja) | 2002-03-15 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090929 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120929 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130929 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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